KR0174994B1 - 케미컬 운반용 탱크 및 이를 이용한 케미컬 공급장치 - Google Patents
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Abstract
케미컬 운반작업이 효율적이고 환경문제에 대처할 수 있으며 공정설비로의 케미컬 공급이 용이하도록 된 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치에 관한 것으로, 케미컬 운반용 용기는 케미컬을 수용하기 위한 저장조와, 상기 저장조의 상부를 밀폐하도록 설치된 상판, 상기 상판에 관통설치된 케미컬 배출파이프 및 N2가스 유입파이프, 상기 케미컬 배출파이프 N2가스 유입파이프의 상단부에 각각 설치되어 유로를 선택적으로 개폐하기 위한 밸브로 구성되고, 케미컬 공급장치는 케미컬을 일정량 저장하기 위한 서비스 탱크, 케미컬 운반용 용기내의 케미컬을 상기 서비스 탱크로 옮기기 위해 연결된 케미컬 공급라인, 상기 케미컬 운반용 용기내에 N2가스를 주입시키기 위한 N2공급라인 및 상기 케미컬 공급량을 제어하는 제어부로 구성된 것이다.
따라서 케미컬의 운반 및 공급작업이 편리하여 작업성 및 생산성이 향상되고, 케미컬에 의한 환경오염이 예방되며, 케미컬의 장시간 보관시에도 케미컬의 오염 및 특성에 변화가 없어 품질이 유지되는 효과가 있다.
Description
제1도는 종래의 케미컬 공급과정을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
제2도는 본 발명에 따른 케미컬 운반용 용기를 나타낸 단면구조도이다.
제3도는 본 발명에 따른 케미컬 운반용 용기를 이용한 케미컬 공급장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 용기 11 : 저장조
12 : 상판 13 : 케미컬 배출파이프
14 : N2가스 주입파이프 15,16 : 밸브
17 : 커버 21 : 케미컬 공급라인
22 : 서비스 탱크 23 : N2가스 공급라인
24 : 제어부 25 : 필터
26 : 유량제어센서
본 발명은 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 케미컬 운반작업이 효율적이고 환경문제에 대처할 수 있으며 공정설비로의 케미컬 공급이 용이하도록 된 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자의 제조공정에는 화학반응을 이용하는 것이 많아 여러종류의 케미컬이 다량 사용되고 있다. 이러한 케미컬을 메이커(Maker)로부터 각 반도체소자 제조업체의 공정라인까지 운반하여 공급하는 과정에서 케미컬의 대기 노출은 환경오염 문제 및 케미컬의 품질 저하를 유발하고, 또한 많은 양의 케미컬을 지속적으로 공급해야 하므로 효율적인 공급은 생산성 향상 및 비용 절감면에서 매우 중요한 요인이 된다.
종래에는 메이커에서 제조된 케미컬을 반도체소자 제조업체로 운반하기 위한 용기로서 13.5ℓ 용적의 고분자 폴리에틸렌으로 제조된 바틀(Bottle)을 사용하고 있으며, 케미컬 공급장치는 제1도에 도시된 바와 같이 바틀(1)내의 케미컬을 펌프(2)로 펌핑하도록 되어 있고, 펌핑된 케미컬은 필터(3)를 거치면서 필터링된 후 서비스 탱크(4)에 저장되며, 상기 서비스 탱크(4)는 각 공정설비와 공급라인(5)으로 연결되어 필요시 선택적으로 각 공정설비에 케미컬을 공급할 수 있도록 구성되어 있다.
그러나 상기 바틀(1)은 케미컬을 운반할 수 있는 용량이 적기 때문에 많은 양의 케미컬을 운반하기 위해서는 다수의 바틀(1)이 필요하게 되었고, 바틀(1)를 운반하는 과정에서도 다수의 바틀(1)을 한 번에 운반하기 위해 다수의 바틀(1)을 하나로 묶을 수 있는 별도의 포장이 필요하게 되므로 바틀(1)의 포장과, 운반후 포장을 풀어야 하는 운반작업상의 번거로움이 있었다.
또한 바틀(1)은 고분자 폴리에틸렌으로 제조된 것이므로 케미컬의 장시간 보관시 케미컬과 반응하여 파티클 발생 및 케미컬의 특성변화를 초래하고, 통상 야적장에 보관함에 따라 직사광선, 온도, 습도 등의 관리가 어려워 장시간 보관시 품질에 영향을 주게 되며, 쉽게 파손되고 오래 사용하면 케미컬의 누출 염려가 있는 것이므로 새로운 바틀로 교체시 폐바틀의 재활용이 어려워 환경문제를 유발하게 된다.
그리고 메이커에서 제조되어 운반되는 바틀(1)의 수가 너무 많기 때문에 모든 바틀내의 케미컬 성분을 검사하는 것이 어렵고, 이로써 로트(Lot)별로 2개의 바틀(1)을 샘플링하여 케미컬의 성분을 검사하였던 것으로, 이는 모든 바틀내의 케미컬을 검사하는 것이 아니므로 규정미달의 케미컬이 공급될 수 있고, 이러한 케미컬을 공정에 사용하는 경우 불량을 유발할 수 있다.
한편, 상기 바틀(1)내의 케미컬을 서비스 탱크(4)로 옮기는 과정에서도 바틀(1)의 캡을 열고 펌프(2)로 펌핑하는 것이므로 케미컬이 대기에 노출되어 주변 환경을 오염시킴과 동시에 케미컬에 파티클이 유입될 수 있으며, 특히 유해한 케미컬인 경우 작업자에게 산업재해의 피해를 주게 된다.
또한 바틀(1)의 용적이 적기 때문에 수시로 바틀을 교체해야 하므로 작업성을 저하시키게 되고, 펌핑에 의한 공급이므로 바틀(1) 바닥부분의 케미컬까지 완전히 공급할 수 없어 바닥에 미량의 케미컬이 잔재하게 되었으며, 상기와 같이 잔재되는 미량의 케미컬은 수 많은 바틀에서 발생되므로 년간 자연손실양으로 보면 그 정도가 매우 커 경제적 손실을 초래하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 한 번에 많은 양의 케미컬을 수용할 수 있도록 하여 케미컬 운반작업 및 케미컬 공급작업을 용이하게 함으로써 작업시간 단축 및 작업성을 향상시킬 수 있는 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 용기의 재활용이 가능하고 반영구적으로 사용할 수 있도록 하여 폐기물이 발생하지 않으며, 케미컬의 공급시 케미컬이 대기에 노출되지 않도록 함으로써 주변환경의 오염 및 작업자의 산업재해를 미연에 방지할 수 있은 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 용기내의 케미컬 배출시 N2가스를 이용하여 용기내의 케미컬을 남김없이 완전히 공급함으로써 케미컬의 자연손실로 인한 경제적 손실을 감소시킬 수 있는 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 케미컬을 장시간 보관, 운반 및 공급하는 과정에서 케미컬 특성이 변화되거나 파티클이 생성되어 품질을 저하시키는 것을 방지할 수 있는 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치를 제공하는 데 있다.
상기의 목적은 케미컬을 운반하기 위한 용기에 있어서, 케미컬을 수용하기 위한 것으로 상부가 개방된 저장조와, 상기 저장조의 상부를 밀폐하도록 설치된 상판과, 상기 상판에 관통설치된 케미컬 배출파이프 및 N2가스 유입파이프와, 상기 케미컬 배출파이프 및 N2가스 유입파이프의 상단부에 각각 설치되어 유로를 선택적으로 개폐하기 위한 밸브와, 상기 상판에 회동가능하게 설치되어 상기 밸브부위를 덮어 보호하기 위한 커버를 포함하여 됨을 특징으로 하는 케미컬 운반용 용기에 의해 달성될 수 있다.
이때 상기 저장조 및 상판은 스테인레스 스틸로 제조하여 케미컬과 반응하지 않도록 하고, 저장조의 용적은 800∼1200ℓ로 하는 것이 바람직하다.
또한 상기의 목적은 케미컬을 일정량 저장하여 각 공정설비로 공급하기 위한 장치에 있어서, 케미컬을 일정량 저장하여 상기 각 공정설비로 공급하기 위한 서비스 탱크와, 케미컬 운반용 용기내의 케미컬을 상기 서비스 탱크로 옮기기 위해 연결되는 케미컬 공급라인과, 상기 케미컬 운반용 용기내에 N2가스를 주입시키기 위한 N2공급라인과, 상기 케미컬 공급라인 및 N2공급라인으로 흐르는 케미컬 및 N2가스의 유량을 제어하고 케미컬을 필터링하는 필터가 내장된 제어부를 포함하여 됨을 특징으로 하는 케미컬 공급장치에 의해 달성될 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의하여 상세하게 설명한다. 제2도는 본 발명에 따른 케미컬 운반용 용기를 나타낸 것으로, 용기(10)는 케미컬을 수용할 수 있는 저장조(11)를 구비하고 있다. 상기 용기(10)는 상부가 개방되고 있고, 하부는 아래로 볼록한 곡면형상으로 형성되어 있다.
또한 상기 저장조(11)의 상부는 상판(12)에 의해 밀폐된 것으로, 저장조(11)의 상단부와 상판(12)이 보울트 등의 고정수단으로 고정되고, 저장조(11)와 상판(12) 사이에는 기밀을 유지하기 위한 패킹(18)이 설치되어 있다.
이때 상기 저장조(11)와 상판(12)은 케미컬과 화학적 반응을 일으키지 않는 금속으로 제조되고, 특히 케미컬이 황산인 경우 이에 강한 스테인레스 스틸로 제조하여 테프론 코팅처리하는 것이 바람직하며, 저장조(11)의 용적은 800∼1200ℓ로 제조하여 많은 양의 케미컬을 한 번에 운반할 수 있도록 한다.
그리고 상기 상판(12)에는 케미컬 배출파이프(13) 및 N2가스 주입파이프(14)가 설치되고, 상기 케미컬 배출파이프(13) 및 N2가스 주입파이프(14)는 상판(12)을 관통하여 일단은 상판(12)상에 위치되고, 다른 일단은 저장조(11)의 하부에 위치된 것으로, 특히 상기 케미컬 배출파이프(13)는 저장조(11)의 바닥 중앙에 위치하여 저장조(11) 바닥부분의 케미컬을 모두 배출시키기 용이하도록 되어 있다.
또한 상판(12)으로 노출된 케미컬 배출파이프(13) 및 N2가스 주입파이프(14)에는 각각의 유로를 개방 및 폐쇄하는 밸브(15)(16)가 각각 설치되어 있고, 상기 밸브(15)(16)부위를 덮어 보호하기 위한 커버(17)가 상판(12)의 일측에 회동가능하게 설치된 구성이다.
따라서 메이커에서 제조된 케미컬을 용기(10)에 넣을 때에는 밸브(15)(16)를 조작하여 케미컬 배출파이프(13) 및 N2가스 주입파이프(14)의 유로가 개방되도록 하고, 케미컬 배출파이프(13)를 통해 케미컬을 넣으면 되는 것이고, 케미컬을 넣은 후에는 밸브(15)(16)를 모두 잠가 용기(10)를 밀폐시키고 커버(17)로 덮어 보호한 상태에서 운반하면 되는 것이다.
이러한 구성의 케미컬 운반용 용기는 케미컬을 운반할 수 있는 용량이 증가된 것이므로 많은 양의 케미컬을 한 번에 운반할 수 있어 운반작업에 소요되는 시간, 인건비 등을 절감할 수 있다.
또한 용기(10)의 저장조(11)와 상판(12)은, 특히 황산에 강한 스테인레스 스틸로 제조된 것이므로 장시간 보관시에도 케미컬과 반응하여 파티클이 생성될 염려가 없고, 운반후 실내에 보관하므로 직사광선은 물론 항온, 항습관리가 가능하여 장시간 보관시 품질에 영향을 미치지 않으며, 용기가 금속으로 제조되어 파손 및 케미컬의 누출 염려가 없고 반영구적으로 사용되므로 폐기물이 발생되지 않아 환경문제가 해소되는 것이다.
그리고 케미컬 운반용 용기의 수가 대폭 감소되어 용기(10)마다 케미컬 성분을 검사하는 것이 가능하므로 메이커에서 출고되는 모든 케미컬의 성분을 검사할 수 있고, 이로써 규정미달의 케미컬이 반도체소자 제조공정에 공급되는 것을 막을 수 있어 제조공정시 케미컬에 의한 불량이 미연에 방지되는 것이다.
한편, 상기와 같은 용기(10)를 이용한 케미컬 공급장치는 제3도에 도시된 바와 같이 케미컬 공급라인(21)의 일단이 용기(10)의 케미컬 배출파이프(13)와 연결되고, 케미컬 공급라인(21)의 타단은 서비스 탱크(22)에 연결된 것으로, 상기 서비스 탱크(22)는 각 공정설비로 케미컬을 필요시 선택적으로 공급할 수 있도록 공정설비와 연결되어 있다.
또한 상기 용기(10)의 N2가스 주입파이프(14)는 N2가스 공급라인(23)과 연결되어 N2공급원(도시 안됨)으로부터 용기(10)의 내부로 N2가스를 주입시킬 수 있도록 되어 있고, 상기 용기(10)와 서비스 탱크(22) 사이에는 제어부(24)가 설치되어 케미컬 공급라인(21) 및 N2가스 공급라인(23)으로 흐르는 각 유체의 유량을 제어하도록 되어 있으며, 케미컬 공급라인(21)상에는 케미컬을 필터링하는 필터(25)가 설치되어 있다.
이때 상기 제어부(24)는 서비스 탱크(22)에 설치되어 있는 유량검출센서(26)로부터 제공된 서비스 탱크(22)내의 케미컬 저장량에 따라 케미컬 공급라인(21) 및 N2가스 공급라인(23)의 유로를 개폐하도록 함으로써 유량을 자동 제어하게 된다.
따라서 N2공급원으로부터 N2가스 공급라인(23) 및 이에 연결된 용기(10)의 N2가스 주입파이프(14)를 통해 N2가스가 용기(10) 내부로 주입되면, 용기(10)는 밀폐된 상태이므로 N2가스의 주입압력에 의해 케미컬이 케미컬 배출파이프(13)를 통해 배출되는 것이고, 이어서 케미컬 공급라인(21)을 통해 서비스 탱크(22)에 저장되는 것이다.
이러한 구성의 본 발명은 용기(10)내의 케미컬을 서비스 탱크(22)로 옮기고자 할 때, 용기(10)의 밸브(15)(16)가 잠긴상태에서 케미컬 공급라인(21)과 용기(10)의 케미컬 배출파이프(13)를 연결하고, N2가스 공급라인(23)과 용기(10)의 N2가스 주입파이프(14)를 연결한 후 밸브(15)(16)를 모두 개방하면, 케미컬의 공급이 가능하게 되는 것이므로 용기(10)내의 케미컬이 대기에 노출되지 않아 주변 환경이 오염될 염려가 없고, 케미컬에 파티클이 유입되지 않는다. 특히 유해한 케미컬인 경우 산업재해로부터 작업자를 보호할 수 있게 된다.
또한 케미컬 운반용 용기(10)의 용적이 크므로 케미컬 공급시 수시로 용기(10)를 교체해야 하는 번거로움이 없어 작업성이 향상되는 것이고, N2가스의 주입압력을 이용한 것이므로 용기(10) 바닥의 케미컬까지도 완전히 배출되어 년간 자연손실되는 양을 크게 감소시킬 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 케미컬 운반용 용기 및 이를 이용한 케미컬 공급장치에 의하면, 케미컬의 운반 및 공급작업이 편리하여 작업성 및 생산성이 향상되고, 케미컬에 의한 환경오염이 예방되며, 케미컬의 장시간 보관시에도 케미컬의 오염 및 특성에 변화가 없어 품질이 유지되는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허 청구의 범위에 속함은 당연하다.
Claims (6)
- 케미컬을 운반하기 위한 용기에 있어서, 케미컬을 수용하기 위한 것으로 상부가 개방된 저장조; 상기 저장조의 상부를 밀폐하도록 설치된 상판; 상기 상판에 관통설치된 케미컬 배출파이프 및 N2가스 유입파이프; 및 상기 케미컬 배출파이프 및 N2가스 유입파이프의 상단부에 각각 설치되어 유로를 선택적으로 개폐하기 위한 밸브; 를 포함하여 됨을 특징으로 하는 케미컬 운반용 용기.
- 제1항에 있어서, 상기 상판에 회동가능하게 설치되어 상기 밸브부위를 덮어 보호하기 위한 커버를 더 포함하여 됨을 특징으로 하는 상기 케미컬 운반용 용기.
- 제1항에 있어서, 상기 저장조 및 상판은 스테인레스 스틸로 제조됨을 특징으로 하는 상기 케미컬 운반용 용기.
- 제3항에 있어서, 상기 저장조 및 상판의 표면은 테프론 코팅됨을 특징으로 하는 상기 케미컬 운반용 용기.
- 제1항에 있어서, 상기 저장조의 용적은 800∼1200ℓ인 것을 특징으로 하는 상기 케미컬 운반용 용기.
- 케미컬을 일정량 저장하여 각 공정설비로 공급하기 위한 장치에 있어서, 케미컬을 일정량 저장하여 상기 각 공정설비로 공급하기 위한 서비스 탱크; 케미컬 운반용 용기내의 케미컬을 상기 서비스 탱크로 옮기기 위해 케미컬 운반용 용기와 서비스 탱크 사이에 연결되는 케미컬 공급라인; 상기 케미컬 운반용 용기내에 N2가스를 주입시키기 위한 N2가스 공급라인; 및 상기 케미컬 공급라인 및 N2가스 공급라인으로 흐르는 케미컬 및 N2가스의 유량을 제어하고 케미컬을 필터링하는 필터가 내장된 제어부; 를 포함하여 됨을 특징으로 하는 케미컬 공급장치.
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| KR1019960004816A KR0174994B1 (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 케미컬 운반용 탱크 및 이를 이용한 케미컬 공급장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019960004816A KR0174994B1 (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 케미컬 운반용 탱크 및 이를 이용한 케미컬 공급장치 |
Publications (2)
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