JPWO2023166643A5 - - Google Patents

Description

本開示の外観検査装置は、
特定の方向に関して曲面の表面形状を有する被検査体の表面の外観を検査する外観検査装置であって、
前記被検査体を照らす照明と、
前記照明を制御する照明制御部と、
前記被検査体を撮像する撮像デバイスと、
前記撮像デバイスから前記被検査体の画像を取得する画像取得部と、
前記画像に対して画像処理を行い、前記被検査体の前記外観の良否を判定し、良否判定結果を出力する良否判定部と、を備え、
前記照明の発光する領域は、前記被検査体の前記曲面の表面形状を鏡面反射した前記撮像デバイスの各画素に入射する主光線と交差する領域になるように決定されるか、又は、前記被検査体の前記曲面の表面形状を鏡面反射した前記撮像デバイスの各画素に入射する主光線と交差する領域以外になるように決定される。
本開示の外観検査方法は、
特定の方向に関して曲面の表面形状を有する被検査体の表面の外観を検査する外観検査方法であって、
照明によって前記被検査体を照らすステップと、
撮像デバイスによって前記被検査体を撮像するステップと、
前記被検査体の画像を取得するステップと、
前記画像に対して画像処理を行うステップと、
前記被検査体の前記外観の良否を判定するステップと、
良否判定結果を出力するステップと、を備え、
前記照明の発光する領域は、前記被検査体の前記曲面の表面形状を鏡面反射した前記撮像デバイスの各画素に入射する主光線と交差する領域になるように決定されるか、
又は、前記被検査体の前記曲面の表面形状を鏡面反射した前記撮像デバイスの各画素に入射する主光線と交差する領域以外になるように決定される。

Claims (15)

1. 特定の方向に関して曲面の表面形状を有する被検査体の表面の外観を検査する外観検査装置であって、
   前記被検査体を照らす照明と、
   前記照明を制御する照明制御部と、
   前記被検査体を撮像する撮像デバイスと、
   前記撮像デバイスから前記被検査体の画像を取得する画像取得部と、
   前記画像に対して画像処理を行い、前記被検査体の前記外観の良否を判定し、良否判定結果を出力する良否判定部と、を備え、
   前記照明の発光する領域は、前記被検査体の前記曲面の表面形状を鏡面反射した前記撮像デバイスの各画素に入射する主光線と交差する領域になるように決定されるか、又は、前記被検査体の前記曲面の表面形状を鏡面反射した前記撮像デバイスの各画素に入射する主光線と交差する領域以外になるように決定される、
   外観検査装置。
2. 前記照明の発光する領域は、前記撮像デバイスが鏡面反射光を検出し、拡散反射光を検出しないように決定された領域である請求項１に記載の外観検査装置。
3. 前記照明の発光する領域は、前記撮像デバイスが拡散反射光を検出し、鏡面反射光を検出しないように決定された領域である請求項１に記載の外観検査装置。
4. 前記被検査体の前記表面の形状に関する情報を取得する形状情報取得部をさらに備え、
   前記照明の発光する領域は、前記形状情報取得部によって取得された情報に基づいて決定された領域である請求項１から３のいずれか１項に記載の外観検査装置。
5. 前記被検査体の位置に関する情報を取得する位置関係情報取得部をさらに備え、
   前記照明の発光する領域は、前記位置関係情報取得部によって取得された情報に基づいて決定された領域である請求項１から３のいずれか１項に記載の外観検査装置。
6. 前記被検査体の製造公差に関する情報を取得する製造公差情報取得部をさらに備え、
   前記照明の発光する領域は、前記製造公差情報取得部によって取得された情報に基づいて決定された領域である請求項１から３のいずれか１項に記載の外観検査装置。
7. 前記撮像デバイスの光学系に関する情報を取得する撮像デバイス情報取得部をさらに備え、
   前記照明の発光する領域は、前記撮像デバイス情報取得部によって取得された情報に基づいて決定された領域である請求項１から３のいずれか１項に記載の外観検査装置。
8. 前記照明の発光する領域は、レイトレーシング法によって決定される請求項１から７のいずれか１項に記載の外観検査装置。
9. 前記照明は、前記照明からの光を遮蔽する遮光材を有し、
   前記照明のうちの、前記発光する領域以外の領域に前記遮光材が設けられている
   請求項１から８のいずれか１項に記載の外観検査装置。
10. 前記照明は、複数の発光素子を有し、
    前記複数の発光素子の各々は、前記照明制御部によって制御され、
    前記照明の発光する領域は、前記複数の発光素子のうちの点灯している発光素子によって構成された領域である
    請求項１から８のいずれか１項に記載の外観検査装置。
11. 点灯させる前記発光素子は、前記複数の発光素子の点灯に起因する前記被検査体の前記画像に基づいて決定される請求項１０に記載の外観検査装置。
12. 前記照明、前記撮像デバイス、及び前記被検査体の間の位置関係を固定する固定部材をさらに備える請求項１から１１のいずれか１項に記載の外観検査装置。
13. 外光を遮蔽する暗室をさらに備え、
    前記照明、前記撮像デバイス、前記被検査体は、前記暗室によって覆われている
    請求項１から１２のいずれか１項に記載の外観検査装置。
14. 前記照明は、線状の光源を有する請求項１から１３のいずれか１項に記載の外観検査装置。
15. 特定の方向に関して曲面の表面形状を有する被検査体の表面の外観を検査する外観検査方法であって、
    照明によって前記被検査体を照らすステップと、
    撮像デバイスによって前記被検査体を撮像するステップと、
    前記被検査体の画像を取得するステップと、
    前記画像に対して画像処理を行うステップと、
    前記被検査体の前記外観の良否を判定するステップと、
    良否判定結果を出力するステップと、を備え、
    前記照明の発光する領域は、前記被検査体の前記曲面の表面形状を鏡面反射した前記撮像デバイスの各画素に入射する主光線と交差する領域になるように決定されるか、
    又は、前記被検査体の前記曲面の表面形状を鏡面反射した前記撮像デバイスの各画素に入射する主光線と交差する領域以外になるように決定される、
    外観検査方法。