JPS61282742A - クリ−ンル−ム - Google Patents
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- JPS61282742A JPS61282742A JP60123195A JP12319585A JPS61282742A JP S61282742 A JPS61282742 A JP S61282742A JP 60123195 A JP60123195 A JP 60123195A JP 12319585 A JP12319585 A JP 12319585A JP S61282742 A JPS61282742 A JP S61282742A
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- JP
- Japan
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- clean
- area
- zone
- blow
- air
- Prior art date
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＬＳＩの製造や超精密機械部品の製造、ある
いは、薬品の製造等、種々の清浄雰囲気作業に用いるク
リーンルームに関し、詳しくは、ＬＳＩ等の清浄維持必
要物を位置させる室内高度清浄域に対し、その全域にわ
たって清浄気体をほぼ鉛直下方向きで層流状に吹出す第
１吹出口、及び、高度清浄域に隣り合う作業者用域とし
ての室内低度清浄域に対し清浄気体を吹出し供給する第
２吹出口を設けたクリーンルームに関する。
いは、薬品の製造等、種々の清浄雰囲気作業に用いるク
リーンルームに関し、詳しくは、ＬＳＩ等の清浄維持必
要物を位置させる室内高度清浄域に対し、その全域にわ
たって清浄気体をほぼ鉛直下方向きで層流状に吹出す第
１吹出口、及び、高度清浄域に隣り合う作業者用域とし
ての室内低度清浄域に対し清浄気体を吹出し供給する第
２吹出口を設けたクリーンルームに関する。
従来、上記の如きクリーンルームにおいては、第４図及
び第５図に示すように、低度清浄域（Ｂ）に対応位置す
る室内天井部に対して、第２吹出口（４）を局所的に、
あるいは、その複数個を分散配置し、第２吹出口（４）
から低度清浄域（Ｂ）に対して清浄気体を拡散的に吹出
し供給するように構成しており、それによって、低度清
浄域（Ｂ）に対応位置する室内天井部のほぼ全面を第２
吹出口として、その第２吹出口から低度清浄域の全域に
わたって清浄気体を層流状に吹出し供給するように構成
するに比して、低度清浄域（Ｂ）に対する清浄気体供給
設備の簡略化及びコンパクト化を図り、全体設備コスト
を低減するようにしていた。
び第５図に示すように、低度清浄域（Ｂ）に対応位置す
る室内天井部に対して、第２吹出口（４）を局所的に、
あるいは、その複数個を分散配置し、第２吹出口（４）
から低度清浄域（Ｂ）に対して清浄気体を拡散的に吹出
し供給するように構成しており、それによって、低度清
浄域（Ｂ）に対応位置する室内天井部のほぼ全面を第２
吹出口として、その第２吹出口から低度清浄域の全域に
わたって清浄気体を層流状に吹出し供給するように構成
するに比して、低度清浄域（Ｂ）に対する清浄気体供給
設備の簡略化及びコンパクト化を図り、全体設備コスト
を低減するようにしていた。
しかし、上述の如く天井部の第２吹出口（４）から清浄
気体を単に拡散的に吹出すように構成すると、高度清浄
域（Ａ）での層流状清浄気体流動と低度清浄域（Ｂ）で
の清浄気体流動との風向及び風速が互いに異なるために
画成（Ａ） 、 （１１）の境界部で渦流が生じ、その
渦流に起因した低度清浄域（Ｂ）から高度清浄域（Ａ）
への塵埃侵入のために高度清浄域（Ａ）が汚染されてし
まう。
気体を単に拡散的に吹出すように構成すると、高度清浄
域（Ａ）での層流状清浄気体流動と低度清浄域（Ｂ）で
の清浄気体流動との風向及び風速が互いに異なるために
画成（Ａ） 、 （１１）の境界部で渦流が生じ、その
渦流に起因した低度清浄域（Ｂ）から高度清浄域（Ａ）
への塵埃侵入のために高度清浄域（Ａ）が汚染されてし
まう。
そこで、渦流による高度清浄域（Ａ）の汚染を防止する
ための対策として、第４図に示すように、画成（Ａ）
、 （１１）の間に垂壁（１９）を設けたり、又、第５
図に示すように、画成（Ａ） 、 （Ｂ）の境界部に高
速気流カーテン（Ｆ）を形成する第３の清浄気体吹出口
（１６）を付設する等していた。
ための対策として、第４図に示すように、画成（Ａ）
、 （１１）の間に垂壁（１９）を設けたり、又、第５
図に示すように、画成（Ａ） 、 （Ｂ）の境界部に高
速気流カーテン（Ｆ）を形成する第３の清浄気体吹出口
（１６）を付設する等していた。
尚、第４図及び第５図において、（２） 、 （５）及
び（１７）は第１、第２、及び第３吹出口（１） 、
（４） 。
び（１７）は第１、第２、及び第３吹出口（１） 、
（４） 。
（１６）に装備した高性能フィルター、（７）は各吹出
口（１） 、 （４） 、 （１６）に対する空調器か
らの給気ダクト、（９）は高度清浄域（Ａ）に接する室
壁（Ｂ）の下端部に設けた第１排気口、（１０）は低度
清浄域（Ｂ）に対応位置する床部に設けた第２排気口、
（１３）は第１排気口（９）からの排気気体を第１吹出
口（１）に循環供給するファン、（１４）は第２排気口
（１０）からの排気気体を空調器に還気ないし系外に排
出する運気・排気ダクト、又、（１５）は高度清浄域（
Ａ）に設置した作業台である（文献を示すことができな
い）。
口（１） 、 （４） 、 （１６）に対する空調器か
らの給気ダクト、（９）は高度清浄域（Ａ）に接する室
壁（Ｂ）の下端部に設けた第１排気口、（１０）は低度
清浄域（Ｂ）に対応位置する床部に設けた第２排気口、
（１３）は第１排気口（９）からの排気気体を第１吹出
口（１）に循環供給するファン、（１４）は第２排気口
（１０）からの排気気体を空調器に還気ないし系外に排
出する運気・排気ダクト、又、（１５）は高度清浄域（
Ａ）に設置した作業台である（文献を示すことができな
い）。
しかし、単に垂壁を設けるだけでは高度清浄域と低度清
浄域との境界部での渦流発生を十分に抑制できず、渦流
に起因した高度清浄域への塵埃侵入を十分に回避できな
いのが実情であり、殊に、低度清浄域に位置する作業者
が高度清浄域に近接すると、その作業者の存在により高
度清浄域と低度清浄域との境界部で激しい渦流が生じ、
又、作業者から多量の塵埃が発生するために、高度清浄
域の清浄度が大幅に低下してしまう。
浄域との境界部での渦流発生を十分に抑制できず、渦流
に起因した高度清浄域への塵埃侵入を十分に回避できな
いのが実情であり、殊に、低度清浄域に位置する作業者
が高度清浄域に近接すると、その作業者の存在により高
度清浄域と低度清浄域との境界部で激しい渦流が生じ、
又、作業者から多量の塵埃が発生するために、高度清浄
域の清浄度が大幅に低下してしまう。
一方、高度清浄域と低度清浄域との境界部に゛□高速気
流をカーテンを形成するものにあっては、その気流カー
テンを形成する高速気体流動により、高度清浄域のうち
気流カーテンに臨む側の部分における清浄気体層流流動
状態が乱されるために、清浄気体層流状流動による域内
塵埃排除機能が損なわれて高度清浄域の清浄度が低下し
たり、高度清浄域のうち層流流動状態が安定した有効ス
ペースが狭くなってしまう問題が発生し、又、作業者が
高度清浄域に近接した場合には、気流カーテンを形成す
る高速気体と近接作業者との衝突により極めて激しい渦
流が生じるために、近接作業者に起因した高度清浄域の
清浄度低下が、前述の垂壁付設の場合よりも一層ひどく
なることもあった。
流をカーテンを形成するものにあっては、その気流カー
テンを形成する高速気体流動により、高度清浄域のうち
気流カーテンに臨む側の部分における清浄気体層流流動
状態が乱されるために、清浄気体層流状流動による域内
塵埃排除機能が損なわれて高度清浄域の清浄度が低下し
たり、高度清浄域のうち層流流動状態が安定した有効ス
ペースが狭くなってしまう問題が発生し、又、作業者が
高度清浄域に近接した場合には、気流カーテンを形成す
る高速気体と近接作業者との衝突により極めて激しい渦
流が生じるために、近接作業者に起因した高度清浄域の
清浄度低下が、前述の垂壁付設の場合よりも一層ひどく
なることもあった。
しかも、第４図及び第５図に示す如き構成の場合、低度
清浄域（Ｂ）において、室内天井と垂壁（１９） （な
いし、第３吹出口（１６）を形成する垂壁状構成）との
コーナ部（Ｄ）で、第２吹出口（４）からの拡散的吹出
しに起因した大きな渦流が発生し、それに起因して、低
度清浄域（Ｂ）の清浄度も低下し、そのことが高度清浄
域（Ａ）の汚染を促進することにもなっていた。
清浄域（Ｂ）において、室内天井と垂壁（１９） （な
いし、第３吹出口（１６）を形成する垂壁状構成）との
コーナ部（Ｄ）で、第２吹出口（４）からの拡散的吹出
しに起因した大きな渦流が発生し、それに起因して、低
度清浄域（Ｂ）の清浄度も低下し、そのことが高度清浄
域（Ａ）の汚染を促進することにもなっていた。
本発明の目的は、清浄気体吹出構成を合理的に改良する
ことにより、低度清浄域に対する清浄気体吹出し設備を
極力簡略かつコンパクトにしながら、高度清浄域の清浄
度を高く維持できるようにし、しかも、高度清浄域にお
いて清浄気体層流流動状態が安定した有効スペースを広
く確保できるように、更には、低度清浄域の清浄度も合
わせて向上できるようにする点にある。
ことにより、低度清浄域に対する清浄気体吹出し設備を
極力簡略かつコンパクトにしながら、高度清浄域の清浄
度を高く維持できるようにし、しかも、高度清浄域にお
いて清浄気体層流流動状態が安定した有効スペースを広
く確保できるように、更には、低度清浄域の清浄度も合
わせて向上できるようにする点にある。
本発明によるクリーンルームの特徴構成は、第１吹出口
からほぼ鉛直下方向きで層流状に清浄気体の吹出供給を
受ける高度清浄域と、第２吹出口から清浄気体の吹出供
給を受ける低度清変域との境界域に対して、その境界域
での気流状態を前記高度清浄域での気流状態とほぼ同速
かつほぼ同流れ方向の気流状態とするように、清浄気体
を下方向きに吹出す第３吹出口を設置１、前記第２吹出
口を、前記第３吹出口の近くで、かつ、清浄気体吹出流
線が下方側ほど前記境界域から離れる斜め下方向きとな
るように配置してあることにあり、その作用・効果は次
の通りである。
からほぼ鉛直下方向きで層流状に清浄気体の吹出供給を
受ける高度清浄域と、第２吹出口から清浄気体の吹出供
給を受ける低度清変域との境界域に対して、その境界域
での気流状態を前記高度清浄域での気流状態とほぼ同速
かつほぼ同流れ方向の気流状態とするように、清浄気体
を下方向きに吹出す第３吹出口を設置１、前記第２吹出
口を、前記第３吹出口の近くで、かつ、清浄気体吹出流
線が下方側ほど前記境界域から離れる斜め下方向きとな
るように配置してあることにあり、その作用・効果は次
の通りである。
つまり、第２図に示すように、第３吹出口（１６）から
の清浄気体吹出しにより生じる境界域（Ｃ）での清浄気
体流動が、高度清浄域（Ａ）と低度清浄域（Ｂ）とに対
して隔壁作用するから、作業者が位置する低度清浄域（
Ｂ）から高度清浄域（Ａ）への塵埃侵入は極めて効果的
に回避される。
の清浄気体吹出しにより生じる境界域（Ｃ）での清浄気
体流動が、高度清浄域（Ａ）と低度清浄域（Ｂ）とに対
して隔壁作用するから、作業者が位置する低度清浄域（
Ｂ）から高度清浄域（Ａ）への塵埃侵入は極めて効果的
に回避される。
又、境界域（Ｃ）での清浄気体流動を画情変域（Ａ）
、 （Ｂ）に対して単に隔壁作用させるだけであれば、
第５図に示した如く高速気流カーテン（Ｆ）を形成する
従来構成と機能的に何ら変わりが無いが、境界域（Ｃ）
での気流状態を、高度清浄域（Ａ）での気流状態とほぼ
同速かつほぼ同流れ方向の気流状態とするから、高度清
浄域（Ａ）のうち境界域（Ｃ）に臨む側の部分における
清浄気体層流流動が境界域（Ｃ）での清浄気体流動によ
って乱されるといったことも無く、それによって、高度
清浄域（Ａ）での清浄気体層流流動による域内塵埃排除
機能は良好に維持され、また、層流流動状態が安定した
有効スペースを高度清浄域（Ａ）のほぼ全域にわたって
広く確保できる。
、 （Ｂ）に対して単に隔壁作用させるだけであれば、
第５図に示した如く高速気流カーテン（Ｆ）を形成する
従来構成と機能的に何ら変わりが無いが、境界域（Ｃ）
での気流状態を、高度清浄域（Ａ）での気流状態とほぼ
同速かつほぼ同流れ方向の気流状態とするから、高度清
浄域（Ａ）のうち境界域（Ｃ）に臨む側の部分における
清浄気体層流流動が境界域（Ｃ）での清浄気体流動によ
って乱されるといったことも無く、それによって、高度
清浄域（Ａ）での清浄気体層流流動による域内塵埃排除
機能は良好に維持され、また、層流流動状態が安定した
有効スペースを高度清浄域（Ａ）のほぼ全域にわたって
広く確保できる。
しかも、低度清浄域（Ｂ）に対して清浄気体を吹出し供
給する第２吹出口（４）を、第３吹出口（１６）の近く
で、かつ、清浄気体吹出し流線が下方側ほど境界域（Ｃ
）から離れる斜め下方向きとなるように配置するから、
第２吹出口（４）からの吹出し清浄気体が境界域（Ｃ）
での清浄気体流動を乱すようなことが無く、それによっ
て、境界域（Ｃ）での清浄気体流動による前述隔壁作用
、並びに、境界域（Ｃ）において第３吹出口（１６）か
らの清浄気体が高度清浄域（Ａ）での気流状態とほぼ同
速かつほぼ同流れ方向で流動する状態の夫々を継続して
良好に維持でき、又、高度清浄域と低度清浄域との間に
垂壁構成が存在する場合でも、低度清浄域側室内天井部
と垂壁構成とのコーナ部で渦流が発生することが無く、
それによって、低度清浄域における塵埃排除機能をも合
わせ向上でき、ひいては、そのことが高度清浄域の清浄
度維持に寄与する。
給する第２吹出口（４）を、第３吹出口（１６）の近く
で、かつ、清浄気体吹出し流線が下方側ほど境界域（Ｃ
）から離れる斜め下方向きとなるように配置するから、
第２吹出口（４）からの吹出し清浄気体が境界域（Ｃ）
での清浄気体流動を乱すようなことが無く、それによっ
て、境界域（Ｃ）での清浄気体流動による前述隔壁作用
、並びに、境界域（Ｃ）において第３吹出口（１６）か
らの清浄気体が高度清浄域（Ａ）での気流状態とほぼ同
速かつほぼ同流れ方向で流動する状態の夫々を継続して
良好に維持でき、又、高度清浄域と低度清浄域との間に
垂壁構成が存在する場合でも、低度清浄域側室内天井部
と垂壁構成とのコーナ部で渦流が発生することが無く、
それによって、低度清浄域における塵埃排除機能をも合
わせ向上でき、ひいては、そのことが高度清浄域の清浄
度維持に寄与する。
その上、作業者が高度清浄域（Ａ）に対して近接したと
しても、境界域（Ｃ）における気故速度が従前の高速気
流カーテンの気流速度に比してかなり小さいことから、
高速気流カーテンを形成する高速気体と近接作業者との
衝突によって起こるような極めて激しい渦流の発生は無
く、又、たとえ近接作業者の存在によって多少の湯煮が
生じたとしても、下方側ほど境界域（Ｃ）から離れるよ
うな低度清浄域（Ｂ）での清浄気体流動作用により、高
度清浄域（Ａ）への塵埃侵入は効果的に防止される。
しても、境界域（Ｃ）における気故速度が従前の高速気
流カーテンの気流速度に比してかなり小さいことから、
高速気流カーテンを形成する高速気体と近接作業者との
衝突によって起こるような極めて激しい渦流の発生は無
く、又、たとえ近接作業者の存在によって多少の湯煮が
生じたとしても、下方側ほど境界域（Ｃ）から離れるよ
うな低度清浄域（Ｂ）での清浄気体流動作用により、高
度清浄域（Ａ）への塵埃侵入は効果的に防止される。
更には、上述の如く第２吹出口（４）を第３吹出口（１
６）近くに局所配置するから、低度清浄域（Ｂ）に対す
る清浄気体供給設備を、第４図及び第５図に示した従来
構成とほぼ同等程度に簡略化及びコンパクト化できて、
全体設備費を、高速気流カーテン形成用吹出口を設けた
第５図に示す従来構成のものとほぼ同等に維持できる。
６）近くに局所配置するから、低度清浄域（Ｂ）に対す
る清浄気体供給設備を、第４図及び第５図に示した従来
構成とほぼ同等程度に簡略化及びコンパクト化できて、
全体設備費を、高速気流カーテン形成用吹出口を設けた
第５図に示す従来構成のものとほぼ同等に維持できる。
上述の結果、高度清浄域の清浄度を極めて高く維持でき
ることから、ＬＳＩや超精密機械部品等の製品品質を向
上できると共に、不良製造品の発生を大幅に軽減でき、
更には、清浄維持必要物を位置させる高度清浄域の有効
スペースを広く確保できることから、作業性を向上でき
ると共に、クリーンルーム全体構成のコンパクト化が可
能となってクリーンルームの設置性を向上でき、しかも
、設備費面でも従来構成とほぼ同等程度ですむ、全体と
して、実用上極めて有利なりリーンルームにできた。
ることから、ＬＳＩや超精密機械部品等の製品品質を向
上できると共に、不良製造品の発生を大幅に軽減でき、
更には、清浄維持必要物を位置させる高度清浄域の有効
スペースを広く確保できることから、作業性を向上でき
ると共に、クリーンルーム全体構成のコンパクト化が可
能となってクリーンルームの設置性を向上でき、しかも
、設備費面でも従来構成とほぼ同等程度ですむ、全体と
して、実用上極めて有利なりリーンルームにできた。
次に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図及び第２図は、ＬＳＩや超精密機械部品等の製造
ラインを形成する所謂クリーントンネルを示し、トンネ
ル形状の室内において、製造品を位置させる高度清浄域
（Ａ）をトンネル１１１方向の両端側に、かつ、作業者
用通路域としての低度清浄域（Ｂ）をトンネル中方向の
中央部に夫々配置し、それら画成（Ａ） 、 （Ｂ）を
トンネル長手方向に延設してある。
ラインを形成する所謂クリーントンネルを示し、トンネ
ル形状の室内において、製造品を位置させる高度清浄域
（Ａ）をトンネル１１１方向の両端側に、かつ、作業者
用通路域としての低度清浄域（Ｂ）をトンネル中方向の
中央部に夫々配置し、それら画成（Ａ） 、 （Ｂ）を
トンネル長手方向に延設してある。
高度清浄域（Ａ）の全域にわたって清浄空気をほぼ鉛直
下方向きで層流状に吹出す第１吹出口（１）を高性能フ
ィルター（２）の吐出側開口をもって構成し、その第１
吹出口（１）、及び、それに対する第１給気チヤンバー
（３）を、トンネル状室内において高度清浄域（Ａ）の
上方でトンネル長手方向に延設すると共に、低度清浄域
（Ｂ）に対して清浄空気を拡散的に吹出す第２吹出口（
４）、及び、第２吹出口（４）に対する高性能フィルタ
ー（５）内装型の第２給気チヤンバー（６）を、トンネ
ル状室内天井部において同じくトンネル長手方向に延設
し、第１及び第２給気チヤンバー （３） 、 （６）
の夫々に対して空調器からの給気ダクト（７）を接続し
てある。
下方向きで層流状に吹出す第１吹出口（１）を高性能フ
ィルター（２）の吐出側開口をもって構成し、その第１
吹出口（１）、及び、それに対する第１給気チヤンバー
（３）を、トンネル状室内において高度清浄域（Ａ）の
上方でトンネル長手方向に延設すると共に、低度清浄域
（Ｂ）に対して清浄空気を拡散的に吹出す第２吹出口（
４）、及び、第２吹出口（４）に対する高性能フィルタ
ー（５）内装型の第２給気チヤンバー（６）を、トンネ
ル状室内天井部において同じくトンネル長手方向に延設
し、第１及び第２給気チヤンバー （３） 、 （６）
の夫々に対して空調器からの給気ダクト（７）を接続し
てある。
そして、高度清浄域（Ａ）と接する両室壁（Ｂ）の下端
部に第１排気口（９）を、かつ、低度清浄域（Ｂ）に対
応位置する室内床部に格子状の第２排気口（１０）を、
夫々トンネル長手方向に延設する状態に設け、第１排気
口（９）からの排気空気、及び、第２排気口（１０）か
ら床部排気チャンバー（１１）に回収された排気空気の
一部を二重壁構成の循環風路（１２）を介して第１給気
チヤンバー（３）に循環供給するファン（１３）を設け
ると共に、床部排気チャンバー（１１）に回収された排
気空気の残部を空調器に運気、ないし、系外に排出する
還気・排気ダク） （１４）を床部排気チャンバー（１
１）に接続してある。
部に第１排気口（９）を、かつ、低度清浄域（Ｂ）に対
応位置する室内床部に格子状の第２排気口（１０）を、
夫々トンネル長手方向に延設する状態に設け、第１排気
口（９）からの排気空気、及び、第２排気口（１０）か
ら床部排気チャンバー（１１）に回収された排気空気の
一部を二重壁構成の循環風路（１２）を介して第１給気
チヤンバー（３）に循環供給するファン（１３）を設け
ると共に、床部排気チャンバー（１１）に回収された排
気空気の残部を空調器に運気、ないし、系外に排出する
還気・排気ダク） （１４）を床部排気チャンバー（１
１）に接続してある。
つまり、高度清浄域（Ａ）の全域にわたって第１吹出口
（１）から清浄空気を鉛直下方向き層流状に吹出し供給
することにより高度清浄域（Ａ）の清浄度を高く維持し
、その第１吹出口（１）からの供給清浄空気の一部を第
１排気口（９）から、かつ、残部を低度清浄域（Ｂ）へ
の供給清浄空気と共に第２排気口（１０）から排気する
ように構成してある。
（１）から清浄空気を鉛直下方向き層流状に吹出し供給
することにより高度清浄域（Ａ）の清浄度を高く維持し
、その第１吹出口（１）からの供給清浄空気の一部を第
１排気口（９）から、かつ、残部を低度清浄域（Ｂ）へ
の供給清浄空気と共に第２排気口（１０）から排気する
ように構成してある。
又、第１排気口（９）からの排気空気、及び、第２排気
口（１０）からの排気空気の一部を第１吹出口（１）か
ら高度清浄域（Δ）に循環供給するようにしたことで、
空調器側における処理風量を極力軽減して設備構成のコ
ンパクト化を図りながら、高度清浄域（Ａ）の清浄度維
持のために大風量の清浄空気を高度清浄域（Ａ）に供給
できるように構成してある。
口（１０）からの排気空気の一部を第１吹出口（１）か
ら高度清浄域（Δ）に循環供給するようにしたことで、
空調器側における処理風量を極力軽減して設備構成のコ
ンパクト化を図りながら、高度清浄域（Ａ）の清浄度維
持のために大風量の清浄空気を高度清浄域（Ａ）に供給
できるように構成してある。
図中（１５）は、ＬＳＩや超精密機械部品の製造のため
に高度清浄域（Ａ）に設置した作業台である。
に高度清浄域（Ａ）に設置した作業台である。
高度清浄域（Ａ）と低度清浄域（Ｂ）との境界域＜Ｃ）
に対して清浄空気を鉛直下方向き吹出す第３吹出口（１
６）を、それに対する給気チャンバーとして前記の第２
給気チヤンバー（６）を兼用利用してトンネル長手方向
に延設すると共に、その第３吹出口（１６）から鉛直下
方向きに吹出した清浄空気の境界域（Ｃ）での流速が、
高度清浄域（Ａ）のうち境界域（Ｃ）側に位置する部分
での清浄空気流速とほぼ同等となるように、第３吹出口
（１６）からの吹出し流速をダンパー（１８）調整等に
より設定しておき、もって、第３吹出口（１６）から下
方向きに吐出されて境界域（Ｃ）を流動する清浄空気の
隔壁作用により、作業者が位置する低度清浄域（Ｂ）か
ら高度清浄域（Ａ）への塵埃侵入を防止するようにして
ある。
に対して清浄空気を鉛直下方向き吹出す第３吹出口（１
６）を、それに対する給気チャンバーとして前記の第２
給気チヤンバー（６）を兼用利用してトンネル長手方向
に延設すると共に、その第３吹出口（１６）から鉛直下
方向きに吹出した清浄空気の境界域（Ｃ）での流速が、
高度清浄域（Ａ）のうち境界域（Ｃ）側に位置する部分
での清浄空気流速とほぼ同等となるように、第３吹出口
（１６）からの吹出し流速をダンパー（１８）調整等に
より設定しておき、もって、第３吹出口（１６）から下
方向きに吐出されて境界域（Ｃ）を流動する清浄空気の
隔壁作用により、作業者が位置する低度清浄域（Ｂ）か
ら高度清浄域（Ａ）への塵埃侵入を防止するようにして
ある。
又、第３吹出口（１６）からの鉛直下方向き吹出し、及
び、その吹出し流速を上述の如く設定することで、境界
域（Ｃ）での清浄空気流動状態を、高度清浄域（Ａ）で
の清浄空気流動状態、特に、高度清浄域（Ａ）のうち境
界域（Ｃ）側に位置する部分での清浄空気流動状態と風
向及び風速の夫々がほぼ同等な流動状態とし、それによ
って、高度清浄域（Ａ）での清浄空気流動状態を、第３
吹出口（１６）からの清浄空気吹出しによって乱すこと
無く安定的な層流状流動状態に維持して、清浄空気層流
状流動による高度清浄域（Ａ）での域内塵埃排除機能を
高く維持すると共に、清浄空気層流状流動状態が安定し
た有効スペースを高度清浄域（Ａ）の全域にわたって広
く確保できるようにしてある。
び、その吹出し流速を上述の如く設定することで、境界
域（Ｃ）での清浄空気流動状態を、高度清浄域（Ａ）で
の清浄空気流動状態、特に、高度清浄域（Ａ）のうち境
界域（Ｃ）側に位置する部分での清浄空気流動状態と風
向及び風速の夫々がほぼ同等な流動状態とし、それによ
って、高度清浄域（Ａ）での清浄空気流動状態を、第３
吹出口（１６）からの清浄空気吹出しによって乱すこと
無く安定的な層流状流動状態に維持して、清浄空気層流
状流動による高度清浄域（Ａ）での域内塵埃排除機能を
高く維持すると共に、清浄空気層流状流動状態が安定し
た有効スペースを高度清浄域（Ａ）の全域にわたって広
く確保できるようにしてある。
図中（１７）は第３吹出口（１６）に対する高性能フィ
ルターである。
ルターである。
低度清浄域（Ｂ）に対する第２吹出口（４）を配設する
に、トンネル長手方向視において低度清浄域（Ｂ）に対
応位置する室内天井部のうち［ンネル巾方向における両
端部、すなわち、第３吹出口（１６）に近接する位置に
第２吹出口（４）を局所配置すると共に、その配置位置
から清浄空気を低度清浄域（Ｂ）のトンネル１１方向中
央部側に向けて斜め下方向きで拡散的に吹出すように第
２吹出口（４）を構成してある。
に、トンネル長手方向視において低度清浄域（Ｂ）に対
応位置する室内天井部のうち［ンネル巾方向における両
端部、すなわち、第３吹出口（１６）に近接する位置に
第２吹出口（４）を局所配置すると共に、その配置位置
から清浄空気を低度清浄域（Ｂ）のトンネル１１方向中
央部側に向けて斜め下方向きで拡散的に吹出すように第
２吹出口（４）を構成してある。
つまり、第２吹出口（４）を上述の如く局所配置するこ
とにより、低度清浄域（Ｂ）に対する清浄空気供給設備
の簡略化を図ると共に作業者通路域としての低度清浄域
（Ｂ）の天井高さを高く１ へ 確保できるように、又、第２吹出口（４）からの清浄空
気吹出しを拡散的に行わせることにより、第２吹出口（
４）を局所配置しながらも低度清浄域（Ｂ）の全域に清
浄空気を均等供給できるようにしてある。
とにより、低度清浄域（Ｂ）に対する清浄空気供給設備
の簡略化を図ると共に作業者通路域としての低度清浄域
（Ｂ）の天井高さを高く１ へ 確保できるように、又、第２吹出口（４）からの清浄空
気吹出しを拡散的に行わせることにより、第２吹出口（
４）を局所配置しながらも低度清浄域（Ｂ）の全域に清
浄空気を均等供給できるようにしてある。
更に、第２吹出口（４）からの清浄空気吹出し向きを低
度清浄域（Ｂ）のトンネル中方向中央部側に向う斜め下
方向きとしたことにより、境界域（Ｃ）での清浄空気流
動状態が第２吹出口（４）からの清浄空気吹出しによっ
て乱されないようにして、境界域（Ｃ）での清浄空気流
動による前述の如き隔壁作用、並びに、高度清浄域（Ａ
）での層流状態維持作用を良好に維持できるように、又
、低度清浄域（Ｂ）に位置する作業者が高度清浄域（Ａ
）に近接したとしても、下方側ほど境界域（Ｃ）から離
れるような低度清浄域（Ｂ）での清浄空気流動作用によ
り、近接作業者に起因した高度清浄域（Ａ）への塵埃侵
入を効果的に防止できるようにしてある。
度清浄域（Ｂ）のトンネル中方向中央部側に向う斜め下
方向きとしたことにより、境界域（Ｃ）での清浄空気流
動状態が第２吹出口（４）からの清浄空気吹出しによっ
て乱されないようにして、境界域（Ｃ）での清浄空気流
動による前述の如き隔壁作用、並びに、高度清浄域（Ａ
）での層流状態維持作用を良好に維持できるように、又
、低度清浄域（Ｂ）に位置する作業者が高度清浄域（Ａ
）に近接したとしても、下方側ほど境界域（Ｃ）から離
れるような低度清浄域（Ｂ）での清浄空気流動作用によ
り、近接作業者に起因した高度清浄域（Ａ）への塵埃侵
入を効果的に防止できるようにしてある。
次に本発明の別実施例を説明する。
第１ないし第３吹出口（１）、 （４） 、 （１６）
の具体的構造は種々の改良が可能であり、例えば第３図
に示すように、第２吹出口（４）と第３吹出口（１６）
とを、それらの吹出面が連続し、かつ、兼用のフィルタ
ー（５）を備えた１つの吹出ユニットで構成しても良い
。
の具体的構造は種々の改良が可能であり、例えば第３図
に示すように、第２吹出口（４）と第３吹出口（１６）
とを、それらの吹出面が連続し、かつ、兼用のフィルタ
ー（５）を備えた１つの吹出ユニットで構成しても良い
。
本発明は高度清浄域（Ａ）の周部のうち二側方以上が低
度清浄域（Ｂ）と隣り合う場合にも適用でき、又、クリ
ーンルームの全体形状、並びに、クリーンルームの具体
的用途は不問である。
度清浄域（Ｂ）と隣り合う場合にも適用でき、又、クリ
ーンルームの全体形状、並びに、クリーンルームの具体
的用途は不問である。
第１図及び第２図は本発明の実施例を示し、第１図は破
断斜視図、第２図は要部の拡大断面図である。第３図は
本発明の別実施例を示す拡大断面図である。第４図及び
第５図は夫々従来例を示す拡大断面図である。 （Ａ）・・・・・・高度清浄域、（Ｂ）・・・・・・低
度清浄域、（Ｃ）・・・・・・境界域、（１）・・・・
・・第１吹出口、（４）・・・・・・第２吹出口、（１
６）・・・・・・第３吹出口。
断斜視図、第２図は要部の拡大断面図である。第３図は
本発明の別実施例を示す拡大断面図である。第４図及び
第５図は夫々従来例を示す拡大断面図である。 （Ａ）・・・・・・高度清浄域、（Ｂ）・・・・・・低
度清浄域、（Ｃ）・・・・・・境界域、（１）・・・・
・・第１吹出口、（４）・・・・・・第２吹出口、（１
６）・・・・・・第３吹出口。
Claims (1)
- 室内における高度清浄域（Ａ）に対し、その全域にわた
って清浄気体をほぼ鉛直下方向きで層流状に吹出す第１
吹出口（１）、及び、前記高度清浄域（Ａ）に隣り合う
室内低度清浄域（Ｂ）に対し清浄気体を吹出し供給する
第２吹出口（４）を設けたクリーンルームであって、前
記高度清浄域（Ａ）と前記低度清浄域（Ｂ）との境界域
（Ｃ）に対して、その境界域（Ｃ）での気流状態を前記
高度清浄域（Ａ）での気流状態とほぼ同速かつほぼ同流
れ方向の気流状態とするように、清浄気体を下方向きに
吹出す第３吹出口（１６）を設け、前記第２吹出口（４
）を、前記第３吹出口（１６）の近くで、かつ、清浄気
体吹出し流線が下方側ほど前記境界域（Ｃ）から離れる
斜め下方向きとなるように配置してあるクリーンルーム
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60123195A JPS61282742A (ja) | 1985-06-06 | 1985-06-06 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60123195A JPS61282742A (ja) | 1985-06-06 | 1985-06-06 | クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61282742A true JPS61282742A (ja) | 1986-12-12 |
| JPH0373786B2 JPH0373786B2 (ja) | 1991-11-22 |
Family
ID=14854543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60123195A Granted JPS61282742A (ja) | 1985-06-06 | 1985-06-06 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61282742A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5086692A (en) * | 1990-04-12 | 1992-02-11 | Welch Henry W | Air handling system and method for an operating room |
| US5700190A (en) * | 1996-08-28 | 1997-12-23 | Seh America, Inc. | Flowhood work station |
| EP1291586A2 (de) * | 2001-09-06 | 2003-03-12 | M+W Zander Facility Engineering GmbH | Anlage und Verfahren zur Abluftaufbereitung, insbesondere bei Reinraumanlagen |
| EP1323988A1 (en) * | 2001-12-27 | 2003-07-02 | Fläkt Woods AB | Ventilation system and method |
| EP2589891A1 (en) * | 2010-06-30 | 2013-05-08 | Koken Ltd. | Air blowing device |
-
1985
- 1985-06-06 JP JP60123195A patent/JPS61282742A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5086692A (en) * | 1990-04-12 | 1992-02-11 | Welch Henry W | Air handling system and method for an operating room |
| US5700190A (en) * | 1996-08-28 | 1997-12-23 | Seh America, Inc. | Flowhood work station |
| EP1291586A2 (de) * | 2001-09-06 | 2003-03-12 | M+W Zander Facility Engineering GmbH | Anlage und Verfahren zur Abluftaufbereitung, insbesondere bei Reinraumanlagen |
| EP1291586A3 (de) * | 2001-09-06 | 2004-12-15 | M+W Zander Facility Engineering GmbH | Anlage und Verfahren zur Abluftaufbereitung, insbesondere bei Reinraumanlagen |
| EP1323988A1 (en) * | 2001-12-27 | 2003-07-02 | Fläkt Woods AB | Ventilation system and method |
| EP2589891A1 (en) * | 2010-06-30 | 2013-05-08 | Koken Ltd. | Air blowing device |
| EP2589891A4 (en) * | 2010-06-30 | 2014-07-09 | Koken Kk | air jetting |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0373786B2 (ja) | 1991-11-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |