KR100351562B1 - 역다중화기 - Google Patents

Abstract

파장 분할 다중화 통신시스템에 사용되는 역다중화기에 관하여 개시한다. 본 발명은, 그 각각이 다파장의 광신호를 입력받아 원하는 파장을 갖는 광신호만을 투과시키고 나머지 파장을 가지는 광신호를 반사시키되, 그 각각이 다른 중심 파장 또는 차단 파장을 가지는 복수 개의 필터들과; 기판과, 필터들을 광학적으로 연결하도록 기판 상에 형성된 평면 곡선형 광도파로로 이루어진 평면 광도파로 소자를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 곡선형의 평면 광도파로를 이용함으로써 역다중화기를 구성하는 평면 광도파로의 연결부분이나 중간부분에 금속거울과 같은 부가적인 광소자를 삽입 또는 부착함에 따른 부가적인 공정없이 보다 적은 비용으로 제조할 수 있고, 단일모드뿐 아니라 다중모드 광섬유를 이용하는 모든 통신시스템에 적용되어질 수 있으며, 하나의 기판 상에 마련된 평면 광도파로에 여러 가지 소자를 집적할 수 있으므로 평면 광도파로 소자의 특성을 확보할 수 있다.

Description

역다중화기 {Demultiplexer}

본 발명은 역다중화기에 관한 것으로 특히, 곡선형 광도파로를 사용하는 역다중화기에 관한 것이다.

최근 인터넷(Internet)을 통하여 전송되는 데이터가 증가됨에 따라, 전기신호를 전송하는 기존의 통신시스템이 광신호를 이용하여 대용량의 데이터를 주고받는 광통신시스템으로 전환되고 있다. 특히, 여러 채널의 신호를 각기 다른 파장으로 변조하여 한 가닥의 광섬유를 통해 동시에 전송하는 파장 분할 다중화(Wavelength Division Multiplexing) 방식을 이용한 광통신시스템이 상용화되고 있다.

파장 분할 다중화 방식을 이용한 광통신 시스템에는, 각 채널에서 나오는 전기신호를 각각의 파장을 가지는 광신호로 바꾸고 그 광신호를 모아주는 다중화기와 전송된 광신호를 파장별로 분류하고 포토 다이오드에 전달하여 각각의 파장을 가지는 광신호를 각 채널의 전기신호로 전환시키는 역다중화기가 사용된다.

종래, 단일모드 광섬유를 기반으로 하는 파장 분할 다중화 통신시스템의 역다중화기에는 배열 광도파로 격자(Arrayed Waveguide Grating)를 이용하였다. 하지만, 배열 광도파로 격자는 구조가 매우 복잡하여 제작하기 어렵고 제조 단가가 높아서 역다중화 비용이 매우 높은 단점이 있다. 뿐만 아니라, 간섭효과(Interference Effect)를 이용하여 다중화기로부터 전송된 광신호를 파장별로 분리하므로 다중모드 광섬유를 기반으로 하는 파장 분할 다중화 통신시스템에서는 사용할 수 없는 문제점을 가지고 있다.

한편, 단일모드 및 다중모드의 파장 분할 다중화 통신시스템에서 적용할 수 있는 역다중화기가 미국특허 제 5894535호에 다음과 개시되었다.

도 1은 미국특허 제 5894535호에 개시된 역다중화기를 설명하기 위한 개략도이다. 도 1에서 화살표는 광신호의 흐름 방향을 나타낸 것이다.

도 1을 참조하면, 역다중화기는 평면 제1 광도파로(10) 및 평면 제2 광도파로(20)와, 평면 제1 광도파로(10)와 평면 제2 광도파로(20) 사이에 설치된 금속거울(30)과, 평면 제2 광도파로(20)의 각각의 출력단에 부착된 각각의 중심 파장 만을 투과시키는 필터(41, 42, 43, 44)로 구성된다.

외부로부터 광섬유(50)를 통하여 역다중화기로 입력된 λ₁, λ₂, λ₃, 및 λ₄의 파장을 가지는 광신호는 제1 광도파로(10)에 의하여 일정한 각도로 제2 광도파로(20)로 입력하게 된다. 제2 광도파로(20)로 입력된 λ₁, λ₂, λ₃, 및 λ₄의 파장을 가지는 광신호는, 첫 번째 출력단에 부착된 중심 파장이 λ₁인 제1 필터(41)에 의해서 λ₁의 파장을 가지는 광신호 만이 제1 필터(41)를 투과하여 출력되고, 나머지 광신호는 제 2광도파로(20)에 입력될 때의 입사각과 동일한 각도로 반사되어 금속거울(30)을 향하여 진행하게 된다. 금속거울(30)에 의하여 반사된 λ₂, λ₃, 및 λ₄의 파장을 가지는 광신호는 지그재그 형태의 제2 광도파로(20)를 따라 중심파장이 λ₂인 제2 필터(42)로 진행되게 되고, 제2 필터(42)에서 λ₂의 광신호가 출력되게 된다. 이와 같은 진행 경로로 역다중화기로 입력된 광신호는 각각의 파장으로 분리되어 출력되게 된다. 이와 같은 역다중화기는 평면 광도파로(21, 22)를 도파하는 광신호 모드의 수에 관계없이 원하는 파장만을 투과시키고 나머지 파장은 반사시키는 필터(41, 42, 43, 44)를 사용하므로써, 단일모드뿐 아니라 다중모드 광섬유를 이용하는 모든 통신시스템에 적용되어질 수 있다.

한편, 미국특허 제 5894535호에 개시된 역다중화기는 도 1과 같이 평면 제2 광도파로(20)에서 광신호의 진행 방향을 지그재그 형태로 만들기 위해서는 평면 제1 광도파로(10)와 평면 제2 광도파로(20) 사이에 금속거울(30)이 반드시 부착되어야 한다. 이러한 금속거울(30)을 부착하기 위해서는 다음과 같은 여러 가지의 복잡한 공정이 요구되는 문제점이 있다.

제1 및 제2 광도파로(10, 20) 사이에 금속거울(30)을 부착하는 방법은 다음과 같다. 먼저, 제1 광도파로(10) 및 제2 광도파로(20) 사이에 금속거울(30)을 삽입할 수 있는 홈을 낸다. 이어서, 그 홈에 금속거울(30)을 정확하게 삽입한 다음, 제1 광도파로(10) 및 제2 광도파로(20)에 형성된 홈에 의한 산란 손실을 감소시킬 수 있는 특수한 애폭시를 사용하여 금속거울(30)을 고정시켜야 한다.

제1 및 제2 광도파로(10, 20) 사이에 금속거울(30)을 부착하는 다른 방법은, 제1 광도파로(10) 및 제2 광도파로(20)를 각각의 기판에 형성하고, 제1 광도파로(10)와 제2 광도파로(20) 사이에 정확하게 금속거울(30)을 삽입한 다음, 정확하게 제1 광도파로(10)가 형성된 기판과 제2 광도파로(20)가 형성된 기판을 부착하는 것이다. 이 때, 제1 광도파로(10)와 제2 광도파로(20)가 맞닿는 면에 의한 산란 손실을 방지하기 위하여 그 면을 폴리싱해야 한다.

이와 같이, 광도파로 사이에 금속거울을 부착하는 것은 공정이 까다롭기 때문에 역다중화기의 제조 비용을 증가시키게 된다. 뿐만 아니라, 광도파로 사이에홈을 내거나 각각의 광도파로를 각각의 기판으로 분리하여 제조하는 것은 동일한 기판 상에 여러 가지의 평면 광도파로를 집적하여 사용하는 평면 광도파로 소자의 장점을 오히려 잃게 되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 역다중화기를 구성하는 평면 광도파로의 연결부분이나 중간부분에 금속거울과 같은 부가적인 광소자의 삽입 또는 부착함에 따른 부가적인 공정없이 보다 적은 비용으로 제조할 수 있으며, 동일한 기판 상에 여러 가지의 평면 광도파로를 집적하여 사용하는 평면 광도파로 소자의 장점을 얻을 수 있고, 단일모드뿐 아니라 다중모드 광섬유를 이용하는 모든 통신시스템에 적용되어질 수 있는 역다중화기를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래 역다중화기를 설명하기 위한 개략도;

도 2는 본 발명에 따른 역다중화기를 설명하기 위한 개략도;

도 3a 및 3b는 도 2에 따른 역다중화기에서 곡선형 광도파로의 형태와 필터로 광신호가 입력될 때 입사각과의 관계를 설명하기 위한 개략도;

도 3c는 도 2에 따른 역다중화기에서 곡선형 광도파로의 형태와 광신호의 굽힘손실과의 관계를 설명하기 위한 그래프;

도 4a는 도 2에 따른 역다중화기에서 필터의 투과 특성을 설명하기 위한 그래프;

도 4b및 도 2에 따른 역다중화기에서 필터의 전기적 횡파 및 자기적 횡파에 따른 편광 특성을 설명하기 위한 그래프이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 역다중화기는, 그 각각이 다파장의 광신호를 입력받아 원하는 파장을 갖는 광신호만을 투과시키고 나머지 파장을 가지는 광신호를 반사시키되, 그 각각이 다른 중심 파장 또는 차단 파장을 가지는 복수 개의 필터들과; 기판과, 상기 필터들을 광학적으로 연결하도록 상기 기판 상에 형성된 평면 곡선형 광도파로로 이루어진 평면 광도파로 소자를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 각각의 상기 필터로 광신호가 입력될 때의 입사각이 모두 동일하도록상기 평면 곡선형 광도파로가 마련되어도 좋다.

나아가, 상기 필터는, 굴절률이 각각 다른 두 가지 이상의 유전체 매질을 층층이 쌓아서 만든 박막 거울과, 각각의 상기 박막 거울에 의해 형성된 공간층이 있는 공진기 구조의 박막 필터로 이루어져도 좋다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 역다중화기를 설명하기 위한 개략도이고, 도 3a 및 3b는 도 2에 따른 역다중화기에서 곡선형 광도파로의 형태와, 필터로 광신호가 입력될 때 입사각과의 관계를 설명하기 위한 개략도이고, 도 3c는 도 2에 따른 역다중화기에서 곡선형 광도파로의 형태와 광신호의 굽힘손실과의 관계를 설명하기 위한 그래프이다. 도 4a는 도 2에 따른 역다중화기에서 필터의 투과 특성을 설명하기 위한 그래프이고, 도 4b는 도 2에 따른 역다중화기에서 필터의 전기적 횡파 및 자기적 횡파의 편광 특성을 설명하기 위한 그래프이다. 각각의 도면에서 화살표는 광신호의 흐름 방향을 나타낸 것이다.

도 2를 참조하면, 제1, 제2, 제3, 및 제4 필터(310, 320, 330, 340)는 {원주/(χ)} 크기의 호를 이루는 제2, 제3, 및 제4 평면 곡선형 광도파로(Bending Optical Waveguide)(120, 130, 140)에 의하여 광학적으로 연결된다. 여기서, 필터(310, 320, 330, 340)로는 굴절률이 각각 다른 두 가지 이상의 유전체 매질을 (λ/4)의 두께로 층층이 쌓아서 높은 반사율을 가지는 박막 거울을 만들고 중심파장의 정수 배를 갖는 공간층이 형성되도록 박막 거울을 배열함으로써 제작되는 공진기 구조를 갖으며, 대역폭의 파장을 투과시키는 유전체 박막 필터가 사용된다. 본 실시예에서는 필터로서, 공진기 구조의 유전체 박막 필터를 예로 들어 설명하지만 유전체 박막 필터에만 국한되는 것은 아니고, 원하는 파장을 중심으로 일정한 대역폭의 파장을 투과시키는 대역 통과 필터(Band Pass Filter), 차단(Cut off) 파장을 기준으로 단파장만을 투과시키는 단파장 통과 필터(Low Pass Filter) 및, 차단 파장을 기준으로 장파장만을 투과시키는 장파장 통과 필터(High Pass Filter)가 이용된다. 따라서, 입력되는 광신호의 파장에 관계없이 거의 모든 파장을 반사하는 금속거울과 달리 본 발명에 사용되는 필터는 입력되는 빛의 파장에 따라 각기 다른 투과율을 갖는다.

제1 광도파로 내지 제4 광도파로(111, 112, 120, 130, 140)는 실리콘 기판 상에 실리카(SiO₂) 또는 폴리머(Polymer)로 이루어진 코아층(Core Layer)과 클래딩층(Cladding Layer)으로 이루어진다.

외부에 마련된 광섬유(50)로부터 λ₁, λ₂, λ₃, 및 λ₄의 파장을 갖는 광신호가 평면 직선형 광도파로(Straight Optical Waveguide)(111) 및 {원주/(2χ)}의 호를 이루는 평면 곡선형 광도파로(112)로 이루어진 제1 광도파로(111, 112)를 통하여 제1 필터(310)로 입력된다. 여기서, 제1 필터(310)는 λ₁의 파장을 가지는 광신호만을 투과시키고 나머지 파장을 가지는 광신호는 반사시키는 특성을 가지고 있다. 따라서, 제1 필터(310)로부터 반사된 λ₂, λ₃, 및 λ₄의 파장을 가지는 광신호는 제1 필터(310) 및 제1 필터(310)와 인접한 제2 필터(320)를 광학적으로 연결하는 제2 광도파로(120)를 통하여 제2 필터(320)로 입력된다. 제2 필터(320)로 입력된 광신호는 제1 필터(310)에서와 마찬가지로 λ₂의 파장을 가지는 광신호만이 투과되고, 나머지 파장을 가지는 광신호는 반사되어 곡선형 광도파로인 제3 광도파로(130)를 통하여 제3 필터(330)로 입력된다. 제1 필터(310) 및 제2 필터(320)와 같이 제3 필터(330)에서는 λ₃의 파장을 가지는 광신호가 투과되고, 제4 필터(340)에서는 λ₄의 파장을 가지는 광신호가 투과된다.

한편, 제1 광도파로(111, 112)의 곡선형 광도파로(112) 및 제2, 제3, 및 제4 광도파로(120, 130, 140)는, 제1 내지 제4 광도파로(112, 120, 130, 140)를 통하여 제1 내지 제4 필터(310, 320, 330, 340)로 광신호가 입력될 때의 입사각이 같도록 형성된다.

도 3a를 참조하면, 제1 광도파로(111, 112)의 곡선형 광도파로(112)는 R의 반지름과 θ의 중심각을 가진다. 여기서, 곡선형 광도파로(112)의 중심각 θ는 [360°X {원주/(2χ)}]로서 곡선형 광도파로(112)에 의하여 형성되는 호의 벌어진 정도를 곡선형 광도파로(112)가 포함되는 원주의 중심에서 측정한 것이다. 그리고, 반지름 R은 곡선형 광도파로(112)가 포함되는 원주의 반지름이다.

이 때 제1 필터(310)에 대하여 수직인 선분과, 제1 필터(310)와 제1 광도파로(111, 112)의 곡선형 광도파로(112)가 만나는 접점에서 곡선형 광도파로(112)의 접선이 이루는 각도가 90-θ이므로 광신호는 90-θ의 입사각(ψ)을 이루면서 제1 필터(310)로 입력된다. 한편, 평면 직선형 광도파로(111)와 평면 곡선형광도파로(112)의 연결부위에서 광신호가 손실되는 것을 방지하기 위하여 평면 직선형 광도파로(111)는 평면 곡선형 광도파로(112)의 접선의 형태로 이루어지는 것이 바람직하다.

도 3b를 참조하면, 제2 및 제3 광도파로(120, 130)는 R의 반지름과 2θ의 중심각을 가진다. 그리고 제2 필터(320)에 대하여 수직인 선분과, 제2 필터(320)와 제2 광도파로(120)가 만나는 접점에서 제2 광도파로(120)의 접선이 이루는 각도가 90-θ이다. 따라서, 제1 필터(310)로부터 90-θ의 각도로 반사된 광신호는 역시 90-θ의 각도로 제2 필터(320)로 입력된다. 제3 필터(330)로 입력되는 광신호 역시 90-θ의 입사각(ψ)을 갖는다. 그리고, 도면에 도시되지는 않았지만, 제4 필터(340)로 입력되는 광신호 역시 90-θ의 입사각(ψ)을 갖는다.

곡선형 광도파로가 형성하는 호의 폭 W, 및 곡선형 광도파로의 높이 H는 곡선형 광도파로의 반지름 R, 중심각 θ와 다음과 같은 관계를 갖는다.

W = 2Rsinθ

H = R(1-cosθ)

수학식 1 및 수학식 2에서와 같이, 필터로의 입사각(ψ, 90-θ)을 위한 중심각 θ를 변경하면 곡선형 광도파로가 형성하는 호의 길이 W와 곡선형 광도파로의 높이 H가 변하게 되므로 전체 소자의 크기를 변화시킬 수 있다.

한편, 제1 광도파로의 곡선형 광도파로(112) 및 제2, 제3, 및 제4광도파로(120, 130, 140)의 반경 R이 일정한 값 이하가 되게 되면, 광신호가 코아층 내에 제한되지 않고 클래딩층으로 빠져 나가는 현상, 즉 굽힘손실(Bending Loss)이 발생하게 된다. 심지어 반경 R이 너무 작을 경우에는 입력된 광신호의 대부분이 곡선형 광도파로(112, 120, 130, 140)를 따라서 진행하지 못하고 클래딩층으로 빠져나가게 된다.

평면 광도파로(111, 112, 120, 130, 140)에서 발생하는 굽힘손실은 역다중화기에서 발생되는 광신호 손실의 대부분을 차지하고, 특히 각각의 평면 곡선형 광도파로(112, 120, 130, 140)를 거치는 동안 발생하는 광신호의 손실은 필터를 통과하여 출력된 광신호의 균일성에 문제를 발생시킨다. 따라서 평면 곡선형 광도파로에서 굽힘손실을 제거하는 것은 역다중화기의 품질과 직접적인 연관이 있다.

도 3c는 중심각이 180°인 곡선형 광도파로를 이용하여 입력된 광신호의 진행방향을 180°반대 방향으로 바꾸었을 때, 0.1㏈의 굽힘손실이 발생하는 경우의 곡선형 광도파로의 반지름 R과, 코아층과 클래딩층의 굴절률의 차이 Δn의 관계를 나타낸 그래프이다. 여기서, 일반적으로 코아층과 클래딩층의 굴절률 차이 Δn은 광신호를 광도파로 내에 제한시키는 정도를 결정하는 요소이다.

도 3c에 나타난 바와 같이, 광신호의 굽힘손실이 작은 곡선형 광도파로를 얻기 위해서는 곡선형 광도파로의 반지름 R을 크게 하거나, 또는 코아층과 클래딩층의 굴절률 차이 Δn을 증가시켜야 한다.

도 4a 및 4b를 참조하여, 필터의 투과 특성 및 전기적 횡파(Transverse Electric: 이하 TE라 한다.)와 자기적 횡파(Transverse Electric: 이하 TM이라 한다.)에 따른 편광 특성을 설명한다. 도 4a에서 BW는 대역 통과 파장을 나타낸다.

도 4a를 참조하면, 빛이 수직으로 유전체 박막 필터에 입력하는 경우 즉 입사각이 0°인 경우에는, 중심 파장 λ_c근처의 광신호는 거의 투과되지만 나머지 파장의 광신호는 모두 반사되게 된다. 여기서, 유전체 박막 필터는 박막 거울을 구성하는 각각의 유전체 매질의 굴절률 차이와 각각의 유전체 매질의 층 수에 의하여 통과 대역폭의 형태 예컨대, 반치전폭(Full Width at Half Maximum, FWHM) 및 측엽의 크기 등이 결정된다. 그리고, 박막 거울에 의하여 형성되는 공간층의 두께를 조절함으로써 중심 파장(λ_c)를 변화시킬 수 있다.

도 4(b)를 참조하면, 광신호가 일정한 각도를 가지고 필터로 입력될 때, 광신호 중에서 TE 편광성분은 λ_c의 파장을 가지는 광신호만 필터를 통과하게 되지만, TE 편광성분은 λ_c'의 파장을 가지는 광신호만 필터를 통과하게 된다. 이와 같은 광신호가 필터에 입력될 때 입사각에 따른 필터의 동작 특성의 변화는 특히, 박막을 성장시켜 만든 필터에서 흔히 나타난다.

일반적으로 파장 분할 다중화 통신 시스템에서 역다중화기로 입력되는 광신호는 TE 성분과 TM 성분이 반반씩 섞여 있게 된다. 따라서 필터의 TE 및 TM 편광 특성을 고려하지 않는 경우에는, 필터로 일정한 각도를 가지고 입력된 광신호 중에서 원하는 파장을 갖는 광신호와 더불어 인근의 파장을 갖는 광신호가 함께 출력되는 누화현상(Cross Talk)이 발생하여 수신된 신호에 에러가 발생하거나, 또는 TE 편광 성분과 TM 편광 성분 중에서 하나의 편광 성분만이 필터를 투과함으로써 수신된 신호의 세기가 감소되게 된다.

따라서 본 발명의 역다중화기에는, 특정한 입사각도에 대하여 TE 및 TM 편광 특성이 나타나지 않는 필터가 사용되거나, 또는 필터로 입력될 때의 입사각을 최대한 줄여서 TE 및 TM 편광 특성이 거의 나타나지 않는 곡선형 광도파로가 사용된다.

본 발명의 역다중화기에서는 광신호가 필터로 입력될 때의 입사각을 작게 함으로써, 필터의 전기적 횡파 및 자기적 횡파의 편광현상을 억제함과 동시에 평면 광도파로 소자가 작아지도록 평면 곡선형 광도파로의 반지름 및 중심각을 조정하는 것이 바람직하다.

또한, 본 실시예에서는 제1 필터 내지 제4 필터에서의 광신호 입사각 및 각각의 곡선형 광도파로의 반지름 등을 동일하게 설정하였지만, 각각 필터에서 나타나는 편광 특성 및 광도파로에서의 굽힘손실 등을 억제하기 위하여 제1 필터 내지 제4 필터에서의 광신호 입사각 및 각각의 곡선형 광도파로의 반지름 등을 각각 다르게 설정하여도 좋다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 역다중화기에 의하면, 곡선형의 평면 광도파로를 이용함으로써, 역다중화기를 구성하는 평면 광도파로의 연결부분이나 중간부분에 금속거울과 같은 부가적인 광소자를 삽입 또는 부착함에 따른 부가적인 공정없이 보다 적은 비용으로 제조할 수 있고, 단일모드뿐 아니라 다중모드 광섬유를 이용하는 모든 통신시스템에 적용되어질 수 있다.

또한, 하나의 기판 상에 마련된 평면 광도파로에 여러 가지 소자를 집적할 수 있으므로 평면 광도파로 소자의 특성을 확보할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에만 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 명백하다.

Claims (7)

1. 그 각각이 다파장의 광신호를 입력받아 원하는 파장을 갖는 광신호만을 투과시키고 나머지 파장을 가지는 광신호를 반사시키되, 그 각각이 다른 중심 파장 또는 차단 파장을 가지는 복수 개의 필터들과;

   기판과, 상기 필터들을 광학적으로 연결하도록 상기 기판 상에 형성된 평면 곡선형 광도파로로 이루어진 평면 광도파로 소자를 구비하는 역다중화기.
2. 제 1항에 있어서, 상기 기판에는 평면 직선형 광도파로와 평면 곡선형 광도파로가 광학적으로 연결되어 더 마련되고, 외부로부터 전송된 광신호는 상기 직선형 광도파로 및 상기 곡선형 광도파로를 통하여 상기 필터에서 선택되어진 어느 하나의 필터에 입력되는 것을 특징으로 하는 역다중화기.
3. 제 1항에 있어서, 상기 필터는 상기 기판의 일측면에 설치되는 것을 특징으로 하는 역다중화기.
4. 제 1항 또는 제2 항에 있어서, 각각의 상기 필터로 광신호가 입력될 때의 입사각이 모두 동일하도록 상기 평면 곡선형 광도파로가 마련되는 것을 특징으로 하는 역다중화기.
5. 제 1항에 있어서, 상기 필터는, 굴절률이 각각 다른 두 가지 이상의 유전체 매질을 층층이 쌓아서 만든 박막 거울과, 각각의 상기 박막 거울에 의해 형성된 공간층이 있는 공진기 구조의 박막 필터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 역다중화기.
6. 제 1항 또는 제2 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘으로 이루어지며, 상기 광도파로는 SiO₂또는 폴리머로 이루어진 코아층 및 클래드층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 역다중화기.
7. 제 1항에 있어서, 상기 광신호가 필터로 입사될 때의 입사각을 작게하여 상기 필터의 전기적 횡파 및 자기적 횡파의 편광현상을 억제함과 동시에, 상기 평면 광도파로 소자를 작게 하도록 상기 평면 곡선형 광도파로의 반지름 및 중심각을 조정하는 것을 특징으로 하는 역다중화기.