KR0136230Y1 - 청정실 내장 바닥재용 그레이팅 구조 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체소자 제조를 위해 필요로 하는 청정공간을 제공하는 클린룸에 관한 것으로 특히 클린룸의 바닥 내장재로 사용되는 그레이팅의 구조에 대한 것이다.

종래에 바닥재로 사용되는 그레이팅은 클린룸에서의 장비의 정검이나 수리작업시 잦은 해체 및 조립으로 경계면에서 마모나 긁힘에 의해 파티클을 유발하는 소스로 작용하여 제품의 수율과 품질을 저해하는 문제점이 있었다.

본 고안은 상술한 문제점들을 해소하기 위한 것으로 그레이팅의 측면 테두리에 스텐레스 스틸의 보호층을 부착하여 반복적인 해체 및 조립시 마모나 충격에 의한 파티클의 발생을 억제하도록 한 것이다.

Description

청정실 내장 바닥재용 그레이팅 구조

제1a도는 본 고안에 따른 그레이팅의 전체적인 구성도이고, 제1b도는 제1a도의 일측 단면의 상세구조도이다.

제2a도 및 제2b도는 각각 종래의 바닥내장재인 그레이팅의 전체적인 구성도 및 설치시 요부 단면구조도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 그레이팅 11 : 방진층

20 : 보호층

본 고안은 반도체소자 제조를 위해 필요로 하는 청정공간을 제공하는 클린룸에 관한 것으로 특히 클린룸의 바닥 내장재로 사용되는 그레이팅의 구조에 대한 것이다.

청정실(Clean Room)주변의 산업발전에 따른 청정실의 청정도는 종래에 사용되어 오던 0.1 UM AIR BONE 파티클 계수기에 의한 청정실내의 파티클 관리가 그 한계에 이르러 휘발성 액체를 이용한 응축핵 파티클 계수기를 이용하여 가측 파티클의 입경을 낮추어 가고 있다.

그러나 이 또한 청정실용 ULPA(Ultra Low Penetration Air)필터의 효율성이 높아져 정상적인 청정실내에서는 공기중 파티클이 거의 검출되지 않고 있는 실정이다.

그럼에도 불구하고 생산 및 계측설비의 각종 용구(Material)와, 청정실의 내장제 등과 같이 목적하는 생산물류(예 반도체소자용 웨이퍼)와 인접한 부분의 표면에는 사람, 로봇, 물류의 이동과 공간적인 온도의 불균형에 따라서 2차적으로 기류의 이동을 초래하게 된다.

이러한 2차적인 기류로 인하여 상기한 이동물체와 인접한 부분의 표면에 누적된 파티클들이 이동하여 생산물류를 오염시키는 현상으로 지속적인 문제를 유발시키고 있다.

이를 개선하는 것이 청정실 내에서 작업을 요하는 산업에서 생산성을 향상시키는 지름길이란 점은 새삼 강조하지 않아도 충분히 인식되어 있는 상황이며, 이후 전개되는 청정실 관리의 중요성은 과거 청정실의 공간 개념에 중점을 두고 있었던 것에 반하여 각종 물체와 인접한 표면의 청정도가 더욱 중요시되고 있는 추세로 변천되어 가고 있다.

따라서 청정실을 요구하는 생산현장에서 고체형태의 각종 물류와 재료, 내자재, 기계장치, 건물, 사람, 의복등과 같은 표면의 파티클을 정확히 측정하고 이러한 데이터를 근거로 문제를 해결하므로서 궁극적으로 생산 품질 및 수율 즉 종합적인 생산성을 향상시키기 위한 노력을 하여 왔다.

일반적으로 청정실내의 공기는 바깥의 대기의 유입을 막아주기 위하여 대기압보다 조금 높은 압력을 가지고 있으며, 실내 공기의 흐름은 청정공기가 천장에서 유입되어 바닥으로 빠져나가도록 되어 있다.

따라서 청정실의 바닥판은 공기가 외부로 빠져나갈 수 있도록 복수개의 통기공(10a)을 갖는 구조로 설계되어 있다.

제2a도는 종래의 청정실의 바닥재로 사용되던 그레이팅(Grating)의 구조를 나타낸 것으로, 일정 크기를 갖는 단위 그레이팅(10)이 복수개 연결되어 청정실 바닥으로 사용된다. 제2b도는 상기 그레이팅 외곽부위의 상세구조를 나타낸 단면도로, 그레이팅은 수지계통의 비금속재질을 압축성형하고 상부면에는 소정 두께로 내마모율은 떨어지나 방진효과가 탁월한 방진재질이 코팅된 방진층(10)이 형성되어 있다.

상술한 구조를 갖는 종래의 방진 그레이팅은 청정실내에 설치되는 장비의 보수 및 유지를 위한 작업시 해체되고 다시 재 조립된다.

이러한 반복되는 작업시 그레이팅과 그레이팅 사이의 면의 긁힘이나 충격에 의하여 몸체와 상부면의 방진층(11)이 부서지거나 마모되는 현상이 발생한다. 이러한 현상은 청정실내에 파티클 소스(Source)로 작용하여 공정진행에 따른 제품의 품질과 수율에 막대한 영향을 주게된다.

본 고안은 상술한 문제점을 해소하기 위한 것으로 청정실내의 내장재인 그레이팅의 구조적 결함으로 발생하는 파티클의 발생을 억제할 수 있도록 한 청정실 내장 바닥판용 그레이팅 구조를 제공하는 데 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 특징으로는 복수개의 통기공을 구비한 그레이팅의 측면 테두리에 부착되는 보호층을 포함한 것을 특징으로 한다.

이를 위한 실시예로, 상기 보호층은 소정 두께의 스텐레스 스틸판을 사용한다.

상술한 구성을 갖는 본 고안의 그레이팅은 반복되는 해체 및 조립시 파티클의 발생을 억제할 수 있도록 하였다.

이하 본 고안의 바람직한 실시예 및 작용·효과를 첨부된 도면에 따라서 설명한다.

제1a도는 본 고안에 따른 그레이팅의 전체적인 구조를 나타낸 것이고, 제1b도는 본 고안의 설치된 상태의 단면구조를 나타낸 것으로, 제2도에 도시되어 있는 각 구조와 동일한 기능을 갖는 구조에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

제1a도를 참조하여 보면 일정크기를 갖는 그레이팅(10)의 외측면에 내마모률이 적은 금속판을 부착한 보호층(20)을 형성한다. 이 보호층(20)의 재질로는 스텐레스 스틸을 사용한다. 이때 상기 스텐레스 스틸의 두께는 약 1㎜내외로 형성한다.

제1b도는 본 고안의 사용상태 단면도로, 각각의 그레이팅(10)이 상호 연결되는 부위에 상기 보호층(20)이 그레이팅의 몸체와 상부 방지층(11)을 보호 하게 된다.

따라서 청정실내의 장비의 유지보수를 위한 조립 및 해체시 상호간의 마찰 및 충격에 의하여 파티클이 발생하는 것을 억제하여 준다.

즉 본 고안은 청정실내 내장재가 공정의 진행에 파티클 소스로 작용하는 것을 막아줌으로서, 궁극적으로 생산 품질 및 수율 즉 종합적인 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

Claims (3)

1. 청정실의 내장 바닥재인 복수개의 통기공(10a)을 구비한 그레이팅(10)에 있어서, 상기 그레이팅(10)의 측면 테두리에 부착되는 보호층(20)을 포함한 것을 특징으로 하는 청정실 내장 바닥판용 그레이팅 구조.
2. 제1항에 있어서, 상기 보호층(20)은 소정 두께의 스텐레스 스틸판인 것을 특징으로 하는 청정실 내장 바닥판용 그레이팅 구조.
3. 제2항에 있어서, 상기 스텐레스 스틸판의 두께는 1㎜ 내외로 형성한 것을 특징으로 하는 청정실 바닥판용 그레이팅 구조.