JPWO2019163676A1 - 流量制御装置および流量制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
。
2 絞り部
3 上流圧力センサ
4 下流圧力センサ
5 温度センサ
6 コントロール弁
7 制御器
9 下流弁
10 プロセスチャンバ
11 真空ポンプ
12 外部制御装置
70 制御器
72 算出部
74 比較部
76 弁動作制御部
100 流量制御装置
Cc 閉命令
Sr 制御流量信号
Ss 設定流量信号
Vd 既知積分流量
Vn 演算積分流量
Vs 目標積分流量
Claims (13)
- 流路に設けられたコントロール弁と、前記コントロール弁によって制御された流体の流量を測定する流量測定部と、制御器とを備え、
前記制御器は、前記流量測定部から出力された信号に基づく測定積分流量と目標積分流量とが一致するように、前記コントロール弁の開閉動作を制御する、流量制御装置。 - 前記制御器は、
前記流量測定部から出力された信号に基づいて前記測定積分流量を算出する算出部と、
前記算出部で算出した前記測定積分流量と前記目標積分流量との差を求める比較部と、
前記比較部で求められた前記差が所定範囲内になった時に前記コントロール弁の閉動作を開始する弁動作制御部と
を含む、請求項1に記載の流量制御装置。 - 前記算出部は、経過時間ごとに前記流量測定部から出力される信号に基づく流量から算出される積分流量を合計して前記測定積分流量を算出する、請求項2に記載の流量制御装置。
- 前記流量測定部は、所定期間ごとに流量値を出力するように構成されており、
前記制御器は、
前記流量測定部から出力された流量値に基づいて、前記所定期間の積分流量の総和に対応する演算積分流量を算出する算出部と、
前記目標積分流量から既知積分流量を減算した値と、前記算出部で算出された前記演算積分流量との差を求める比較部と、
前記比較部で求められた前記差が所定範囲内になった時に前記コントロール弁の閉動作を開始する弁動作制御部と
を含む、請求項1に記載の流量制御装置。 - 前記制御器は、
入力された設定流量信号と前記流量測定部から出力された信号との差の総和である積分流量差を算出する差分算出部と、
前記差分算出部の出力が所定値または所定範囲内に収束したか否かを判定する判定部と、
前記差分算出部の出力が収束したと前記判定部が判定したときに前記コントロール弁の閉動作を開始する弁動作制御部と
を含む、請求項1に記載の流量制御装置。 - 前記測定積分流量は、前記流量測定部から出力された信号から求められる演算積分流量と、前記コントロール弁を閉止した後の流量立ち下げ期間における既知積分流量とを含み、
前記制御器は、前記目標積分流量から前記既知積分流量を減じた値に前記演算積分流量が達したタイミングで、前記コントロール弁の閉止を開始するように構成されている、請求項1に記載の流量制御装置。 - 前記流量測定部は、前記コントロール弁の下流側に設けられた絞り部と、前記コントロール弁と前記絞り部との間の圧力を測定する圧力センサとを備え、前記圧力センサの出力に基づいて前記絞り部の下流側の流量を測定する、請求項1から6のいずれかに記載の流量制御装置。
- 前記コントロール弁の閉止は、一次遅れ制御によって行われる、請求項1から7のいずれかに記載の流量制御装置。
- 前記コントロール弁は、ノーマルクローズ型の圧電素子駆動式バルブである、請求項1から8のいずれかに記載の流量制御装置。
- 前記制御器には、設定流量信号として矩形波の連続パルス信号が入力される、請求項1から9のいずれかに記載の流量制御装置。
- 前記制御器は、流量立ち上げ期間において、設定流量信号に基づく内部指令信号としてのランプ制御信号と前記流量測定部から出力された信号との差の総和である積分流量差を算出する差分算出部を有し、前記差分算出部の出力に基づき、前記ランプ制御信号における傾きを途中で変化させる、請求項1に記載の流量制御装置。
- 前記ランプ制御信号の傾きを、500msecで100%流量に達するときの傾きである第1の傾きから、300msecで100%流量に達するときの傾きである第2の傾きに変化させる、請求項11に記載の流量制御装置。
- 流路に設けられたコントロール弁と、前記コントロール弁によって制御された流体の流量を測定する流量測定部とを備えた流量制御装置の流量制御方法であって、
目標積分流量から前記コントロール弁を閉止した後の流量立ち下げ期間における既知積分流量を減じた値に前記流量測定部から出力された信号から求められる演算積分流量が達したタイミングで、前記コントロール弁の閉止を開始する工程を含む、流量制御方法。
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