KR100340443B1 - Radio Frequency Plasma Display Panel - Google Patents
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Abstract
본 발명은 고주파신호에 의해 유지방전을 일으키는 고주파 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서 누설전류를 줄임과 아울러 셀간의 크로스토크를 줄이도록 한 고주파 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high frequency plasma display panel which reduces leakage current and reduces cross talk between cells in a high frequency plasma display panel that generates sustain discharge by a high frequency signal.
본 발명에 따른 고주파 플라즈마 디스플레이 패널은 어드레스 방전을 일으키는 제1 및 제2 전극과, 제1 및 제2 전극 사이에서 섬모양으로 패터닝되는 유전층패턴을 구비한다.The high frequency plasma display panel according to the present invention includes first and second electrodes causing an address discharge, and a dielectric layer pattern patterned in islands between the first and second electrodes.
이러한 구성에 의하여, 데이터전극과 스캔전극 사이의 누설전류를 줄임과 아울러 기판과 격벽의 접합면 사이에 단차를 제거하여 셀간의 크로스토크를 줄일 수 있게 된다.This configuration reduces the leakage current between the data electrode and the scan electrode, and eliminates the step difference between the junction surface of the substrate and the partition wall, thereby reducing crosstalk between cells.
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 특히 고주파신호에 의해 유지방전을 일으키는 고주파 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서 누설전류를 줄임과 아울러 셀간의 크로스토크를 줄이도록 한 고주파 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a high frequency plasma display panel which reduces leakage current and reduces cross talk between cells in a high frequency plasma display panel that generates sustain discharge by a high frequency signal.
최근, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; 이하 LCD라 함), 전계방출 표시장치(Field Emission Display; 이하 FED라 함) 및 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; 이하 PDP라 함) 등의 평면 표시장치가 활발히 개발되고 있으며, 이들 중 PDP는 단순구조에 의한 제작의 용이성, 휘도 및 발광 효율의 우수, 메모리 기능 및 160°이상의 광시야각을 갖는 점과 아울러 40 인치이상의 대화면을 구현할수 있는 장점을 가지고 있다.Recently, flat display devices such as liquid crystal displays (hereinafter referred to as LCDs), field emission displays (hereinafter referred to as FEDs), and plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs) have been used. Among them, PDP has the advantages of being easy to manufacture due to its simple structure, excellent brightness and luminous efficiency, memory function and having a wide viewing angle of 160 ° or more and a large screen of 40 inches or more.
도 1을 참조하면, 종래의 교류형 PDP는 어드레스 전극(2)을 실장하는 하부기판(14)과, 하부기판(14)의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하를 형성하는 하부 유전체후막(18)과, 상부기판(16)의 상부에 투명하게 형성되어 방전을 유지 구동시키는 서스테인 전극쌍(4)과, 상기 상부기판(16) 및 서스테인 전극쌍(4)의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하를 형성하는 상부 유전체후막(12)을 구비한다. 종래의 PDP구조에 대해서 상세하게 살펴보기로 한다. 하부기판(14)과 상부기판(16) 사이에는 스트라이프(Stripe) 형상의 격벽(8)이 형성되어 각각의 방전셀을 분할하게 된다. 또한, 상부기판(16)에는 서스테인 전극쌍(4)이 나란하게 배치되어 있다. 이 경우, 서스테인 전극쌍(4)의 하부에는 버스전극(19)이 마련되어 있다. 상부 유전체후막(12)의 상부에는 플라즈마 방전에 의한 스퍼터링으로부터 상부 유전체후막(12)을 보호하기 위한 보호층(10)이 도포되어 있다. 한편, 하부기판(14)에는 서스테인 전극쌍(4)과 직교하도록 어드레스 전극(2)이 배치되어 있다. 하부 유전체후막(18)의 상부에는 격벽(8)이 소정의 높이로 형성되어 있다. 격벽(8) 및 하부 유전체후막(18)의 상부에 도포된 형광체(6)는 진공자외선(Vacuum UltraViolet; UVU)에 의해 여기되어 가시광선을 발생하게 된다. 한편, PDP는 다음과 같이 어드레스방전과 유지방전이 구분되는 ADS(Address and Display Seperated)에 의해 화상 또는 영상을 표시하게 된다. 어드레스 전극(6) 및 서스테인 전극쌍(4) 간에 소정의 구동전압(Va)이 인가되면, 해당 방전셀이 어드레싱되어 진다. 이어서, 서스테인 전극쌍(4) 간에 소정의 구동전압(Vs)이 인가되면 어드레싱된 방전셀의 서스테인 전극쌍(4)에서 방출된 전자에 의해 플라즈마 방전이 일어나게 된다. 이 과정에서 발생된 진공자외선이 적색(Red; 이하 R라 함), 녹색(Green; 이하 G라 함), 청색(Blue; 이하 B라 함)의 형광체를 여기 발광시키게 되며 상기 형광체에서 발광된 빛은 보호층(10), 상부 유전체후막(12) 및 서스테인 전극쌍(4)을 경유하여 상부기판(16)을 투과하게 된다. 화상 표시에 필요한 단계적인 밝기, 즉 그레이 스케일(Gray Scale)은 유지방전의 횟수를 조절함으로써 구현된다. 이에 따라, 유지방전 횟수는 PDP의 휘도 및 방전효율을 결정하는 중요한 요소로 인식되고 있다. 실제로, 교류방식의 PDP에서는 유지방전을 수행하기 위해 통상 10∼100㎑의 펄스신호를 주기적으로 인가하게 된다. 유지방전은 서스테인 펄스당 극히 짧은 순간에 1번씩만 발생하게 된다. 이에 따라, 교류형 PDP에서는 유지방전시 실제 방전이 일어나는 시간이 매우 짧고 그외의 대부분의 시간동안 벽전하 형성 및 다음 방전을 위한 준비단계로 소비된다.Referring to FIG. 1, a conventional AC PDP includes a lower substrate 14 on which an address electrode 2 is mounted, and a lower dielectric thick film formed by coating a predetermined thickness on an upper portion of the lower substrate 14 to form wall charges. 18) and a sustain electrode pair 4 formed transparently on the upper substrate 16 to sustain and drive the discharge, and coated on the upper substrate 16 and the sustain electrode pair 4 to a predetermined thickness. And an upper dielectric thick film 12 which forms wall charges. The conventional PDP structure will be described in detail. A stripe-shaped partition wall 8 is formed between the lower substrate 14 and the upper substrate 16 to divide each discharge cell. In addition, the sustain electrode pairs 4 are arranged side by side on the upper substrate 16. In this case, a bus electrode 19 is provided below the sustain electrode pair 4. On the upper dielectric thick film 12, a protective layer 10 is applied to protect the upper dielectric thick film 12 from sputtering by plasma discharge. On the other hand, the address substrate 2 is disposed on the lower substrate 14 so as to be orthogonal to the sustain electrode pair 4. A partition 8 is formed at a predetermined height above the lower dielectric thick film 18. The phosphor 6 coated on the partition 8 and the lower dielectric thick film 18 is excited by vacuum ultra-violet (UVU) to generate visible light. On the other hand, the PDP displays an image or an image by ADS (Address and Display Seperated) in which address discharge and sustain discharge are distinguished as follows. When a predetermined driving voltage Va is applied between the address electrode 6 and the sustain electrode pair 4, the corresponding discharge cell is addressed. Subsequently, when a predetermined driving voltage Vs is applied between the sustain electrode pairs 4, plasma discharge is caused by electrons emitted from the sustain electrode pairs 4 of the addressed discharge cells. The vacuum ultraviolet rays generated in this process excite the phosphors of red (hereinafter referred to as R), green (hereinafter referred to as G) and blue (hereinafter referred to as B) and emit light emitted from the phosphor. The upper substrate 16 is transmitted through the silver protective layer 10, the upper dielectric thick film 12, and the sustain electrode pair 4. The step brightness required for displaying an image, that is, gray scale, is implemented by adjusting the number of sustain discharges. Accordingly, the number of sustain discharges is recognized as an important factor for determining the brightness and discharge efficiency of the PDP. In fact, in the AC type PDP, a pulse signal of 10 to 100 kHz is normally applied periodically to perform sustain discharge. The sustain discharge only occurs once at a very short moment per sustain pulse. Accordingly, in the AC-type PDP, the actual discharge time during the sustain discharge is very short, and most of the other time is consumed in the preparation of the wall charge and the preparation for the next discharge.
이와 같이 교류방식의 PDP에서의 나쁜 방전효율을 해결하기 위하여, 수 ㎒∼수백㎒의 고주파신호에 의해 유지방전을 일으키는 고주파 플라즈마 디스플레이 패널(이하 'RF PDP'라 함)이 제안된 바 있다.In order to solve the poor discharge efficiency in the AC PDP as described above, a high frequency plasma display panel (hereinafter referred to as "RF PDP") has been proposed to generate a sustain discharge by a high frequency signal of several MHz to several hundred MHz.
도 2를 참조하면, RF PDP는 고주파 전극(74)이 형성되는 상부기판(72)과, 스캔전극(66)과 데이터전극(62)이 상호 직교되게 형성되는 하부기판(60)과, 하부기판(60) 상에서 수직으로 신장되는 격벽(68)을 구비한다. 고주파전극(74)에는 유지방전시 고주파 방전을 위한 고주파신호가 공급된다. 고주파전극(74)이 형성된 상부기판(72)에는 유전층(73)이 형성된다. 유전층(73)은 방전으로부터 고주파전극(74)을 보호함과 아울러 벽전하를 축적하는 역할을 하게 된다. 데이터전극(62)에는 어드레스 기간에 데이터가 공급된다. 데이터전극(62)이 형성된 하부기판(60) 상에는 제1 하부유전층(64)이 형성된다. 이 제1 하부유전층(64)은 데이터전극(62)과 스캔전극(66) 사이를 전기적으로 절연시킴과 아울러 벽전하를 축적하는 역할을 하게 된다. 스캔전극(66)은 고주파전극(74)과 나란한 방향으로 제1 하부유전층(64) 상에 형성되어 어드레스 기간에 데이터전극(62)과 어드레스 방전을 일으킴과 아울러 유지방전시 고주파전극(74)과 함께 고주파 방전을 일으키게 된다. 스캔전극(66)이 형성된 제1 하부유전층(64) 상에는 표면이 평탄하게 제2 하부유전층(65)이 전면 형성된다. 제2 하부유전층(65) 상에는 방전시 유전층보호와 이차전자를 방출하여 방전전압을 낮추기 위한 보호층(67)이 형성된다. 상부기판(72), 하부기판(60) 및 격벽(68)에 의해 마련되는 방전공간(76)에는 방전가스가 주입된다. 격벽(68)은 격자형태로 형성되어 셀단위로 방전공간을 구분하게 된다. 형광체(70)는 스캔전극(66)과 데이터전극(62) 사이의 어드레스 방전을 간섭하지 않도록 함과 아울러 가시광이 상부기판(72)을 통하여 투과될 수 있도록 격벽(70)에만 도포된다.Referring to FIG. 2, the RF PDP includes an upper substrate 72 on which a high frequency electrode 74 is formed, a lower substrate 60 on which a scan electrode 66 and a data electrode 62 are orthogonal to each other, and a lower substrate. A partition wall 68 extending vertically on 60 is provided. The high frequency electrode 74 is supplied with a high frequency signal for high frequency discharge during sustain discharge. The dielectric layer 73 is formed on the upper substrate 72 on which the high frequency electrode 74 is formed. The dielectric layer 73 serves to protect the high frequency electrode 74 from discharge and to accumulate wall charges. Data is supplied to the data electrode 62 in the address period. The first lower dielectric layer 64 is formed on the lower substrate 60 on which the data electrode 62 is formed. The first lower dielectric layer 64 electrically insulates the data electrode 62 from the scan electrode 66 and accumulates wall charges. The scan electrode 66 is formed on the first lower dielectric layer 64 in a direction parallel to the high frequency electrode 74 to cause an address discharge with the data electrode 62 in the address period and together with the high frequency electrode 74 during the sustain discharge. It will cause a high frequency discharge. The second lower dielectric layer 65 is formed on the entire surface of the first lower dielectric layer 64 on which the scan electrodes 66 are formed. A protective layer 67 is formed on the second lower dielectric layer 65 to lower the discharge voltage by emitting the dielectric layer protection and secondary electrons during discharge. Discharge gas is injected into the discharge space 76 provided by the upper substrate 72, the lower substrate 60, and the partition wall 68. The partition wall 68 is formed in a lattice form to divide the discharge space in units of cells. The phosphor 70 is applied only to the partition wall 70 so as not to interfere with the address discharge between the scan electrode 66 and the data electrode 62 and to transmit visible light through the upper substrate 72.
이러한 RF PDP에 있어서, ADS법으로 화상 또는 영상을 표시하는 경우를 설명하면 다음과 같다. 먼저, 어드레스 기간동안 선택하고자는 셀의 데이터전극(62)과 스캔전극(66)에 교류신호가 인가되어 해당 셀에서 어드레스 방전이 일어나게 된다. 이 때, 데이터전극(62)에는 비디오 데이터가 공급되며, 스캔전극(62)에는 비디오 데이터에 동기되는 스캔 펄스가 인가된다. 이 어드레스 방전에 의해 방전공간(76) 내에는 하전입자가 생성된다. 한편, 고주파전극(74)에는 고주파신호가 항상 인가되므로 어드레스 방전시 형성된 하전입자들 중, 전자들이 고주파신호의 전계에 따라 방전공간(76) 내에서 진동운동하게 된다. 진동운동하는 전자들은 방전가스를 연속적으로 여기시키게 되고, 이 때 발생되는 자외선이 형광체(70)를 발광시키게 된다. 이 고주파방전을 소거시키기 위하여, 스캔전극(66)과 데이터전극(62)에 방전을 일으킬 수 있는 전압 미만의 레벨을 가진 정극성의 소거펄스신호를 인가하게 된다. 그러면 방전공간(76) 내에 진동운동하는 전자들이 소거펄스에 의해 스캔전극(66) 및 데이터전극(62) 쪽으로 이동하면서 양전하와 재결합(Recombination)되거나 하부유전층(65)과의 충돌에 의해 에너지를 잃게 된다.In the RF PDP, a case of displaying an image or an image by the ADS method will be described below. First, an AC signal is applied to the data electrode 62 and the scan electrode 66 of a cell to be selected during the address period, so that address discharge occurs in the corresponding cell. At this time, video data is supplied to the data electrode 62, and a scan pulse is synchronized with the video data to the scan electrode 62. By this address discharge, charged particles are generated in the discharge space 76. On the other hand, since the high frequency signal is always applied to the high frequency electrode 74, among the charged particles formed during the address discharge, electrons vibrate in the discharge space 76 according to the electric field of the high frequency signal. The vibrating electrons excite the discharge gas continuously, and the ultraviolet rays generated at this time emit the phosphor 70. In order to cancel this high frequency discharge, a positive erase pulse signal having a level less than a voltage capable of causing a discharge is applied to the scan electrode 66 and the data electrode 62. Then, the electrons vibrating in the discharge space 76 move toward the scan electrode 66 and the data electrode 62 by the erase pulse and lose energy due to recombination with the positive charge or collision with the lower dielectric layer 65. do.
이러한 RF PDP는 스캔전극(66) 및 데이터전극(62) 사이의 유전층(64,65)의 두께가 두꺼우므로 그 만큼 높은 방전전압이 높은 단점이 있다. 또한, 여러 차례의 스크린 프린팅(Screen Printing) 공정에 의해 유전층(64,65)이 도포되므로 그 표면이 불균일하고 유전층의 두께가 불균일하게 된다. 이로 인하여 방전균일성이 나빠지게 된다.The RF PDP has a high discharge voltage because the thickness of the dielectric layers 64 and 65 between the scan electrode 66 and the data electrode 62 is thick. In addition, since the dielectric layers 64 and 65 are applied by a number of screen printing processes, the surface is uneven and the thickness of the dielectric layer is uneven. This leads to poor discharge uniformity.
이와 같은 RF PDP의 문제점을 해결하기 위하여 본 출원인에 의해 기출원된 한국 특허출원 99-21877호에 개재된 방안에 의하면 도 3 및 도 4와 같이 데이터전극(62)과 스캔전극(66) 사이의 제1 하부유전층(84)을 라인형태로 패턴닝으로써 방전전압을 낮추고 방전균일성을 향상시킬 수 있게 된다. 이 제1 하부유전층 패턴(84)은 데이터전극(62)과 직교되는 방향의 라인형태로 패터닝되며, 제1 하부유전층 패턴(84) 위에는 스캔전극(66)이 형성된다. 그리고 데이터전극(62), 제1 하부유전층 패턴(84) 및 스캔전극(66)이 형성된 하부기판(60) 위에는 제2 하부유전층(65)과 보호막(67)이 적층된다. 이와 같은 제1 하부유전층 패턴(84)에 의해 방전경로 상의 유전층의 두께가 얇아지게 되므로 방전전압을 낮출 수 있으며, 방전전압의 상승없이 유전층의 신뢰성(Reliability)과 누설전류의 감소를 고려하여 제1 하부유전층 패턴(84)의 두께를 두껍게 할 수 있다. 즉, 유전층에 의한 누설전류는 유전층의 두께에 반비례하므로 제1 하부유전층 패턴(84)의 두께를 두껍게하여 누설전류를 줄일 수 있으며, 이 경우 방전경로 상의 유전층의 두께는 증가하지 않으므로 방전전압이 증가되지 않는다.According to the method disclosed in Korean Patent Application No. 99-21877 filed by the present applicant in order to solve the problem of the RF PDP, as shown in FIGS. 3 and 4, the data electrode 62 and the scan electrode 66 are separated from each other. By patterning the first lower dielectric layer 84 in a line form, it is possible to lower the discharge voltage and improve discharge uniformity. The first lower dielectric layer pattern 84 is patterned in a line shape in a direction orthogonal to the data electrode 62, and a scan electrode 66 is formed on the first lower dielectric layer pattern 84. The second lower dielectric layer 65 and the passivation layer 67 are stacked on the lower substrate 60 on which the data electrode 62, the first lower dielectric layer pattern 84, and the scan electrode 66 are formed. Since the thickness of the dielectric layer on the discharge path becomes thin due to the first lower dielectric layer pattern 84, the discharge voltage can be reduced, and the first lower dielectric layer pattern 84 can be used in consideration of the reliability of the dielectric layer and the reduction of leakage current without increasing the discharge voltage. The thickness of the lower dielectric layer pattern 84 may be increased. That is, since the leakage current caused by the dielectric layer is inversely proportional to the thickness of the dielectric layer, the thickness of the first lower dielectric layer pattern 84 can be reduced to reduce the leakage current. It doesn't work.
한편, 도 3 및 도 4와 같이 유전층이 라인형태로 패터닝되면 고주파 방전시 요구되는 높은 격벽(68)을 형성하기 곤란한 문제점이 있다. 일반적으로, 하부기판(60)으로부터 신장하는 방법에 의해서는 높은 격벽(68)을 형성하기가 어렵다. 이에 따라, 상판 및 하판과 별도로 높은 격벽(68)을 형성한 후, 그 격벽(68)을 하부기판에 접합하게 된다. 그러나 제1 하부유전층 패턴(84)에 의해 하부기판(60) 상에서 단차가 존재하고 있으므로 도 5와 같이 격벽(68)과 하부기판(60) 사이에 틈새(90)가 존재하게 된다. 이 틈새(90)를 통하여 어드레스 방전시 또는 고주파 방전시 생성되는 하전입자 또는 전하들(92)이 인접한 방전셀 쪽으로 확산된다. 이에 따라, 방전시 인접한 방전셀간에 전기적, 광학적 크로스토크가 발생되어 방전이 불균일하게 된다.On the other hand, if the dielectric layer is patterned in the form of a line as shown in Figs. 3 and 4 there is a problem that it is difficult to form a high partition wall 68 required for high frequency discharge. In general, it is difficult to form the high partition wall 68 by the method of extending from the lower substrate 60. Accordingly, after the high partition wall 68 is formed separately from the upper plate and the lower plate, the partition wall 68 is joined to the lower substrate. However, since a step exists on the lower substrate 60 by the first lower dielectric layer pattern 84, a gap 90 exists between the partition wall 68 and the lower substrate 60 as shown in FIG. 5. Through this gap 90, the charged particles or charges 92 generated at the address discharge or the high frequency discharge are diffused toward the adjacent discharge cells. Accordingly, electrical and optical crosstalk is generated between adjacent discharge cells during discharge, resulting in uneven discharge.
따라서, 본 발명의 목적은 누설전류를 줄임과 아울러 셀간의 크로스토크를 줄이도록 한 RF PDP를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an RF PDP which reduces leakage current and reduces crosstalk between cells.
도 1은 종래의 교류형 플라즈마 디스플레이 패널을 나타내는 사시도.1 is a perspective view showing a conventional AC plasma display panel.
도 2는 고주파 플라즈마 디스플레이 패널을 나타내는 사시도.2 is a perspective view showing a high frequency plasma display panel;
도 3은 도 2에 도시된 스캔전극과 데이터전극 사이에 라인형태로 패터닝된 유전층을 나타내는 하판의 단면도.3 is a cross-sectional view of a lower plate showing a dielectric layer patterned in a line form between the scan electrode and the data electrode shown in FIG.
도 4는 도 3에 도시된 하판의 평면도.4 is a plan view of the lower plate shown in FIG.
도 5는 도 3에 도시된 하판과 격벽의 접합을 나타내는 단면도.5 is a cross-sectional view showing the bonding of the lower plate and the partition shown in FIG.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 고주파 플라즈마 디스플레이 패널을 나타내는 사시도.6 is a perspective view showing a high frequency plasma display panel according to an embodiment of the present invention.
도 7은 도 6에 도시된 하판 및 격벽의 단면도.7 is a cross-sectional view of the lower plate and the partition shown in FIG.
도 8a 내지 도 8d는 도 6에 도시된 하판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도.8A to 8D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the lower plate shown in FIG. 6 in steps.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
2 : 어드레스 전극 4 : 서스테인 전극쌍2: address electrode 4: sustain electrode pair
6,70 : 형광체 8,68 : 격벽6,70 phosphor 8,68 partition wall
10,67,104 : 보호층 12,18,65,73,84,102,106,110 : 유전층10,67,104: Protective layer 12,18,65,73,84,102,106,110: Dielectric layer
14,60 : 하부기판 16,72 : 상부기판14,60: lower substrate 16,72: upper substrate
62 : 데이터전극 66 : 스캔전극62: data electrode 66: scan electrode
74 : 고주파전극74: high frequency electrode
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 RF PDP는 어드레스 방전을 일으키는 제1 및 제2 전극과, 제1 및 제2 전극 사이에서 섬모양으로 패터닝되는 유전층패턴을 구비한다.In order to achieve the above object, the RF PDP according to the present invention includes a first and second electrodes causing an address discharge, and a dielectric layer pattern patterned in islands between the first and second electrodes.
상기 목적외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention other than the above object will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.
도 6 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명 하기로 한다.Referring to Figures 6 to 8 will be described a preferred embodiment of the present invention.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 RF PDP는 데이터전극(62)과 스캔전극(66)의 교차부분에 덮여진 부분이 융기된 하부유전층(102)을 구비한다. 스캔전극(66)과의 교차지점에서 데이터전극(62) 위에는 사각형의 섬모양으로 패터닝된 유전층패턴(106)이 형성된다. 유전층패턴(106)은 스캔전극(66)과 데이터전극(62) 사이를 전기적으로 절연시키게 된다. 이 유전층패턴(106)에 의해 데이터전극(62)과 스캔전극(66) 사이의 방전경로 상에 하부유전층(102)과 보호층(104)만이 존재하고 있으므로 그 만큼 방전전압을 종래에 비하여 대략 30% 이상 낮출 수 있게 된다. 이 유전층패턴(106)의 두꼐는 유전층에 의해 누설전류가 최소화되게끔 조절될 수 있다. 이 경우, 데이터전극(62)과 스캔전극(66) 사이의 방전경로 상에 존재하는 하부유전층(102)의 두께는 두꺼워지지 않으므로 방전전압이 높아지지는 않는다. 스캔전극(66)은 데이터전극(62)과 직교되는 방향으로 유전층패턴(106)과 하부기판(60) 위에 형성된다. 스캔전극(66)이 형성된 하부기판(60) 상에는 하부유전층(102)과 보호층(104)이 적층된다. 이에 따라, 하부유전층(102)과 보호층(104)은 유전층패턴(106)의 두꼐만큼 융기된다. 이 융기부분(100)은 유전층패턴(106)에 의해 사각형태의 섬모양으로 스캔전극(66)과 데이터전극(62)의 교차부 즉, 방전공간(76)의 바닥 중심부에 위치하게 된다. 한편, 도 6에 도시된 RF PDP의 상판은 도 2에 도시된 RF PDP의 그것과 실질적으로 동일하여 상부기판(72) 상에 고주파 전극(74)과 상부유전층(73)이 형성된다. 격벽(68)은 고주파 방전시 인접한 방전셀 간의 방전 및 전하의 확산을 방지하게끔 격자 형태로 형성된다. 이 격벽(68)은 고주파 방전시 전자의 진동운동 구간을 마련하도록 높게 형성된 후 접합된다. 하부기판(60) 상에서 격벽(68)의 접합면에는 어떠한 단차도 존재하지 않으므로 하부기판(60)과 격벽(68) 사이에는 틈새가 존재하지 않게 된다. 따라서, 방전시 인접된 방전셀간의 하전입자 또는 전하의 확산이 격벽(68)에 의해 차단되어 인접된 방전셀 간의 크로스토크를 방지할 수 있게 된다. 격벽(68) 표면에는 형광체(70)가 도포된다. 상부기판(72), 하부기판(60) 및 격벽(68) 사이에 마련되는 방전공간(76) 내에는 방전가스가 주입된다.6 and 7, the RF PDP according to the present invention includes a lower dielectric layer 102 in which a portion covered at the intersection of the data electrode 62 and the scan electrode 66 is raised. A dielectric layer pattern 106 patterned in a rectangular island shape is formed on the data electrode 62 at the intersection with the scan electrode 66. The dielectric layer pattern 106 electrically insulates the scan electrode 66 from the data electrode 62. Due to the dielectric layer pattern 106, only the lower dielectric layer 102 and the protective layer 104 exist on the discharge path between the data electrode 62 and the scan electrode 66. Can be lowered by more than%. The thickness of the dielectric layer pattern 106 can be adjusted to minimize leakage current by the dielectric layer. In this case, since the thickness of the lower dielectric layer 102 existing on the discharge path between the data electrode 62 and the scan electrode 66 does not become thick, the discharge voltage does not increase. The scan electrode 66 is formed on the dielectric layer pattern 106 and the lower substrate 60 in a direction orthogonal to the data electrode 62. The lower dielectric layer 102 and the protective layer 104 are stacked on the lower substrate 60 on which the scan electrodes 66 are formed. Accordingly, the lower dielectric layer 102 and the protective layer 104 are raised by the thickness of the dielectric layer pattern 106. The raised portion 100 is positioned at the intersection of the scan electrode 66 and the data electrode 62, that is, at the bottom center of the discharge space 76 in a rectangular island shape by the dielectric layer pattern 106. On the other hand, the upper plate of the RF PDP shown in FIG. 6 is substantially the same as that of the RF PDP shown in FIG. 2, so that the high frequency electrode 74 and the upper dielectric layer 73 are formed on the upper substrate 72. The partition wall 68 is formed in a lattice form to prevent diffusion of electric charges and charges between adjacent discharge cells during high frequency discharge. The partition wall 68 is formed high so as to provide a vibrating motion section of the electron during high frequency discharge and then bonded. Since no step exists in the bonding surface of the partition wall 68 on the lower substrate 60, there is no gap between the lower substrate 60 and the partition wall 68. Accordingly, diffusion of charged particles or charges between adjacent discharge cells is blocked by the partition wall 68 during discharge, thereby preventing crosstalk between adjacent discharge cells. The phosphor 70 is coated on the partition wall 68. Discharge gas is injected into the discharge space 76 provided between the upper substrate 72, the lower substrate 60, and the partition wall 68.
유전층패턴(106)은 하부기판(60) 상에 유전층을 전면 도포한 후, 마스크 패턴을 형성한 다음 에칭하는 포토리소그라피(Photorithography) 공정 또는 스크린 프린팅 공정에 의해 형성될 수 있다.The dielectric layer pattern 106 may be formed by a photolithography process or a screen printing process in which a dielectric layer is entirely coated on the lower substrate 60, and then a mask pattern is formed and then etched.
도 8a 내지 도 8d는 도 6에 도시된 RF PDP의 하판 제조방법을 단계적으로 나타낸다.8A through 8D illustrate a method of manufacturing a lower plate of the RF PDP shown in FIG. 6 in steps.
먼저, 도 8a와 같이 스크린 프린트 또는 포토리소그라피(Photorithography) 공정 등에 의해 데이터전극라인 패턴(62L)을 하부기판(60) 상에 형성하게 된다. 데이터전극라인 패턴(62L)이 형성된 기판(60) 위에는 도 8b와 같이 마스크 패턴을 형성한 후 유전층 물질을 스크린 프린팅하여 섬모양의 유전층패턴(106)을 형성하게 된다. 이어서, 유전층패턴(106) 위에서 데이터전극라인 패턴(62L)과 직교되게끔 도 8c와 같이 스캔전극라인 패턴(66L)이 형성된다. 마지막으로, 도 8d와 같이 데이터전극라인 패턴(62L)과 스캔전극라인 패턴(66L)이 형성된 하부기판(60) 위에 하부유전층(102)과 보호층(104)이 순차적으로 전면 도포된다.First, as illustrated in FIG. 8A, the data electrode line pattern 62L is formed on the lower substrate 60 by a screen printing or photolithography process. On the substrate 60 on which the data electrode line pattern 62L is formed, a mask pattern is formed as shown in FIG. 8B, and screen-printed a dielectric layer material to form an island-shaped dielectric layer pattern 106. Subsequently, a scan electrode line pattern 66L is formed on the dielectric layer pattern 106 so as to be orthogonal to the data electrode line pattern 62L as shown in FIG. 8C. Finally, as shown in FIG. 8D, the lower dielectric layer 102 and the protective layer 104 are sequentially coated on the lower substrate 60 on which the data electrode line pattern 62L and the scan electrode line pattern 66L are formed.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 RF PDP는 데이터전극과 스캔전극의 교차부에서 데이터전극과 스캔전극 사이에 섬모양으로 패터닝된 유전층패턴을 형성하여 데이터전극과 스캔전극 사이의 누설전류를 줄임과 아울러 기판과 격벽의 접합면 사이에 단차를 제거하여 셀간의 크로스토크를 줄일 수 있게 된다. 나아가, 본 발명에 따른 RF PDP는 방전경로 상의 유전층 두께를 얇게 함으로써 방전전압을 낮출 수 있게 된다.As described above, the RF PDP according to the present invention forms an island patterned dielectric layer pattern between the data electrode and the scan electrode at the intersection of the data electrode and the scan electrode to reduce the leakage current between the data electrode and the scan electrode. In addition, it is possible to reduce the crosstalk between the cells by removing the step between the junction surface of the substrate and the partition wall. Furthermore, the RF PDP according to the present invention can lower the discharge voltage by making the thickness of the dielectric layer on the discharge path thin.
이상 설명한 내용을 통해 당업자 라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.
Claims (3)
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