KR100188111B1 - 액정 표시 장치의 패널 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 샷 간의 경계면이 화소 단위 또는 샷 단위의 간격으로 지그재그 형태 또는 나선형태가 되게 함으로써 액정 표시 장치의 패널에서 발생하는 스티치 오차를 줄일 수 있는 스티치 오차를 줄이기 위한 액정 표시 장치에 관한 것이다. 샷 단위를 A샷, B샷, C샷, D샷으로 구분한 후, 먼저 A마스크를 사용하여 A샷을 형성한 다음, A샷과의 경계면이 지그재그 형태 또는 나선형태가 되게 하는 B마스크를 사용하여 B샷을 형성하고, 다음 A샷과의 경계면이 지그재그 형태 또는 나선형태가 되게 하는 C마스크를 사용하여 C샷을 형성하고, 다음, B샷및 C샷과의 경계면이 지그재그 형태 또는 나선형태가 되게 하는 D마스크를 사용하여 D샷을 형성한다. 이때 샷 간의 경계면을 하나 또는 그 이상의 화소간격을 가진다. 이와 같은 방법에 의해 액정 표시 장치의 패널을 형성하면 샷간의 경계면이 밝기의 평균화로 육안으로 들어날 정도로 뚜렷하게 나타나지는 않는다.

Description

액정 표시 장치의 패널 제조 방법
제1도는 종래의 액정 표시 장치 패널의 샷 간의 경계면을 나타낸 평면도이고,
제2도는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정 표시 장치 패널의 샷 간의 경계면을 나타낸 평면도이고,
제3도는 본 발명의 제2실시예에 따른 액정 표시 장치의 패널의 샷 간의 경계면을 나타낸 평면도이다.
본 발명은 액정 표시 장치 패널의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세히 말하자면, 스티치 오차를 줄이기 위한 액정 표시 장치 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시 장치 패널은, 구동 신호를 전달하는 게이트선과 화상 신호를 전달하는 데이터선 그리고 상기 데이터선의 구동 신호에 따라 상기 데이터선의 화상 신호를 전달하는 박막 트랜지스터를 포함하는 박막 트랜지스터 기판, 공통 전극이 형성되어 있으며 색필터를 포함하고 있는 컬러 필터 기판, 상기 박막 트랜지스터 기판과 상기 컬러필터 기판 사이에 봉입되어 있는 액정 물질로 이루어져 있다.
이러한 액정 표시 장치 패널은 노광 장비인 스테퍼를 사용할 경우 패널 제작시 여러 부분으로 분할하여 제작한다. 이때 사용되는 스테퍼 노광 장비는 여러 부분으로 분할된 샷(shot)들을 반복 조합하여 패널의 패턴을 형성한다.
그런데 다층 형성시 상층과 하층 사이에서 부정합(missalign)이 일어나 기생용량(Cgs), 유지용량(Cst), 개구율 등의 변동으로 인하여 전기적, 광학적 특성이 달라져서 화상 표시시 샷 간의 목시 가능한 경계 부분이 나타난다.
제1도는 종래의 액정 표시 장치의 패널의 샷 간의 경계면을 나타낸 평면도이다.
제1도에 도시한 바와 같이, 다수 개로 분할된 샷(1, 2, 3, 4)에 의해 형성된 액정 표시 장치의 패널은 샷 단위마다 부정합 정도가 차이가 다르기 대문에, 샷 경계부에서 밝기 차이가 크게 나타난다.
여기서 샷 간의 경계부에서 나타나는 밝기의 차이를 스티치(stitch)오차라 말한다.
따라서 본 발명은 스티치 오차를 줄인 액정 표시 장치의 패널의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판 위에 다수 개의 마스크를 사용하여 샷간의 경계면이 지그재그 형태가 되도록 패널을 형성하는 것이다.
상기 샷간의 경계면은 하나 또는 그 이상의 화소 간격을 가지고 지그재그 형태가 되게 형성한다.
이와 같이, 샷 간의 경계면이 지그재그 형태가 되게 다수 개의 마스크를 사용하여 패널을 형성하면 샷 단위마다 부정합 정도의 차이가 나더라도 샷 경계 부분에서 밝기의 평균화로 샷 간의 경계가 뚜렷이 나타나지 않게 된다.
이러한 목적을 달성하기 위한 다른 발명은,
기판 위에 다수 개의 마스크를 사용하고 샷간의 경계면이 나선모양이 되게 하며 하나 또는 그 이상의 화소를 서로 어긋나도록 형성한다.
상기 샷간의 경계면은 샷 단위를 가지고 나선모양이 되게 형성된다.
이와 같이, 샷 간의경계 부분을 나선모양으로 서로 어긋나게 형성하면, 샷 단위마다 부정합 정도의 차이가 나더라도 샷 경계 부분에서 밝기의 평균화로 샷 간의 경계가 뚜렷이 나타나지 않는다.
첨부한 도면을 참고로 하여, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
제2도는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정 표시 장치의 패널의 샷 간의 경계면을 나타낸 평면도이다.
제2도에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 스티치오차를 줄이기 위한 액정 표시 장치 패널의 제조 방법은 다음과 같다.
기판 위에 다수 개의 마스크를 사용하여 샷간의 경계면이 지그재그로 형태가 되도록 패널을 형성한다.
즉, 샷 단위를 A샷(A), B샷(B), C샷(C), D샷(D)으로 구분한 후, 먼저 A마스크를 사용하여 A샷(A)을 형성한다. 다음, A샷(A)과의 경계면이 지그재그 형태가 되게 하는 B마스크를 사용하여 B샷(B)을 형성한다. 다음, A샷(A)과의 경계면이 지그재그 형태가 되게 하는 C마스크를 사용하여 C샷(C)을 형성한다. 다음, B샷(B) 및 C샷(C)과의 경계면이 하나 또는 그 이상의 화소 간격을 가지고 지그재그 형태가 되게 하는 D마스크를 사용하여 D샷(D)을 형성한다.
이와 같은 방법에 의해 액정 표시 장치의 패널을 형성하면 샷간의 경계면이 밝기의 평균화로 육안으로 들어날 정도로 뚜렷하게 나타나지 않는다.
한편, 제3도는 본 발명의 제2실시예에 다른 액정 표시 장치의 샷 간의 경계면을 나타낸 평면도이다.
제3도에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 스티치오차를 줄이기 위한 액정 표시 장치의 패널의 제조 방법은 다음과 같다.
기판 위에 다수 개의 마스크를 사용하고 샷간의 경계면이 나선모양이 되게 하며 하나 또는 그 이상의 화소를 서로 어긋나도록 형성한다.
즉, 샷 단위를 E샷(E), F샷(F), G샷(G), H샷(H)으로 구분한 후, 먼저 E마스크를 사용하여 E샷(E)을 형성한다. 다음, E샷(E)과의 경계면이 나선 형태가 되게 하는 F마스크를 사용하여 F샷(F)을 형성한다. 다음, E샷(E)과의 경계면이 나선 형태가 되고, F샷(F)과의 경계면이 나선 형태가 되게 G마스크를 사용하여 G샷(G)을 형성한다. 다음, G샷(G) 및 F샷(F)과의 경계면이 나선모양이 되도록 H마스크를 사용하여 H샷(H)을 형성한다.
이와 같이, 상기 샷간의 경계면은 샷 단위를 가지고 나선 형태가 되게 형성한다.
이와 같이, 샷 간의 경계 부분을 나선모양으로 서로 어긋나게 형성하면, 샷 단위마다 부정합 정도의 차이가 나더라도 샷 경계 부분에서 밝기의 평균화로 샷 간의 경계가 육안으로 들어날 정도로 뚜렷하게 나타나지는 않는다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 샷 간의 경계면이 화소 단위 또는 샷 단위의 간격으로 지그재그 형태 또는 나선형태가 되게 함으로써 액정 표시 장치의 패널에서 발생하는 스티치 오차를 줄일 수 있다.

Claims (4)

  1. 기판 위에 다수 개의 마스크를 사용하여 샷간의 경계면이 지그재그형태가 되도록 패널을 형성하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법.
  2. 제1항에서, 상기 샷간의 경계면은 하나 또는 그 이상의 화소 간격을 가지고 지그재그 형태가 되게 형성하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법.
  3. 기판 위에 다수 개의 마스크를 사용하고 샷간의 경계면이 나선모양이 되게 하며 그 경계부분을 하나 또는 그 이상의 화소가 서로 어긋나도록 형성하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법.
  4. 제3항에서, 상기 샷간의 경계면은 샷 단위를 가지고 나선 형태가 되게 형성하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법.
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