KR0144876B1 - 자외선 조사장치 - Google Patents

Abstract

자외선 조사장치가 개시되어 있다. 본 발명은 챔버 내에 성치된 광원, 앞면에 보호용테이프가 접착된 웨이퍼를 이동시키기 위하여 상기 광원의 하부에 설치된 웨이퍼 전송수단, 및 상기 웨이퍼 전송수단 부분에 상기 광원으로부터 발생되는 자외선을 집중시키기 위하여 상기 광원을 둘러싸도록 설치된 반사경을 포함하는 자외선 조사장치에 있어서, 상기 웨이퍼 전송수단은 히터가 내장되어 자외선 조사가 완료된 웨이퍼에 열을 가할 수 있는 테이블과 상기 보호용 테이프가 제거된 웨이퍼를 상기 테이블의 정해진 위치에 정렬시킬 수 있는 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 자외선 조사가 왼료된 웨이퍼의 온도를 서서이 낮출 수 있어 웨이퍼 앞면에 부착된 보호용테이프를 웨이퍼로부터 쉽게 분리할 수 있다. 또한, 보호용 테이프가 제거된 웨이퍼를 정해진 위치에 정렬시킬수 있어 웨이퍼를 캐리어에 로딩(loading)할 때 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

Description

자외선 조사장치

제1도는 본 발명에 의한 웨이퍼 전송수단의 평면도이다.

제2도는 제1도의 AA'에 따른 단면도와 그 일부를 확대한 도면을 함께 도시한 것이다.

제3도는 제1도의 웨이퍼 정렬부의 평면도와 그 측면도를 함께 도시한 것이다.

본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 자외선 조사장치에 관한 것으로 특이 웨이퍼를 백그라인딩(back grinding)한 후 그 앞면에 접착된 보호용테이프를 제거하는 데 사용되는 자외선 조사장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체장치는 웨이퍼 상에 수 많은 공정을 통하여 제조된다. 이러한 수 많은 공정에 의해 제조된 반도체장치는 전지것인 특정을 측정하여 양품을 분류한 후 이러한 양품에 대하여 패키지를 실시하여야 한다. 이때 상기 패키지공정을 실시하기 위해서는 적어도 하나 이상의 반도체장치가 형성된 웨이퍼의 두께를 얇게 형성하여야 한다. 이와 같이 웨이퍼의 두께를 얇게 형성하기 위한 수단으로 웨이퍼의 뒷면을 백그라인딩하는 방법이 널리 사용되고 있다. 이러한 백그라인딩 공정은 1)반도체장치를 보호하기 위하여 한족 면에 접착제가 코팅된 보호용테이프를 웨이퍼의 앞면에 접착시키는 단계: 2)상기 보호용테이프가 접착된 웨이퍼를 백그라인딩하여 그 두께를 얇게 형성하는 단계; 및 3)상기 백그라인딩된 웨이퍼의 앞면에 접착된 보호용테이프를 제거하는 단계로 이루어진다. 여기서, 상기 보호용테이프를 제거하기 위한 수단으로는 자외선 조사장치를 사용하여 웨이퍼 상부의 보호용테이프에 자외선을 조사하는 방법이 널리 사용된다.

이는, 보호용테이프에 자외선을 조사할 경우 상기 접착제가 화학반응을 하여 접착력을 상실하기 때문이다. 따라서, 상기 자외선에 노출된 보호용테이프는 웨이퍼로부터 쉽게 제거되어진다.

상기 종래의 자외선 조사장치는 챔버(chamber) 내에 설치되어 자외선을 발생시키는 자외선 램프, 상기 자외선 램프의 하부에 설치되어 웨이퍼를 이동시키는 웨이퍼 전송수단, 및 상기 웨이퍼 전송수단 부분에 자외선을 집중시키기 위하여 상기 자외선 램프를 둘러싸도록 설치된 반사경으로 구성되어 있다. 여기서 상기 웨이퍼 전송수단은 진공 척 또는 로울러에 의한 방식을 널리 사용한다. 그리고 상기 자외선 램프는 일반적으로 자외선 이외에 적외선 및 가시광선을 함께 발생시킨다. 이러한 종래의 자외선 조사장치를 사용하여 보호용테이프가 접착된 웨이퍼에 자외선을 조사할 경우 웨이퍼의 온도는 자외선 램프에서 발생되는 적외선에 의해서 상승하게 된다. 따라서, 자외선 조사가 완료된 후 웨이퍼는 상온으로 급히 냉각된다. 이때, 웨이퍼와 보호용테이프를 웨이퍼로부터 분리하기 어렵게 만든다. 또한, 자외선 조사를 위하여 웨이퍼를 수평이동시키는 동안 웨이퍼가 옆으로도 이동될 수 있다. 이는, 자외선 조사가 완료된 웨이퍼를 캐리어(carrier)에 로딩(loading)시 웨이퍼와 캐리어의 심한 충돌을 발생시키어 웨이퍼가 손상을 입거나 깨질 수 있는 문제점을 유발시킨다.

따라서, 본 발명의 목적은 자외선 조사 후에 웨이퍼로부터 보호용테이프를 원활히 제거할 수 있고 보호용테이프가 제거된 웨이퍼를 캐리어에 정확히 안착시킬 수 있는 자외선 조사장치를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 챔버 내에 설치된 광원, 앞면에 보호용테이프가 접착된 웨이퍼를 이동시키기 위하여 상기 광원의 하부에 설치된 웨이퍼 전송수단, 및 상기 웨이퍼 전송수단 부분에 상기 광원으로부터 발생되는 자외선을 집중시키기 위하여 상기 광원을 둘러싸도록 설치된 반사경을 포함하는 자외선 조사장치에 있어서, 상기 웨이퍼 전송수단은 히터가 내장되어 웨이퍼에 열을 가할 수 있는 테이블:

상기 테이블의 일부에 자외선 조사가 완료된 웨이버를 대기시키는 완층부:

상기 완충부와 인접한 상기 테이블의 일정 위치에 상기 완충부로부터 전송된 웨이퍼를 정치시킨 후, 이를 진공에 의해 고정시키고 상기 보호용테이프를 제거하는 웨이퍼 고정부: 및

상기 웨이퍼 고정부로부터 전송된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 고정부와 인접한 상기 테이블의 정해진 위치에 정렬시키는 웨이퍼 정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치를 제공한다.

본 발명에 의하면, 완충부 및 웨이퍼 고정부의 테이블에 히터를 내장시켜 자외선을 조사하는 동안 온도가 상승된 웨이퍼를 서서히냉각시킬 수 있다. 따라서, 웨이퍼 앞면에 부착된 보호용테이프를 웨이퍼로부터 쉽게 분리할 수 있다. 또한 보호용테이프가 제거된 웨이퍼를 정해진 위치에 정렬시킬 수 있는 웨이퍼 정렬부를 구비하여, 웨이퍼를 캐리어에 정확히 안착시킬 수 있다. 따라서 웨이퍼가 캐리어에 이동될 때 손상이 가해지는 것을 방지할 수 있다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

제1도는 본 발명의 실시예에 의한 웨이퍼 전송수단의 평면도로서, 참조번호100은 앞면에 보호용테이프가 접착된 상태에서 자외선 조사가 완료된 웨이퍼(99a)를 일정시간 동안 대기시키는 완충부, 200은 상기 완충부(100)로부터 참조부호 L로 표시한 화살표 방향으로 전송된 웨이퍼(99b)를 정지시키고 진공에 의해 고정시킨 다음, 상기 보호용테이프를 제거시키는 웨이퍼 고정부, 그리고 300은 상기 웨이퍼 고정부(200)로부터 참조부호M으로 표시한 화살표 방향으로 전송된 웨이퍼(99a)를 정해진 위치에 정렬시키는 웨이퍼 정렬부를 나타낸다.

또한 참조번호 1은 상기 웨이퍼(99a, 99b, 99c)가 놓여지는 테이블, 3은 상기 테이블(1)의 양 측면에 형성된 홈, 5는 상기 홈(3)에 장착되어 상기 테이블에 열을 가해주는 히터를 나타낸다. 따라서, 상기 테이블(1)의 온도는 상기 히터(5)에 의해 조절할 수 있다. 이는 자외선 조사가 진행되는 동안 상온보다 훨씬 높아진 온도로 뜨거워진 웨이퍼를 상기 테이블(1)상에서 이동시킬 때 웨이퍼의 온도가 갑자기 낮아지는 것을 방지하는 역할을 한다.

계속해서, 참조번호 7은 상기 완충부(100)의 웨이퍼(99a)가 상기 테이블(1)과 접촉하는 면적을 감소시키시 위하여 상기 테이블의 표면에 돌출하도록 형성된 웨이퍼 지지패널(pannel), 9a 또는 9b는 상기 웨이퍼 고정부(200)로 전송되는 웨이퍼(99b)를 일정 위치에 정지시키기 위하여 상기 테이블(1)의 일정부분을 관통하도록 형성된 홈을 통하여 상기 테이블(1) 표면 상부로 솟아올라 웨이퍼(99b)의 진행을 멈추게 하는 바(bar) 형태의 스타퍼(stopper), 그리고 11은 상기 스타퍼(9a 또는 9b)에 의해 정지된 웨이퍼(99b)를 상기 테이블(1) 표면에 흡착시키기 위하여 상기 테이블(1) 표면에 진공 펌프 (도시하지 않음)와 연결되도록 형성된 홈을 나타낸다. 여기서 9a와 9b는 도시된 바와 같이 각각 직경이 서로 다른 웨이퍼에 대해 선택할 수 있다. 즉, 직경이 큰 웨이퍼에 대해서는 9a를 선택하고 직경이작은 웨이퍼에 대해서는 9b를 선택하여 동작시킨다.

다음에 상기 웨이퍼 정렬부(300)에 대해 자세히 설명하며, 참조번호13은 상기 웨이퍼 고정부(200)로부터 웨이퍼(99b)가 전송되는 방향에 수직한 방향, 즉 참조부호M으로 표시한 화살표의 방향에 수직한 방향으로 상기 테이블(1)을 관통하면서 고정된 복수의 샤프트(shaft), 그리고 15는 상기 테이블(1)의 양 옆에 위치하고 상기 샤프트(13)에 각각 끼워져 상기 샤프트(13)를 다라 미그럼운동을 하는 한 쌍의 웨이퍼 홀더를 나타낸다. 여기서 상기 한 쌍의 웨이퍼 홀더(15)는 상기 웨이퍼 고정부(200)로부터 웨이퍼가 전송되는 동안에 상기 테이블91)로부터 멀리 이동하여 서로의 간격을 넓혀준다. 그리고 웨이퍼가 전송이 완료된 후에 상기 한 사의 웨이퍼 홀더(15)는 상기 테이블(1)쪽으로 이동하여 웨이퍼를 정해진 위치에 정렬시킨다. 제2도는 상기 제1도의 AA'에 따른 웨이퍼 고정부(200)의 단면도와 상기 단면도의 일부를 확대한 도면을 함께 도시한 것이다.

제2도를 참조하면, 참조번호 21은 웨이퍼를 흡착시키기 위하여 상기 웨이퍼 고정부(200) 표면에 형성된 홈(11)과 연결되면서 상기 테이블(1) 뒷면에 설치된 진공 배관 (vacuum line), 23은 상기 테이블(1) 상에서 웨이퍼를 전송시키기 위한 수단(도시하지 않음)이 이동할 수 있도록 형성된 공간, 그리고 25는 상기 홈(11)과 상기 진공 배관 (21)을 서로 연결시키기 위하여 상기 테이블(1)을 관통하는 진공 통로를 나타낸다.

제3도는 제1도의 웨이퍼 정렬부(300)에 대한 평면도와 측면도를 함께 도시한 것으로, 상기 웨이퍼 정렬부(300)를 좀 더 상세히 설명하기 위한 것이다.

제3도를 참조하면, 참조번호 15a는 상기 제1도에서 설명한 한 쌍의 웨이퍼 홀더(15)가 서로 가깝게 이동하여 상기 웨이퍼(99c)가 정해진 위치에 놓이도록 정렬해 준 상태를 나타내고, 15b는 상기 웨이퍼(99c)가 전송될 때 상기 웨이퍼(99c)가 이동할 수 있도록 서로 멀리 떨어진 상태의 웨이퍼 홀더를 나타낸다.

또한, 참조번호 17a는 그 한 쪽 끝이 상기 웨이퍼 홀더(15a)의 바닥에 연결되어 상기 웨이퍼 홀더(15a)가 상기 샤프트(13)를 따라 미끄럼 운동을 할 수 있도록 힘을 전달하는 역할을 하는 엔드 로드(end load)를 나타내고, 17b는 상기 웨이퍼(99c)가 이동할 수 있도록 서로의 간격이 넓어진 상기 웨이퍼 홀더(15b)와 연결된 상태의 엔드 로드를 나타낸다. 여기서 참조부호 P로 표시한 화살표는 상기 웨이퍼 홀더(15a 또는 15b)가 이동하는 방향을 나타낸다.

계속해서, 참조번호 31은 상기 한 쌍의 엔드 로드(17a 또는 17b)의 다른 한 쪽 끝이 각각 양 끝에 연결된 암(arm)과 상기 암의 중심 부분에 연결되어 상기 암을 참조부호 N으로 표시한 화살표와 같이 회전시키는 축을 포함하는 웨이퍼 홀더 구동 축을 나타내고, 33은 상기 웨이퍼(15a 또는 15b)가 상기 샤프트(13)을 따라 이동시 그들 사이에 발생하는 마찰력을 감소시키기 위하여 설치한 슬라이드 부쉬(slide bush)를 나타낸다.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 의한 웨이퍼 전송수단을 포한하는 자외선 조사장치는 완충부 및 웨이퍼 고정부의 테이블에 히터를 내장시켜 자외선 조사가 완료된 웨이퍼에 열을 가할 수 있다. 따라서, 자외선 조사가 진행되는 동안 온도가 상승된 웨이퍼를 서서히 냉각시킬 수 있다. 이는, 웨이퍼 앞면에 부착된 보호용테이프를 웨이퍼로부터 쉽게 분리할 수 있는 조건을 제공한다. 또한, 보호용테이프가 제거된 웨이퍼를 정해진 위치에 정렬시킬 수 있는 웨이퍼 정렬부를 구비하여, 웨이퍼를 캐리어에 정확히 로딩(loading)시킬 수 있다. 이는 웨이퍼가 캐리어에 이동될 때 웨이퍼와 캐리어가 서로 충돌하는 문제점을 제거하여 웨이퍼가 손상을 입는 것을 방지할 수 있다.

본 발명이 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진자에 의하여 가능함은 명백하다.

Claims (6)

1. 챔버 내에 설치된 광원, 앞면에 보호용테이프가 접착된 웨이퍼를 이동시키기 위하여 상기 광원의 하부에 설치된 웨이퍼 전송수단, 및 상기 웨이퍼 전송수단에 상기 광원으로부터 발생되는 자외선을 집중시키기 위하여 상기 광원을 둘러싸도록 설치된 반사경을 포함하는 자외선 조사장치에 있어서, 상기 웨이퍼 전송수단은 히터가 내장되어 웨이퍼에 열을 가할 수 있는 테이블: 상기 테이블의 일부에 자외선 조사가 완료된 웨이퍼를 대기시키는 완충부: 상기 완충부와 인접한 상기 테이블의 일정 위치에 상기 완충부로부터 전송된 웨이퍼를 정지시킨 후, 이를 진공에 의해 고정시키고 상기 보호용테이프를 제거시키는 웨이퍼 고정부: 및 상기 웨이퍼 고정부로부터 전송된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 고정부와 인접한 상기 테이블의 정해진 위치에 정렬시키는 웨이퍼 정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 테이블은 그 양 측면에 히터를 장착할 수 있는 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 고정부는 그 표면에 진공 펌프와 연결된 홈이 형성되어 웨이퍼를 진공에 의해 고정시키는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치
4. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 고정부는 상기 테이블의 일정 위치에 복수의 홈과 상기 복수의 홈에 바(bar)형태의 스타퍼(stopper)를 더 구비하여, 상기 스타퍼를 상기 테이블 표면 상부로 상승시킴으로써 상기 완충부로부터 이송되는 웨이퍼를 정지시키는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 정렬부는 상기 웨이퍼가 이송되는 방향과 수직한 방향으로 상기 웨이퍼 정렬부의 테이블을 관통하면서 고정된 복수의 샤프트: 상기 웨이퍼 정렬부의 테이블을 마주보면서 상기 샤프트를 따라 이동할 수 있는 한 쌍의 웨이퍼 홀더(holder): 및 상기 한 쌍의 웨이퍼 홀더와 연결되고 상기 한 쌍의 웨이퍼 홀더를 상기 웨이퍼 정렬부의 테이블을 향하는 방향 또는 그 반대 방향으로 이동시키는 기능을 갖는 웨이퍼 홀더 구동 수단을 포함하여, 상기 웨이퍼 고정부로부터 전송된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 정렬부의 정해진 위치에 정렬시키는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 웨이퍼 홀더 구동수단은 한족 끝이 각각 상기 한 쌍의 웨이퍼 홀더의 바닥에 연결된 한 쌍의 엔드로드 (end load): 및 상기 한 쌍의 엔드로드의 다른 한 쪽 끝과 연결되어 회전함으로써 상기 엔드로드를 통하여 상기 웨이퍼 홀더를 상기 샤프트를 따라 직선 운동시키는 웨이퍼 홀더 구동 축을 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.