KR100432357B1 - Autoloader Shutter Semiconductor Device Handler - Google Patents

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KR100432357B1
KR100432357B1 KR10-2001-0077339A KR20010077339A KR100432357B1 KR 100432357 B1 KR100432357 B1 KR 100432357B1 KR 20010077339 A KR20010077339 A KR 20010077339A KR 100432357 B1 KR100432357 B1 KR 100432357B1
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Abstract

본 발명은 오토 로더의 셔터를 개선하여 버튼에 의해 개방될 수 있도록 함으로써 테스트용 트레이를 적재시 편리하도록 한 핸들러의 오토로더 셔터를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an autoloader shutter of a handler for improving the shutter of the autoloader to be opened by a button so that the test tray is convenient for loading.

이를 위하여 본 발명은 핸들러의 몸체에 고정된 고정 프레임과, 상기 고정 프레임의 가이드 홀을 통해 이동하는 연결봉을 구비한 손잡이부와 , 상기 손잡이부와 연결봉으로 체결되어 손잡이부의 이동시 같이 이동하는 래치부와, 상기 연결봉의 외부를 감싸는 탄성부재와, 상기 고정 프레임의 소정개소에 설치되어 상기 래치부와 체결되도록 하는 래치결합부를 포함하며, 상기 양측의 손잡이부를 중앙쪽으로 당김에 따라 연결봉과 래치부가 이동하면서 탄성부재가 압축되고 고정 프레임의 래치결합부와 래치부가 체결되며, 상기 래치결합부는 누름버튼에 의해 래치를 뒤로 밀어내어 탄성부재의 압축력을 해제하여 셔터가 열리는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터를 제공한다.To this end, the present invention is a handle portion having a fixed frame fixed to the body of the handler, a connecting rod to move through the guide hole of the fixed frame, and a latch unit which is fastened with the handle and the connecting rod and moves together when the handle portion is moved; And an elastic member surrounding the outside of the connecting rod, and a latch coupling part installed at a predetermined position of the fixing frame to be engaged with the latch part, and the connecting rod and the latch part being moved as the handle parts of both sides are pulled toward the center. The member is compressed and the latch engagement portion and the latch portion of the fixing frame are engaged, and the latch engagement portion pushes the latch back by the push button to release the compression force of the elastic member to open the shutter of the autoloader shutter of the semiconductor device handler. to provide.

Description

반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터{Autoloader Shutter Semiconductor Device Handler}Autoloader Shutter of Semiconductor Device Handler

본 발명은 핸들러에서 복수개의 트레이를 적재하여 공급하는 오토로더(Auto Loader)에 관한 것으로, 특히 반도체 패키지와 같은 디바이스들을 테스트하는 핸들러에서 디바이스들이 수납되는 트레이들을 복수개 적재하여 공급할 수 있도록 한 핸들러용 트레이 오토로더의 셔터에 관한 것이다.The present invention relates to an autoloader for loading and supplying a plurality of trays in a handler. In particular, a tray autoloader for loading and supplying a plurality of trays in which devices are stored in a handler for testing devices such as a semiconductor package. It is about the shutter.

일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(Device) 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈(Module)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 디바이스 및 모듈램 등을 소정의 과정을 거치며 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.In general, devices such as a memory or non-memory semiconductor device, and modules that are appropriately configured on a single substrate, are shipped after undergoing various test procedures after production. Refers to a device that is used to automatically test the same device and module through a predetermined process.

통상, 이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에서 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 상태의 환경을 조성하여 상기 디바이스 및 모듈램 등이 이러한 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.In general, many of these handlers not only perform general performance tests at room temperature, but also create extreme conditions of high and low temperatures through electrothermal heaters and liquefied nitrogen injection systems in closed chambers such that the device and the module can be It is also capable of performing high and low temperature tests, which test whether they can function under extreme temperature conditions.

상기와 같은 핸들러에서 이루어지는 테스트 과정에 대해 도 1에 도시된 핸들러 구성을 일례로 하여 간략하게 설명하면, 먼저 사용자가 테스트할 디바이스들이 수납된 트레이들을 로딩부(10)에 적재한 다음 핸들러를 가동시키면, X-Y축으로 선형운동하는 제1피커로봇(31)이 로딩부(10)의 디바이스들을 파지하여 버퍼부(40)에 일시적으로 장착하게 되고, 이어서 제 2피커로봇(32)이 버퍼부(40)의 디바이스들을 파지하여 교환부(50)로 이송하여 테스트용 트레이(도시 않음)에 재장착시킨다.Referring to the configuration of the handler shown in Figure 1 with respect to the test process performed in the handler as an example, first, the user loads the trays containing the devices to be tested in the loading unit 10 and then operates the handler The first picker robot 31 linearly moving in the XY axis grips the devices of the loading unit 10 and temporarily mounts them in the buffer unit 40. Then, the second picker robot 32 is the buffer unit 40. ) Devices are gripped and transferred to the exchange unit 50 and remounted in a test tray (not shown).

이렇게 테스트할 디바이스들이 재장착된 테스트용 트레이는 별도의 이송수단(도시 않음)에 의해 핸들러 후방에 위치된 챔버부(70)로 이송되어, 고온 또는 저온의 환경으로 조성된 밀폐된 복수의 챔버들을 거치며 소정의 온도 상태 하에서 챔버부(70)의 테스트 사이트(Test Site)에서 테스트가 수행된다.The test tray in which the devices to be tested are remounted is transferred to a chamber unit 70 located behind the handler by a separate transfer means (not shown), thereby providing a plurality of sealed chambers formed in a high temperature or low temperature environment. The test is performed at the test site of the chamber unit 70 under a predetermined temperature.

그런 다음, 테스트 완료된 테스트용 트레이는 다시 상기 교환부(50)로 이송되고, 테스트 완료된 디바이스들이 제 2피커로봇(32)에 의해 버퍼부(40)에 일시 장착된 다음 다시 제 1피커로봇(31)에 의해 테스트결과에 따라 언로딩부(20)의 소정의 트레이에 등급별로 분류되어 장착된다.Then, the tested test tray is transferred to the exchange unit 50 again, and the tested devices are temporarily mounted in the buffer unit 40 by the second picker robot 32, and then again the first picker robot 31. According to the test results are classified and mounted on the predetermined tray of the unloading unit 20 by grade.

그런데, 상기와 같은 종래의 핸들러에 있어서, 상기 로딩부(10)에 트레이를 적재할 때는 작업자가 로딩부의 셔터를 열고 적재하는바, 적재시 약 25개 정도의 트레이를 안고 셔터를 열어야 하는데 현재의 셔터는 트레이를 안은 상태에서 열기 힘들도록 되어 있어 작업시간이 지연되고 원할한 트레이의 공급이 어려워지는 문제점이 있다.However, in the conventional handler as described above, when the tray is loaded in the loading unit 10, the operator opens and loads the shutter of the loading unit, and when loading, the shutter should be opened with about 25 trays. Since the shutter is hard to open in the tray holding state, there is a problem that the working time is delayed and the supply of the tray is difficult.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하고자 안출된 발명으로서, 오토 로더의 셔터를 개선하여 버튼에 의해 개방될 수 있도록 함으로써 테스트용 트레이를 적재시 편리하도록 한 핸들러의 오토로더 셔터를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide an autoloader shutter of a handler which is convenient for loading a test tray by improving the shutter of the autoloader so that it can be opened by a button. It is done.

도 1 은 종래 반도체 디바이스 핸들러의 구성을 개략적으로 도시한 평면구성도.1 is a plan view schematically showing the configuration of a conventional semiconductor device handler.

도 2 는 본 발명에 의한 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더에 관한 바람직한 일실시예를 도시한 사시도Figure 2 is a perspective view showing a preferred embodiment of the autoloader of the semiconductor device handler according to the present invention

도 3 은 본 발명에 의한 반도체 디바이스 핸들어의 오토로더 셔터부를 도시한 요부 사시도.3 is a perspective view illustrating main parts of an autoloader shutter unit of the semiconductor device handle according to the present invention;

도 4 는 본 발명에 관련된 오토로더 셔터의 래치부를 도시한 투시도.4 is a perspective view showing a latch portion of an autoloader shutter according to the present invention;

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **** Explanation of symbols for main parts of drawings **

100: 오토로더 102: 테스트용 트레이100: autoloader 102: test tray

110: 적재 프레임 150: 셔터110: loading frame 150: shutter

152: 손잡이 120: 고정 프레임152: handle 120: fixed frame

122: 래치해제버튼 124: 가이드보스122: release latch button 124: guide boss

132: 연결봉 140: 래치부132: connecting rod 140: latch portion

134: 탄성부재 142: 래치134: elastic member 142: latch

142a: 래치 헤드부 142b: 래치 턱142a: latch head portion 142b: latch jaw

145: 고정 스프링 144: 지지 프레임145: fixed spring 144: support frame

126: 래치결합부126: latch engagement portion

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 핸들러의 몸체에 고정된 고정 프레임과, 상기 고정 프레임의 가이드보스를 통해 이동하는 연결봉을 구비한 손잡이부와, 상기 손잡이부와 연결봉으로 체결되어 손잡이부의 이동시 같이 이동하는 래치부와, 상기 연결봉의 외부를 감싸는 탄성부재와, 상기 고정 프레임의 소정개소에 설치되어 상기 래치부와 체결되도록 하는 래치결합부를 포함하며, 상기 양측의 손잡이부를 중앙쪽으로 당김에 따라 연결봉과 래치부가 이동하면서 탄성부재가 압축되고 고정 프레임의 래치결합부와 래치부가 체결되며, 상기 래치결합부는 누름버튼에 의해 래치를 뒤로 밀어내어 탄성부재의 압축력을 해제하여 셔터가 열리는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a fixed frame fixed to the body of the handler, the handle portion having a connecting rod to move through the guide boss of the fixed frame, and the handle and the connecting rod is fastened together when moving the handle portion A latch portion, an elastic member surrounding the outside of the connecting rod, and a latch coupling portion installed at a predetermined position of the fixed frame to be engaged with the latch portion, the connecting rod and the latch being pulled toward the center thereof. The elastic member is compressed while the addition moves, and the latch coupling portion and the latch portion of the fixed frame are engaged, and the latch coupling portion pushes the latch back by a push button to release the compression force of the elastic member to open the shutter. Provides an autoloader shutter.

본 발명의 구성에 대하여 첨부한 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명한다. 참고로 본 발명의 구성을 설명하기에 앞서, 설명의 중복을 피하기 위하여 종래 기술과 일치하는 부분에 대해서는 종래 도면부호를 그대로 인용하기로 한다.The structure of this invention is demonstrated in detail, referring an accompanying drawing. For reference, prior to describing the configuration of the present invention, in order to avoid duplication of description of the prior art reference to the same reference numerals will be referred to.

도 2 는 본 발명에 의한 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더에 관한 바람직한 일실시예를 도시한 사시도이다.2 is a perspective view showing a preferred embodiment of the autoloader of the semiconductor device handler according to the present invention.

도면을 참조하면, 상기 오토로더(100)는 직사각형의 트레이(102)를 적재할 수 있도록 대략 직육면체로 적재 프레임(110)이 형성되어 있다. 상기 적재 프레임(110)은 전후방으로 이동될 수 있도록 저면에 가이드 레일(도시생략)이 설치되어 있으며, 트레이(102)를 적재할 때는 상기 적재 프레임(110)을 전방으로 인출시켜 적재한 후 핸들러의 오토로더(100) 내부로 밀어넣게 된다.Referring to the drawings, the autoloader 100 has a stacking frame 110 formed of a substantially rectangular parallelepiped to accommodate a rectangular tray 102. The loading frame 110 is provided with a guide rail (not shown) on the bottom surface so as to be moved forward and backward, and when loading the tray 102, the loading frame 110 is pulled out to the front and loaded, It is pushed into the autoloader 100.

상기 오토로더(100)의 전면에는 본 발명에 의한 셔터(150)가 설치되어 있다. 상기 셔터(150)는 양측에 트레이(102)의 양측 전단부를 개폐하는 2개의 셔터바아(155)를 구비하며, 각 셔터바아(155)에 손잡이(152)가 구성되어 중앙측으로 당기면 약 5센티미터 가량 중앙으로 당겨지면서 닫힌다. 상기 셔터(150)를 열 때는 고정 프레임(120)에 부착되어 있는 버튼(122)을 눌러 셔터바아(155)가 다시 양쪽으로 젖혀지도록 한다.The shutter 150 according to the present invention is installed on the front surface of the autoloader 100. The shutter 150 has two shutter bars 155 for opening and closing both front and rear ends of the tray 102 on both sides, and each shutter bar 155 has a handle 152 configured to pull about 5 centimeters toward the center. It is closed while being pulled to the center. When the shutter 150 is opened, the shutter bar 155 is flipped back by pressing a button 122 attached to the fixed frame 120.

상기 셔터(150)의 구조를 도 3에 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.The structure of the shutter 150 will be described in more detail with reference to FIG. 3 as follows.

오토로더(100)의 양측 패널에 고정부착된 고정부(120)에는 가이드보스(124)가 형성되어 있고, 상기 가이드보스(124)를 통해 연결봉(132)이 통과한다. 상기 연결봉(132)의 일측은 손잡이부에 연결되고 타측은 래치가 설치된 프레임(이하 래치부:140)에 연결되어 셔터바아(155), 손잡이(152), 연결봉(132), 래치부(140)는 상기 손잡이(152)를 이동시킴에 따라 동시에 움직이도록 한몸체로 연결되어 있다.A guide boss 124 is formed in the fixing part 120 fixed to both panels of the autoloader 100, and the connecting rod 132 passes through the guide boss 124. One side of the connecting rod 132 is connected to the handle portion and the other side is connected to the frame is installed latch (hereinafter latch portion: 140) shutter bar 155, handle 152, connecting rod 132, latch portion 140 Is connected to one body to move at the same time by moving the handle 152.

상기 가이드보스(124) 및 연결봉(132)은 도면과 같이 2개 이상 복수개로 설치하여 구조적인 안정성을 취함이 바람직하다.The guide boss 124 and the connecting rods 132 are preferably two or more as shown in the drawing to take structural stability.

상기 고정 프레임(120)의 가이드보스(124)를 통과하는 연결봉(132)의 외주면으로는 탄성부재(134)가 형성되어 있다. 상기 탄성부재(134)는 바람직하게는 코일 스프링을 사용함이 적합하나 기타 탄성력이 강한 금속재를 사용하여도 무방하다.An elastic member 134 is formed on the outer circumferential surface of the connecting rod 132 passing through the guide boss 124 of the fixed frame 120. Preferably, the elastic member 134 may use a coil spring, but a metal material having strong elasticity may be used.

상기 탄성부재(134)는 고정 프레임(120)과 래치부(140) 사이에 개재되며, 손잡이(152)를 중앙쪽으로 당김에 따라 연결봉(132)에 의해 연결된 래치부(140)가 따라가고 이에 따라 고정프레임(120)과 래치부(140)간의 간격이 좁아지면서 탄성부재(134)는 압축된다.The elastic member 134 is interposed between the fixed frame 120 and the latch unit 140, the latch portion 140 connected by the connecting rod 132 is followed by pulling the handle 152 toward the center and accordingly The elastic member 134 is compressed while the gap between the fixed frame 120 and the latch unit 140 is narrowed.

상기 손잡이(152)의 이동에 따라 탄성부재(134)를 압축하면서 연동하는 래치부(140)의 중앙에는 래치(142)가 구비되어 있다.A latch 142 is provided at the center of the latch unit 140 that interlocks while compressing the elastic member 134 according to the movement of the handle 152.

도 4에는 본 발명에 관련된 래치부(140)의 요부 사시도를 도시하였다.4 is a perspective view illustrating main parts of the latch unit 140 according to the present invention.

도면에서 보는 바와 같이, 상기 래치부(140)는 일자형의 지지 프레임(144)의 중앙부에 래치(142)가 설치된 구성으로 이루어져 있다. 상기 래치(142)의 확대도를 살펴보면 고정 스프링(145)에 의해 래치(142)가 고정되어 평형을 유지하고 있음을 알 수 있다.As shown in the figure, the latch unit 140 has a configuration in which the latch 142 is installed at the center of the straight support frame 144. Looking at the enlarged view of the latch 142, it can be seen that the latch 142 is fixed by the fixing spring 145 to maintain the equilibrium.

상기 래치(142)는 도면과 같이 헤드부(142a)가 앞부분은 완만하게 경사져 있고 뒷부분에는 수직으로 턱(142b)이 형성되어 있다. 상기 래치 헤드부(142a)는 진입이 용이하게 앞부분의 단면적은 작고 뒷부분의 단면적은 넓게 되어 있으며, 상기 턱(142b)에 의해 진입후 홀(126a)에 걸리도록 되어 있다.The latch 142 is a head portion 142a is gently inclined in the front portion as shown in the figure and the jaw 142b is formed vertically in the rear portion. The latch head portion 142a has a small cross-sectional area of the front portion and a wide cross-sectional area of the rear portion for easy access, and is fastened to the hole 126a after the entry by the jaw 142b.

상기 래치(142)의 일단부는 고정 스프링(145)에 의해 지지 프레임(144:도 3 참조)의 래치 고정대(143:도 3 참조)에 고정되어 있다. 상기 래치(142)는 대략 'ㄷ'자형으로 형성되어 있으며, 헤드부(142a)는 진입이 용이하도록 경사져 있다. 이와 같은 래치(142)는 통상 단일의 몸체를 채용하여도 무방하나 본 발명의 실시예에서는 한몸체로 움직이되 양측에 동시에 걸릴 수 있도록 2개의 래치 로드를 갖도록 하였다.One end of the latch 142 is fixed to the latch holder 143 (see FIG. 3) of the support frame 144 (see FIG. 3) by the fixing spring 145. The latch 142 is formed in a substantially 'c' shape, the head portion 142a is inclined to facilitate entry. Such a latch 142 may generally employ a single body, but in the embodiment of the present invention, the latch 142 has two latch rods so as to move on one body and to be simultaneously caught on both sides.

상기 래치(142)는 고정 스프링(145)의 축(145a)을 중심으로 회전할 수 있되가압력이 해제되면 항상 동일한 위치로 탄성복원되도록 구성된다. 상기 래치(142)는 고정 프레임(120)에 부착된 래치결합부(126)에 의해 맞물리는바 상기 래치결합부(126)의 구조를 설명하면 다음과 같다.The latch 142 may rotate about the shaft 145a of the fixing spring 145, but is configured to elastically restore to the same position whenever the pressure is released. The latch 142 is engaged by the latch coupling part 126 attached to the fixing frame 120. The structure of the latch coupling part 126 will be described below.

상기 래치결합부(126)는 크게 래치해제로드(122a)를 구비한 래치해제버튼(122)과 과 상기 래치해제버튼(122)에 탄성력을 부여하는 코일 스프링(122b)에 의해 연결되어 있으며 상기 래치해제로드(122a)가 통과되는 래치결합홀(126a)을 구비하고 있다.The latch coupling portion 126 is largely connected by a latch release button 122 having a latch release rod 122a and a coil spring 122b that provides an elastic force to the latch release button 122. A latch engagement hole 126a through which the release rod 122a passes.

상기 래치결합부(126)의 저면은 래치(122)가 진입하기 용이하도록 래치의 경사부(142a)와 동일한 방향으로 경사져 있으며, 진입된 후 래치턱(142b)이 래치결합홀(126a)로 삽입되어 맞물리도록 구성되어 있다.The bottom surface of the latch coupling portion 126 is inclined in the same direction as the inclined portion 142a of the latch so that the latch 122 can easily enter, and the latch jaw 142b is inserted into the latch coupling hole 126a after entering. It is configured to interlock.

상기 래치(142)가 래치결합홀(126a)에 맞물리는 동작과 이를 해제하는 동작을 이하 상세하게 설명한다.An operation in which the latch 142 is engaged with the latch coupling hole 126a and an operation of releasing it will be described in detail below.

본 발명에 의한 오토로더(100)의 셔터에서 양손잡이(152)를 중앙쪽으로 당기면 손잡이부와 연결된 래치부(140)가 이동한다. 상기 래치부(140)가 이동하면서 고정 프레임(120)과의 사이에 개재되어 있던 탄성부재(134)가 압축되고 래치부(140)의 중앙에 형성된 래치(142)가 고정 프레임(120)의 중앙에 형성된 래치결합홀(126a)로 진입한다. 상기 설명한 바와 같이 래치(142)와 래치결합부(126)에는 서로 용이하게 맞물리도록 경사부가 형성되어 있어 진입이 가능하나 'ㄷ'자형으로 형성된 래치가 진입한 후 래치턱(142b)이 래치결합홀(126a)에 삽입되어 걸리므로써 래치(142)는 래치결합부(126)에 체결된다. 이와 같이 작업자는 양손잡이(152)를 중앙으로 잡아당기는 것으로 손쉽게 셔터를 닫을 수 있다.Pulling both handles 152 toward the center in the shutter of the autoloader 100 according to the present invention moves the latch portion 140 connected to the handle portion. As the latch unit 140 moves, the elastic member 134 interposed with the fixing frame 120 is compressed, and the latch 142 formed at the center of the latch unit 140 is the center of the fixing frame 120. Enter the latch coupling hole (126a) formed in the. As described above, the latch 142 and the latch coupling portion 126 are inclined to be easily engaged with each other, so that the entry is possible, but after the latch formed in the 'c' shape enters the latch jaw 142b is the latch coupling hole. The latch 142 is fastened to the latch coupling portion 126 by being inserted into and caught by the 126a. In this way, the operator can easily close the shutter by pulling both hands 152 to the center.

상기와 같이 닫힌 셔터(150)를 오픈시키기 위해서는 단지 고정 프레임(120)의 래치결합부(126)에 설치되어 있는 래치해제버튼(122)을 누르기만 하면 된다. 래치해제버튼(122)을 누르게 되면 래치해제로드(122a)가 래치결합홀(126a)에 진입되어 있던 래치(142)를 뒤로 밀어내어 래치결합홀(126a)에서 분리시키게 되고 래치(142)에 의해 보존되었던 탄성력이 복원되어 손잡이(152)와 래치부(140)가 뒤로 밀리면서 셔터가 열리게 된다. 상기 래치해제버튼(122)에는 코일 스프링(122b)이 설치되어 있어 버튼을 누른 뒤에는 다시 원상복귀된다.In order to open the closed shutter 150 as described above, it is only necessary to press the latch release button 122 provided on the latch engagement portion 126 of the fixed frame 120. When the latch release button 122 is pressed, the latch release rod 122a pushes the latch 142, which has entered the latch engagement hole 126a, to be separated from the latch engagement hole 126a, and is released by the latch 142. The elastic force, which has been preserved, is restored and the shutter is opened while the handle 152 and the latch unit 140 are pushed back. The latch release button 122 is provided with a coil spring 122b, and after pressing the button, it is returned to its original state.

본 발명에 의한 오토로더 셔터는 강한 탄성에 의한 코일 스프링을 채용하였으므로 원상복귀될때 충격을 받게 된다. 이를 방지하기 위하여 바람직하게는 충격방지용 우레탄을 사용하거나 혹은 쇽 업쇼버(shock absorber)를 채용함이 적합하다.Since the autoloader shutter according to the present invention employs a coil spring with strong elasticity, the autoloader shutter receives an impact when it is returned to its original state. In order to prevent this, it is preferable to use a shock absorbing urethane or to employ a shock absorber.

상기와 같은 구성의 오토로더의 셔터를 채용하여 작업자는 가슴에 다량의 테스트용 트레이를 들고 있다고 하더라도 단지 래치해제버튼을 누름에 의해 셔터를 오픈시킬 수 있으므로 작업시간이 단축되고 생산성을 향상시킬 수 있다.By employing the shutter of the autoloader of the above configuration, even if the operator holds a large amount of test trays on the chest, the operator can open the shutter by simply pressing the latch release button, thereby reducing work time and improving productivity.

본 발명은 작업자가 핸들러의 오토로더에 테스트용 트레이를 로딩할 때 트래이를 손에 든 상태에서도 손쉽게 셔터를 열고 트레이를 적재할 수 있으므로 작업시간이 단축되고 생산성이 향상된다.When the operator loads the test tray into the handler's autoloader, the present invention can easily open the shutter and stack the tray even when the tray is in the hand, thereby reducing work time and improving productivity.

Claims (4)

핸들러의 몸체에 고정된 고정 프레임과, 상기 고정 프레임을 관통해 수평 이동하는 연결봉을 구비한 손잡이부와, 상기 손잡이부와 연결봉으로 체결되어 손잡이부의 이동시 같이 이동하는 래치부와, 상기 고정프레임과 래치부 사이에 설치되어 고정프레임에 대해 래치부를 탄성적으로 지지하는 탄성부재와, 상기 고정프레임의 소정개소에 설치되어 상기 래치부와 체결되도록 하는 래치결합부를 포함하며, 상기 양측의 손잡이부를 중앙쪽으로 당김에 따라 연결봉과 래치부가 이동하면서 탄성부재가 압축되고 고정 프레임의 래치결합부와 래치부가 체결되며, 상기 래치결합부는 누름버튼에 의해 래치를 뒤로 밀어내어 탄성부재의 압축력을 해제하여 셔터가 열리는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터A handle portion having a fixed frame fixed to the body of the handler, a connecting rod moving horizontally through the fixed frame, a latch portion coupled to the handle portion and a connecting rod to move together when the handle portion is moved, and the fixed frame and the latch An elastic member installed between the parts to elastically support the latch unit with respect to the fixed frame, and a latch coupling part installed at a predetermined position of the fixed frame to be engaged with the latch unit, and pulling the handles on both sides toward the center. The elastic member is compressed while the connecting rod and the latch portion move, and the latch coupling portion and the latch portion of the fixing frame are fastened, and the latch coupling portion pushes the latch back by the push button to release the compressive force of the elastic member to open the shutter. Autoloader shutter in semiconductor device handler 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 탄성부재는 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터.And the elastic member is a coil spring. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 래치결합부는 내부에 래치결합홀이 형성되고 상기 래치결합홀에 삽입되는 코일 스프링을 구비한 래치결합부케이스와, 래치해제로드를 구비한 래치해제버튼을 포함하며 상기 래치해제로드가 상기 코일 스프링내부에서 동작되는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터.The latch coupling portion includes a latch coupling portion case having a latch coupling hole formed therein and having a coil spring inserted into the latch coupling hole, and a latch release button having a latch release rod, wherein the latch release rod includes the coil spring. An autoloader shutter of a semiconductor device handler, which is operated internally. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,The method according to claim 1 or 3, 상기 래치와 래치결합부케이스의 접촉부는 서로 동일한 방향의 경사부가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터.The contact portion of the latch and the latch coupling part case, the autoloader shutter of the semiconductor device handler, characterized in that formed inclined in the same direction.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102643286B1 (en) * 2022-04-21 2024-03-05 세메스 주식회사 Supporting structure, apparatus for supporting substrate and facility for processing substrate

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980065209A (en) * 1997-01-06 1998-10-15 김광호 Tray feeder
JPH11135594A (en) * 1997-10-30 1999-05-21 Kokusai Electric Co Ltd Cassette carrying method and equipment
KR19990081673A (en) * 1998-04-30 1999-11-15 정문술 Test Tray Feeder in Cooling Chamber of Horizontal Handler
KR20000031527A (en) * 1998-11-06 2000-06-05 정문술 Multi-stacker for handler

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980065209A (en) * 1997-01-06 1998-10-15 김광호 Tray feeder
JPH11135594A (en) * 1997-10-30 1999-05-21 Kokusai Electric Co Ltd Cassette carrying method and equipment
KR19990081673A (en) * 1998-04-30 1999-11-15 정문술 Test Tray Feeder in Cooling Chamber of Horizontal Handler
KR20000031527A (en) * 1998-11-06 2000-06-05 정문술 Multi-stacker for handler

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