JPWO2020116445A1 - 圧力センサおよび電子機器 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
複数のセンシング部を有する静電容量式のセンサ電極層と、
センサ電極層の第1の面に対向する第1のリファレンス電極層と、
センサ電極層の第2の面に対向する第2のリファレンス電極層と、
第1のリファレンス電極層とセンサ電極層との間に設けられた弾性層と、
第2のリファレンス電極層とセンサ電極層との間に設けられたギャップ層と
を備え、
センサ電極層、第1のリファレンス電極層および第2のリファレンス電極層は、スリットを有する圧力センサである。
複数のセンシング部を有する静電容量式のセンサ電極層と、
センサ電極層の第1の面に対向する第1のリファレンス電極層と、
センサ電極層の第2の面に対向する第2のリファレンス電極層と、
第1のリファレンス電極層とセンサ電極層との間に設けられた弾性層と、
第2のリファレンス電極層とセンサ電極層との間に設けられたギャップ層と
を備え、
センサ電極層、第1のリファレンス電極層および第2のリファレンス電極層は、幹部と、幹部から枝状に延設された複数の枝部とを備える圧力センサである。
複数のセンシング部を有するセンサ電極層と、
前記センサ電極層の第1の面に対向する第1のリファレンス電極層と、
前記センサ電極層の第2の面に対向する第2のリファレンス電極層と、
前記第1のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられた弾性層と、
前記第2のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられたギャップ層と
を備え、
前記センサ電極層、前記第1のリファレンス電極層および前記第2のリファレンス電極層は、スリットを有する圧力センサである。
曲面を有する外装体と、
曲面に貼り合わされた、第1の開示、第2の開示または第3の開示の圧力センサと
を備える電子機器である。
1 第1の実施形態(センサおよびそれを備える電子機器の例)
2 第2の実施形態(センサの例)
[電子機器の構成]
図1は、本開示の第1の実施形態に係る電子機器10の構成を示す。電子機器10は、センサモジュール11と、電子機器10の本体であるホスト機器12とを備える。電子機器10は、曲率が一様でない曲面を有する筐体等の外装体を備え、この曲面に対する押圧をセンサモジュール11により検出し、検出結果に応じて動作する。
センサモジュール11は、センサ20と、制御部としてのコントローラIC13とを備える。センサ20は、電子機器10の曲面に対する押圧に応じた静電容量の変化を検出し、それに応じた出力信号をコントローラIC13に出力する。コントローラIC13は、センサ20を制御し、センサ20から供給される出力信号に基づき、センサ20に対する押圧力を検出し、ホスト機器12に出力する。
図2は、平面状態におけるセンサ20を示す。図3は、曲率が一様でない曲面10Sに貼合された状態のセンサ20を示す。センサ20は、いわゆる静電容量式の圧力センサであり、台形のフィルム状を有している。なお、本開示においては、フィルムには、シートも含まれるものと定義する。センサ20は、曲率が一様でない曲面(例えば、楕円面、自由曲面、一葉双曲面、自由曲面)または球面等に好適に適用されるものである。
図5は、センサ電極層21の形状を示す。センサ電極層21は、一方向に延設された複数のスリット21Lを有しており、全体として櫛歯状を有している。具体的には、センサ電極層21は、幹部21Mと、幹部21Mから枝状に延設された複数の枝部21Nとを有する。隣接する枝部21Nの間にはスリット21Lが設けられている。スリット21Lの終端21LAには、電極基材22の引き裂きを抑制するために、R部が設けられていることが好ましい。スリット21Lは、センシング部20SEの列の間に設けられている。
電極基材22、23は、可撓性を有する電極フィルムである。電極基材22は、図7に示すように、複数のスリット22Lを有している。電極基材22は、対向する両辺部(両端部)を有しており、複数のスリット22Lは、対向する両辺部から内部に向かって延設されている。より具体的には例えば、複数のスリット22Lは、対向する両辺部から電極基材22の中心線Lの近傍まで直線状に延設されている。スリット22Lの終端22LAには、電極基材22の引き裂きを抑制するために、R部が設けられていることが好ましい。電極基材23は、電極基材22と同様の形状を有するため、電極基材23の形状についての説明は省略する。
弾性層24は、センサ30の電極基材22側の面に加えられた圧力により弾性変形可能に構成されている。センサ電極層21と電極基材22との間に弾性層24を挟むことで、センサ20の感度とダイナミックレンジを調整することができる。
ギャップ層25は、絶縁性を有すると共に、電極基材23とセンサ電極層21との間を離間するものであり、ギャップ層25の厚みによりセンサ20の初期の静電容量が調整される。ギャップ層25がセンサ30の電極基材22側の面に加わる圧力により弾性変形可能に構成されていてもよいし、弾性変形可能に構成されていなくてもよい。ギャップ層25が弾性変形可能に構成されている場合には、ギャップ層25は、発泡樹脂または絶縁性エラストマ等を含んでいてもよい。ギャップ層25は、スリット25L等を有し、面内で分離された構成を有していてもよいし、スリット25L等を有さず、面内で分離されていない構成を有していてもよい。
接着層26A、26B、27A、27Bは、例えば、絶縁性を有する接着剤または両面接着フィルムにより構成される。接着剤としては、上述のギャップ層25の接着剤と同様のものを例示できる。
上述の構成を有するセンサ20の貼合方法としては、例えば、センサ20の全層を平面で貼合した後に曲面10Sに貼合する方法、センサ20を構成する各層を1層ずつ曲面10Sに貼合していく方法、センサ20を構成する複数の層を2回以上に分けて貼合する方法が挙げられる。センサ20を有する電子機器10の作製コストおよび作製時間を低減するためには、貼合回数を減らすことが好ましいが、センサ20の全層を1回で貼合する場合、上層のフィルムほどテンションがかかり、弾性層24が潰れてしまって、感度が低下する虞がある。したがって、センサ20の感度低下を抑制する観点からすると、少なくとも弾性層24と電極基材22との間の界面で分けて貼合することが好ましい。
第1の実施形態に係るセンサ20では、センサ電極層21、電極基材22および電極基材23は、スリットを有する。これにより、センサ20を曲率が一様でない曲面10Sに貼合する際に、皺の発生を抑制することができる。したがって、センサ20を筐体のデザインに制約されることなく、平面以外の種々の形状の筐体に皺の発生を抑制しつつ良好に貼り合わせることが可能となる。
(弾性層の変形例)
弾性層24は、多孔質層であってもよい。多孔質層は、ファイバー層であることが好ましい。ファイバー層は、例えば不織布または織布である。ファイバー層に含まれるファイバーは、ナノファイバーであってもよいし、それよりも太いファイバーであってもよいが、センサ20の感度向上の観点からすると、ナノファイバーであることが好ましい。ファイバーは、高分子樹脂を含むものであってもよいし、無機材料を含むものであってもよいが、センサ20の感度向上の観点からすると、高分子樹脂を含むものが好ましい。
接着層26A、26Bが、導電性を有していてもよい。この場合、センサ20の感度を更に向上することができる。導電性を有する接着層26A、26Bは、接着剤以外に導電性材料をさらに含む。導電性材料は、例えば導電性フィラーおよび導電性高分子のうちの少なくとも1種である。導電性フィラーは、例えば、炭素系フィラー、金属系フィラー、金属酸化物系フィラーおよび金属被覆系フィラーのうちの少なくとも1種を含む。ここで、金属には、半金属が含まれるものと定義する。なお、接着層27A、27Bが、導電性を有していてもよい。
基材22Aは無くてもよい。すなわち、センサ20が、電極基材22に代えてREF電極層22Bを備えるようにしてもよい。同様に、基材23Aも無くてもよい。すなわち、センサ20が、電極基材23に代えてREF電極層23Bを備えるようにしてもよい。
本開示は、曲面を有する筐体等の外装体を備える種々の電子機器に適用可能である。特に曲率が一様でない曲面を有する筐体等の外装体を備える電子機器に適用することが好ましい。例えば、パーソナルコンピュータ、スマートフォン等の携帯電話、テレビ、リモートコントローラ、カメラ、ゲーム機器、ナビゲーションシステム、電子書籍、電子辞書、携帯音楽プレイヤー、キーボード、ウェアラブル端末、ラジオ、ステレオ、医療機器またはロボット等に適用可能である。ウェアラブル端末としては、例えば、スマートウォッチ、ヘッドマウンドディスプレイ、リストバンド、指輪、眼鏡、靴または衣服等が挙げられる。
本開示は電子機器に限定されるものではなく、電子機器以外の様々なものにも適用可能である。特に曲率が一様でない曲面を有する筐体等の外装体を備えるものに適用することが好ましい。例えば、電動工具、冷蔵庫、エアコン、温水器、電子レンジ、食器洗浄器、洗濯機、乾燥機、照明機器または玩具等の電気機器に適用可能である。更に、住宅をはじめとする建築物、建築部材、乗り物、テーブルや机等の家具、製造装置または分析機器等にも適用可能である。建築部材としては、例えば、敷石、壁材、フロアータイルまたは床板等が挙げられる。乗り物としては、例えば、車両(例えば自動車、オートバイ等)、船舶、潜水艦、鉄道車両、航空機、宇宙船、エレベータまたは遊具等が挙げられる。
[センサの構成]
図9Aは、本開示の第2の実施形態に係るセンサ120の構成を示す。センサ120は筒状を有し、センサ120の一端からはフィルム状の接続部120Aが延設されている。センサ120は、伸縮性を有しており、図13Bに示すように、円柱面110Sを有する被着体110に装着される。接続部120Aの先端には、被着体110の本体と接続するための複数の接続端子120Bが設けられている。接続端子120Bは、円柱面110Sの穴部111に設けられた接続端子(図示せず)に接続される。被着体110は、例えば、ロボット等の電子機器の一部である。また、被着体110は電子機器に限られず、自転車のハンドルまたはテニスのラケット等であってもよい。
センサ本体120Cは、筒状に丸められた矩形状のフィルムであり、伸縮性を有している。センサ本体120Cは、複数のセンシング部20SEを含む。センサ本体120Cは、矩形状を有する点において、第1の実施形態におけるセンサ20とは異なっている。より具体的には、センサ本体120Cは、内周から外周の方向に向かって、電極基材123、弾性層125、センサ電極層121、弾性層124、電極基材122が、この順序で積層された構成を有している。これらの各層の間には、必用に応じて接着層が設けられる。電極基材123、弾性層125、センサ電極層121、弾性層124、電極基材122は、矩形状を有している。
図10は、センサ電極層121の形状を示す。センサ電極層121は、複数のスリット21L1が設けられた櫛歯状の第1の領域R1と、複数のスリット21L2が設けられた櫛歯状の第2の領域R2とを有する。第1の領域の複数のスリット21L1と、第2の領域の複数のスリット21L2との向き(切れ込みの向き)は逆方向になっている。より具体的には、複数のスリット21L1は、センサ電極層121の一端から他端近傍まで直線状に延設されている。また、複数のスリット21L2は、センサ電極層121の他端から一端近傍まで直線状に延設されている。複数のスリット21L1および複数のスリット21L2の延設方向は、筒状のセンサ120の高さ方向と一致する。
図11は、電極基材122の形状を示す。電極基材122は、複数のスリット122L1が設けられた櫛歯状の第1の領域RAと、複数のスリット122L2が設けられた櫛歯状の第2の領域RBとを有する。スリット122L1、122L2はそれぞれ、センサ電極層121のスリット21L1、21L2と同様である。但し、電極基材122のスリット122L1、122L2と、センサ電極層121のスリット21L1、21L2との形状および延設方向の少なくとも一方が異なっていてもよい。
弾性層124、125は、形状以外の点においては第1の実施形態における弾性層24と同様である。
エラストマ層126、127は筒状を有し、エラストマ層126、127の間にセンサ本体120Cが設けられている。エラストマ層126、127は、伸縮性を有している。エラストマ層126、127は、例えば、シリコーン樹脂、ポリウレタンまたはニトリルゴムなどを含む。
上述の構成を有するセンサ120は以下のようにして作製される。まず、センサ本体120Cを例えばロッド状の軸に巻き付けて筒状にする。続いて、図12に示す円筒状の隙間131を有する金型130を準備する。そして、筒状のセンサ本体20Cを金型130の隙間131に落とし込んだのち、隙間131に溶融した樹脂材料を流し込み、樹脂材料を硬化させる。その後、作製されたセンサ20を金型130の隙間131から取り出す。
図13A、図13Bを参照して、上述の構成を有するセンサ120の装着方法について説明する。まず、図13Aに示すように、筒型のセンサ120を伸長し広げながら、被着体110の円柱面110Sに差し込むことにより、センサ120を被着体110の円柱面110Sに装着する。この際、円柱面110Sに設けられた穴部111は、センサ120により覆われないようにする。続いて、センサ120の接続端子120Bを、穴部111に設けられた接続端子に接続する。その後、図13Bに示すように、センサ120を再度押し伸長し広げながら、穴部111を覆うように、被着体110の円柱面110Sに更に差し込む。この際、接続部120Aは、折り返されてセンサ120の内側面と被着体110の円柱面110Sとの間に収容される。なお、円柱面110Sに接続部120Aを収容するための凹部(図示せず)が設けられていてもよい。
上述のように、第2の実施形態に係るセンサ120では、センサ電極層121、電極基材122および電極基材123がそれぞれ、複数のスリットを有し、それらのスリットの延設方向が筒状のセンサ120の高さ方向と一致している。これにより、センサ電極層1211をエラストマ層126、127等と共に筒状のセンサ120の周方向に引き延ばすことができるようになる。したがって、筒型のセンサ120を伸長しその貫通孔を広げるようにして、被着体110の円柱面110Sに差し込むことができる。よって、センサ120を被着体110に容易に装着することができる。
(変形例1)
図14は、変形例1に係るセンサ電極層1211の形状を示す。センサ電極層1211は、ミアンダ状を有しており、隣接するスリット21L1、21L2の向き(切り欠きの向き)が逆になっている。この場合にも、センサ電極層1211をエラストマ層126、127等と共に筒状のセンサ120の周方向に引き延ばすことができるようになる。なお、電極基材122、123の形状をそれぞれ、上述のセンサ電極層1211と同様にミアンダ状としてもよい。
図15は、変形例2に係るセンサ電極層1212の形状を示す。センサ電極層1212は、ストライプ状に配置された、直線状を有する複数のセンサ部121Vと、隣接するセンサ部121V同士を接続する複数のミアンダ配線部121Wとを備える。センサ電極層1212は、直線状のセンサ部121Vの長手方向と筒状のセンサ120の高さ方向とが一致するようにしてセンサ120内に設けられている。複数のセンサ部121Vには、一列に配置された複数のセンシング部20SEが設けられており、各センシング部20SEから引き出された配線(図示せず)は、ミアンダ配線部121Wおよび接続部120Aを介して接続端子120Bに接続されている。
図17Aは、変形例3に係るセンサ1203の構成を示す。図17Bは、図17Aに示したセンサ電極層1213の構成を示す。センサ1203は、センサ電極層121に代えて、センサ電極層1213を備える点において、第2の実施形態におけるセンサ120とは異なっている。
まず、以下に示す各部材を積層することにより、図2〜図4に示す構成を有する、台形フィルム状のセンサ20を作製した。なお、基材22A、23Aは使用しない構成とした。
REF電極層22B:導電布
弾性層24:基材レスのスポンジシート
センサ電極層21:FPC(センシング部20SEのサイズ:約3mm×6mm)
ギャップ層25:基材レスのスポンジシート
REF電極層23B:導電布
まず、実施例1のセンサ20を3つ準備し、それらをそれぞれ、図18に示した、2次曲面を有するABS樹脂製の被着体に貼り合わせることにより、3つの曲面サンプルを作製した。なお、2次曲線は、図18中に示した位置P1〜P3の3箇所を指定した曲線である。次に、センサ20の中心線L上(図2参照)に20〜500gfの荷重を1mm間隔で加え、10個のセンシング部20SEの出力値を測定し、測定値のうちの最大値をデルタとした。その結果を表1および図19に示す。なお、荷重を加えるための打鍵子としては、R5mmのシリコーンゴム製の疑似指を使用した。
まず、上述の荷重感度カーブの測定と同様にして、3つの曲面サンプルを作製した。次に、400gfの荷重を周方向DA(図2、図3参照)に5度の間隔で測定し、測定値のうちの最大値をデルタとした。この測定を、軸方向DB(図2、図3参照)に6mmの間隔にずらしながら行い、70個の全センシング部20SEの出力値を測定した。その結果を表2および図20に示す。なお、荷重を加えるための打鍵子としては、上述の荷重感度カーブの測定と同様に、R5mmのシリコーンゴム製の疑似指を使用した。
まず、図21A〜図21C、図22A、図22Bに示した、ガウス曲率を有する曲面を持ったABS樹脂製の被着体を準備した。次に、小型多機能真空圧空成形機(株式会社浅野研究所製、KFS)を使用して、以下に示す各層を、準備した各被着体の曲面に順次貼り合わせることにより、図2、図4に示す構成を有する、台形フィルム状のセンサ20を作製した。なお、各層を貼り合わせる毎に、貼り合わせた各層の表面を目視により観察し、皺の発生の有無を確認した。その結果を表3に示す。
電極基材22:蒸着によりCu層を形成したエラストマフィルム
弾性層24:基材レスのスポンジシート
センサ電極層21:FPC(センシング部20SEのサイズ:約3mm×6mm)
ギャップ層25:基材レスのスポンジシート
電極基材23:蒸着によりAl層を形成したPETフィルム
まず、各層を予め平面上で積層して、図2、図4に示す構成を有するセンサ20を作製した。なお、各層の構成は、上述の実施例2〜6と同様とした。続いて、図21A〜図21C、図22A、図22Bに示した、ガウス曲率を有する曲面を持ったABS樹脂製の被着体を準備した。次に、小型多機能真空圧空成形機(株式会社浅野研究所製、KFS)を使用して、準備した各被着体の曲面にセンサ20を貼り合わせた。貼り合わせ後、センサ20の表面を目視により観察し、皺の発生の有無を確認した。その結果を表4に示す。
(1)
複数のセンシング部を有する静電容量式のセンサ電極層と、
前記センサ電極層の第1の面に対向する第1のリファレンス電極層と、
前記センサ電極層の第2の面に対向する第2のリファレンス電極層と、
前記第1のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられた弾性層と、
前記第2のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられたギャップ層と
を備え、
前記センサ電極層、前記第1のリファレンス電極層および前記第2のリファレンス電極層は、スリットを有する圧力センサ。
(2)
前記センサ電極層は、
幹部と、
前記幹部から枝状に延設された複数の枝部と
を備え、
隣接する前記枝部間に前記スリットが設けられている(1)に記載の圧力センサ。
(3)
前記第1のリファレンス電極層および前記第2のリファレンス電極層が、対向する両端部を有し、
前記スリットは、対向する前記両端部から内部に向かって延設されている(1)または(2)に記載の圧力センサ。
(4)
前記センサ電極層のスリットと前記第1のリファレンス電極層のスリットの延設方向が、異なっており、
前記センサ電極層のスリットと前記第2のリファレンス電極層のスリットの延設方向が、異なっている(1)から(3)のいずれかに記載の圧力センサ。
(5)
前記センサ電極層は、
複数の第1のサブ電極を有する第1の電極と、
複数の第2のサブ電極を有する第2の電極と
を備え、
前記センシング部は、一定の間隔離して交互に配置された前記第1のサブ電極および前記第2のサブ電極により構成されている(1)から(4)のいずれかに記載の圧力センサ。
(6)
前記センサ電極層は、
第1の櫛歯状を有する第1の電極と、
第2の櫛歯状を有する第2の電極と
を備え、
前記センシング部は、前記第1の櫛歯状および前記第2の櫛歯状を噛み合わされてようにして配置された前記第1の電極と前記第2の電極により構成されている(1)から(4)のいずれかに記載の圧力センサ。
(7)
前記センサ電極層、前記第1のリファレンス電極層、前記第2のリファレンス電極層、前記弾性層および前記ギャップ層を備えるセンサ本体を覆う、筒状を有するエラストマ層をさらに備える(1)から(6)のいずれかに記載の圧力センサ。
(8)
前記弾性層は、発泡樹脂またはエラストマを含む(1)から(8)のいずれかに記載の圧力センサ。
(9)
複数のセンシング部を有する静電容量式のセンサ電極層と、
前記センサ電極層の第1の面に対向する第1のリファレンス電極層と、
前記センサ電極層の第2の面に対向する第2のリファレンス電極層と、
前記第1のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられた弾性層と、
前記第2のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられたギャップ層と
を備え、
前記センサ電極層、前記第1のリファレンス電極層および前記第2のリファレンス電極層は、幹部と、前記幹部から枝状に延設された複数の枝部とを備える圧力センサ。
(10)
複数のセンシング部を有するセンサ電極層と、
前記センサ電極層の第1の面に対向する第1のリファレンス電極層と、
前記センサ電極層の第2の面に対向する第2のリファレンス電極層と、
前記第1のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられた弾性層と、
前記第2のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられたギャップ層と
を備え、
前記センサ電極層、前記第1のリファレンス電極層および前記第2のリファレンス電極層は、スリットを有する圧力センサ。
(11)
曲面を有する外装体と、
前記曲面に貼り合わされた、(1)から(10)のいずれかに記載の前記圧力センサと
を備える電子機器。
(12)
前記曲面は、曲率が一様でない曲面である(11)に記載の電子機器。
10S 曲面
11 センサモジュール
12 ホスト機器
13 コントローラIC
20 センサ
20A、120A 接続部
20B、120B 接続端子
20SE センシング部
21、121 センサ電極層
21A 基材
21B 保護層
21C パルス電極(第1の電極)
21D センス電極(第2の電極)
21C1、21D1 サブ電極を
21E、21F 配線
21M、22M 幹部
21N、22N 枝部
22、23、122、123 電極基材
22A、23A 基材
22B、23B リファレンス電極層
24、124、125 弾性層
25 ギャップ層
26A、26B、27A、27B 接着層
126、127 エラストマ層
21L、22L、24L、25L スリット
110 被着体
111 穴部
110S 円柱面
120B センサ本体
131 金型
132 隙間
Claims (12)
- 複数のセンシング部を有する静電容量式のセンサ電極層と、
前記センサ電極層の第1の面に対向する第1のリファレンス電極層と、
前記センサ電極層の第2の面に対向する第2のリファレンス電極層と、
前記第1のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられた弾性層と、
前記第2のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられたギャップ層と
を備え、
前記センサ電極層、前記第1のリファレンス電極層および前記第2のリファレンス電極層は、スリットを有する圧力センサ。 - 前記センサ電極層は、
幹部と、
前記幹部から枝状に延設された複数の枝部と
を備え、
隣接する前記枝部間に前記スリットが設けられている請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記第1のリファレンス電極層および前記第2のリファレンス電極層が、対向する両端部を有し、
前記スリットは、対向する前記両端部から内部に向かって延設されている請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記センサ電極層のスリットと前記第1のリファレンス電極層のスリットの延設方向が、異なっており、
前記センサ電極層のスリットと前記第2のリファレンス電極層のスリットの延設方向が、異なっている請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記センサ電極層は、
複数の第1のサブ電極を有する第1の電極と、
複数の第2のサブ電極を有する第2の電極と
を備え、
前記センシング部は、一定の間隔離して交互に配置された前記第1のサブ電極および前記第2のサブ電極により構成されている請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記センサ電極層は、
第1の櫛歯状を有する第1の電極と、
第2の櫛歯状を有する第2の電極と
を備え、
前記センシング部は、前記第1の櫛歯状および前記第2の櫛歯状を噛み合わされてようにして配置された前記第1の電極と前記第2の電極により構成されている請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記センサ電極層、前記第1のリファレンス電極層、前記第2のリファレンス電極層、前記弾性層および前記ギャップ層を備えるセンサ本体を覆う、筒状を有するエラストマ層をさらに備える請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記弾性層は、発泡樹脂またはエラストマを含む請求項1に記載の圧力センサ。
- 複数のセンシング部を有する静電容量式のセンサ電極層と、
前記センサ電極層の第1の面に対向する第1のリファレンス電極層と、
前記センサ電極層の第2の面に対向する第2のリファレンス電極層と、
前記第1のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられた弾性層と、
前記第2のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられたギャップ層と
を備え、
前記センサ電極層、前記第1のリファレンス電極層および前記第2のリファレンス電極層は、幹部と、前記幹部から枝状に延設された複数の枝部とを備える圧力センサ。 - 複数のセンシング部を有するセンサ電極層と、
前記センサ電極層の第1の面に対向する第1のリファレンス電極層と、
前記センサ電極層の第2の面に対向する第2のリファレンス電極層と、
前記第1のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられた弾性層と、
前記第2のリファレンス電極層と前記センサ電極層との間に設けられたギャップ層と
を備え、
前記センサ電極層、前記第1のリファレンス電極層および前記第2のリファレンス電極層は、スリットを有する圧力センサ。 - 曲面を有する外装体と、
前記曲面に貼り合わされた、請求項1に記載の前記圧力センサと
を備える電子機器。 - 前記曲面は、曲率が一様でない曲面である請求項11に記載の電子機器。
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