KR100420882B1 - 힘/압력센서 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 그의 공진 주파수가 검출하려는 작용력에 의해 변할 수 있는 공진 구조물을 지닌 힘센서, 특히 가속도센서 또는 압력센서에 관한 것이다.
전압(U)을 인가함으로써 힘 센서(10) 기계적 불안정한 지점과 작용점(PSA)의 거리가 조절될 수 있게 된다.

Description

힘/압력 센서
상기한 종류의 힘센서는 공지되어 있다. 이들은 주파수와 유사한 공진 기계적 센서로 구성되어 있고, 이 센서에는 검출하려는 작용력, 예컨대 가속도 또는 압력에 의해 변동될 수 있는 진동 주파수를 갖는 공진 구조물이 배치되어 있다. 외부 힘 작용으로 인해 공진 구조물이 휘어지기 때문에 그 진동 주파수가 변한다. 여기서 공진하는 구조물은 스프링-질량-시스템으로 구성되어 있고, 힘센서의 감도 증가는 진동질량의 증가, 스프링 강성의 감소 또는 두 조치의 조합에 의해 달성될 수 있다.
그러나 그럼으로써 구조물이 공진하는 기본 주파수가 감소하기 때문에 센서 다이내믹의 부정적 영향이 나타난다는 단점이 있다. 다른 한편으로는 진동 질량의 증가는 센서 치수의 증가를 수반한다.
종전의 독일특허출원 DE-P 44 26 163호에는, 공진하는 구조물이 기계적 예비 응력하에 놓이기 때문에 힘센서가 그 기계적 불안정한 지점 부근에서 작동되는, 가속도 센서가 공지되어 있다. 이에 의해 센서의 작용점이 기계적 불안정한 지점에보다 가까이 위치함으로써, 힘센서의 센서 감도가 상승된다. 여기서 작용점과 기계적 불안정한 지점과의 거리는 가해진 기계적 예비응력의 크기에 의해 결정된다. 그러나 여기에서는, 작용점과 기계적 불안정한 지점의 거리가, 예컨대, 센서 레이아웃에 있어 구조적 공차로 인해, 기계적 예비응력으로부터 생기는 제어하기 어려운 층응력 및 온도 의존성으로 인해, 정확히 세팅되기 어렵다는 단점이 있다. 센서감도를 증가시키기 위해 힘센서가 그의 기계적 불안정한 지점 부근에서 작동되어야 할 경우에는 작용점이 최소로 이동되어도 큰 신호변동, 따라서 신호 에러가 발생하게 된다.
본 발명은 청구항 1의 전제부에 기재된 특징을 가진 힘/압력 센서에 관한 것이다.
도 1은 압력센서(막 + 전압 픽업)의 개략 평면도,
도 2는 휘어진 상태(a) 및 휘어지지 않은 상태(b)에서 압력센서의 개략 단면도.
도 3a 내지 3c는 Y 방향으로 진동하는 공진기의 고유주파수-힘 관계를 도시한 도면.
도 4는 기계적, 정전기적 및 전기 기계적 응답 사이의 관계를 도시한 도면.
도 5는 제어전압(U)의 상승시 전기 기계적 공진기의 작용점 이동을 도시한 도면.
청구항 1에 기재된 특징을 가진 본 발명에 따른 힘센서는 기계적 불안정한 지점과 작용점의 선택 가능한 거리가 정확히 세팅될 수 있다는 이점을 갖는다. 기계적 불안정성 지점과 작용점의 거리가 조절가능하기 때문에, 거리를 정확히 세팅할 수 있는 것 이외에 힘센서의 제조 또는 작동중 생기는 편차, 예컨대 층응력, 온도 의존성, 제조 공차에 의한 편차가 보상되므로 힘센서의 작동기간에 걸친 작용점의 대단히 정확하고 균일한 조절 및 재조절, 특히 힘센서의 기계적 불안정성 지점에 대한 가능한 짧은 거리의 대단히 정확한 조절이 가능하다.
또한, 작용점과 기계적 불안정성 지점 간의 거리 조절가능성에 의해 동일한 힘센서에 상이한 측정범위들이 세팅될 수 있는 것이 바람직하다. 작용점의 조절에 의해, 작용점과, 힘센서의 구조에 의해 주어지는 그의 기계적 불안정한 지점간의 거리가 변동될 수 있다. 작용점과 기계적 불안정한 지점과의 거리에 따라, 검출하려는 외부 작용력에 대한 다른 반응을 하는 상이한 센서감도가 얻어진다. 또한, 힘 센서의 작용점이 의도한 바의 사용동안 일정한 한계내에서 변동될 수 있는 것이 바람직하다. 따라서, 대단히 유리하게도 예컨대 한 측정범위로부터 다른 측정범위로의 힘센서의 스위칭이 행해질 수 있고 그럼으로써 상이한, 선택적 신호 검출 및 신호 처리가 가능해진다.
본 발명의 유리한 실시예에서 공진 구조물은 기계적 예비응력하에 놓이고 추가의 외부 힘을 받고 이 때 추가적인 외부 힘은 바람직하게는 정전력이다. 이에 의해 간단한 방법으로, 공진하는 구조물과 떨어져 위치하는 전극에 의해 전압을 가함으로써, 진동하는 구조물의 기계적 응력에 추가하여 정전 바이어스가 가해지고, 그리하여 고유 주파수는 힘센서의 기하학적 구조의 변경 없이 강하될 수 있고 그에 따라 센서 감도는 향상될 수 있다.
본 발명의 다른 유리한 실시예는 종속항들에 기재된 특징에 의해 얻어질 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 관련 도면을 참고로 상세히 설명하겠다.
도 1 및 도 2에는, 예컨대 DE 43 33 099 A1호에 공지된 바와 같은 압력 센서(10)가 대략적으로 도시되어 있다. 압력 센서(10)는 각각 두 베어링(14) 사이에 뻗은 굽힘 비임(16)을 갖고 있는 총 네 개의 구조물(12)을 갖고 있다. 여기서 구조물(12)은 막(18)(휘어진 것으로 도시됨) 및 (20)(휘어지지 않은 것으로 도시됨) 위에 배치되어 있고, 이 막들은 검출하려고 하는 외부작용 압력에 의해 휘어진다. 이 외부 작용력은 압력에 의해서 뿐만 아니라 가속도 또는 기타의 측정하고자 하는 물리적 양에 의해서도 주어질 수 있다.
굽힘 비임(16)은 여기에 도시되지 않은 장치에 의해 공진진동 상태로 된다. 따라서, 굽힘 비임(16)은 초기상태에서 일정 고유 주파수(f0)로 진동한다. 외부 힘 작용력에 의해 막은 외부 작용력에 비례하게 휘어지며, 구조물(12)의 굽힘 비임(16)은 막 위에서의 그 배치에 따라 압축 또는 인장 응력을 받는다. 도 2에 도시된 외부 굽힘 비임(16)은 압축 응력을 받는 한편, 내부 굽힘 비임(16)은 인장 응력을 받는다. 이 응력에 의해 굽힘 비임(16)의 진동 주파수가 변하고 이 진동 주파수는 여기에 도시되지 않은 적당한 픽업에 의해 공지의 방법으로 검출될 수 있다. 진동 주파수의 변동에 의해 작용력/압력의 크기가 추론될 수 있기 때문에, 압력센서(10)에 의해 전체적으로 외부 작용력/압력에 비례하는 신호가 공급될 수 있다.
도 3a 내지 3c에는 힘센서(10)의 구조물(12)이 대략적으로 도시되어있다. 도 1에서와 같은 부재는 같은 도면 부호로 표시되어 있고 다시 설명되지 않을 것이다.
도 3a는 주파수(f0)로 진동하는 굽힘 비임(16)을 도시한다. 도 3b는 종전의 독일특허출원 DE 44 26 163호에 기재되어 있는 것과 같은 기계적 예비응력 하의 굽힘 비임(16)을 도시하는데 여기에서 굽힘 비임(16)은 주파수(f1)로 진동한다. 주파수(f1)는 고유 주파수(f0) 보다 작고, 따라서 구조물(12)의, 나중에 설명될 작용점이 기계적 불안정한 지점 부근에서 작동한다.
도 3c에 의하면 굽힘 비임(16)의 하부에는 전극(22)이 배치되어있고 이 전극에는 일정한 전압 전위(U)가 인가된다. 상기 전압 전위(U)로 인해 공지된 정전력(F)이 생기고 이 힘이 굽힘 비임(16)에 정전 바이어스를 일으킨다. 비임은 이제 고유 주파수(f0) 보다 작은 진동 주파수(f2)로 진동한다. 굽힘 비임(16)을 진동하도록 여기시키는 것은 여기에 도시되지 않은 수단, 예컨대, 정전 캠 구동장치에 의해 행해진다. 이 수단에 의해 굽힘 비임은 주파수(f)를 가진 공진 진동 상태로 된다. 도 3a 내지 3c의 변형예에 따라 공진 주파수(f)는 고유주파수(f0) 또는 기계적 예비응력 또는 정전 바이어스에 의해 세팅되는 주파수 (f1) 또는 (f2)을 취한다.
도 4에는 기계적 스프링 상수 및 정전 바이어스의 스프링 상수에 대해 주어지는 여러 특성곡선이 도시되어 있다. 특성곡선의 윗줄에는 기계적 스프링의 포텐셜 곡선이 도시되어 있다. 중간 줄에는 정전 포텐셜의 곡선이 도시되며 아래 줄에는 기계적 스프링과 정전 포텐셜의 중첩(겹침)에 대한 포텐셜 곡선이 도시되어있다. 좌측 열은 포텐셜 에너지 V(x)를 나타내고, 중간 열은 전체 포텐셜의 일차도함수 V(x), 즉 유효 힘 F=-V를 나타내고, 우측 열은 포텐셜의 이차 도함수 V(x), 즉 구조물(12)의 굽힘 비임(16)의 유효 스프링 상수를 나타낸다.
이하, 특성곡선의 가장 아래줄, 즉 기계적 및 정전 바이어스를 중첩시킨 경우를 설명한다. 맨 아래 줄의 좌측 특성곡선에는 굽힘 비임(16)의 선형 힘-거리-의 존성의 스프링 포텐셜과 중첩된 1/(x-x0) 정전력 포텐셜로 구성된 전체 포텐셜 V(x)이 표시되어있다. 여기서 x0는 굽힘 비임(16)의 정지상태에서 전극(22)과 굽힘 비임(16)의 거리를 표시한다.
전체 포텐셜 곡선 V(x)에서는 구조물(12)의 센서 작용점(PSA)이 전체 포텐셜 곡선의 최소점으로 표시되어 있다(조화 진동자의 작용점은 항상 포텐셜 최소점이다).
유효 전체 힘(F)과 유효 스프링 상수에 대한 특성곡선에서는 값(xu)이 표시 되어 있는데, 이 값은, 일차 도함수, 즉 유효 전체 힘(F)이 최대이고 이차 도함수, 즉 유효 스프링 상수가 영점을 갖는, 전체 포텐셜 함수의 역전점을 표시한다. 따라서, 작용점 주위에서 굽힘 비임(16)의 진동의 진폭(Xmax)에 대해 Xmax가 값(Xu) 보다훨씬 작아야 한다는 것이 성립해야 한다. 여기서 포텐셜 함수의 역전점은 실질적으로 구조물(12)의 구조, 특히 굽힘 비임 및 정전기 인력의 기초가 되는 전극(22)의 구조에 의해 그리고 제어전압(U)에 의해 결정된다. 우측의 도시에 따라 전체 포텐셜 함수의 이차 도함수로부터 생기는 유효 스프링 상수는 x값 증가에 따라 x=x4에서 값 영에 달하기까지 점차 작아진다. 전체 포텐셜 함수의 일차 도함수로부터 얻어지는 유효 전체 힘은 여기서 최대가 되고 x값이 커짐에 따라 감소한다.
값(xu)을 초과한 후 정전기 인력에 기초하는 힘은 굽힘 비임(16)의 복원력 보다 크다. 그래서 굽힘 비임(16)에서의 힘들의 합은 xu에서 영이 된다. 즉 비임은 그의 기계적 불안정한 지점에 도달했다.
센서 작용점(PSA)을 기계적 불안정한 지점의 방향으로 이동시키면, 즉 거리를 변동시키면, 여기서는 거리를 줄이면, 센서 감도가 높아지는데, 그 이유는 굽힘 비임(16)의 진동주파수가 변하면 - 검출하려는 외부 힘의 작용에 의해 - 신호변화가 비교적 커지기 때문이다.
도 5에 표시된 특성곡선에 따라 센서 작용점(PSA)을 기계적 불안정한 지점의 방향으로 이동시킬 수 있는 가능성이 도시되어 있다. 전극(22)에 가해진 전압(U)의 전체 포텐셜 V(x) 곡선에 따르면, 전압의 상승에 따라 포텐셜 V(x)의 최소점에 있는 센서 작용점(PSA)이 x값이 커지는 쪽으로 이동한다. 상기와 같이 x값이 커짐에 따라 기계적 예응력 및 정전 바이어스로 구성된 유효 스프링 상수, 따라서구조물(12)의 공진 주파수(f)가 계속 작아진다. 즉, 센서의 검출감도는 커진다.
도 5에는 전압(U1)에 대한 제 1 특성곡선 및 전압(U1)의 3배 값에 해당하는 전압(U2)에 대한 제 2 특성곡선이 표시되어 있다. 전압(U)이 증가함에 따라 센서 작용점(PSA)이 이동된다. 전압(U) 상승과 더불어 정전력, 따라서 굽힘 비임(16)의 정전 바이어스가 상승하기 때문에, 전압(U)의 조절을 통하여 센서 작용점(PSA)의 조절, 또는 특히 구조물(12)의 기계적 불안정한 지점과 센서 작용점(PSA)의 거리의 조절이 가능해진다.
로부터 얻어지는 일정한 전압에 도달하면, 전체 포텐셜의 최소값은 더 이상 존재하지 않고 따라서 시스템은 순간적으로 불안정해진다. 여기서 K는 구조물(12)의 기계적 스프링-질량 시스템의 스프링 상수를 나타내고 A는 전극(22)과 굽힘 비임(16)으로 구성된 콘덴서의 유효 면적을 표시한다.

Claims (6)

  1. 진동 주파수가 검출하려는 힘 작용으로 인해 변할 수 있는 공진 하는 구조물을 가진 힘/압력 센서에 있어서,
    전압(U)을 인가함으로써 힘센서(10)의 기계적 불안정한 지점과 작용점(PSA)간의 거리가 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는 힘/압력센서.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 공진하는 구조물(12)은 예비응력하에 놓여 있고 추가의 외부 힘이 상기 구조물에 가해지는 것을 특징으로 하는 힘/압력센서.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 기계적 예비응력이 정전력(F)에 의해 야기되는 것을 특징으로 하는 힘/압력센서.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 정전력(F)이 구조물(12)의 진동자와 그 진동자와 이격 배치된 전극(22) 사이의 전위차를 통해 가해지는 것을 특징으로 하는 힘/압력센서.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 구조물(12)의 진동자가 두 베어링(14)사이에 뻗은 굽힘 비임(16)인 것을 특징으로 하는 힘/압력센서.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 기계적 불안정한 지점과 작용점(PSA)의 거리가 전극(22)에 인가되는 전압(U)의 크기에 의해 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는 힘/압력센서.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19643342A1 (de) * 1996-10-21 1998-04-30 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer physikalischen Größe
DE19732302B4 (de) * 1997-07-26 2006-12-28 Volkswagen Ag Zierleiste und Stoßfänger mit Kollisions-Sensor-Anordnung für Kraftfahrzeuge
DE102009058320B4 (de) * 2009-12-15 2017-04-06 Airbus Defence and Space GmbH Drucksensor und Druckmessverfahren
KR101676307B1 (ko) * 2010-10-29 2016-11-15 엘지전자 주식회사 보행 보조 시스템 제어 장치
CN111024281B (zh) * 2018-10-09 2021-12-07 ***通信集团设计院有限公司 一种压力传感装置、制备方法和压力传感***

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1094229A (en) * 1976-11-08 1981-01-20 Henry Guckel Electrostatically deformable thin silicon membranes
US5166892A (en) * 1990-04-30 1992-11-24 Yamato Scale Company, Limited Device for compensating for time-dependent error due to creep and like of measuring apparatus
US5417120A (en) * 1993-06-07 1995-05-23 Allied-Signal Inc. Vibrating beam force transducer with automatic drive control
US5339698A (en) * 1993-06-07 1994-08-23 Alliedsignal Inc. Vibrating beam force transducer with automatic adjustment of its electromagnetic drive
DE4333099A1 (de) * 1993-09-29 1995-03-30 Bosch Gmbh Robert Kraftsensor und Verfahren zur Herstellung eines Kraftsensors
DE4426163A1 (de) * 1994-07-22 1996-01-25 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungssensor unter Ausnutzung mechanischer Instabilitäten

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