KR100186888B1 - 전자유량계 - Google Patents

Abstract

본 발명에서의 전자유량계는 측량대상이 되는 유체를 흘리는 측정관과, 상기 유체가 흐르는 방향과 수직한 평면상의 제 1방향 및 상기 제 1방향과 역방향의 제2방향에 인가되는 자계를 정기적으로 전환하는 교번자계를 인가하는 교번자계 인가수단과, 상기 제1방향과 산기 제2방향의 자계에 의해 각각 상기 유체에 발생하는 기전력을 1주기내의 동일 방향에서 복수회 샘플링하는 샘플링수단과, 상기 복수회의 샘플링에 의한 샘플링치중에서 소정의 범위외인 그 샘플링치의 배제 및 모의적인 값으로의 치환중의 어느 것인가에 의해 연산처리에 의한 유량을 얻는 연산수단을 구비한다.

Description

전자유량계

제1도는 종래의 전자유량계의 구성예를 나타낸 개요도

제2도는 본 발명에 의한 전자유량계의 1실시예를 나타낸 개요도

제3A도∼제3E도는 본 실시예에서 전자유량계의 여자신호, 유량신호, 카운터제어신호의 타이밍차트를 나타낸 도면

제4A∼제4E도는 본 실시예에서 전자유량계의 여자신호, 유량신호, 카운터 제어신호의 타이밍차트를 나타낸 도면

제5도는 본 실시예에서 신호처리 루틴의 일예를 나타낸 플로챠트

제6A도∼제6E도는 본 실시예에서의 전자유량계의 영자신호, 유량신호, 카운터제어신호의 타이밍차트(유량신호에 노이즈가 중첩한 경우의 일예)를 나타낸 도면.

본 발명은 도전성 유체등의 유체의 유량을 측정하는 전자유량계에 관한 것이며, 특히 유량신호에 포함되는 스파이크 노이즈 성분, 특히 여자주기에 가까운 간격에서 발생하는 스파이크 노이즈를 유효하게 제거할 수가 있고, 또한 유량에 대한 응답성을 손상하지 않는 노이즈 제거기능을 구비한 전자유량계에 관한 것이다.

제1도는 종래의 전자유량계의 구성예를 나타낸 개요도이다.

전자유량계는 검출기(1)와 변환기(11)를 갖는다.

검출기(1)는 유체가 흐르는 측정관(2)과 측정관(2)의 내벽에 부착된 전극(4)과 측정관(2)에 자속을 주는 여자코일(3)을 갖는다.

변환기(11)는 여자코일(3)에 전류를 흐르게 하고, 그 전류의 방향을 정기적으로 전환하는 여자회로(5)와 전극(4)으로 부터의 기전력(유량신호)을 증폭하는 증폭기(6)와 증폭한 유량신호를 일정기간 샘플링하여 디지털값으로 변환하는 A/D변환회로(7)와 여자방향의 전환 및 샘플링타이밍을 제어하는 제어회로(8)와 디지털화 된 유량신호를 처리하는 연산회로(9)와 유량신호를 출력하는 출력회로(10)를 갖는다.

상기의 구성에서 여자코일(3)에 흐르는 전류의 방향을 정기적으로 전환하여 교번의 자속을 가하는 것은 검출기(1)의 전극(4)에 발생하는 전기화학적인 작용에 의한 직류적인 분극 전압이 유량신호에 영향을 미치는 것을 방지(즉, 쌍방의 여자방향에서 샘플링 한 유량신호의 차를 취함으로써 직류노이즈의 영향을 방지)하기 위해서이다.

상기와 같은 전자유량계에서는 유량중의 고형물이 전극(4)에 충돌했을 때 등에서 발생하는 스파이크노이즈에 의해 지시(출력)가 불안정하게 되는 것이다.

댐핑정수를 크게 한다거나 유량신호를 평균화함으로써 어느정도 지시가 흔들거리는 것을 억제할 수가 있지만, 이 방법으로는 전자유량계의 응답성을 희생하여야 하므로 본래의 성능을 충분히 발휘할 수가 없다.

공지의 계측기술 중에서 일정주기로 측정을 하는 계기에 있어서 계기의 입력 범위에 대하여 어떤 범위를 넘는 측정치를 배제하든가 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산하는 기술을 생각할 수 있지만 여자주기 부근의 발생간격에서 스파이크 노이즈가 발생하면 1여자주기 마다의 측정치를 항상 노이즈의 영향을 받기 때문에 유효하지 못하다.

상기와 같은 종래의 전자유량계에서는 유량에 대한 응답성이 손상되거나 혹은 스파이크 노이즈의 영향을 받아서 지시(출력)가 불안정하게 된다.

본 발명의 목적은 유량신호에 포함되는 스파이크 노이즈성분, 특히 여자주기에 가까운 간격으로 발생하는 스파이크 노이즈에 대하여 이것을 유효하게 제거할 수가 있고, 또한 유량에 대한 응답성을 손상하지 않는 노이즈 제거기능을 구비한 극히 신뢰성 높은 전자유량계를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은(청구항 1), (청구항5)이고, 특히 (청구항2), (청구항3), 또는 (청구항4), 또한 (청구항5)이다.

본 발명의 전자유량계에서는 어떤 자속방향에서의 유량신호의 샘플링을 여러번 실시하여 이들의 샘플링값중에서 돌출하여 큰 값 혹은 적은 값으로서 (더우기 역위상(逆位相)에서의 같은 타이밍으로 샘플링한 값과의 차가 일정범위를 넘는 값인 경우에)그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산을 실시한다.

이에 따라 유량신호에 포함되는 스피이크 노이즈 성분, 특히 여자주기에 가까운 간격으로 발생하는 스파이크 노이즈에 대하여 이것을 유효하게 제거할 수가 있다. 유량에 대한 응답성을 손상하는 일도 없다. 따라서 노이즈 제거기을 구비한 극히 신뢰성이 높은 전자유량계를 제공할 수 있다.

본 발명의 골자는 교번의 자속에 의한 여자방식을 갖는 전저유량계에서 1주기의 동위상(同位相)에서 유량신호의 샘플링을 여러번 행하여 상기 복수의 샘플링값중에서 돌출하여 큰 값 혹은 적은 값의 경우(즉, 소정범위를 넘는 경우)에 그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산을 하는 것이다. 이 경우에 있어서 소정의 범위를 넘는다는 것은 동일 주기의 역위상(逆位相)에서 위상이 반전한후 동일 타이밍으로 샘플링한 값과의 차가 소정범위를 넘는 경우를 포함한다.

이하, 상기와 같은 고찰방법에 위거한 본발명의 1실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

제2도는 본 발명에 위한 잔저유량계의 구성예를 나타낸 개요도이며 종래예인 제1도와 동일요소에는 동일부호를 붙여서 나타내고 있다. 하기에 설명하는 실시예에서 1주기의 동일상(同一相)에서 샘플링수를 설명의 편의상 3회로 하지만, 이것에 한정하지 않고 1주기내의 동일상에서 샘플링회수는 적의 설정가능하다.

본 실시예의 전자유량계는 검출기(1)와 변환기(11)를 갖는다.

검출기(1)는 유체가 흐르는 측정관(2)의 내벽에 부착된 전극(4)와 측정관(2)에 자속을 주는 여자코일(3)을 갖는다.

변환기(11)는 여자코일(3)에 전류를 흐르게 하고 그 전류의 방향을 정기적으로 전환하는 여자회로(5)와 전극(4)으로부터의 기전력(유량신호)을 증폭하는 증폭기(6)와 증폭한 유량신호를 일정시간 샘플링하여 디지털값으로 변하는 A/D변환회로(7)와, 여자방향의 전환 및 샘플링타이밍을 제어하는 제어회로(8)와, 디지털화된 유량신호를 처리하는 연산회로(9)와 유량신호를 출력하는 출력회로(10)을 갖는다.

A/D변환회로(7)는 전압레벨을 펄수주파수로 변환하는 V/F변환회로(12)와, V/F변환회로(12)로부터의 출력펄스를 계수하는 제1∼제3 카운터(13∼15)를 갖는다.

제어회로(8)는 제1∼제3카운터(13∼15)를 각각 다른 타이밍으로 제어하고, 이것에 의하여 제1∼제3카운터(13∼15)는 각각 다른 타이밍, 샘플링시간으로 유량신호의 A/D변환치(적산치)를 출력한다.

상기와 같이 구성한 본 실시예의 동작을 제3A도∼ 제6E도를 사용하여 설명한다.

제3A도∼제3E도는 각각 여자신호, 유량신호 및 제1~제3도카운터의 제어신호, 즉 샘플링시간의 제어신호의 실시예를 나타낸 타이밍 차트이다.

제어회로(8)로부터의 카운터제어신호의 레벨이 H일 동안 카운터(13~15)의 게이트가 열리어 V/F 변환회로(12)로부터의 출력펄스를 적산한다.

제3A도~ 제3E도에서 1주기내의 동일상에서 각 샘플링시간 Tsa, Tsb, Tsc는 각각 Tsa =Tsb=2/3 Tsc 의 관계에 있다. 각 샘플링시간의 각각의 타이밍에서 샘플링값을 Sa,Sb,Sc라 하면 샘플링시간이 같고 샘플링타이밍이 다른 샘플링값 S₁,S₂,S₃가 S₁=Sc-Sb,S₂=Sa+Sb-Sc, S₃=Sc-Sa 에 의해 얻어진다.

이 경우에 제4a도~제4e도에 나타낸 바와같은 샘플링의 제어방법도 있으나 제3a도~제3e도에 나타낸 바와같은 샘플링 방법으로 1회의 샘플링 시간을 길게 함으로써 보다 높은 분해능으로 변환할 수 있다.

이 경우에는 1주기의 동 위상의 1개 샘플링값 Sc를 사용하여 연산을 하는 것이 종래의 연산방식이다.

제3a도~제3e도에 및 제4a도~제4e도중에서 S1'~S3'의 샘플링값은 동일 주기의 역위상에서 S1~S3에 대응하는 타이밍에서 샘플링값을 나타내고 있다.

제5도는 본 실시예의 장치에 의해 얻어진 1주기내의 동일상에서 3개의 샘플링값 S1에 대한 처리루틴을 나타낸 플로차트이다.

샘플링치변수 S와 카운터n과, 1주기내의 동일상에서 샘플링수(본 실시예에서는 3)을 초기치로 설정한다(스텝A1). (→N은 초기치가 3일 것과 n은 초기치가 1이어야 하는 이유에서 A1의 내용을 변경하였습니다.)

1번째의 샘플링값 S1이 소정의 범위내에 있느냐의 여부를 체크한다(스텝 A2). 스텝 A2에서 샘플링값 S1이 소정의 범위외인 경우에는 동일 주기내의 역위상에서 샘플링값 S1에 대응하는 타이밍으로 얻어진 샘플링값 S1'와 이 차가 소정의 범위내인가의 여부를 체크한다(스텝A3).

스텝 A3에서 동일 주기내의 역위상에서 샘플링값 S1에 대응하는 타이밍으로 얻어진 샘플링값 S1'와의 차가 소정의 범위외이면 이 샘플링값 S1은 부적당한 것으로 해서 제거한다. 이에 따라 샘플링수를 N=3으로 부터 N=2로 한다(스텝A4 )

스텝 A2에서 샘플링치 S1이 소정의 범위내 또는 스텝 A3에서 동일 주기내의 역위상에서의 샘플링값 S1에 대응하는 타이밍(역위상에서의 같은 타이밍이라 칭하는 경우도 있다)으로 얻어진 샘플링값 S1'와의 차가 소정의 범위내인 경우에는 샘플링값변수 S에 샘플링값 S1의 값이 가산된다(스텝 A5).

다음에 샘플링값 S2의 타당성을 체크하기 위하여 카운터 값 n을 1증분한다(스텝 A6). 카운터값 n이 3을 넘고 있으면(스텝 A7)샘플링데이터는 없으므로 샘플링값 변수 S를 샘플링수 n으로 나누어서 샘플링값의 평균을 구한다(스텝 A6). 카운터값 n이 S이하이면 아직 샘플링데이터가 있으므로 스텝 A2로부터 상기의 스텝을 되풀이한다(스텝 A7).

상기와 같은 동작에 의해 제6a도~ 제6e도에 나타낸 바와같은 유량신호에 노이즈(예를들면 샘플링값 S2)가 중첩한 경우에 종래에는 제6e도에 나타낸 Tsc간의 샘플링값(카운터 C의 적산치)만을 사용하여 유체의 유량을 연산하기 때문에 노이즈의 영향을 받는다. 그러나 본 실시예에서는 우선 3개의 샘플링값 S1,S2,S3로 분해하기 때문에 노이즈 성분을 포함하는 샘플링값 S2를 배제하고 나머지 S1,S3 만 사용하여 연산할 수가 있으므로 출력치는 노이즈분의 영향을 받지 않는다.

단순히 샘플링값 S1,S2,S3의 비교만에 의하여 이상치를 배제하는 것으로는 여자방향의 전환에 의해 발생하는 동상(同相) 노이즈에 의하여 돌출한 샘플링값도 배제의 대상이 되어버려 항상 연산에 가해질 수 없게 되어 정상적인 측정치를 얻을 수 없게 된다. 본 실시예는 상기의 동작에 더하여 동일 주기내의 샘플링값에 대응하는 역위상에서의 샘플링값과의 차가 소정치보다도 클 경우에만 배제의 대상으로 하였으므로 이와같은 결함은 발생하지 않는다.

스텝 A4의 설명에서 스텝 A2에서는 샘플링값 Sn이 소정의 범위외이고, 스텝 A3에서는 역위상에서의 같은 타이밍으로 얻어진 샘플링값 Sn'와의 차가 소정의 범위외인 경우에는 샘플링값 Sn이 부적당하다는 것으로 해서 제외하도록 하였으나, 이에 한정하지 않고 샘플링값 Sn을 스텝 A8에서 구해지는 평균치등의 모의적인 값으로 치환할 수도 있다.

상기와 같이 본 발명장치는 검출기(1)와 변환기(11)를 구비하여 검출기(1)는 또한 유체가 흐르는 측정관(2)과 측정관(2)의 내벽에 부착된 전극(4)과 측정관(2)에 자속을 주는 여자코일(3)을 가지며, 변환기(11)는 또한 여자코일(3)에 전류를 흐르게 하고, 그 전류의 방향을 정기적으로 전환하는 여자회로(5)와, 전극(4)으로 부터의 기전력(유량신호)을 증폭하는 증폭기(6)와 증폭한 유량신호를 일정시간 샘플링하여 디지털값으로 변환하는 A/D변환회로(7)와 여자방향의 전환 및 샘플링 타이밍을 제어하는 제어회로(8)와 디지털화된 유량신호를 처리하는 연산회로(9), 유량신호를 출력하는 출력회로(10)를 갖는다. 이 구성에 의해 각각의 자속방향으로 패러디 법칙에 따라 유체에 발생하는 기전력(유량신호)을 측정관(2)에 부착한 전극(4)을 개재하여 샘플링해서 연산처리하여 유량을 얻을수가 있다.

본 방명장치는 A/D 변환회로(7)가 전압레벨을 펄스 주파수로 변환하는 V/F 변환회로(12)와 V/F 변환회로(12)로 부터의 출력펄스를 계수하는 제1~제3카운터(13~15) 를 가지며, 제어회로(8)에 의해 제1~제3카운터(13~15)를 각각 다른 타이밍으로 제어하여 제1~제3카운터(13~15)로 각각 다른 타이밍, 샘플링시간내에서의 유량신호의 변환치(적산치)를 출력함으로써 어떤 자속방향에서의 유량신호의 샘플링을 여러번 행하고 있다. 이들 여러번의 샘플링값 Sn(n=1~N)중에서 어떤 제한범위를 넘는 값으로서 또한 역위상의 같은 타이밍으로 샘플링한 값과의 차가 일정범위를 넘는 경우에 그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산하도록 하고 있다.

이 경우에서 제한범위는 미리 고정된 값이어도 좋고 데이터로 부터 분산치 혹은 표준편차등을 구하여 그 값의 예를들어 2배 또는 3배등을 범위로해서 설정하여도 좋다. 또한 모의적인 값은 예를들어 샘플링값의 산술평균등이다.

상기로부터 본 발명에 의하면 저주파 노이즈를 포함하는 샘플링값을 연산에 가하지 않고 처리하는 것(즉 변환기의 샘플링회로나 A/D 변환회로의 능력범위를 넘는 값을 연산에 반영시키지 않는 방식으로 하고 있기 때문에 종래와 같은 여자주파수로 응답성을 손상함이 없이 스파이크 노이즈의 영향을 제거하는 것)이 가능해진다.

따라서 노이즈 성분을 포함하는 샘플링값을 최초부터 연산에 반영하지 않으므로 장시간의 평균화나 큰 댐핑정수에 의한 처리를 하지 않아도 노이즈의 영향을 효과적으로 제거할 수 있다.

단순히 돌출한 샘플링값을 배제하는 것으로는 여자방향의 전환에 의해 발생하는 동상(同相)노이즈에 의해 돌출한 샘플링값도 배제의 대상이 되어버려 항상 연산에 가해질 수 없게 되므로 정상적인 측정치를 얻을수 없게 된다. 그러나 본실시예에서는 역위상의 같은 타이밍에서의 샘플링값과 비교하여 그 차가 클 경우에만 배제의 대상으로 함으로써 이와같은 결함을 방지할수가 있다.

이상으로 유량신호에 포함되는 스파이크 노이즈성분, 특히 여자주기에 가까운 간격으로 발생하는 스파이크 노이즈에 대하여 이것을 유효하게 제거할수 있으며, 또한 유량에 대한 응답성을 손상하는 일도 없다.

본 발명은 상기 실시예에 한정하는 것은 아니다.

본 발명은 다음과 같이 하여도 마찬가지로 실시할 수가 있다.

(a) 상기 실시예에서는 어떤 자속방향에서 유량신호의 샘플링을 여러번 행하고, 이 샘플링값중에서 돌출하여 큰 값 혹은 적은 값인 경우에는 그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산하는 방식으로 해서 어떤 자속 방향에서의 여러번의 샘플링값 Sn(n=1~N) 중에서 어떤 제한 범위를 넘는 값이고 또한 역위상의 같은 타이밍으로 샘플링한 값과의 차가 일정범위를 넘을 경우에 그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산하는 경우를 설명하고 있다. 본 발명은 이것에 한정하지 않으며, 예를들어 본래의 유량신호에 대한 노이즈성분을 보다 두드러지게 제거하는 연산방식으로 하도록 하여도 좋다.

구체적으로는 1주기 내의 소정의 자속방향에서의 여러번의 샘플링값 Sn(n=1~N)의 평균

을 기준으로 하여 소정의 제한범위를 넘는 경우에 그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산하도록 하여도 상기 실시예의 경우와 마찬가지의 효과가 얻어진다. 이 경우에 상기 실시예와 마찬가지의 샘플링값 Sn과 역위상의 같은 타이밍으로 샘플링한 값과의 차가 일정범위를 넘는 제한을 두어도 좋다.

(b) 상기(a)의 연산방식에 의한 연산을 보다 효과적으로 하는 연산방식으로서 상기 어떤 자속방향에서의 여러번의 샘플링치 Sn(n=1~N) 중에서 어떤 샘플링값 Si가 그 샘플링값을 제외한 샘플링값의 평균

을 기준으로 어떤 제한범위를 넘는 경우에는 그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산하도록 하여도 좋다. 이 경우에 상기 실시예와 마찬가지로 샘플링값 Sn와 역위상의 같은 타이밍으로 샘플링한 값과의 차가 일정범위를 넘는 제한을 두어도 좋다.

(c) 상기 실시예에서는 1주기내의 소정의 자속방향에서의 유량신호의 샘플링을 여러번 행하고, 이들 샘플링값중에서 돌출하여 큰 값 혹은 적은 값인 경우에 그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산하는 방식에 있어서, 상기 여러번의 샘플링값 Sn(n=1~N)중에서 어떤 제한범위를 넘을 경우에는 그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산하는 경우를 설명하였으나, 이것에 한정하지 않고 예를 들어 전후의 샘플링값의 비교에 의해 돌발적 노이즈를 제거하는 연산방식으로 하도록 하여도 좋다.

즉 구체적으로는 상기 어떤 자속방향에서의 여러번의 샘플링값 Sn(n=1~N) 중에서 어떤 샘플링값 Si가 그 전후에서 샘플링한 값 Sn(n=1~N)을 기준으로 어떤 제어범위를 넘는 경우에는 그 값을 배제 혹은 모의적인 값으로 치환하여 연산하도록 하여도 상기 실시예의 경우와 마찬가지로 효과가 얻어진다. 이 경우에 상기 실시예와 마찬가지의 샘플리값 Sn 과 역위상의 같은 타이밍으로 샘플링한 값과의 차가 일정범위를 넘는 제한을 두어도 좋다.

또한 상기 실시예의 설명에서는 1주기내의 샘플링값의 취급에 대해 설명하였으나 전회 이전의 주기에서 얻어진 샘플링값을 기준치에 산입하여 사용하여도 좋다.

본 발명은 기타 본발명의 요지를 변경하지 않는 범위내에서 여러가지의 변경이 가능하다.

Claims (8)

1. 측정대상이 되는 유체가 흐르는 측정관과, 상기 유체가 흐르는 방향과 수직인 평면상의 제1방향 및 상기 제1방향과 역방향의 제2방향에 인가되는 자계를 정기적으로 전환하여 교번자계를 인가하는 교번자계 인가수단과,

   상기 제1방향과 상기 제2방향의 자계에 의해 각각 상기 유체에 발생하는 기전력을 1주기내의 동일 방향에서 여러번 샘플링하는 샘플링수단과,

   상기 여러번의 샘플링에 의한 샘플링값중에서 소정의 범위외인 그 샘플링값의 배제 및 모의적인 값으로의 치환중의 어느 것인가에 의해 연산처리에 의한 유량을 얻는 연산수단을 구비한 전자유량계.
2. 제 1항에 있어서, 상기 연산수단은 상기 제1 및 상기 제2방향중의 적어도 한 방향에서 여러번의 샘플링값 S1Sn(n=1~N) 중에서 소정의 범위외인 그 샘플링값의 배제 및 모의적인 값으로의 치환중의 어느 것인가를 실행하는 수단을 포함한 전자유량계.
3. 제 1항에 있어서, 상기 연산수단은 상기 제1 및 상기 제 2방향중의 적어도 한 방향에서 여러번의 샘플링값 S1Sn(n=1~N) 중에서 샘플링값의 평균

   을 기준으로 하여 소정의 범위외인 그 샘플링값의 배제 및 모의적인 값으로의 치환중의 어느것인가를 실행하는 수단을 포함한 전자유량계
4. 제 1항에 있어서, 상기 연산수단은 상기 제1 및 상기 제 2방향중의 적어도 한 방향에서 여러번의 샘플링값 Sn(n=1~N)중에서 어떤 샘플링값 Si가 그샘플링값을 제외한 샘플링값의 평균

   을 기준으로 하여 소정의 범위외인 그 샘플링값의 배제 및 모의적인 값으로의 치환중의 어느것인가를 실행하는 수단을 포함한 전자유량계
5. 제 1항에 있어서, 상기 연산수단은 상기 제1 및 상기 제 2방향중의 적어도 한 방향에서 여러번의 샘플링값 Sn(n=1~N)중에서 어떤 샘플링값 Si가 그 전후에서 샘플링한 값 S(i-1), S(i+1)을 기준으로 하여 소정의 범위외인 그 샘플링값의 배제 혹은 모의적인 값으로의 치환중의 어느것인가를 실행하는 수단을 포함한 전자유량계
6. 제 1항에 있어서, 상기 연산수단은 역위상의 같은 타이밍으로 샘플링한 값과의 차가 일정범위를 넘는 값인 경우에 그 샘플링값의 배제 및 모의적인 값으로의 치환중의 어느것인가를 실행하는 수단을 포함한 전자유량계
7. 제 1항 내지 제 6항 어느 한항에 있어서, 상기 모의적인 값은 동일한 자계의 방향에서의 샘플링값의 평균치를 포함한 전자유량계.
8. 유체가 흐르는 방향과 수직인 평면상의 제 1방향 및 상기 제 1방향과 역방향의 제 2방향에 인가되는 자계를 정기적으로 전환하는 교번자계를 인가하는 스텝과,

   상기 제 1방향과 상기 제 2방향의 자계에 의해 각각 상기 유체에 발생하는 기전력을 1주기내의 동일방향에서 여러번 샘플링하는 스텝과,

   상기 여러번의 샘플링에 의한 샘플링값중에서 소정의 범위외인 배제 및 모의적인 값으로의 치환중의 어느것인가에 의해 연산처리에 의한 유량을 얻는 스텝을 구비한 유량측정방법