KR0174994B1 - Chemical transport tank and chemical supply device using the same - Google Patents
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Abstract
케미컬 운반작업이 효율적이고 환경문제에 대처할 수 있으며 공정설비로의 케미컬 공급이 용이하도록 된 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치에 관한 것으로, 케미컬 운반용 용기는 케미컬을 수용하기 위한 저장조와, 상기 저장조의 상부를 밀폐하도록 설치된 상판, 상기 상판에 관통설치된 케미컬 배출파이프 및 N2가스 유입파이프, 상기 케미컬 배출파이프 N2가스 유입파이프의 상단부에 각각 설치되어 유로를 선택적으로 개폐하기 위한 밸브로 구성되고, 케미컬 공급장치는 케미컬을 일정량 저장하기 위한 서비스 탱크, 케미컬 운반용 용기내의 케미컬을 상기 서비스 탱크로 옮기기 위해 연결된 케미컬 공급라인, 상기 케미컬 운반용 용기내에 N2가스를 주입시키기 위한 N2공급라인 및 상기 케미컬 공급량을 제어하는 제어부로 구성된 것이다.The present invention relates to a chemical transport container and a chemical supply device using the same, wherein the chemical transport operation is efficient, can cope with environmental problems, and facilitates chemical supply to a process facility. The chemical transport container includes a storage tank for accommodating the chemical, and The upper plate is installed to seal the upper portion, the chemical discharge pipe and N 2 gas inlet pipe installed through the upper plate, and the valve is installed on the upper end of the chemical exhaust pipe N 2 gas inlet pipe respectively to selectively open and close the flow path, The supply device includes a service tank for storing a certain amount of chemical, a chemical supply line connected to transfer chemicals in the chemical transport container to the service tank, an N 2 supply line for injecting N 2 gas into the chemical transport container, and the chemical supply amount. Phrase as control unit to control It will cost.
따라서 케미컬의 운반 및 공급작업이 편리하여 작업성 및 생산성이 향상되고, 케미컬에 의한 환경오염이 예방되며, 케미컬의 장시간 보관시에도 케미컬의 오염 및 특성에 변화가 없어 품질이 유지되는 효과가 있다.Therefore, it is convenient to transport and supply chemicals, thereby improving workability and productivity, preventing environmental pollution by chemicals, and maintaining the quality without changing chemical contamination and properties even during long-term storage of chemicals.
Description
제1도는 종래의 케미컬 공급과정을 개략적으로 나타낸 구성도이다.1 is a schematic view showing a conventional chemical supply process.
제2도는 본 발명에 따른 케미컬 운반용 용기를 나타낸 단면구조도이다.Figure 2 is a cross-sectional structural view showing a chemical transport container according to the present invention.
제3도는 본 발명에 따른 케미컬 운반용 용기를 이용한 케미컬 공급장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.3 is a schematic view showing a chemical supply apparatus using a chemical transport container according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10 : 용기 11 : 저장조10 container 11: reservoir
12 : 상판 13 : 케미컬 배출파이프12: top plate 13: chemical discharge pipe
14 : N2가스 주입파이프 15,16 : 밸브14: N 2 gas injection pipe 15,16: valve
17 : 커버 21 : 케미컬 공급라인17: cover 21: chemical supply line
22 : 서비스 탱크 23 : N2가스 공급라인22: service tank 23: N 2 gas supply line
24 : 제어부 25 : 필터24: control unit 25: filter
26 : 유량제어센서26: flow control sensor
본 발명은 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 케미컬 운반작업이 효율적이고 환경문제에 대처할 수 있으며 공정설비로의 케미컬 공급이 용이하도록 된 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical transport container and a chemical supply device using the same, and more particularly, to a chemical transport container that can efficiently and chemically handle chemical transport operations and to easily supply chemicals to a process facility, and a chemical supply using the same. Relates to a device.
일반적으로 반도체소자의 제조공정에는 화학반응을 이용하는 것이 많아 여러종류의 케미컬이 다량 사용되고 있다. 이러한 케미컬을 메이커(Maker)로부터 각 반도체소자 제조업체의 공정라인까지 운반하여 공급하는 과정에서 케미컬의 대기 노출은 환경오염 문제 및 케미컬의 품질 저하를 유발하고, 또한 많은 양의 케미컬을 지속적으로 공급해야 하므로 효율적인 공급은 생산성 향상 및 비용 절감면에서 매우 중요한 요인이 된다.In general, many kinds of chemicals are used in the manufacturing process of semiconductor devices because many chemical reactions are used. In the process of transporting these chemicals from the maker to the process line of each semiconductor device manufacturer, exposure to the air causes chemical pollution problems and deterioration of the quality of the chemicals, and also needs to continuously supply a large amount of chemicals. Efficient supply is an important factor in improving productivity and reducing costs.
종래에는 메이커에서 제조된 케미컬을 반도체소자 제조업체로 운반하기 위한 용기로서 13.5ℓ 용적의 고분자 폴리에틸렌으로 제조된 바틀(Bottle)을 사용하고 있으며, 케미컬 공급장치는 제1도에 도시된 바와 같이 바틀(1)내의 케미컬을 펌프(2)로 펌핑하도록 되어 있고, 펌핑된 케미컬은 필터(3)를 거치면서 필터링된 후 서비스 탱크(4)에 저장되며, 상기 서비스 탱크(4)는 각 공정설비와 공급라인(5)으로 연결되어 필요시 선택적으로 각 공정설비에 케미컬을 공급할 수 있도록 구성되어 있다.Conventionally, a bottle made of polymer polyethylene having a volume of 13.5 L is used as a container for transporting a chemical manufactured by a manufacturer to a semiconductor device manufacturer, and the chemical supply device includes a bottle (1) as shown in FIG. The chemicals in the pump are pumped by the pump 2, and the pumped chemicals are filtered through the filter 3 and then stored in the service tank 4, and the service tanks 4 are each process equipment and supply line. It is connected to (5) so that chemical can be selectively supplied to each process equipment if necessary.
그러나 상기 바틀(1)은 케미컬을 운반할 수 있는 용량이 적기 때문에 많은 양의 케미컬을 운반하기 위해서는 다수의 바틀(1)이 필요하게 되었고, 바틀(1)를 운반하는 과정에서도 다수의 바틀(1)을 한 번에 운반하기 위해 다수의 바틀(1)을 하나로 묶을 수 있는 별도의 포장이 필요하게 되므로 바틀(1)의 포장과, 운반후 포장을 풀어야 하는 운반작업상의 번거로움이 있었다.However, since the bottle 1 has a small capacity to carry chemicals, a large number of bottles 1 are required to carry a large amount of chemicals, and a plurality of bottles 1 may also be carried in the process of transporting the bottles 1. In order to transport a) at a time, a separate packaging that can bundle a plurality of bottles (1) is needed, there was a hassle in the packaging operation of the bottle (1), and the transport operation to unpack after transportation.
또한 바틀(1)은 고분자 폴리에틸렌으로 제조된 것이므로 케미컬의 장시간 보관시 케미컬과 반응하여 파티클 발생 및 케미컬의 특성변화를 초래하고, 통상 야적장에 보관함에 따라 직사광선, 온도, 습도 등의 관리가 어려워 장시간 보관시 품질에 영향을 주게 되며, 쉽게 파손되고 오래 사용하면 케미컬의 누출 염려가 있는 것이므로 새로운 바틀로 교체시 폐바틀의 재활용이 어려워 환경문제를 유발하게 된다.In addition, since the bottle (1) is made of high molecular polyethylene, it reacts with the chemical during long-term storage of the chemical, causing particle generation and chemical property changes, and it is difficult to manage direct sunlight, temperature, and humidity for a long time as it is usually stored in a yard. It will affect the quality of the product, and if it is easily broken and used for a long time, there is a risk of chemical leakage, and it will be difficult to recycle the waste bottle when replacing it with a new bottle, causing environmental problems.
그리고 메이커에서 제조되어 운반되는 바틀(1)의 수가 너무 많기 때문에 모든 바틀내의 케미컬 성분을 검사하는 것이 어렵고, 이로써 로트(Lot)별로 2개의 바틀(1)을 샘플링하여 케미컬의 성분을 검사하였던 것으로, 이는 모든 바틀내의 케미컬을 검사하는 것이 아니므로 규정미달의 케미컬이 공급될 수 있고, 이러한 케미컬을 공정에 사용하는 경우 불량을 유발할 수 있다.And since the number of bottles (1) manufactured and transported in the maker is too large, it is difficult to test the chemical components in all the bottles, thereby sampling the two bottles (1) per lot (Lot) to test the chemical components, This is not an inspection of all the chemicals in the bottle, so under-regulated chemicals can be supplied, which can lead to failure if such chemicals are used in the process.
한편, 상기 바틀(1)내의 케미컬을 서비스 탱크(4)로 옮기는 과정에서도 바틀(1)의 캡을 열고 펌프(2)로 펌핑하는 것이므로 케미컬이 대기에 노출되어 주변 환경을 오염시킴과 동시에 케미컬에 파티클이 유입될 수 있으며, 특히 유해한 케미컬인 경우 작업자에게 산업재해의 피해를 주게 된다.Meanwhile, in the process of transferring the chemical in the bottle 1 to the service tank 4, the cap of the bottle 1 is opened and pumped by the pump 2, so that the chemical is exposed to the atmosphere and contaminates the surrounding environment. Particles can be introduced, especially in the case of harmful chemicals, which can cause injury to workers.
또한 바틀(1)의 용적이 적기 때문에 수시로 바틀을 교체해야 하므로 작업성을 저하시키게 되고, 펌핑에 의한 공급이므로 바틀(1) 바닥부분의 케미컬까지 완전히 공급할 수 없어 바닥에 미량의 케미컬이 잔재하게 되었으며, 상기와 같이 잔재되는 미량의 케미컬은 수 많은 바틀에서 발생되므로 년간 자연손실양으로 보면 그 정도가 매우 커 경제적 손실을 초래하는 문제점이 있다.In addition, since the volume of the bottle (1) is small, the bottle must be replaced from time to time, which lowers the workability, and since it is supplied by pumping, the chemical at the bottom of the bottle (1) cannot be completely supplied, so that a small amount of chemical remains on the floor. Since the trace amount of the residual chemicals is generated in a large number of bottles, the amount of natural loss per year is very large, resulting in economic losses.
본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 한 번에 많은 양의 케미컬을 수용할 수 있도록 하여 케미컬 운반작업 및 케미컬 공급작업을 용이하게 함으로써 작업시간 단축 및 작업성을 향상시킬 수 있는 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to solve the above problems, it is possible to accommodate a large amount of chemical at a time to facilitate the chemical transport operation and chemical supply work chemicals that can shorten the work time and improve workability To provide a transport container and a chemical supply device using the same.
본 발명의 다른 목적은 용기의 재활용이 가능하고 반영구적으로 사용할 수 있도록 하여 폐기물이 발생하지 않으며, 케미컬의 공급시 케미컬이 대기에 노출되지 않도록 함으로써 주변환경의 오염 및 작업자의 산업재해를 미연에 방지할 수 있은 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to be able to recycle the container and to use semi-permanently, so that no waste is generated, and the chemical is not exposed to the air when the chemical is supplied, thereby preventing pollution of the surrounding environment and worker's industrial accident. To provide a chemical transport container and a chemical supply device using the same.
본 발명의 또 다른 목적은 용기내의 케미컬 배출시 N2가스를 이용하여 용기내의 케미컬을 남김없이 완전히 공급함으로써 케미컬의 자연손실로 인한 경제적 손실을 감소시킬 수 있는 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치를 제공하는 데 있다.Still another object of the present invention is to provide a chemical transport container and a chemical supply device using the same, which can reduce the economic loss due to natural loss of the chemical by completely supplying the chemical in the container using N 2 gas when discharging the chemical in the container. To provide.
본 발명의 또 다른 목적은 케미컬을 장시간 보관, 운반 및 공급하는 과정에서 케미컬 특성이 변화되거나 파티클이 생성되어 품질을 저하시키는 것을 방지할 수 있는 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치를 제공하는 데 있다.Still another object of the present invention is to provide a chemical transport container and a chemical supply device using the same, which can prevent chemical properties from being changed or particles are degraded in the process of storing, transporting and supplying chemicals for a long time. .
상기의 목적은 케미컬을 운반하기 위한 용기에 있어서, 케미컬을 수용하기 위한 것으로 상부가 개방된 저장조와, 상기 저장조의 상부를 밀폐하도록 설치된 상판과, 상기 상판에 관통설치된 케미컬 배출파이프 및 N2가스 유입파이프와, 상기 케미컬 배출파이프 및 N2가스 유입파이프의 상단부에 각각 설치되어 유로를 선택적으로 개폐하기 위한 밸브와, 상기 상판에 회동가능하게 설치되어 상기 밸브부위를 덮어 보호하기 위한 커버를 포함하여 됨을 특징으로 하는 케미컬 운반용 용기에 의해 달성될 수 있다.The above object is to accommodate a chemical in a container for transporting a chemical container, the upper part of which is open, a top plate installed to seal the upper part of the reservoir, a chemical discharge pipe and N 2 gas inflow penetrating the upper plate. A pipe, valves for selectively opening and closing the flow paths respectively installed at upper ends of the chemical discharge pipe and the N 2 gas inflow pipe, and rotatably installed on the upper plate to cover and protect the valve part. It can be achieved by a chemical delivery container characterized in that.
이때 상기 저장조 및 상판은 스테인레스 스틸로 제조하여 케미컬과 반응하지 않도록 하고, 저장조의 용적은 800∼1200ℓ로 하는 것이 바람직하다.At this time, the reservoir and the top plate is made of stainless steel so as not to react with the chemical, the volume of the reservoir is preferably 800 ~ 1200L.
또한 상기의 목적은 케미컬을 일정량 저장하여 각 공정설비로 공급하기 위한 장치에 있어서, 케미컬을 일정량 저장하여 상기 각 공정설비로 공급하기 위한 서비스 탱크와, 케미컬 운반용 용기내의 케미컬을 상기 서비스 탱크로 옮기기 위해 연결되는 케미컬 공급라인과, 상기 케미컬 운반용 용기내에 N2가스를 주입시키기 위한 N2공급라인과, 상기 케미컬 공급라인 및 N2공급라인으로 흐르는 케미컬 및 N2가스의 유량을 제어하고 케미컬을 필터링하는 필터가 내장된 제어부를 포함하여 됨을 특징으로 하는 케미컬 공급장치에 의해 달성될 수 있다.In addition, the above object is a device for storing a certain amount of chemical to supply to each process equipment, the service tank for storing a certain amount of chemical to supply to each process equipment, and to transfer the chemical in the chemical transport container to the service tank A chemical supply line to be connected, an N 2 supply line for injecting N 2 gas into the chemical transport container, and controls the flow rate of the chemical and N 2 gas flowing through the chemical supply line and the N 2 supply line to filter the chemical It can be achieved by a chemical supply, characterized in that the filter includes a built-in control unit.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의하여 상세하게 설명한다. 제2도는 본 발명에 따른 케미컬 운반용 용기를 나타낸 것으로, 용기(10)는 케미컬을 수용할 수 있는 저장조(11)를 구비하고 있다. 상기 용기(10)는 상부가 개방되고 있고, 하부는 아래로 볼록한 곡면형상으로 형성되어 있다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. 2 shows a container for chemical delivery according to the present invention, wherein the container 10 is provided with a reservoir 11 capable of accommodating the chemical. The container 10 is open at the top, the bottom is formed in a convex downward shape.
또한 상기 저장조(11)의 상부는 상판(12)에 의해 밀폐된 것으로, 저장조(11)의 상단부와 상판(12)이 보울트 등의 고정수단으로 고정되고, 저장조(11)와 상판(12) 사이에는 기밀을 유지하기 위한 패킹(18)이 설치되어 있다.In addition, the upper portion of the reservoir 11 is sealed by the upper plate 12, the upper end of the reservoir 11 and the upper plate 12 is fixed by a fixing means such as a bolt, between the reservoir 11 and the upper plate 12 The packing 18 is provided in the airtight hold | maintenance.
이때 상기 저장조(11)와 상판(12)은 케미컬과 화학적 반응을 일으키지 않는 금속으로 제조되고, 특히 케미컬이 황산인 경우 이에 강한 스테인레스 스틸로 제조하여 테프론 코팅처리하는 것이 바람직하며, 저장조(11)의 용적은 800∼1200ℓ로 제조하여 많은 양의 케미컬을 한 번에 운반할 수 있도록 한다.At this time, the reservoir 11 and the top plate 12 is made of a metal that does not cause a chemical reaction with the chemical, in particular, if the chemical is sulfuric acid, it is preferable to be made of strong stainless steel to the Teflon coating treatment, of the reservoir 11 Its volume ranges from 800 to 1200 litres, allowing large quantities of chemical to be transported at one time.
그리고 상기 상판(12)에는 케미컬 배출파이프(13) 및 N2가스 주입파이프(14)가 설치되고, 상기 케미컬 배출파이프(13) 및 N2가스 주입파이프(14)는 상판(12)을 관통하여 일단은 상판(12)상에 위치되고, 다른 일단은 저장조(11)의 하부에 위치된 것으로, 특히 상기 케미컬 배출파이프(13)는 저장조(11)의 바닥 중앙에 위치하여 저장조(11) 바닥부분의 케미컬을 모두 배출시키기 용이하도록 되어 있다.The upper plate 12 is provided with a chemical discharge pipe 13 and an N 2 gas injection pipe 14, and the chemical discharge pipe 13 and the N 2 gas injection pipe 14 pass through the upper plate 12. One end is located on the top plate 12, the other end is located at the bottom of the reservoir 11, in particular the chemical discharge pipe 13 is located in the center of the bottom of the reservoir (11) bottom portion of the reservoir (11) It is easy to discharge all chemicals.
또한 상판(12)으로 노출된 케미컬 배출파이프(13) 및 N2가스 주입파이프(14)에는 각각의 유로를 개방 및 폐쇄하는 밸브(15)(16)가 각각 설치되어 있고, 상기 밸브(15)(16)부위를 덮어 보호하기 위한 커버(17)가 상판(12)의 일측에 회동가능하게 설치된 구성이다.In addition, the chemical discharge pipe 13 and the N 2 gas injection pipe 14 exposed to the upper plate 12 are provided with valves 15 and 16 for opening and closing respective flow paths, respectively, and the valve 15 (16) The cover 17 for covering and protecting the part is rotatably installed on one side of the upper plate 12.
따라서 메이커에서 제조된 케미컬을 용기(10)에 넣을 때에는 밸브(15)(16)를 조작하여 케미컬 배출파이프(13) 및 N2가스 주입파이프(14)의 유로가 개방되도록 하고, 케미컬 배출파이프(13)를 통해 케미컬을 넣으면 되는 것이고, 케미컬을 넣은 후에는 밸브(15)(16)를 모두 잠가 용기(10)를 밀폐시키고 커버(17)로 덮어 보호한 상태에서 운반하면 되는 것이다.Therefore, when the chemical manufactured by the manufacturer is put into the container 10, the valves 15 and 16 are operated to open the flow paths of the chemical discharge pipe 13 and the N 2 gas injection pipe 14, and the chemical discharge pipe ( It is only necessary to put the chemical through 13), and after the chemical is put in, all of the valves 15 and 16 are closed and the container 10 is sealed and covered with a cover 17 to be transported.
이러한 구성의 케미컬 운반용 용기는 케미컬을 운반할 수 있는 용량이 증가된 것이므로 많은 양의 케미컬을 한 번에 운반할 수 있어 운반작업에 소요되는 시간, 인건비 등을 절감할 수 있다.The chemical transport container of such a configuration is to increase the capacity to transport the chemical can be transported a large amount of chemical at a time can reduce the time, labor costs, etc. required for the transport operation.
또한 용기(10)의 저장조(11)와 상판(12)은, 특히 황산에 강한 스테인레스 스틸로 제조된 것이므로 장시간 보관시에도 케미컬과 반응하여 파티클이 생성될 염려가 없고, 운반후 실내에 보관하므로 직사광선은 물론 항온, 항습관리가 가능하여 장시간 보관시 품질에 영향을 미치지 않으며, 용기가 금속으로 제조되어 파손 및 케미컬의 누출 염려가 없고 반영구적으로 사용되므로 폐기물이 발생되지 않아 환경문제가 해소되는 것이다.In addition, since the storage tank 11 and the top plate 12 of the container 10 are made of stainless steel, which is particularly resistant to sulfuric acid, there is no risk of generating particles by reacting with the chemical even when stored for a long time. Of course, it is possible to control the temperature and humidity, so that it does not affect the quality when stored for a long time, and since the container is made of metal, there is no fear of breakage and chemical leakage, and it is used semi-permanently.
그리고 케미컬 운반용 용기의 수가 대폭 감소되어 용기(10)마다 케미컬 성분을 검사하는 것이 가능하므로 메이커에서 출고되는 모든 케미컬의 성분을 검사할 수 있고, 이로써 규정미달의 케미컬이 반도체소자 제조공정에 공급되는 것을 막을 수 있어 제조공정시 케미컬에 의한 불량이 미연에 방지되는 것이다.In addition, the number of chemical transport containers is greatly reduced, so that the chemical components can be inspected for each of the containers 10. Therefore, all chemical components shipped from the manufacturer can be inspected, thereby supplying chemicals that are not prescribed to the semiconductor device manufacturing process. This prevents defects caused by chemicals during the manufacturing process.
한편, 상기와 같은 용기(10)를 이용한 케미컬 공급장치는 제3도에 도시된 바와 같이 케미컬 공급라인(21)의 일단이 용기(10)의 케미컬 배출파이프(13)와 연결되고, 케미컬 공급라인(21)의 타단은 서비스 탱크(22)에 연결된 것으로, 상기 서비스 탱크(22)는 각 공정설비로 케미컬을 필요시 선택적으로 공급할 수 있도록 공정설비와 연결되어 있다.Meanwhile, in the chemical supply apparatus using the container 10 as described above, one end of the chemical supply line 21 is connected to the chemical discharge pipe 13 of the container 10, as shown in FIG. The other end of (21) is connected to the service tank 22, the service tank 22 is connected to the process equipment to selectively supply chemicals to each process equipment as needed.
또한 상기 용기(10)의 N2가스 주입파이프(14)는 N2가스 공급라인(23)과 연결되어 N2공급원(도시 안됨)으로부터 용기(10)의 내부로 N2가스를 주입시킬 수 있도록 되어 있고, 상기 용기(10)와 서비스 탱크(22) 사이에는 제어부(24)가 설치되어 케미컬 공급라인(21) 및 N2가스 공급라인(23)으로 흐르는 각 유체의 유량을 제어하도록 되어 있으며, 케미컬 공급라인(21)상에는 케미컬을 필터링하는 필터(25)가 설치되어 있다.In addition, N 2 gas inlet pipe 14 of the vessel 10 N 2 gas supply line 23 is connected to the N 2 supply source so that the N 2 gas to the inside of the container 10 from the (not shown) can be injected The control unit 24 is installed between the vessel 10 and the service tank 22 to control the flow rate of each fluid flowing into the chemical supply line 21 and the N 2 gas supply line 23, On the chemical supply line 21, a filter 25 for filtering the chemical is installed.
이때 상기 제어부(24)는 서비스 탱크(22)에 설치되어 있는 유량검출센서(26)로부터 제공된 서비스 탱크(22)내의 케미컬 저장량에 따라 케미컬 공급라인(21) 및 N2가스 공급라인(23)의 유로를 개폐하도록 함으로써 유량을 자동 제어하게 된다.At this time, the control unit 24 of the chemical supply line 21 and the N 2 gas supply line 23 according to the chemical storage amount in the service tank 22 provided from the flow rate detection sensor 26 installed in the service tank 22. By opening and closing the flow path, the flow rate is automatically controlled.
따라서 N2공급원으로부터 N2가스 공급라인(23) 및 이에 연결된 용기(10)의 N2가스 주입파이프(14)를 통해 N2가스가 용기(10) 내부로 주입되면, 용기(10)는 밀폐된 상태이므로 N2가스의 주입압력에 의해 케미컬이 케미컬 배출파이프(13)를 통해 배출되는 것이고, 이어서 케미컬 공급라인(21)을 통해 서비스 탱크(22)에 저장되는 것이다.Thus, N 2 gas supply line 23 and hence when the associated N 2 gas is introduced into the vessel 10 through the N 2 gas inlet pipe 14 of the vessel 10, the vessel 10 is sealed from the N 2 supply source In this state, the chemical is discharged through the chemical discharge pipe 13 by the injection pressure of the N 2 gas, and is then stored in the service tank 22 through the chemical supply line 21.
이러한 구성의 본 발명은 용기(10)내의 케미컬을 서비스 탱크(22)로 옮기고자 할 때, 용기(10)의 밸브(15)(16)가 잠긴상태에서 케미컬 공급라인(21)과 용기(10)의 케미컬 배출파이프(13)를 연결하고, N2가스 공급라인(23)과 용기(10)의 N2가스 주입파이프(14)를 연결한 후 밸브(15)(16)를 모두 개방하면, 케미컬의 공급이 가능하게 되는 것이므로 용기(10)내의 케미컬이 대기에 노출되지 않아 주변 환경이 오염될 염려가 없고, 케미컬에 파티클이 유입되지 않는다. 특히 유해한 케미컬인 경우 산업재해로부터 작업자를 보호할 수 있게 된다.According to the present invention, the chemical supply line 21 and the container 10 in the state in which the valves 15 and 16 of the container 10 are locked when the chemical in the container 10 is to be transferred to the service tank 22. After connecting the chemical discharge pipe 13 of), the N 2 gas supply line 23 and the N 2 gas injection pipe 14 of the vessel 10, and open the valve (15, 16), Since the chemical can be supplied, the chemical in the container 10 is not exposed to the atmosphere, so that the surrounding environment is not contaminated, and particles are not introduced into the chemical. Especially harmful chemicals can protect workers from industrial accidents.
또한 케미컬 운반용 용기(10)의 용적이 크므로 케미컬 공급시 수시로 용기(10)를 교체해야 하는 번거로움이 없어 작업성이 향상되는 것이고, N2가스의 주입압력을 이용한 것이므로 용기(10) 바닥의 케미컬까지도 완전히 배출되어 년간 자연손실되는 양을 크게 감소시킬 수 있다.In addition, since the volume of the chemical transport container 10 is large, there is no hassle of having to replace the container 10 at the time of chemical supply, thereby improving workability, and using the injection pressure of N 2 gas. Even chemicals are completely discharged, which can greatly reduce the amount of natural losses per year.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치에 의하면, 케미컬의 운반 및 공급작업이 편리하여 작업성 및 생산성이 향상되고, 케미컬에 의한 환경오염이 예방되며, 케미컬의 장시간 보관시에도 케미컬의 오염 및 특성에 변화가 없어 품질이 유지되는 효과가 있다.As described above, according to the chemical transport container and the chemical supply device using the same, the transport and supply work of the chemical is convenient, thereby improving workability and productivity, preventing environmental pollution by the chemical, and storing the chemical for a long time. There is no effect on chemical contamination and properties, so quality is maintained.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허 청구의 범위에 속함은 당연하다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the embodiments described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims. .
Claims (6)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004816A KR0174994B1 (en) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | Chemical transport tank and chemical supply device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004816A KR0174994B1 (en) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | Chemical transport tank and chemical supply device using the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970061724A KR970061724A (en) | 1997-09-12 |
| KR0174994B1 true KR0174994B1 (en) | 1999-04-01 |
Family
ID=19451882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960004816A KR0174994B1 (en) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | Chemical transport tank and chemical supply device using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0174994B1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030084152A (en) * | 2002-04-25 | 2003-11-01 | 주식회사 디엠에스 | Bath for wet processing of Liquid Crystal Display device |
-
1996
- 1996-02-27 KR KR1019960004816A patent/KR0174994B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970061724A (en) | 1997-09-12 |
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