KR0169364B1 - Diffusion furnace for preventing sagging - Google Patents
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Abstract
나선형 형태를 갖는 발열체인 코일(9)과, 가운데가 반원의 홈을 이루면서 2개가 합쳐지는 경우에 상기한 코일이 지지될 수 있는 원형의 공간이 형성됨과 동시에 좌우측이 결합홈이 형성되어 있는 세퍼레이터(11)와, 상기한 세퍼레이터의 둘레를 싸고 있는 내부 슬리브(3)와, 상기한 내부 슬리브의 외주면을 감싸고 있는 외부 슬리브(5)와, 상기한 외부 슬리브를 둘러싸고 있는 외각셀과, 상기한 외각셀과 외부 슬리브와 개스킷과 내부 슬리브를 관통하여 코일에 연결되어 있으며 상기한 코일에 전원을 공급함으로써 코일이 발열되도록 하는 터미널바(2)와, 상기한 터미널바를 지지하면서 터미널바가 외각셀과 전기적으로 단락되는 것을 방지하기 위한 터미널 페이서(1)와, 확산로의 입출구 역할을 하는 소프트 튜브(6)와, 상기한 소프트 튜브를 보호하기 위한 외각셀 막음(7)을 포함하여 이루어지며, 세퍼레이터의 구조를 변경함으로써 코일이 쉽게 새깅되지 못하도록 하고, 보온재의 재질 및 구조를 변경함으로써 확산로가 변경되는 것을 방지함과 동시에 단열효과도 높일 수 있는 효과를 가진 세깅현상 방지를 위한 확산로를 제공한다.The coil 9, which is a heating element having a spiral shape, and a circular space in which the coil can be supported when the two are joined while forming a groove of a semicircle in the middle, and a separator having a coupling groove formed at the left and right sides thereof ( 11), the inner sleeve 3 surrounding the separator, the outer sleeve 5 surrounding the outer circumferential surface of the inner sleeve, the outer shell surrounding the outer sleeve, and the outer shell cell. And a terminal bar (2) connected to the coil through the outer sleeve, the gasket, and the inner sleeve and supplying power to the coil, and the terminal bar electrically shorting to the outer shell while supporting the terminal bar. A terminal phaser 1 for preventing the filling, a soft tube 6 serving as the inlet and outlet of the diffusion path, and a It consists of each cell blocking (7), by changing the structure of the separator so that the coil is not easily sag, and by changing the material and structure of the insulation material to prevent the change of the diffusion path and at the same time increase the thermal insulation effect Providing a diffusion path for preventing the segging phenomenon.
Description
제1도는 종래의 확산로를 나타낸 부분 단면도이고,1 is a partial cross-sectional view showing a conventional diffusion path,
제2도는 제1도의 A-A 부분의 단면도이고,2 is a cross-sectional view of part A-A of FIG. 1,
제3도는종래의 확산로에 사용되는 세퍼레이터의 외형도이고,3 is an external view of a separator used in a conventional diffusion furnace,
제4도는 종래의 코일이 고온에 의해 찌그러진 것을 나타낸 도면이고,4 is a view showing that the conventional coil is crushed by high temperature,
제5도는 종래의 확산로가 고온에 의해 외형이 타원형으로 변형된 것을 나타낸 도면이고,5 is a view showing that the conventional diffusion furnace is deformed in the shape of an oval by high temperature,
제6도는 종래의 코일이 제3도의 세퍼레이터로부터 이탈되는 것을 나타낸 단면도이고,6 is a cross-sectional view showing that the conventional coil is separated from the separator of FIG.
제7도는 종래의 세퍼레이터의 다른 외형도이고,7 is another outline of a conventional separator,
제8도는 종래의 코일이 제7도의 세퍼레이터로부터 이탈되는 것을 나타낸 단면도이고,8 is a cross-sectional view showing that the conventional coil is separated from the separator of FIG.
제9도는 종래의 세퍼레이터의 또 다른 외형도이고,9 is another outline of a conventional separator,
제10도는 종래에 코일이 제9도의 세퍼레이터로부터 이탈되는 것을 나타낸 단면도이고,10 is a cross-sectional view showing that the coil is separated from the separator of FIG.
제11도는 이 발명의 실시예에 따른 새깅현상 방지를 위한 확산로를 나타낸 부분 단면도이고,11 is a partial cross-sectional view showing a diffusion path for preventing sagging phenomenon according to an embodiment of the present invention,
제12도는 제11도의 B-B 부분의 단면도이고,12 is a cross-sectional view of the B-B portion of FIG.
제13도는 이 발명의 실시예에 따른 세퍼레이터의 외형도이고,13 is an external view of a separator according to an embodiment of the present invention,
제14도는 이 발명의 실시예에 따라 코일이 세퍼레이터로부터 이탈되지 않는 것을 나타낸 단면도이다.14 is a cross-sectional view showing that the coil is not separated from the separator according to the embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 터미널 스페이서 2 : 터미널바1: Terminal spacer 2: Terminal bar
3 : 내부 슬리브 4 : 개스킷3: inner sleeve 4: gasket
5 : 외부 슬리브 6 : 소프트 튜브5: outer sleeve 6: soft tube
7 : 외각셀 막음 9 : 코일7: block outer shell 9: coil
8, 11 : 세퍼레이터 10 : 외각셀8, 11 separator 10: outer shell cell
이 발명은 새깅(sagging) 현상 방지를 위한 확산로에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 말하자면 세퍼레이터의 구조를 변경함으로써 코일이 쉽게 새깅되지 못하도록 하고, 보온재의 재질 및 구조를 변경함으로써 확산로가 변경되는 것을 방지함과 동시에 단열효과도 높일 수 있는 새깅현상 방지를 위한 확산로에 관한 것이다.The present invention relates to a diffusion path for preventing sagging, more specifically, to prevent the coil from easily sagging by changing the structure of the separator and to prevent the diffusion path from being changed by changing the material and structure of the insulation. At the same time, the present invention relates to a diffusion path for preventing sagging, which may also increase insulation effect.
확산기술은 실리콘 기판에 III 족, V 족의 불순물 원자를 도입해, 그 도전형이나 불순물 프로파일을 제어하고, pn접합을 형성하는 기술로서, 확산형 트랜지스터의 개발에서 시작되는 가장 고전적인 기본 프로세스 기술이다.Diffusion technology is a technique that introduces group III and V impurity atoms into a silicon substrate, controls its conductivity or impurity profile, and forms a pn junction. to be.
이 불순물 확산은 산화막에 의한 선택 확산기술의 개발(플레이너 기술)에 따라서 실리콘 디바이스 제작기술로서 급속히 진보했다. 현재는 불순물 확산공정은, 이온주입에 의한 불순물의 도입기술도 포함하면 바이폴라 LSI, MOS LSI의 공정에서 각각 수회이상 반복해서 행해지고 있다. 또 불순물 농도의 정밀제어나 얕은 pn 접합의 형성이 필요하게 되고, 또 2중 확산, 3중 확산, 가로방향의 확산 제어 등도 중요한 기술이 되고 있다.This impurity diffusion has rapidly advanced as a silicon device fabrication technology in accordance with the development of a planar diffusion technique using an oxide film (planar technology). At present, the impurity diffusion process is repeated several times or more in the processes of bipolar LSI and MOS LSI, including the technique of introducing impurities by ion implantation. In addition, precise control of impurity concentration and formation of shallow pn junctions are required, and double diffusion, triple diffusion, and lateral diffusion control are also important technologies.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 종래의 확산로에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a conventional diffusion path will be described with reference to the accompanying drawings.
제1도는 종래의 확산로를 나타낸 부분 단면도이고,1 is a partial cross-sectional view showing a conventional diffusion path,
제2도는 제1도의 A-A 부분의 단면도이고,2 is a cross-sectional view of part A-A of FIG. 1,
제3도는 종래의 확산로에 사용되는 세퍼레이터의 외형도이다.3 is an external view of a separator used in a conventional diffusion path.
제1도 내지 제3도에 도시되어 있듯이, 종래의 확산로의 구성은, 나선형으로 감겨져 있는 형태를 이루고 있는 코일(9)과, 가운데가 반원의 홈을 이루면서 2개가 합쳐지는 경우에 상기한 코일(9)이 지지될 수 있는 원형의 공간이 형성되는 세퍼레이터(separator) (8)와, 상기한 세퍼레이터(8)의 둘레를 감싸고 있는 내부 슬리브(inner sleeve) (3)와, 상기한 내부 슬리브(3)의 외주면을 감싸고 있는 외부 슬리브(outer sleeve) (5)와, 상기한 외부 슬리브(5)를 둘러싸고 있는 외각셀(outer shell) (10)과, 상기한 외각셀(10)과 외부 슬리브(5)와 내부 슬리브(3)를 관통하여 코일(9)에 연결되어 있으며 상기한 코일(9)에 전원을 공급함으로써 코일(9)이 발열되도록 하는 터미널바(terminal bar) (2)와, 상기한 터미널바(2)를 지지하면서 터미널바(2)가 외각셀(10)과 전기적으로 단락되는 것을 방지하기 위한 터미널 스페이서(terminal spacer) (1)와, 확산로의 입출구 역할을 하는 소프트 튜브(soft tube) (6)과, 상기한 소프트 튜브(6)를 보호하기 위한 외각셀 막음(outer shellend) (7)으로 이루어진다.As shown in Figs. 1 to 3, the structure of the conventional diffusion path includes the coil 9 in the form of a spiral wound and the coil described above when the two are joined while forming a semicircular groove in the middle. A separator 8 in which a circular space in which the 9 can be supported is formed, an inner sleeve 3 surrounding the circumference of the separator 8, and an inner sleeve described above. An outer sleeve 5 surrounding the outer circumferential surface 3), an outer shell 10 surrounding the outer sleeve 5, the outer shell 10 and the outer sleeve ( 5) and a terminal bar (2) connected to the coil (9) through the inner sleeve (3) and for supplying power to the coil (9) to heat the coil (9); Supporting one terminal bar (2) prevents the terminal bar (2) from being electrically shorted to the outer shell (10) Terminal spacer (1), a soft tube (6) serving as the inlet and outlet of the diffusion furnace, and an outer shellend for protecting the soft tube (6) ( 7)
상기한 세퍼레이터(8)는 제3도에 도시되어 있는 바와 같이 가운데 반원의 홈을 이루고 있는 각각의 세퍼레이터가 일렬로 연결되어 구성되며, 이와 같이 일렬로 연결되어 있는 각각의 세퍼레이터의 사이에 형성되는 원형의 공간에 나선형의 코일(9)이 결합되어 지지된다.As shown in FIG. 3, the separator 8 is formed by connecting the separators forming the grooves of the semi-circle in a row, and forming a circle between the separators connected in the row. The spiral coil 9 is coupled to the space of the support.
상기한 코일(9)은 Fe/Cr/Al의 전기저항 합금선(KANTAL-A1)으로서 발열체이다.The coil 9 is a heating element as the electrical resistance alloy wire KANTAL-A1 of Fe / Cr / Al.
상기한 구성에 의한, 종래의 확산로의 작용은 다음과 같이 이루어진다.According to the above configuration, the operation of the conventional diffusion path is performed as follows.
터미널바(2)를 통하여 코일(9)에 전원이 공급되면, 코일(9)이 발열된다.When power is supplied to the coil 9 through the terminal bar 2, the coil 9 generates heat.
이와 같이 코일(9)이 발열되면, 코일(9)의 안쪽에 놓여진 프로세싱보트(도시되지 않음)에 적재되어 있는 웨이퍼(도시되지 않음)가 가열됨과 동시에 확산로의 내부로 주입되는 불순물이 웨이퍼로 확산되는 확산공정이 진행된다.When the coil 9 is heated in this manner, a wafer (not shown) loaded on a processing boat (not shown) placed inside the coil 9 is heated, and impurities introduced into the diffusion path are transferred to the wafer. A diffusion process is performed.
이 과정에서, 세퍼레이터(8)는 코일(9)이 서로 분리되어 지지되도록 함과 동시에 절연되도록 하고, 내부 슬리브(3)와 외부 슬리브(5)는 코일(9)로부터 발생되는 열이 외부로 방출되는 것을 방지하기 위한 보온재의 역할을 한다.In this process, the separator 8 allows the coils 9 to be separated from each other and simultaneously insulated, while the inner sleeve 3 and the outer sleeve 5 dissipate heat generated from the coil 9 to the outside. It acts as a thermal insulation material to prevent it from becoming.
그러나 상기한 바와 같은 종래의 확산로는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the conventional diffusion path as described above has the following problems.
1. 고온에 의해서 제4도에 도시되어 있는 바와 같이 코일(9)의 새깅현상이 발생된다. 제4도는 종래의 코일이 고온에 의해 찌그러진 것(새깅현상)을 나타낸 도면이다.1. As shown in FIG. 4, sagging of the coil 9 occurs due to the high temperature. 4 is a diagram showing that a conventional coil is crushed due to high temperature (sagging phenomenon).
2. 보온재로서 사용되는 내부 슬리브(3)의 재질이 소프트하기 때문에, 장기간동안 고온이 계속될 경우에는 제5도에 도시되어 있는 바와 같이 확산로 전체의 외형이 원형의 초기형상을 유지하지 못하고 타원형으로 변형됨으로써 코일(9)의 새깅현상을 가속화시킨다. 제5도는 종래의 확산로가 고온에 의해 외형이 타원형으로 변형된 것을 나타낸 도면이다.2. Since the material of the inner sleeve 3 used as the heat insulating material is soft, when the high temperature is continued for a long time, as shown in FIG. 5, the overall appearance of the diffusion path does not maintain the initial shape of the circle and is elliptical. Deformed to accelerate the sagging phenomenon of the coil (9). FIG. 5 is a view showing that the conventional diffusion path is deformed into an elliptical shape by high temperature.
3. 코일(9)의 새깅되거나 확산로가 변형되면, 제6도에 도시되어 있는 바와 같이 코일(9)이 세퍼레이터(8)로부터 이탈되면서 이와 동시에 산화현상을 일으키게 됨으로써 확산로의 수명을 단축시키게 되고, 또한 코일(9)이 심하게 새깅되거나 확산로가 심하게 변형되면 아예 프로세싱 튜브가 삽입되지를 않음으로써 확산공정 작업이 불가능하게 될 수도 있다. 제6도는 종래에 코일이 제3도의 세퍼레이터로부터 이탈되는 것을 나타낸 도면이다.3. If the sagging or diffusion path of the coil 9 is deformed, as shown in FIG. 6, the coil 9 is separated from the separator 8, and at the same time, oxidation occurs, thereby shortening the life of the diffusion path. In addition, if the coil 9 is severely sag or the diffusion path is severely deformed, the process may not be possible because the processing tube is not inserted at all. FIG. 6 is a diagram showing that the coil is separated from the separator of FIG.
4. 프로세싱 치공구중 SIC(실리콘카바이드) 튜브의 사용의 경우 확산로 코일간의 전기적 단락 발생으로 확산로 제어부, 치공구의 파손 및 공정이상이 유발되는 문제점이 있다.4. In the case of processing tool, the use of SIC (silicon carbide) tube has a problem that the short circuit of the diffusion path control unit, the tool, and process abnormality are caused by the electrical short circuit between the diffusion path coils.
제7도는 종래의 세퍼레이터의 다른 외형도이다.7 is another external view of a conventional separator.
제7도에 도시되어 있는 바와 같은 종래의 세퍼레이터 역시 위에서와 마찬가지의 문제점들을 가지고 있다.The conventional separator as shown in FIG. 7 also has the same problems as above.
즉, 코일(9)의 새깅되거나 확산로가 변형되면, 제8도에 도시되어 있는 바와 같이 코일(9)이 세퍼레이터로부터 이탈되면서 이와 동시에 산화현상을 일으키게 됨으로써 확산로의 수명을 단축시키게 되고, 또한 코일(9)이 심하게 새깅되거나 확산로가 심하게 변형되면 아예 프로세싱 튜브가 삽입되지를 않음으로써 확산공정 작업이 불가능하게 될 수도 있다. 제8도는 종래에 코일이 제7도의 세퍼레이터로부터 이탈되는 것을 나타낸 단면도이다.That is, when the coil 9 is sag or the diffusion path is deformed, as shown in FIG. 8, the coil 9 is separated from the separator and at the same time, oxidation occurs, thereby shortening the life of the diffusion path. If the coil 9 is severely sag or the diffusion path is severely deformed, the process may not be possible because no processing tube is inserted at all. 8 is a cross-sectional view showing that the coil is separated from the separator of FIG.
제9도는 종래의 세퍼레이터의 또 다른 외형도이다.9 is another outline view of a conventional separator.
제9도에 도시되어 있는 바와 같은 종래의 세퍼레이터 역시 위에서와 마찬가지의 문제점들을 가지고 있다.The conventional separator as shown in FIG. 9 also has the same problems as above.
즉, 코일(9)의 새깅되거나 확산로가 변형되면, 제8도에 도시되어 있는 바와 같이 코일(9)이 세퍼레이터로부터 이탈되면서 이와 동시에 산화현상을 일으키게 됨으로써 확산로의 수명을 단축시키게 되고, 또한 코일(9)이 심하게 새깅되거나 확산로가 심하게 변형되면 아예 프로세싱 튜브가 삽입되지를 않음으로써 확산공정 작업이 불가능하게 될 수도 있다. 제10도는 종래의 코일이 제9도의 세퍼레이터로부터 이탈되는 것을 나타낸 단면도이다.That is, when the coil 9 is sag or the diffusion path is deformed, as shown in FIG. 8, the coil 9 is separated from the separator and at the same time, oxidation occurs, thereby shortening the life of the diffusion path. If the coil 9 is severely sag or the diffusion path is severely deformed, the process may not be possible because no processing tube is inserted at all. FIG. 10 is a cross-sectional view showing that the conventional coil is separated from the separator of FIG.
이 발명의 목적은 상기 바와 같은 종래의 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 세퍼레이터의 구조를 변경함으로써 코일이 쉽게 새깅되지 못하도록 하고, 보온재의 재질 및 구조를 변경함으로써 확산로가 변경되는 것을 방지함과 동시에 단열효과도 높일 수 있는 새깅현상 방지를 위한 확산로를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to solve the conventional problems as described above, by changing the structure of the separator so that the coil is not easily sag, and by changing the material and structure of the insulating material to prevent the diffusion path is changed and at the same time insulated It is to provide a diffusion path to prevent sagging phenomenon which can also increase the effect.
상기한 목적을 달성하기 위한 수단으로서 이 발명의 구성은, 나선형의 형태를 갖는 발열체인 코일과, 가운데가 반원의 홈을 이루면서 2개가 합쳐지는 경우에 상기한 코일이 지지될 수 있는 원형의 공간이 형성됨과 동시에 좌우측에 결합홈이 형성되어 있는 세퍼레이터와, 상기한 세퍼레이터의 둘레를 감싸고 있는 내부 슬리브와, 상기한 내부 슬리브를 둘러싸고 있는 외부 슬리브와, 상기한 외부 슬리브를 둘러싸고 있는 외각셀과, 상기한 외각셀과 외부 슬리브와 개스킷과 내부 슬리브를 관통하여 코일에 연결되어 있으며 상기한 코일에 전원을 공급함으로써 코일이 발열되도록 하는 터미널바와, 상기한 터미널바를 지지하면서 터미널바가 외각셀과 전기적으로 단락되는 것을 방지하기 위한 터미널 스페이서와, 확산로의 입출구 역할을 하는 소프트 튜브와, 상기한 소프트 튜브를 보호하기 위한 외각셀 막음으로 이루어진다.As a means for achieving the above object, the configuration of the present invention is a coil that is a heating element having a spiral shape, and a circular space in which the coil can be supported when the two are joined while forming a groove of a semicircle in the middle. A separator having a coupling groove formed on the left and right sides, an inner sleeve surrounding the separator, an outer sleeve surrounding the inner sleeve, an outer shell surrounding the outer sleeve, A terminal bar connected to the coil through the outer shell, the outer sleeve, the gasket, and the inner sleeve, and supplying power to the coil to heat the coil; and supporting the terminal bar while the terminal bar is electrically shorted to the outer shell. Terminal spacer to prevent and soft tutu acting as entrance and exit of diffusion path And, outer shell consists of a cell blocking to protect the soft tube.
이 발명의 구성은, 상기한 내부 슬리브와 외부 슬리브의 사이에 확산로가 변형되지 않도록 하기 위한 개스킷을 더 포함하여 이루어질 수도 있다.The configuration of the present invention may further comprise a gasket for preventing the diffusion path from being deformed between the inner sleeve and the outer sleeve.
상기한 내부 슬리브와 개스킷과 외부 슬리부는 단열기능을 수행한다.The inner sleeve, the gasket and the outer sleeve are insulated.
그리고, 상기한 개스킷의 재질은 세라믹으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The gasket is made of ceramic.
이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 이 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 설명하기로 한다.Hereinafter, the most preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily implement the present invention.
이 발명의 실시예에서는 제1도 내지 제3도에 도시되어 있는 종래의 확산로와 그 기능 및 구성이 동일한 부분은 동일한 부호를 사용하여 표현하기로 한다.In the embodiment of the present invention, parts having the same function and configuration as those of the conventional diffusion path shown in FIGS. 1 to 3 will be represented by the same reference numerals.
제11도는 이 발명의 실시예에 따른 새깅현상 방지를 위한 확산로를 나타낸 부분 단면도이고,11 is a partial cross-sectional view showing a diffusion path for preventing sagging phenomenon according to an embodiment of the present invention,
제12도는 제11도의 B-B 부분의 단면도이고,12 is a cross-sectional view of the B-B portion of FIG.
제13도는 이 발명의 실시예에 따른 세퍼레이터의 외형도이고,13 is an external view of a separator according to an embodiment of the present invention,
제14도는 이 발명의 실시예에 따라 코일이 세퍼레이터로부터 이탈되지 않는 것을 나타낸 단면도이다.14 is a cross-sectional view showing that the coil is not separated from the separator according to the embodiment of the present invention.
제11도 내지 제14도에 도시되어 있듯이, 이 발명의 실시예에 따른 새깅현상 방지를 위한 확산로의 구성은, 나선형으로 감겨져 있는 형태를 이루고 있는 코일(9)과, 가운데가 반원의 홈을 이루면서 2개가 합쳐지는 경우에 상기한 코일(9)이 지지될 수 있는 원형의 공간이 형성됨고 동시에 좌우측이 결합홈을 이루고 있는 세퍼레이터(11)와, 상기한 세퍼레이터(11)의 둘레를 감싸고 있는 내부 슬리브(3)와, 상기한 내부 슬리브(3)의 외주면을 감싸고 있는 개스킷(4)과, 상기한 개스킷(4)을 둘러싸고 있는 외부 슬리브(5)와, 상기한 외부 슬리브(5)를 둘러싸고 있는 외각셀(10)과, 상기한 외각셀(10)과 외부 슬리브(5)와 개스킷(4)과 내부 슬리브(3)를 관통하여 코일(9)에 연결되어 있으며 상기한 코일(9)에 전원을 공급함으로써 코일(9)이 발열되도록 하는 터미널바(2)와, 상기한 터미널바(2)를 지지하면서 터미널바(2)가 외각셀(10)과 전기적으로 단락되는 것을 방지하기 위한 터미널 스페이서(1)와, 확산로의 입출구 역할을 하는 소프트 튜브(6)과, 상기한 소프트 튜브(6)를 보호하기 위한 외각셀 막음(7)으로 이루어진다.As shown in FIGS. 11 to 14, the configuration of the diffusion path for preventing sagging phenomenon according to the embodiment of the present invention includes a coil 9 having a spiral wound shape, and a groove having a semicircle in the middle. When the two are joined together to form a circular space in which the coil 9 can be supported, and at the same time, the separator 11 having a coupling groove in the left and right sides, and the inner wrap around the separator 11. The sleeve 3, the gasket 4 surrounding the outer circumferential surface of the inner sleeve 3, the outer sleeve 5 surrounding the gasket 4, and the outer sleeve 5 It is connected to the coil 9 through the outer shell 10, the outer shell 10, the outer sleeve 5, the gasket 4, and the inner sleeve 3, and supplies power to the coil 9. Terminal bar (2) for heating the coil (9) by supplying the A terminal spacer 1 for preventing the terminal bar 2 from being electrically shorted to the outer shell cell while supporting the terminal bar 2, a soft tube 6 serving as an inlet and outlet of the diffusion path, and It consists of an outer shell blocking (7) for protecting one soft tube (6).
상기한 세퍼레이터(11)는 제13도에 도시되어 있는 바와 같이 가운데에 반원의 홈과 함께 좌우측에 결합홈을 이루고 있는 각각의 세퍼레이터가 일렬로 연결되어 구성되며, 이와 같이 일렬로 연결되어 있는 각각의 세퍼레이터의 사이에 형성되는 원형의 공간에 나선형의 코일(9)이 결합됨과 동시에 각각의 세퍼레이터는 각자의 결합홈에 의하여 서로 연결된다.As shown in FIG. 13, the separator 11 includes a semicircular groove in the center and a plurality of separators constituting a coupling groove on the left and right sides thereof. The separators 11 are arranged in a row. The spiral coils 9 are coupled to the circular spaces formed between the separators, and the separators are connected to each other by their respective coupling grooves.
상기한 코일(9)은 Fe/Cr/Al의 전기저항 합금선(KANTAL-A1)으로서 발열체이고, 상기한 개스킷(4)은 세락믹재를 사용한다.The coil 9 is a heating element as the electrical resistance alloy wire KANTAL-A1 of Fe / Cr / Al, and the gasket 4 uses a ceramic material.
상기한 구성에 의한, 이 발명의 실시예에 따른 새깅현상 방지를 위한 확산로의 작용은 다음과 같다.By the above-described configuration, the action of the diffusion path for preventing sagging phenomenon according to the embodiment of the present invention is as follows.
터미널바(2)를 통하여 코일(9)에 전원이 공급되면, 코일(9)이 발열된다. 이와 같이 코일(9)이 발열되면, 코일(9)의 안쪽에 놓여진 프로세싱 보트(도시되지 않음)에 적재되어 있는 웨이퍼(도시되지 않음)가 가열됨과 동시에 확산로의 내부로 주입되는 불순물이 웨이퍼로 확산되는 확산공정이 진행된다.When power is supplied to the coil 9 through the terminal bar 2, the coil 9 generates heat. When the coil 9 is heated in this manner, the wafer (not shown) loaded on the processing boat (not shown) placed inside the coil 9 is heated, and impurities introduced into the diffusion path are transferred to the wafer. A diffusion process is performed.
이 과정에서, 세퍼레이터(11)는 코일(9)이 서로 분리되어 지지되도록 함과 동시에 코일의 각부분이 절연되어 있도록 하고, 세퍼레이터 각자는 결합홈에 의하여 서로가 결합되어 있기 때문에 서로로부터 이탈되지 않도록 한다. 따라서, 코일(9)이 고온에 의해 새깅되는 것을 최대한으로 방지함과 동시에 코일(9)이 세퍼레이터(11)로부터 이탈되는 것도 방지한다.In this process, the separator 11 allows the coils 9 to be separated from each other and at the same time to insulate the respective parts of the coils, so that the separators are not separated from each other because they are coupled to each other by coupling grooves. do. Therefore, the coil 9 is prevented from sagging due to high temperature to the maximum, and the coil 9 is also prevented from being separated from the separator 11.
또한, 내부 슬리브(3)와 개스킷(4)과 외부 슬리브(5)는 코일(9)로부터 발생되는 열이 외부로 방출되는 것을 방지하기 위한 보온재의 역할을 하고, 그중에서도 개스킷(4)은 세라믹으로 구성되어 있기 때문에 확산로의 외형이 변형되지 않도록 한다.In addition, the inner sleeve 3, the gasket 4 and the outer sleeve 5 serve as a heat insulating material to prevent the heat generated from the coil 9 to be discharged to the outside, and the gasket 4 is made of ceramic It is configured so that the appearance of the diffusion path is not deformed.
이상에서와 같이 이 발명의 실시예에서, 세퍼레이터의 구조를 변경함으로써 코일이 쉽게 새깅되지 못하도록 하고, 보온재의 재질 및 구조를 변경함으로써 확산로가 변경되는 것을 방지함과 동시에 단열효과도 높일 수 있는 효과를 가진 새깅현상 방지를 위한 확산로를 제공할 수가 있다. 이 발명의 이러한 효과는 반도체 제조공정중의 하나인 확산공정 분야에서 이 발명의 기술적 범위를 벗어나지 않는 범위내에서 당업자에 의해 변형되어 이용될 수가 있다.As described above, in the embodiment of the present invention, by changing the structure of the separator so that the coil is not easily sag, and by changing the material and structure of the insulating material to prevent the change of the diffusion path and at the same time the effect of increasing the thermal insulation effect It can provide a diffusion path to prevent sagging phenomenon. This effect of the present invention can be modified and used by those skilled in the art without departing from the technical scope of the present invention in the field of diffusion process, which is one of the semiconductor manufacturing processes.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950054644A KR0169364B1 (en) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | Diffusion furnace for preventing sagging |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950054644A KR0169364B1 (en) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | Diffusion furnace for preventing sagging |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970052121A KR970052121A (en) | 1997-07-29 |
| KR0169364B1 true KR0169364B1 (en) | 1999-02-01 |
Family
ID=19443209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950054644A KR0169364B1 (en) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | Diffusion furnace for preventing sagging |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0169364B1 (en) |
-
1995
- 1995-12-22 KR KR1019950054644A patent/KR0169364B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970052121A (en) | 1997-07-29 |
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