KR100246507B1 - 물품적재용기 이재장치 - Google Patents

Abstract

항온조나 IC삽발기 사이에서 보오드 캐리어를 용이, 신속, 확실히 이재한다.

AGV(1)의 상구조체(11a)로부터 리니어 가이드(22)를 통하여 하판(2)를 이동가능하게 지지하고, 이에 롤러(25)를 설치하고, 모터(41)와 피니온(42)과 래크(43)로 하판을 이동가능하게하고 하판에 상판(3)을 이동자유로이 지지하고, 모터(51)나 래크와 피니온으로 상판을 하판상으로 이동할 수 있게 하고, 선단에 캐리어의 구멍(6a)내에 박고 뽑기하는 승강클릭을 설치한다.

하판을 본체로부터 돌출시켜, 그위에서 상판 및 클릭을 이동시켜, 클릭과 캐리어와를 끼워맞춤시켜, AGV의 롤러상과 항온조등에 설치되는 롤러상에서 캐리어의 주고받음을 할 수 있다. 간단한 직선동작으로 이재할 수 있고, 이재가 신속, 확실하고, 자동화등에 적합하다.

Description

물품 적재용기 이재장치{TRANSPOSITION UNIT FOR OBJECT CARRIER}

(발명이 속하는 기술분야)

본 발명은, 물품을 적재한 용기를 수용할 수 있는 복수의 수용장치 사이에서, 상기 용기를 이재하기 위한 물품 적재용기 이재장치로서 본체부분과 차륜과를 구비한 것에 관한 것이며, 특히 반도체제품의 번인 공장에 있어서 번인보오드를 탑재한 보오드 캐리어의 이재용의 알맞게 이용된다.

(종래의 기술)

집적회로소자(이하, 「IC」라 한다)등의 반도체 제품에 대하여는, 불량제품을 조기에 제조과정에서 배제하는 스크리닝을 위하여 번인 시험이 실시된다. 이 시험을 위한 설비는 통상은 번인 보오드를 보오드 캐리어(이하 단순히 「캐리어」라함)에 붙이고 뗌과 동시에 번인 보오드상의 IC를 삽발하여 교환하는 IC삽발기, IC가 장착된 번인 보오드를 적재한 캐리어를 수용하여 IC의 번인 시험을 행하기 위한 항온조, 더욱 캐리어를 중간적으로 저장하여 IC삽발기와 항온조와의 처리타이밍의 어긋남을 흡수하는 바퍼적 기능을 갖는 스토커등에 의하여 구성되어 있다.

이와같은 IC삽발기, 항온조 및 스토커로 이루어지는 수용장치 사이에는 캐리어를 이재할 필요가 생기지만 종래에는 사람이 IC삽발기로부터 캐리어를 꺼내고 적당한 운반대차에 얹어서 항온조까지 운반하여 그 속에 넣거나, 포크리프트등의 운반차량을 사용하여 하나의 수용장치로부터 캐리어를 포크에 얹어서 꺼내고, 그대로 반송하여 타의 수용장치에 삽입하는 것과 같은 방법을 사용하고 있었다. 그러나 전자의 방법에서는 수용장치와 운반대차와의 사이의 캐리어의 옮겨 쌓음 조작이 어렵고, 또 번인 시험에 있어서 노력절약화를 도모할 여지가 없다.

후자의 방법에서는, 캐리어의 아래에 포크를 넣어 들어올려서 항온조등의 내부에 삽입하기 때문에, 항온조등의 높이를 캐리어 아래로 삽입되는 포크의 치수, 포크로 들어올렸을 경우의 흔들림, 포크의 경사에 의한 캐리어 높이의 증가등을 고려하여 여유를 갖고 정하지 않으면 않되기 때문에, 그 높이가 높아진다. 또, 포크리프트의 정지위치의 오차를 피할 수 없으므로, 수용장치에 대하여 포크가 정확히 대향하지 않고 포크를 속안에 넣기 위하여, 장치의 폭방향의 치수에도 여유를 갖게 할 필요가 있다. 그 결과, 수용장치가 대형화한다라는 문제가 있다. 특히 번인용의 항온조에서는, 장치코스트가 높기 때문에 그 대형화는 큰 코스트상승을 동반함과 동시에, 히터나 송풍기등의 장비기능의 능력에도 영향을 주어, 열효율을 저하시키는 것도 된다. 더욱 포크리프트 방식에서는 원격조작이나 무인화가 곤란하다.

(발명이 해결하려고 하는 과제)

본 발명은 종래기술에 있어서 상기 문제를 해결하고 수용장치 사이에 있어서 용기의 이재가 용이하고, 이재를 위하여 수용장치를 대형화시키는 일 없고, 이재작업의 노력절약화가 가능하고, 원격조작 또는 자동화가 용이한 물품 적재용기 이재장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

도 1은 본 발명을 적용한 물품적재용기 이재장치의 일예인 AGV의 전체구조를 도시하고, (a)는 평면도로, (b)는 정면도이다.

도 2는 상기 AGV의 측면도이다.

도 3은 상기 AGV의 캐리어 탑재부분의 구조를 도시하는 평면도이다.

도 4는 (a)는 상기 AGV의 캐리어 탑재부분의 구조를 도시하는 정면도이고, (b)는 그의 부분확대도이다.

도 5는 상기 AGV의 클릭승강부분의 구조를 도시하고, (a)는 평면도이고 (b)는 정면도이다.

도 6은 상기 AGV를 이용한 번인 시험설비의 구성을 도시하는 설명도이다.

도 7은 상기 번인 시험설비에 사용되는 AGV와 항온조와의 사이에 있어서 캐리어 이재상태를 도시하고, (a)는 평면도이고 (b)는 측면도이다.

도 8은 상기 항온조의 롤러부분의 구조를 도시하는 측면도이다.

도 9는 상기 항온조의 일부분에 있어서 번인 보오드의 배치를 도시하는 평면도이다.

도10은 (a)는 상기 항온조의 커넥터 삽발용 클릭부재의 사시도, (b)는 번인 보오드의 일부분을 도시하는 사시도이다.

도11은 상기 번인 시험설비에 사용되는 AGV와 IC삽발기와의 사이에 있어서 캐리어 이재상태를 도시하는 측면도이다.

도12는 상기 번인 시험설비에 있어서 AGV를 중심으로 한 제어계의 설명도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1: AGV(물품적재용기 이재장치로서 본체부분과 차륜을 구비한 것)

2: 하판(지지부재) 3: 상판(이동체)

4: 하판이동기구(제 1이동수단) 5: 상판이동기구(제 2이동수단)

6: 보오드 캐리어, 캐리어(용기) 7: 항온조(수용용기, 번인장치)

9: IC삽발기(수용용기, 반도체 제품착탈장치)

11: 본체부분 12: 차륜

13: 주행기구(구동수단) 14: 주행제어부(주행제어수단)

15: 이재제어부(이재제어수단) 25: 롤러(복수의 롤러)

32: 클릭(결합부) 61: 번인보오드(물품)

74: 롤러구조부(롤러구조부, 물품적재용기이재장치)

74a: 롤러(복수의 정위치롤러) X,X': 한방향, 반대방향

(과제를 해결하기 위한 수단)

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여 청구항 1의 발명은, 물품을 적재한 용기를 수용할 수 있는 복수의 수용장치사이에서 상기 용기를 이재하기 위한 물품 적재용기 이재장치로서 본체부분과 차륜과를 구비한 것과, 상기 복수의 수용장치내의 각각에 설치된 롤러구조부를 가지는 물품적재용기이재장치에 있어서,

상기 본체부분과 차륜을 구비한 것은, 상기 본체부분에서 일방향으로 돌출하도록 해당 일방향 및 그 반대방향으로 이동가능하게 지지되고 상기 용기를 상기 방향으로 이동 용이하게 지지할 수 있는 복수의 롤러를 구비한 지지부재와, 상기 용기와 결합되는 결합부를 구비하고 상기 지지부재에 상기 방향으로 이동가능하게 지지되는 이동체와, 상기 지지부재를 이동시키는 제 1이동수단과, 상기 이동체를 이동시키는 제 2이동수단을 가지고, 상기 롤러구조부는, 상기 본체부분과 차륜을 구비한 것에 의해 상기 용기가 상기 복수의 수용장치의 어느 곳인가로 이재될때에 상기 용기를 이재되는 방향으로 이동가능하게 지지하도록 회전자재로 축지지된 복수의 정위치롤러를 가지는 것을 특징으로 한다.

청구항 2의 발명은 상기에 더하여 상기 물품은 반도체 제품을 탑재한 복수의 번인 보오드이고, 상기 수용장치는 적어도 복수의 번인 장치와 복수의 반도체 제품 착탈장치로서 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 3의 발명은, 상기에 더하여 상기 차륜을 구동하는 구동수단과 해당 구동수단을 소정의 신호에 의하여 제어하는 주행 제어수단과 상기 제1이동수단과 상기 제2이동수단이 소정의 시기에 작동하도록 제어하는 이재제어수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

(발명실시의 형태)

도1, 도2는 본 발명을 적용한 물품 적재용기이재장치중의 본체부분과 차륜을 구비한 것의 일예인 자동주행식 보오드 캐리어 반송장치(이하 「AGV」라 함)의 전체 구조의 일예를 도시하고, 도3 및 도4도는 보오드 캐리어 적재부분의 구조예를 도시하다.

AGV(1)은 본체부분(11), 차륜(12), 지지부재로서의 하판(2), 이동체로서의 상판(3), 하판(2)을 이동시키는 제1이동수단으로서의 하판이동기구(4), 상판(3)을 이동시키는 제2이동수단으로서의 상판 이동기구(5)등을 구비하여 있고, 용기로서의 보오드 캐리어(6)(이하 「캐리어 6」이라 함)을 수용장치이고 번인장치인 도6등에 도시하는 항온조(7), 중간수용장치인 스토커(8) 및 반도체 제품 착탈장치인 IC삽발기(9)사이에서 이재하기 위한 장치이다. 캐리어(6)는 물품으로서 다수의 반도체 제품인 IC(61a)를 장착한 번인보오드(61)(도9 참조)를 다수매 적재하고 있다.

하판(2)는, 도3, 도4에도 도시하는 바와같이, 본체부분(11)의 상구조체(11a)로부터, 부착판(21), 이에 장치된 리니어가이드(22), 그 이동체에 장치된 중간판(23)을 사이에 매달아 지지되어 있다. 그리고 리니어 가이드(22)에 의하여 한 방향인 X방향 및 그 반대의 X'방향으로 이동가능으로 되어 있어, 도3에 있어서 2점쇄선으로 도시하는 바와같이, 상구조체(11a)로부터 한 방향인 X방향으로 돌출되도록 되어 있다. 또, 하판(2)은 X-X' 연장설치된 축 지지판(24)을 구비하여 있고, 이 판과 중간판(23)에 의하여 롤러(25)를 지지함으로써, 롤러(25)를 통하여 캐리어(6)를 그 방향으로 이동 용이하게 지지할 수 있다.

하판 이동기구(4)는 감속기어부분(41a)을 구비하고 부착판(21)에 고정된 모터(41), 그 출력축의 선단에 고정된 피니온(42), 중간판(23)에 고정되고 X-X'방향으로 연장설치된 래크(43)등에 의하여 구성되어 있고, 하판(2)을 그 방향으로 이동시킬 수가 있다.

상판(3)은, 하판(2)에 고정된 가이드레일(27)에 상판(3)에 고정된 가이드블록(31)이 미끄럼 자유로이 끼워맞춤으로서, 하판(2)에 X-X'방향으로 이동가능하게 지지되어 있다. 또, 도5에도 도시하는 바와같이, 캐리어(6)와 결합되는 결합부로서의 클릭(32)을 구비하고 있다.

상판이동기구(5)는, 감속기어부분(51a)을 구비하고 상판(3)에 고정된 모터(51), 그 출력축의 선단에 고정된 피니온(52), 하판(2)에 고정되어 X-X'방향으로 연장설치된 래크(53)등에 의하여 구성되어 있고, 모터(51)와 가이드블록(31)등과 함께 상판(3)을 그 방향으로 이동시킬 수가 있다.

본체부분(11)은, 상기 상구조체(11a)와 이를 지지하는 하구조체(11b)에 의하여 구성되어 있고, 이들의 내부에는 도12에도 도시하는 바와같이 차륜(12)을 구동하는 구동수단으로서의 주행기구(13), 이를 후술하는 소정의 신호에 의하여 제어하는 주행제어수단으로서의 주행제어부(14), 상하이동기구(4,5)를 구성하는 모터(41,51)가 소정의 시기에 작동하도록 제어하는 이재 제어수단으로서의 이재 제어부(15),등이 배설되어 있다. 또, 본체부분(11)에는 조작부나 표시등이 적당히 설치됨과 동시에, 제어신호를 수신하기 위한 안테나(16), 주행표시램프(17), 위치센서(18), 항온조(7)등의 상태를 확인하기 위하여 그들과 대화를 하기 위한 공간광 전송기의 AGV측 부분(10a)이 설치되어 있다. 주행기구(13)의 상세한 점은 도시하여 있지 않지만, 예를들면 배터리로 구동되는 직류모터나 감속기등으로 구성된다. 주행기구(13)가 작동하면, AGV(1)는 마루에 부설된 유도케이블등에 따라 정해진 궤도상을 주행한다.

도5는 클릭승강기구의 구조예를 도시한다.

클릭(32)은 구동원을 사용하지 않고 록 및 록해제의 가능한 적당한 기구에 의하여 캐리어(6)를 결합 및 결합해제 할 수 있는 것도 좋지만, 본 예에서는 모터를 사용하여 클릭(32)을 승강시키는 기구를 사용하고 있다. 클릭승강기구(33)는 상판(3)에 고정된 부착판(34), 이에 장치된 감속기어부분(35a)을 구비한 모터(35), 그 출력축의 선단에 고정된 중간핀(36), 이에 회전 자유로이 장치된 롤러(37), 이를 수평방향으로 이동 자유로이 끼워 맞춤한 긴 구멍(38a)이 열린 승강판(38), 이것과 부착판(34)와의 사이에 개재하여 승강판(38)을 승강방향으로 안내하는 리니어가이드(39), 승강판(38)과 클릭(32)와의 사이를 결합하는 결합부재(40)등에 의하여 구성되어 있다. 클릭(32)은 캐리어(6)의 구멍(6a)내에 출입한다.

더욱 본 예에서는 도1(b)에 도시하는 바와같이, 하판(2)등을 상하 2단으로 설치하여 AGV(1)에 캐리어(6)를 상하 2단으로 탑재할 수 있도록 하고 있지만, 하판(2)등의 AGV하대부분을 하나로 하여 이를 승강 가능한 구조로 하여도 좋다. 이 경우에는 상기의 클릭 승강기구(33)를 생략하여 하대의 승강기구를 이용하여 클릭(32)을 승강시켜, 캐리어의 구멍(6a)내에 박고 뽑게 할 수가 있다. 또, 항온조등의 캐리어탑재부분이 1단일 때에는 AGV의 하대도 당연히 1단으로 좋다.

도6는 본 발명의 AGV(1)을 사용한 IC번인 설비의 일부분의 구성예를 도시하다. 본 설비는 1대의 AGV(1), 30대의 항온조(7)(도면에서는 일부분만을 도시하고 있다), 6대의 스토커(8) 및 7대의 IC삽발기(9)로 이루어지는 라인을 다수 열 병설하고, 이들에 조작제어실에 배치되는 컴퓨터(100)등을 더하여 구성되어 있다. 이 시스템에서는 1라인당 최대 144대의 캐리어(6)가 사용된다. 컴퓨터(100)는 AGV(1), 항온조(7)나 IC삽발기(9)에 무선 또는 배선에 의하여 접속된 복수대의 퍼스컴으로 이루어지고, 각각의 운행이나 가동의 스케쥴을 관리하거나 각각에 동작지령을 발한다. AGV(1)은 그 지령에 의하여 소정의 궤도상을 주행한다. 항온조(7), 스토커(8) 및 IC삽발기(9)의 개개의 장치에 대하여, 장치자체 또는 AGV의 궤도상에 그 위치를 표시하기 위한 도시하지 않는 위치표시가 설치되어 있다. AGV(1)은 이에 장착된 위치센서(18)가 상기 위치표시를 계수 주행하고, 출발시에 지령을 받은 계수치를 검지하면 그 위치에 정지한다.

도7는 항온조등의 외형의 일부분 및 이들과 AGV와의 위치 관계를 도시하고, 도8는 롤러 부분의 구조예, 도9는 항온조로서에 있어서 번인 보오드의 배치, 도10는 번인 보오드의 일부분 및 그의 커넥터 착탈클릭의 형상을 도시한다.

항온조(7)는 번인 보오드(61)를 적재한 캐리어(6)를 2단 2열로 수납하고, 단열벽(71) 및 문짝(72)으로 둘러싸인 시험실(73), 그 속에 열풍을 순환시키는 도시하지 않는 송풍기나 히터등을 구비하여 있고, 번인 시험에 사용되는 통상의 구조의 것이지만 캐리어(6)를 지지하는 롤러 구조부(74)와 커넥터 삽발기구(75)와를 구비하고, 더욱 문짝(72)은 끌어넣기식의 미늘장이나 슬라이드문등으로 이루어지는 자동 개폐식 문짝으로 되어 있어, 자동 운전의 가능한 장치이다. 또, 공간광 전송기의 AGV측 부분(10a)에 대하여, 문짝의 개폐, 시험실내에 있어서 캐리어(6)의 존부, 커넥터의 삽발등의 캐리어의 이재에 관련하는 상태에 대하여 AGV(1)과 대화하기 위한 공간광 전송기의 항온조측부분(10b)을 구비하고 있다.

롤러구조부(74)는 복수의 롤러로서, 본 예에서는 양측에 각각 6개 설치된 롤러(74a) 및 가이드롤러(74b)(도7(b)에서는 도시를 생략하고 있다), 이들을 지지하는 축 74c(도8), 이 축을 끼워 넣어서 고정지지하고 도시하지 않는 항온조의 구조제어 장치되는 지지판(74a)등에 의하여 구성되어 있다. 롤러(74a)에는 도시하지 않는 베어링이 설치되어 있어, 캐리어(6)가 얹힌 상태에서도 저항토오크가 적고 회전 용이하게 되어 있다. 가이드링(74b)도 회전 자유로이 지지되어 있다. 롤러(74a)중, 항온조의 입구측단의 것은 타의 롤러보다 직경이 크게 되어 있다. 항온조의 롤러(74a)와 AGV의 롤러(25)와는 같은 높이로 되도록 설계되지만, 이와같이 항온조 입구롤러의 직경을 크게 하면, 항온조의 롤러가 AGV의 롤러보다 다소 높은 위치로 되어 있다하더라도, AGV로부터 항온조로 이재되는 캐리어(6)가 받는 충격력을 작게할 수 있다.

번인 보오드(61)는 도9에 도시하는 바와같이 항온조(7)의 깊숙한 곳에 배설된 에지커넥터(7b)에 삽발되는 에지(61b) 및 이것과 프린트 배선으로 결합된 IC장착용 소켓(61c)을 구비하고 있다. 에지커넥터(7b)는 항온조의 구조체에 고정되는 커넥터 부착봉(77)에 장치되어 있어, 번인 시험을 위한 도시하지 않는 드라이버 보오드나 테스트보오드에 접속되는 중계보오드(200)와 전기적으로 결합되어 있다. 이와같은 배치에 의하여 IC소켓(61c)에 장착된 IC(61a)는 드라이버보오드등과 접촉된다.

항온조(7)의 깊숙한 측에는 상기 커넥터 삽발기구(75)가 배설되어 있다. 번인보오드(61)는 도10에 도시하는 바와같이, 그 깊숙한 측의 양사이드에 커넥터 삽발에도 사용되는 틀(61a) 및 구멍(61e)을 구비하고 있다. 삽발기구(75)는, 도시하지 않는 구동장치에 의하여 □자상으로 움직이는 클릭부재(75a)를 구비하여 있고, 클릭부재가 상승하여 그 클릭부분(75a-1)이 구멍(61e)내로 들어가고, 그 가장자리를 걸어 화살표 A방향으로 잡아당기므로서 에지(61b)를 에지커넥터(7b)에 삽입하고, 하강하여 화살표 B방향으로 이동함으로서 처음 위치로 복귀함과 동시에, 그 위치로부터 화살표 B방향으로 다시 이동함으로서, 클릭간의 홈부분(75a-2)이 틀(61d)을 밀어 에지를 에지커넥터로부터 뽑아내도록 작동한다. 이상과 같은 구성에 의하여 항온조(7)는 자동운전이 가능하도록 되어 있다.

스토커(8)도, IC의 번인 공정에 통상 사용되는 장치이고, 도시하지 않지만 항온조(7)와 꼭같이 2단으로 다열의 캐리어 적재 스페이스를 구비하고 있다. 스토커(8)는 캐리어(6)를 1차적으로 맡고, 캐리어의 재석을 컴퓨터(100)에 보고 하는 기능을 갖는다. 또, 공간광전송기의 AGV측 부분(10a)에 대하여 캐리어의 존부등을 전하기 위한 공간광전송기의 스토커측부분을 구비하고 있다. 그 롤러장치는 항온조의 것과 같은 구조로 되어 있다.

IC삽발기(9)는, IC의 번인에 사용되는 통상의 구조의 장치이고, 도11에 도시하는 바와같이 캐리어(6)를 2단으로 적재할 수 있음과 동시에, 도시하고 있지 않지만 이에 인접하여 캐리어를 이동하여 승강할 수 있는 스페이스를 구비하고 있다. 이 때문에, 각단의 캐리어를 승강부분에, 또 승강부분의 캐리어를 각단째로 수평이동할 수 있게 되어 있다.

그리고, 인접스페이스로 캐리어가 하강 또는 상승하는 사이에, 여기서 번인보오드가 1매씩 빼고 꽂음되고, 번인 시험을 종료한 IC가 IC소켓으로부터 떼내어지고 새로운 IC가 장착되도록 되어 있다. 이 장치는 통상, 번인이 끝난 IC의 양부를 분류하는 기능도 구비하고 있다. 더욱 IC삽발기(9)에도, 공간광전송기의 AGV측부분(10a)에 대응하여 캐리어의 존부등을 전달하기 위한 공간광전송기의 IC삽발기측부분(10c)이 장치되어 있다.

도12는 이상과 같은 번인 설비에 있어서 AGV의 제어계의 구성을 도시하다.

AGV의 제어계는 상기 컴퓨터(100)으로부터 발신되는 동작지령신호를 수신하는 안테나(16), 수신한 지령에 따라 AGV(1)의 주행을 제어하는 주행제어부(14), 이것과 관련하여 하판이동용의 모터(41), 상판 이동용의 모터(51), 더욱 본 예에서는 클릭 승강용의 모터(35)의 구동도 제어하는 이제 제어부(15), 공간광전송기의 AGV측부분(10a)등에 의하여 구성되어 있다. 번인 설비측에서는 컴퓨터(100)의 지령이 항온조(7) 및 IC삽발기(9)로 발신되어, 또, 이들 및 스토커(8)의 상태나 적재상태가 필요에 따라 컴퓨터(100)에 피드백된다.

이상과 같이 본 발명을 적용한 AGV는 번인 설비에 있어서 다음과 같이 사용된다.

예를들면 어느 것인가의 항온조(7i)(도6)로 번인시험이 종료하여 그 문짝(72)이 자동적으로 열리면, 컴퓨터(100)가 이를 인지하여 AGV(1)에 주행지령을 발신한다. AGV(1)은 안테너(16)로 이를 수신하고, 주행제어부(14)를 통하여 주행기구(13)를 작동시킨다. 이로서 AGV(1)은 화살표로 도시하는 주행궤도에 따라 위치표시를 계수하면서 주행하고 항온조(7i)의 위치표시의 계수치를 검지하며 그 위치에서 정지한다.

항온조(7i)에서는 도9에 도시하는 커넥터 삽발기구(75)에 의하여 도10에 도시하는 클릭부재(75a)가 화살표 B방향으로 움직여지고, 그 홈부분(75a-2)이 틀(61d)을 밀어 캐리어(6)상의 모든 번인보오드(61)의 에지(61b)를 에지커넥터(7b)로부터 뽑아내고, 캐리어(6)가 항온조로부터 꺼내기 가능한 상태로 된다. AGV(1)은 주행을 정지하면 공간광전송장치의 AGV부분(10a)과 항온조측부분(10b)과의 사이에서 캐리어 이재에 관한 필요사항의 확인등의 대화를 하면서, 그 이재 제어부(15)가 이재기구를 구성하는 모터류를 구동제어하고, 항온조(7i)내의 캐리어(6)를 AGV(1)측으로 이재한다.

이재의 동작은 하판 및 상판의 전진에 의한 클릭 이동동작, 클릭 상승동작 및 상판 및 하판의 후퇴에 의한 캐리어 끌어들이기 동작으로 이루어진다. 우선 모터(41)를 구동하여 피니온(42)을 회전시켜, 이에 맞물린 래크(43)를 보내어 리니어가이드(22)에 하판(2) 및 이에 지지된 롤러(25)를 이동시켜, AGV의 본체부분(11)에서 돌출한 일정위치에서 정지시킨다. 이 정지위치는 모터(41)의 회전수를 제어하면서 리밋스위치나 광센서등의 위치센서를 검지함으로서 정해진다.

이로서, 하판(2)는 리니어가이드(22)에 의하여 돌출한 상태로 지지되어, 롤러(25)도 하판과 함께 2점쇄선으로 도시하는 위치까지 돌출한다(도3, 도7(도7는 캐리어(6)을 AGV(1)로부터 항온조 7방향으로 이재할 때의 상태로 도시하지만, 항온조로부터 AGV로 이재할 때에도 하판은 같은 위치로 된다)). 그 결과, 항온조(7)의 롤러(74a)와 AGV의 롤러(25)와의 간격이 좁혀지고(도7), 캐리어(6)의 이재가 가능하게 된다. 이와같이, 하판(2)을 본체부분으로부터 돌출하도록 이동시키면, 캐리어(6)의 이재를 용이하고 동시에 안전히 행할 수가 있다.

다음에 모터(51)를 구동하여 피니온(52)을 회전시켜, 이를 하판(2)에 고정된 래크(53)와 맞물리면서, 피니온(52), 모터(51) 및 이들의 장치된 상판(3)이 하판(2)에 대하여 상대적으로 이동한다. 상판(3)은 이에 고정된 가이드블록(31)이 하판에 고정된 가이드레일(27)에 미끄럼 안내되므로써 X방향으로 이동되고, 그 선단부분에 장치되어 있는 클릭(32)이 하판(2)으로부터 돌출한 소정의 위치로 되면 정지한다.

상판(3)의 정지위치는 클릭(32)의 위치와 캐리어의 걸어맞춤용구멍(6a)의 위치가 일치하는 위치로 되지 않으면 안된다. 이를 위하여 AGV측 및 캐리어(6)측에 리밋스위치나 광센서등의 적당한 위치센서를 설치하여, 클릭과 걸어맞춤용 구멍이 일치하면 센서가 온으로 되도록 하는 방법을 사용할 수가 있다. 그러나, AGV(1)과 항온조(7)과의 간격 및 항온조내에 있어서 캐리어(6)의 위치는 대략 일정하여 있으므로, 걸어맞춤용 구멍(6a)을 약간 크게 해두고, 클릭(32)의 위치와 캐리어의 걸어맞춤용구멍(6a)의 위치가 대략 일치하도록 상판(3)을 미리 정한 일정거리만큼 이동시키도록 하여도 좋다.

이와같이, 하판(2)을 본체부분(11)으로부터 돌출시켜, 더욱 그 하판(2)으로부터 클릭(32)을 캐리어 방향으로 돌출시키므로서, 도3의 2점쇄선으로 도시하는 바와같이 클릭(32)이 AGV의 본체부분에서 크게 돌출하고, 도7의 2점쇄선으로 도시하는 바와같이 클릭(32)이 캐리어의 걸어맞춤용(6a)의 아래에 위치하도록 한다(도7은 캐리어(6)을 AGV(1)로부터 항온조 7방향으로 이재한 상태를 도시하지만, 항온조로부터 AGV로 이재할 때에도 클릭(32)은 같은 위치로 된다). 그 결과, 클릭(32)과 캐리어(6)와를 용이하게 걸어맞춤시킬 수가 있다.

더욱, 상기의 클릭 이동동작에서는 하판을 전진시킨 후에 상판을 전진시키고 있지만, 이들을 병행하여 전진시키거나 상판을 먼저 전진시킨 후 하판을 전진시킨 것과 같은 방법을 사용하여도 좋다.

클릭(32)이 걸어맞춤용 구멍(6a)과 일치하여 모터(51)가 정지하면, 도5에 도시하는 모터(35)를 구동하여 그 출력축에 장치된 중간핀(36)을 회전시켜, 이에 장치된 롤러(37)를 화살표로 도시하는 바와같이 상방으로 180°회전시켜, 이 움직임과 리니어가이드(39)에 의한 안내에 의하여 긴 구멍(38a)을 사이에 승강판(38)을 바로 위로 2점쇄선의 위치까지 상승시켜, 이에 동반하여 클릭(32)을 상승시켜 캐리어(6)의 걸어맞춤구멍(6a)내로 삽입한다. 이로서, 클릭과 캐리어가 걸어맞춤하여 캐리어를 항온조로부터 끌어내어진 상태로 된다.

캐리어(6)의 인출은, 상기의 클릭(32)을 보내주는 동작의 반대의 동작으로 된다. 즉 모터를 역전시켜, 클릭(32) 및 이에 걸림된 캐리어(6)를 하판(2)의 위로 끌어들이고, 모터(41)를 역전시켜 하판(2)을 AGV중에 끌어들인다. 이 때에도 모터의 회전수나 적당히 설치한 센서등에 의하여 각각의 이동정지위치가 정해진다.

이상의 동작에서 1대의 캐리어의 항온조로부터 AGV에의 이재공정이 완료한다. AGV(1)에는 상하 2단으로 캐리어를 적재할 수 있으므로, 통상 상하 2대를 동시에 이재한다. 다만 캐리어 이재시에 AGV에 걸리는 반력등을 고려하여, AGV의 안정성을 유지하면서 1대씩 순서로 이재하도록 하여도 좋다.

AGV(1)가 2대의 캐리어(6)의 탑재를 완료하면, 주행제어부(14)가 다시 AGV(1)을 주행시켜, AGV는 정해진 궤도를 지나 컴퓨터(100)로 지지되어 있는 예를들면 IC삽발기(9i)의 위치에서 정지한다(도6). 이와같은 이동, 정지는 항온조의 경우와 같은 방법으로 행해진다. AGV가 정지하면 항온조로부터 AGV에의 이재시의 클릭 이동동작과 꼭같은 동작에 의하여 캐리어를 결합한 클릭을 IC삽발기상까지 전진시킨다. 다만, 이 경우에는 반드시 하판(2)을 먼저 전진시켜, 그 후 상판(3)과 함께 클릭 및 캐리어를 전진시킨다.

이 경우에도, 도11에 도시하는 바와같이 하판(2)의 이동에 의하여 AGV측의 롤러(25)가 2점쇄선으로 도시하는 위치까지 돌출하고, IC삽발기(9)상의 롤러(91)에 다리를 놓으므로, 캐리어(6)는 용이하게 안전 동시에 확실히 IC삽발기상에 이재된다. 캐리어의 이재가 완료하면, 모터(35)를 구동하여 클릭(32)을 하강시켜, 클릭을 캐리어의 걸어맞춤용 구멍(6a)에서 뽑아낸다. 그 후는 모터(51)를 구동하여 상판을 후퇴시킨 후 모터(41)를 구동하여 하판을 후퇴시켜, 클릭을 초기위치로 되돌린다.

IC삽발기(9i)에서는 우선 2단으로 적재된 번인보오드(61)의 1단씩 캐리어가 정지-하강을 반복하여 하강한다. 이때, 일정한 위치에서, 우선 제1단의 번인보오드가 캐리어로부터 뽑아내어지고, 그의 IC소켓(61c)(도9)에 장착되어 번인 시험의 종료한 IC(61a)가 소켓으로부터 떼어지고 새로이 시험하는 IC가 소켓에 장착된다. 이때 결함이 발견된 IC는 번인 시험전에 제외된다. 새로운 IC를 장착한 번인보오드는 다시 캐리어에 적재된다. 제1단의 번인보오드의 IC교환이 종료하면, 캐리어를 1단 하강시켜, 꼭같은 방법으로 제2단의 번인보오드의 IC를 교환한다.

전단의 번인보오드의 IC교환이 종료하면 캐리어를 재상승시킨 후 수평이동시켜, 다음의 번인 시험용에 항온조로 운반해 내기 가능한 상태로 한다. 상단의 캐리어의 처리가 종료하면 하단의 캐리어를 수평이동시켜서 꼭같이 처리한다. 이 경우에는, 캐리어는 1단씩 상승하고, 최상단의 번인보오드로부터 IC의 교환이 시작한다. 상하 2단으로 캐리어(6)가 적재되었을 때나, IC의 교환이 완료하였을 때등에는 IC삽발기가 이를 검지하고, 그 신호를 컴퓨터(100)로 보낸다.

항온조(7i)에는 4단의 캐리어중 2대가 운반되 내오고 2대가 잔류하고 있으므로, AGV(1)은 컴퓨터(100)로부터의 재차의 지령 또는 미리 정해진 동작 시퀀스에 의하여 다시 항온조(7i)의 위치로 이동하고, 나머지의 2대의 캐리어를 AGV상에 이재한다. 이 때의 이재도 최초로 2대일때와 같은 방법으로 행해진다.

예를들면 IC삽발기에 있어서 IC교환작업은 1시간 정도로 행해지고, 항온조에 있어서 번인 시험은 10수시간 내지 수10시간을 필요로 한다. 이 때문에 번인 설비로서는 이와같은 사용시간의 차나 분산을 고려하여 장치대수등이 정해지지만 IC의 종류나 시험내용기타에 의하여 소요시간이 대폭으로 다르기 때문에, 도6에 도시하는 바와같이 번인 시험이 끝난 캐리어 또는 시험전의 캐리어를 1차적으로 스톡하는 스토커(8)가 설치되어 있다.

예를들면 상기 IC삽발기(9i)에 2대의 캐리어가 적재되면, 7대의 IC삽발기의 전부에게 캐리어가 적재되어 있는 상태가 발생할 가능성이 있다. 이와같을 때에는 항온조로부터 이재한 캐리어를 일차적으로 스토커(8)에 싣는다. 항온조로부터 최초의 2대의 캐리어를 끌어냈을 때에 받아들이기 가능한 IC삽발기가 없는 경우에도 꼭같이 한다. 스토커(8)는 문짝을 구비하지 않고 또 단열구조로 되어 있지 않지만, 캐리어의 수용부분의 구조는 항온조와 같다. 따라서 스토커(8)와 AGV(1)와의 사이에 있어서 캐리어의 이재는 항온조와 AGV 사이에서의 이재와 같게 되므로, 스토커에의 이재에 대하여는 설명을 생략한다.

번인 시험이 종료하고 모든 캐리어가 꺼내어진 항온조에는 적당한 시간간격을 두고, 새로운 IC를 장착한 번인보오드를 적재한 캐리어가 넣어진다. 한편, IC삽발기(9)에서는 상시 자동적으로 IC의 교환작업이 행하여지고, 교환을 종료한 캐리어는 직접 항온조로 운반되든가 또는 받아들이기 가능한 항온조가 없는 경우에는 스토커(8)에 수용된다. 따라서, 항온조(7i)에는 스토커(8)또는 IC삽발기(9)의 어느 것으로부터인가 캐리어가 이재된다. 이와같은 지시는 컴퓨터(100)로부터 발신된다.

스토커(8) 또는 IC삽발기로부터의 캐리어 꺼내기는 항온조(7i)에서 설명한 방법과 같은 방법으로 행해진다. 이로서 AGV(1)에 탑재된 캐리어의 항온조(7i)에의 이재는 AGV(1)로부터 IC삽발기(9i)에의 이재에서 설명한 방법과 같은 방법으로 행해진다. 이 경우, 도11에서는 도시를 생략하고 있지만, 도7 및 도8에 도시하는 바와같이 도7의 롤러(74a) 및 도11의 롤러(91)에 대하여 그 양외측에 가이드링(74b)이 설치되어 있으므로 항온조등의 위치에 대해서 AGV에 탑재된 캐리어의 위치가 다소 어긋나 있더라도, 캐리어가 진입하였을 때에 가이드링(74b)로 안내되어 확실히 롤러상에 오르고, 이후도 이로 인하여 안내되어 진행하고, 경사한 방향으로 진행하는 일은 없다. 따라서 이재조작이 용이함과 동시에 항온조등의 폭방향의 치수를 최소로 할 수가 있다.

도6와 같은 번인 설비를 가진 공장에서는 IC삽발기(9)를 기준으로 하여, 가령 1시간마다 새로운 IC를 장착한 번인보오드를 적재한 캐리어가 2대씩 생긴다고 하면 스토커(8)를 사용하지 않는 가장 효율적인 장치운영이 이루어졌다하더라도, AGV(1)은 1시간당, IC삽발기 및 항온조와의 사이에서 72대이상의 캐리어의 이재를 하지 않으면 안된다는 것으로 된다. 이 경우에는 매분 1대이상의 베이스로 되고, 종래와 같이, 이 작업을 사람이 적당한 운반차량등을 사용하여 행한다고 하면 극히 많은 인수의 작업원이 필요로 되고, 또 운반차량의 대수도 많아지고 혼란이 생기거나 능율이 저하하는 것으로도 된다.

또, 무인포크리프트를 사용하는 경우에는 기술한 바와같이 항온조등이 대형화함과 동시에 차량의 방향 전환이나 포크의 높이방향의 위치결정등의 여분한 공정에 의하여 이재시간이 길어지고, 더욱 포크의 동작스페이스를 위하여 공장면적을 대폭으로 넓게 할 필요가 있다. 본 발명의 AGV를 사용하면 최소의 공장면적으로 용이하게 신속히, 안전동시에 확실히 캐리어의 이재가 할 수 있고, 상기와 같은 캐리어 이재의 하드스케쥴도 실행할 수가 있다. 그리고, 1대의 AGV로 다수의 항온조등의 장치에 대응할 수 있으므로 사고나 정체등을 일으키는 일 없이 AGV의 교통이 원활히 되고, 한층 능율좋게 이재작업을 행할 수가 있다.

한편, AGV를 통상의 구조의 캐리어 탑재스페이스만을 갖는다고하고, 항온조나 IC삽발기에 이재를 위한 장치를 설치한다고 하면, 다수대로 이루어지는 이들의 장치의 각각에 구동장치를 설치하지 않으면 안된다. 이에 대하여 본 발명에 의하면 이동이나 승강을 위한 구동장치를 1대의 AGV에만 설치하면 되므로 대폭적인 코스트 저감이 도모된다. 즉, 본 발명의 AGV와 항온조등의 통상의 자동화기술와를 조합함으로서, 고도·고능율의 자동화를 최저의 코스트로 달성할 수가 있다.

이상과 같이 AGV를 자동주행가능하게 함과 동시에, 하판이동기구(4), 상판이동기구(5) 및 클릭승강기구(33)를 자동화하고, AGV를 자동화된 IC의 번인설비에 사용하면 극히 큰 효과를 발휘한다. 그러나 소규모로 전자동이 아닌 번인 설비나, 기타의 전기·전자제품등의 제조공장등에서는, AGV의 운행이나 상기 제기구를 사람이 기측 또는 원격으로 조작하는 것과 같은 장치이라도 좋다. 이 경우에도, 하판 및 상판을 AGV의 본체부분에서 돌출시켜, 클릭을 걸어 캐리어등의 용기를 이재하는 장치에 의하여, 종래의 방법보다도 고 능율로 용이하고 동시에 안전히 용기의 이재작업을 행할 수가 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 청구항 1의 발명에 있어서는, 물품 적재용기이재장치중의 본체부분과 차륜을 구비한 것(이하에서는 예시적으로 「AGV」라 한다.)의 지지부재는 본체부분에서 일방향으로 돌출하도록 일방향으로서 예를들면 전진방향 및 그 반대방향으로서 후퇴방향으로 이동가능하게 지지되어 있어, 이를 이동시키는 제1이동수단이 설치되어 있으므로, 지지부재를 전진시켜 본체부분으로부터 돌출시킬 수가 있다. 한편, 이동체는 지지부재의 이동방향과 같은 방향으로 이동가능하도록 지지부재에 지지되어 있어, 이동체를 전후진시키는 제2이동수단이 설치되어 있으므로, 이동체를 지지부재에 대하여 상대적으로 전후진시킬 수가 있다. 더욱, 지지부재는 복수의 롤러에 의해 용기를 전후진으로 용이하게 지지할 수 있고, 또, 이동체는 용기와 결합되는 결합부를 구비하고 있다. 그리고, 물품적재용기이재장치중 수용장치내에 설치된 롤러구조부는, 용기가 이재될때에 용기를 그 방향으로 이동가능하게 지지하는 복수의 정위치롤러를 가진다.

그 결과, 예를들면 용기가 지지부재의 롤러상에 있고, 이동체와 용기가 결합되면, 지지부재를 전진시켜 본체부분에서 돌출시켜, AGV를 수용장치에 대향시켰을 때에 수용장치와의 사이에 불가피하게 생기는 간격을 좁혀서 지지부재를 수용장치에 접근시켜 이동체를 전진시켜 지지부재상에서 용기를 더욱 전진시켜, 이를 지지부재의 롤러상으로부터 수용장치의 정위치롤러상으로 이재할 수가 있다. 이 경우, 지지부재의 용기지지면과 수용장치의 용기지지면, 즉, 롤러상과 정위치롤러상과는 대략 같은 레벨로 되어 있다. 그리고, 상기와 같이, 롤러가 돌출한 정위치롤러로 다리를 놓아가므로, 용기는 용이하고 안전하게, 더욱, 확실하게 수용장치상으로 이재된다.

한편, 지지부재상에 용기가 없는 경우에는, 상기와 꼭 같은 동작으로 이동체를 이동시키므로서, 수용장치에 수용되어 있는 용기와 이동체의 결합부와를 결합시킬 수가 있다. 이 결합은 록장치등의 여러 가지 공지의 방법에 의하여 가능하다. 결합 후, 이동체를 후퇴시켜 지지부재를 후퇴시키므로서, 용기를 수용장치로부터 이재장치측으로 이재할 수가 있다.

이와같은 장치에 의하면, 지지부재와 이동체와를 같은 방향 또는 반대방향으로 이동시키는 것뿐인 1방향의 기본동작에 의하여 수용장치와 이재장치와의 사이에서 물품을 이재할 수 있으므로, 이재동작이 극히 용이하고, 안전, 확실 또한 신속히 행해진다. 또, 지지부재 및 이동체를 전후진방향에서 다른 방향으로 움직일 필요가 없으므로, 그와 같은 움직임에 대한 수용장치의 높이방향 및 폭방향의 치수여유가 불요로 되고, 장치를 소형화할 수가 있다. 더욱, 이들의 동작이 단순하기 때문에 이동수단의 조작도 용이하게 되고, 노력 절약화를 도모할 수 있고, 또 이재장치가 원격조작이나 자동운전에 적합한 것으로 된다.

청구항 2의 발명에 있어서는 물품 적재용기 이재장치가 복수의 번인장치와 복수의 반도체 제품 붙이고 떼기 장치와를 구비한 번인설비에 사용된다. 이와같은 번인설비에서는 극히 빈번 동시에 고능율로 물품을 장치간에 이재할 필요가 있으므로 상기와 같은 용이, 안전, 확실 동시에 신속한 이재동작이나 조작의 용이성, 원격조작이나 자동운전에의 적성이 한층 더 유효하게 이용된다.

청구항 3의 발명에 있어서는 차륜을 구동수단으로 구동하고, 이를 주행제어수단으로 제어하고, 더욱 제1이동수단과 제2이동수단와를 제어하는 이재제어수단을 설치하므로, 번인장치나 반도체 제품착탈장치등을 통상의 기술에 의하여 자동화하고, 이에 통상의 제어기술을 가함으로서, 용이하게 자동화된 번인설비를 실현할 수가 있다. 그리고, 생산능율의 향상이나 무인화 내지 대폭적인 인력절약화를 도모할 수가 있다. 이 경우, 이동수단이나 제2이동수단의 동작이 단순하기 때문에, 번인보오드를 탑재한 용기의 신속, 확실한 이재가 가능하게 되고, 고능율로 신뢰성이 높은 번인시험 자동화공장을 실현할 수가 있다.

더욱, 번인장치등 자체에 이재를 위한 구동장치나 제어장치를 설치한다고 하면 이들의 수는 매우 많아지고, 전체적 설비비용이 극히 높게 된다. 따라서, 청구항 3의 발명에 의하면, 번인시험설비의 자동화 비용을 대폭으로 저감할 수가 있다.

Claims (3)

1. 물품을 적재한 용기를 수용할 수 있는 복수의 수용장치 사이에서, 상기 용기를 이재하기 위한 물품 적재용기 이재장치로서 본체부분과 차륜과를 구비한 것과, 상기 복수의 수용장치내의 각각에 설치된 롤러구조부를 가지는 물품적재용기이재장치에 있어서,

   상기 본체부분과 차륜을 구비한 것은, 상기 본체부분에서 한 방향으로 돌출하도록 해당 한 방향 및 그 반대방향으로 이동가능하게 지지되고 상기 용기를 상기 방향으로 이동 용이하게 지지할 수 있는 복수의 롤러를 구비한 지지부재와, 상기 용기와 결합되는 결합부를 구비하고 상기 지지부재에 상기 방향으로 이동가능하게 지지되는 이동체와, 상기 지지부재를 이동시키는 제1이동수단과, 상기 이동체를 이동시키는 제2이동수단을 가지고,

   상기 롤러구조부는 상기 본체부분과 차륜을 구비한 것에 의해 상기 용기가 상기 복수의 수용장치의 어느곳인가로 이재될때에 상기 용기를 이재되는 방향으로 이동가능하게 지지하도록 회전자재로 축지지된 복수의 정위치롤러를 가지는 것을 특징으로 하는 물품 적재용기 이재장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 물품은 반도체 제품을 탑재한 복수의 번인보오드이고, 상기 수용장치는 적어도 복수의 번인장치와 복수의 반도체 제품착탈장치로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 물품적재용기 이재장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 차륜을 구동하는 구동수단과, 해당 구동수단을 소정의 신호에 의하여 제어하는 주행 제어수단과, 상기 제1이동수단과, 상기 제2이동수단이 소정의 시기에 작동하도록 제어하는 이재제어수단을 가지는 것을 특징으로 하는 물품 적재용기 이재장치.

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