KR0130052B1

KR0130052B1 - 유체회전장치

Info

Publication number: KR0130052B1
Application number: KR1019920018433A
Authority: KR
Inventors: 테루오 마루야마; 아키라 타카라; 요시카즈 아베
Original assignee: 다니이 아끼오; 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
Priority date: 1991-10-08
Filing date: 1992-10-08
Publication date: 1998-04-07
Also published as: KR930008311A; JPH0599174A; JP3074845B2; US5302089A

Abstract

본 발명은 진공펌프나 압축기 등의 유체회전장치에 있어서, 넓은 흡입압력범위에서 배기능력을 손상하는 일없이 낮은 진공도달압을 얻을 수 있는 진공펌프를 제공하는 것이다.

본 발명은 회전식 부호기(6)(8) 등의 회전각 및 회전수의 검출수단을 사용한 비접촉방식의 동기회전에 의해 복수개의 모터의 회전을 동기제어하도록 되어 있으며, 또한 상기 회전자(4)(5)의 적어도 1개의 동축상에 원심요소형 진공펌프 B를 설치함으로서, 소형이며, 진공압작동영역이 넓은 펌프를 얻을 수 있다.

Description

유체회전장치

제1도는 본 발명에 관한 용적식 진공펌프의 제1실시예를 표시한 단면도.

제2도는 제1실시예의 하우징의 힐부를 절계해본 측면도.

제3도는 스파이럴홈에 의한 원심요소형 펌프의 평면도.

제4도는 배기속도와 흡입개기압의 관계를 표시한 특성데이터를 표시한 도면.

제5도는 제1실시예에서 사용한 접촉방기기어의 평면도.

제6도는 제1실시예에서 사용한 레이저형 부호기를 표시한 사시도.

제7도는 동기제어방법을 표시한 블록도.

제8도는 본 발명에 사용하는 회전체의 다른 형태를 표시한 개략설명도.

제9도는 본 발명에 사용하는 회전체의 다른 형태를 표시한 개략설명도.

제10도는 본 발명에 사용하는 회전체의 다른 형태를 표시한 개략설명도.

제11도는 본 발명에 사용하는 회전체의 다른 형태를 표시한 개략설명도.

제12도는 본 발명에 사용하는 회전체의 다른 형태를 표시한 개략설명도.

제13도는 종래예를 표시한 평면단면도.

제14도는 종래예1을 표시한 평면단면도.

제15도는 종래예2를 표시한 측면단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 하우징 2 : 제1회전축,

3 : 제2회전축 4, 5 : 회전자,

6, 8 : 회전식부호기 14 : 흡기구,

15 : 배기구 A : 용적식진공펌프구조부분,

B : 원심요소형 펌프구조부분

본 발명은 진공펌프나 압축기 등의 유체회전장치에 관한 것이다.

제13도는 회전자를 1개 구비한 종래의 슬라이딩베인식 진공펌프의 일례를 표시하고 있다. 이 1회전자형 진공펌프에서는, 회전자(101)가 회전하면, 이 회전자에 직경방향으로 삽입된 2례의 날개판(102)(102)이 통형상의 고정벽면(실린더)(103)내를 종동회전하나, 그때 이들 날개판은 스프링(104)의 작용에 의해서 회전자의 반경방향으로 항상 부세되고 있기 때문에, 각각의 선단부가 고정벽면에 접촉하면서 회전한다. 그결과, 날개판에 의해서 칸막이된 고정벽면내의 공간(105)(105)의 용적이 변화하고, 기체에 흡입, 압축작용이 발생해서, 고정벽면에 형성된 흡입구 (106)로부터 유입한 기체가 배출밸브를 구비한 배출구(107)로부터 유출한다. 이 종류의 진공펌프에 있어서는 날개판(102)의 측면 및 선단부와 고정벽면(103)과 회전자(101)의 측면등에는 내부누설을 방지하기 위한 유막에 의한 오일시일이 이루어져 있을 필요가 있다. 그러나, 이 진공펌프를 염소가스 등의 부식성이 강한 반응성가스를 사용하는 CVD, 건식에칭 등의 반도체제조과정에 사용하면, 가스가 시일오일과 반을해서 펌프내에 반응생성물이 발생한다. 그 때문에, 이 반응생성물을 제거하기 위한 보수작업을 번잡하게 행할 필요가 있었다. 보수를 위하여, 반응생성물을 제거하기 위한 펌프의 클리닝과 오일교환을 행하지 않으면 안되고, 그동안 과정이 정지하여 가동률이 저하하는 등의 문제가 있었다. 또 진공펌프내에 시일오일을 사용하는 한, 이 오일이 하류쪽으로부터 상류쪽으로 확산해서 진공체입버내를 오염시키고, 과정성능을 열화시킨다는 문제점도 있었다.

그래서, 시일오일을 사용할 필요가 없는 건식펌프로서, 예를들면 용적형 나사형 진공펌프가 개발되어 이미 실용되고 있다. 제14도는 이와같은 나사형 진공펌프의 일례를 표시하고 있다. 하우징(111)내에는 회전중심축을 평행하게한 회전자가 2개 배설되어 있으며, 이들 2개의 회전자(112),(112)는 각각의 외주면에 나사가 형성되어 있고, 상호 오목부(홈)(113a)을 상대쪽의 볼록부(113b)와 맞물리게 함으로써,양자의 사이에 밀폐공간을 만들어내고 있다. 양회전자(112),(112)가 회전하면, 이 회전에 따라서, 상기 밀폐공간의 용적이 변화해서 흡입 배기작용을 행한다.

용적형 이외의 진공펌프로서는 제15도에 표시한 바와 같은 터보형 진공펌프가 개발되고 있다.

(150)은 회전축, (151)는 모터, (152a),(152b)는 볼베어링, (153)은 하우징이다. 회전축상에 복수의 회전원반(154)을 다단으로 배설하고, 이 회전원반(154)의 면위에 스파이럴홈을 형성하고 있다. 또 회전원반과 좁은 갭을 개재한 대향면(155)을 고정쪽에 형성하고 있으며, 고속회전에 의한 스파이럴홈의 분자드랙장용에 의해 기체의 흡기, 배기를 행하는 것이다. 그러나 용적형 터보형 모두 이하 설명하는 바와같은 문제점이 있었다.

제14도의 용적형, 나사진공펌프에서는, 2개의 회전자(112)(112)의 동기회전은 타이밍기어의 작용에 의하고 있다. 즉, 모터(115)의 회전은 구동기어(116a)로부터 중간기어(116b)에 전달되고, 양회전자(112)(112)의 축에 배설되어 서로 맞물려 있는 타이밍기어(116c)(116c)의 한쪽에 전달된다. 양회전자(112)(112)의 회전각의 위상은, 이들 2개의 타이밍기어(116c)(116c)의 맞물림에 의해 조절되고 있다. 이 종류의 진공펌프에서는 이와같이 모터의 동력전달과 동기회전에 기어를 사용하고 있으므로, 상기 각 기어가 수납되어 있는 기계작동실(117)에 채워진 윤활유가 상기 기어에 공급되는 구성으로 되어 있다. 또 이 윤활유가 회전자를 수납하는 유체작동실(118)에 침입하지 않도록, 양쪽실사이에 메카니컬시일(119)이 형성되어있다.

이와같은 구성으로 이루어진 2회전하졍 나사진공펌프에는,동력전달과 동기회전을 위하여 다수의 기어를 필요로 하고, 부품점수가 많고 장치가 복잡화한다.기어를 사용한 접촉형 동기회전이기 때문에 고속화를 할수 없고, 장치가 대형화한다.메카니킬시일의 마모에 의한 시일의 정기적교환이 역시 필요하며, 완전한 보수 불필요는 아니다.메카니칼시일에 의한 접동토크가 크기 때문에 기계적 손실이 크다. 등의 문제가 있었다.

상기한 터보형 진공펌프의 경우, 회전축이 1축구성이기 때문에, 나사와 같은 2축회전자의 동기회전을 위한 접동메카니즘이 없고, 고속회전으로 구동할 수 있다. 그 때문에 베어링부에만 윤활을 위한 오일을 공급하고, 이 오일의 펌프부에의 진입을 방지하는 시일부를 형성하면, 깨끗한 건식펌프를 구성할 수 있다.

또 스파이럴홈의 드랙작용에 의해 배기능력이 점성흐름영역으로부터 분자흠름영역까지 미치기 때문에, 직접 대기압으로부터 10 torr대까지 내릴수 있다.

그러나 분자드랙작용을 이용한 이 종류의 펌프는, 제4도의 배기속도와 흡입안의 관계를 표시한 특성데이터(종래예1)로부터도 알수 있는 바와 같이. 흡입압이 대기압으로 부터중진공의 영역(10³~10⁰torr)에서 배기속도가 극도도 저하하는 결점이 있다.

또 이 영역에서 펌프부분의 발열에 의해서 연속운전이 곤란해진다. 그 때문에, 배기 시간이 길어지고, 반도체의 제조현장에의 적용시에는 생산택트에 큰 영향을 주는 등의 문제점이 있었다.

이와같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명자들은 독립한 모터에 의해서 구동되는 복수개의 회전자를 구비하고, 회전식 부호기 등의 회전각 및 회전수의 검출수단을 사용한 비접촉방식의 동기회전에 의해 상기 복수개의 모터의 회전을 동기제어하는 것을 특징으로하는 용적형 진공펌프를 이미 제안하고 있다.

이 제안에 의해, 회전자의 고속회전이 가능하며, 보수의 필요성이 없고, 클린화 및 소형화가 용이한 진공펌프를 제공할 수 있다.

본 발명은 상기 제안을 더욱 개량하는 것으로서, 상기한 특징에 덧붙여서, 넓은 흡입압력범위에서 배기능역을 손상하는 일없이 낮은 진공도달압을 얻을 수 있는 진공펌프를 제공하는 것이다.

본 발명에 관한 유체회전장치는, 독립한 모터에 의해서 구동되는 복수개의 회전자를 구비하고, 이들의 상대운동에 의해 유체에 흡입 배기작용을 발생시키는 진공펌프등의유체회전장치에 있어서, 회전식부호기 등의 회전각 및 회전수의 검출수단을 사용한 비접촉방식의 동기회전에 의해 상기 복수개의 모터의 횐전을 동기제어하도록 되어 있으며, 또한 상기 회전자의 적어도 1개의 동축상에 원심요소형 진공펌프를 설치한 것을 특징으로 한다.

개개의 회전체를 각각 독립한 모터에 의해서 구동하는 동시에 각 회전헤체 동기제어를 비접촉방식의 회전동기수단에 의해 행하도록 하면, 기어에 의한 동기회전과 동력전달이 불필요하게 된다. 그결과 기이부에의 오일윤활이 불필요해지고, 장치의 고속화가 용이해진다. 이 발명을 용적진공펌프에 적용하고, 또한 용적펌프의 상유족에 원심요소에 의한 진공펌프를 상기 용적형 펌프의 동축상에 설치한 경우, 고속화에 의한 다음의 장점을 얻을수 있다. 즉, 용적형, 원심요소형 모두 각 펌프의 소형화가 도모된다.

또, 원심요소형 펌프에 예를들면 스파이럴홈에 의한 드랙펌프를 사용하면, 펌프의 진공압작동영역은 더욱 고진공의 영역까지 확대할 수 있다.

상기 용적형 진공펌프에 나사형을 사용한 경우, 유체의 흐름이 연속흐름에 가까워 지는 동시에 내부누설의 영향이 적어지고, 또 회전자의 내부공간이 크게 취해져서, 이 부분을 베어링부나 모터 등에 수납하는 공간으로서 이용할 수 있다. 그결과 장치를 콤펙트하게 구성할 수 있다.

이하 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참초하여 설명한다.

제1도, 제2도는 본 방명에 관한 유체회전장치의 일시시예로서의 용적식 진공펌프를 표시한다. 이, 진공펌프는 하우징(1)내에 제1회전축(2)을 연직방향으로 수납한 제1베이링실(11)과, 제2회전축(3)을 연직방향으로 수납한 제2베어링실(12)을 구비하고 있다. 양 회전축(2)(3)의 상단부에서 통형회전자(4)(5)가 바깥쪽으로 부터 끼워맞추어져 있다. 각 회전자(4)(5)의 외주면에는 서로 맞물리도록 해서 나사(42)(45)가 형성되어 있다. 이들 양 나사의 서로 맞물리는 부분은, 용적형 진공펌프구조부분 A가 되고 있다. 즉 양나사 (42)(52)의 맞물림부분의 오목부(홈)와 볼록부 및 하우징의 사이에 형성된 밀폐공간이 양 회전축(2)(3)의 회전에 따라서 주기적으로 용저거변화을 일으키고 , 이 용적변화에 의해 흡입 배기작용을 발휘하도록 되어 있는 것이다.

제1회전축(2)의 상부에는, 부시(56)를 개재해서 2매의 회전디스크(57)(58)가 끼워맞추어져 있으며, 또 이 회전디스크(57)(58)의 대향면인 고정쪽에 좁은 틈새를 개재해서 고정디스크(59)(60)(61)가 하우징(1)에 장착되어 있다.

또, 회전디스크(57)(58)의 양면에는, 제3도에 표시한 스파이럴홈(62)이 형성되어 있다. 이 고정디스크와 회전디스크로 형성되는 부분이 원심요소형 진공펌프의 구조부분B가 되고 있다. 이 스파이럴홈(62)의 드랙작용에 의해 흡기구멍(14)으로부터 유입한 기체를 용적형 나사펌프가 수납되어 있는 공간(63)에 배기한다. 또 용적형나사펌프에 유입한 기체는 배기구멍(15)으로부터 배출된다.

회전자(4)(5)의 각 하단외주면에는. 제5도에도 표시한 바와 같은 나사끼리의 접촉방지용기어(44)(54)가 배설되어 있다. 접촉방지기어(44)(54)에는 다소의 금속간 접촉에도 견딜수 있도록, 고체윤활막이 형성되어 있다.

이들 양 접촉방지용기어(44)(54)의 서로 맞물리는 부분의 틈새(백래쉬)σ¹는 양회전자(4)(5)의 각 외주면에 형성된 나사의 서로 맞물리는 부분의 틈새(백래쉬)σ²(도시하지 않음)보다도 작게 되도록 설계되어있다. 그 때문에 양접촉방지용 기어(44)(54)는 양회전출(2)(3)의 동기회전이 원활하게 행해지고 있을때는 서로가 접촉하는 일은 없으나, 만일 이 동기가 어긋났을때는 나사(42)(52)끼리의 접촉에 앞서서 서로 접촉함으로서 양나사(42)(52)의 접촉충돌을 방지하는 작용을 한다. 이때 백래쉬 σ₁,σ₂가 미소하면, 실용적인 레벨에서의 부재의 가공정밀도를 얻을수 없다는 점이 염려된다.

그러나, 펌프의 1행정중의 유체의 총누설량은, 펌프의 1행정에 요하는 시간에 비례하므로, 회전축(2)(3)이 고속회전하면, 양나사(42)(52)간의 밸개쉬σ₁을 약간 크게 해도 충분히 진공펌프의 성능(도달진공도등)을 유지할 수 있다. 그 때문에, 회전축을 고속으로 회전할 수 있는 본 발명의 진공펌프에서는 통상의 가공정밀도에서 나사(42)(52)간의 충돌방지에 필요한 치수의 백래쉬σ₁, σ₂를 충분히 확보할수 있다.

제1회전축(2)과 제2회전축(3)은, 각각의 통형회전자(4)(5)의 내부공간(45)(55)내에 배설된 비접촉의 하기 정압베어링에 의해서 지지되고 있다. 즉 오리피스(16)로 부터 양축(2)(3)에 형성되어 있는 원반형상부분(21)(31)의 상하면에 압착기체를 공급함으로써, 드러스트베어링이 구성되고, 다른한편, 오리피스(17)로부터, 양축(2)(3)의 외주면에 압착기체를 공급함으로써, 레이디얼베어링이 구성되고 있다. 여기서 압착기체로서 반도체공장등에서 상비되어 있는 깨끗한 질소가스를 사용하는 모터가 수납된 내부공간(45)955)내의 압력을 대기압보다도 높게 할수 있다. 그 때문에, 부식성이 있고 퇴적물 등을 발생하기 쉬운 반을성가스의 내부공간(45)(55)내에의 침입을 방지할 수 있다.

베어링은 상기 정압베어링에 의할뿐만 아니라, 자기베어링에 의해도 되고, 이 경우 에도 정압베어링과 마찬가지로 비적촉이기 때문에 고속회전이 용이하고, 완전히 오일 불필요한 구성이 된다. 베어링부에 볼베어링을 사용하고, 또한 그 윤활을 위하여 윤활유를 사용하는 경우에는 질소가스를 이용해서 가스정화기구에 의해 유체작돌실에의 윤활유의 침입을 방지할 수 있다.

제1회전축(2)도 제2회전축도, 각각의 하부에 독립해서 배설된 AC 서보모터 (6)(7)에 의해 수만 rpm의 고속에서 회전한다.

이 실시예에 있어서의 2개의 회전축의 동기제어는, 제7도의 블록도에서 표시한 방법에 의했다. 즉 각 회전축(2)(3)의 하단부에는 제1도에 볼수 있는 바와 같이 회전식부호기(8)(9)가 배설되어 있으나, 이들 회전식부호기(8)(9)로부터의 출력펄스는 가상의 회전자를 상정해서 설정된 설정지령펄스(목표치)와 조회된다. 목표치와 각축(2)(3)으로부터의 출력치(회전수,회전각도)와의 사이의 편차는, 위상차 카운터에 의해 연산처리되고, 이 편차를 소거하도록 각축을 서보머터(6)(7)의 회전이 제어된다.

회전식 부호기로서는, 자기식 부호기나 통상의 광학식 부호기이어도 되나, 실시예에서는 레이저광의 회절, 간섭을 응용한 고분해능이며 고속응답성의 레이저식부호기를 사용했다. 제6도는 레이저식 부호기의 일례를 표시한다. 도면에 있어서, (91)은 다수의 슬릿을 원형상으로 배치한 이동슬릿판이고, 제1회전축(2)이나 제2회전축(3)과 같은 축(92)에 의해 회전구동된다. (93)은 이동슬릿판(91)에 대면하는 고정슬릿판이고 슬릿이 부채형으로 배치되어 있다. 레이저다이오드(94)로부터의 광은 콜리메이터렌즈(95)를 거쳐 양슬릿판(91)(93)의 각 슬릿을 통과하고 수광조자(96)에 수광된다.

본 발명에 관한 유체회전장치는, 공조용 압축기등이어도 되는 것이나, 그 회전부의 회전자(10)는 제8도에 볼수 있는 루트형인 것, 제10도에 볼수 있는 기어형인 것, 제 9도(a)(b)a 에 볼수 있는 단일로브형이나 보수로브형인 것, 제11도에 볼수 있는 나사형인 것, 혹은 제12도에 볼수 있는 외원주피스톤형인 것등이어도 된다.

본 발명에 관한 유체회전장치에서는, 전자제어에 의한 비접촉의 회전동기제어를 하고 있으므로, 종래의 나사펌프 등에 사용되는 타이밍기어를 가지지 않는다. 또 본 발명에서는, 개개의 회전자가 독립한 모터에 의해서 구동되도록 되어 있으므로, 기어에 희한 동력전달기능을 가지지 않는다 예를들면, 용적식 펌프나 압축기에서는, 2개이상의 회전자의 상대운동에 의해, 용적이 변화하는 밀폐공간을 만들어낼 필요가 있으나, 종래는 전달기어나 타이밍기어 혹은 링크나 캘기구를 사용한 복잡한 전달메카니즘에 의해서 상기 2대 이상의 회전자의 동기회전을 행하고 있었다. 타이밍기어나 전달메카니즘의 부분에 윤활유를 공급함으로써, 어느 정도의 고속화는 가능하나 장치의 진동, 소음, 신뢰성을 고려 했을 때, 회전수의 상한은 고작해야 1만 rpm이었다. 이것에 대하여, 본 발명에서는 상기와 같이 복잡한 메카니즘을 필요로 하지 않기 때문에, 회전자의 회전부를 1만 rpm 이상의 고속에서 회전실킬수 있는 동시에, 메카니즘부분의 생략에 의한 장치의 간소화를 실현할 수 있다. 오일시일을 팔요로 하지 않기 때문에 기계접동에 의한 토크손실이 없고, 또 오일시일 및 오일의 정기적 교환도 불필요하게 된다. 또한 진공펌프의 동력은 토크와 회전수의 곱이며, 회전수가 상승하면 토크가 작아도 된다. 따라서 본 발명에서는 고속화에 의한 토크저감에 의해 모터를 소형화할수 있다는 부차적 효과도 생긴다. 또 본 발명에서는 개개의 회전자를 서로 독립한 모터에 의해서 구동하도록 하고 있기 때문에, 개개의 모터에 필요한 토크는 더욱 작아진다. 이들 효과에 희해 예를들면 실시예에 볼수 있는 바와 같이 각 모터를 회전자내에 내장시킨 고정구조에 대해서 장치전체의 대폭적인 콤팩트화, 경량화, 공간절약화를 도모하는 것도 가능해지는 것이다. 또 본 발명의 펌프에서는 용적퍼프의 상류쪽에, 원심요소형 펌프를 배치하고 있다. 그 때문에 종래의 용적혹은 터보형과 비교해서 다음과 같은 특징을 얻을수 있는 것이다.

진공압작동영역이 넓고, 도달진공압은 10³torr이하희 고진공을 얻을 수 있다.

대기압에 가까운 저진공압영역에서, 터보형에 볼수 있는 배기능력의 저하는 없고, 종래의 용적형과 마찬가지의 강력한 배기능력을 얻을 수 있다.

제4도에 흡기압에 대한 배기속도의 특성데이터의 일례를, 본 발명의 펌프(2점쇄선)와 종래예1(용적형 나사펌프), 종래예2(터보형)와 비교해서 표시한다. 본 발명의 펌프에서는 배기속도는 대기압으로 부터 10^-4torr 까지 거의 평탄한 특성을 얻을 수 있고 터보형에 볼수 있는 저진공으로부터 중진공영역(10³-10⁰torr)에서의 배기속도의 저하는 없다.

또한 원심요소형 펌프는, 본 발명의 실시예에서는 평평한 디스크면에 스파이럴홈을 형성한 것을 사용했다. 그 밖에 유체가 반경방향으로 유동하는 터보형 원심날개, 예를들면 개방임펠러등도 본 발명의 원심요소형으로서 드랙작용이 있으며, 마찬가지의 성능을 얻을 수 있다.

나사홈형 펌프에서도 드랙작용이 있으나, 원심요소형 펌프를 사용하면, 펌프의 전체길이 및 L₁및 L₂(제1도)를 충분히 짧게 할수 있다. 그결과 펌프의 고속화가 용이해지고, 진공도달압을 한층더 낮게 할 수 있는 것이다. 또 원심요소형 펌프는, 예를들면 2개의 회전자의 양 축상에 배설해도 되고, 이 경우 펌프의 한층더 성능향상이 도모된다.

본 발명의 용적식 진공펌프의 구조부분에 회전자가 외주부에 나사를 구비한 것으로 하면, 예를들면 루트형 진공펌프에서는 1회전에서 1회의 토출이고 유입유출하는 작동 유체가 큰 맥동을 수반하는 것에 대하여 나사형에서는 거의 흐름이 연속흐름에 가깝게 된다. 그 때문에 각축의 모터에 작용하는 토크의 변동이 작아진다. 토크변동은 각 회전축의 동기제어회전을 혼란시키는 원인이 되나, 토크변동이 작은 나사식의 채용에 의해서, 보다 고속, 고정밀도의 동기제어가 용이해지는 것이다. 나사식의 경우, 구조상, 흡입꼭과 토출쪽의 사이가 다단의 오목볼록끼워맞춤에 의해서 밀폐되기 때문에, 내부누설에 의한 악영향이 적어져서, 진공도달도를 녹게 취할 수 있다. 또, 나사형 회전자는 기어형 회전자나 루트형 회전자와 같은 이형회전자와는 달리 횐전중심축에 수직의 단면이 비교적 원형에 가깝고, 외주부의 부근까지 공동으로 할수 있고, 내부공간이 크게 취해져서, 이곳을 싱시예와 같이 베어링부에 이용하는 등의 이용을 할수 있어, 장치의 소형화를 매우 도모할 수 있게 된다.

Claims

그속에 형성된 흡입포트와 토출포츠를 가지는 하우징과; 상기 하우징속에 수용된 복수개의 로터와; 상기 로터를 회전가능하게 각각 지지하는 베어링과; 상기 로터를 개별적으로 회전시키는 복수개의 모터와; 상기 모터의 회전각과 회전속도를 검출하는 검출수단과; 상기 검출수단으로부터의 신호에 의존하여 상기 복수개의 모터의 회전을 제어 하는 동기제어수단과; 그리고 상기 로터중의 하나의 방사상방향으로 유체를 수송하는 수송수단을 구비하고, 상기 수송수단은 상기 로터중의 상기 하나와 함께 회전할 수 있도록 상기 로터중의 상기 하나와 동축으로 설치된회전디스크와, 그리고 상기 회전디스크의 일면이 상기 고정디스크의 일면에 반대가 되도록 상기 하우징에 고정된 고정디스크로 이루어지고, 상기 회전디스크의 상기 일면과 상기 고정디스크상의 상기 일면중의 적어도 하나는 상기 로터중의 상기 하난의 회전과 동시에 상기 히전디스크의 상기 일면과 상기 고정디스크의 상기 일면의 다른 것에 대하여 회전하는 그속에 형성된 스파이럴홈을 가지는 양변위형 펌프의 유체회전장치.
제1항에 있어서, 상기 로터의 각각은 그것의 외주면에 형성된 스파이럴홈을 가지는 유체회전장치.
제1항에 있어서, 상기 수송수단은 상기 흡입포트로부터 그리고 상기 하우징과 상기 로터에 의해 한정된 상기 공간속으로 입구를 향하여 유체를 수송하기 위하여 작동할 수 있는 유체회전장치.
그속에 형성된 흡입포트와 토출포트를 가지는 하우징과; 상기 하우징속에 수용된 복수개의 로터와; 상기 로터를 회전가능하게 각각 지지하는 베어링과; 상기 로터를 개별적으로 회전시키는 복수개의 모터와; 상기 모터의 회전가과 회전속도를 검출하는 검출수단과; 상기 검출수단으로부터의 신호에 의존하여 상기 복수개의 모터의 회전을 제어하는 동기제어수단과; 그리고 상기로터중의 하나의 방사상방향으로 유체를 수송하는 수송수단을 구비하고, 상기 수송수단은 상기 로터중의 상기 하나와 함께 회전할 수 있도록 상기 로터중의 상기 하나와 동축으로 설치된 회전디스크와, 상기 회전디스크의 일면이 상기 고정디스크의 일면에 반대가 되도록 상기 하우징에 고정된 고정디스크와, 그리고 상기 회전디스크의 상기 일면과 상기 고정디스크의 상기 일면중의 적어도 하나로부터 튀어나오는 복수개의 터보형 센트리퓨걸베인으로 이루어지고, 상기 베인은 상기 로터중의 상기 하나의 회전과 동시에 상기 회전디스크상의 상기 일면과 상기 고정디스크의 상기 일면의 다른 것에 대하여 회전할 수 있는 양변위형 펌프의 유체회전장치.
제4항에 있어서, 상기 로터의 각각은 그것의 외주면에 형성된 스파이럴홈을 가지는 유체회전장치.
제4항에 있어서, 상기 수송수단은 상기 흡입포트로부터 그리고 상기 하우징과 상기로터에 의해 한정된 상기 공간속으로 입구를 향하여 유체를 수송하기 위하여 작동할 수 있는 유체회전장치.