JPWO2019142571A1

JPWO2019142571A1 - 抵抗測定装置及び基板検査装置

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Publication number: JPWO2019142571A1
Application number: JP2019565773A
Authority: JP
Inventors: 睦博本田
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Read Corp
Priority date: 2018-01-19
Filing date: 2018-12-17
Publication date: 2021-01-14
Also published as: WO2019142571A1

Abstract

基板Ａの電極Ａ１，Ａ２に接触する第一面Ｓ１と、第二面Ｓ２とを有し、面方向と直交する第一方向に対する抵抗値が面方向に沿う第二方向に対する抵抗値よりも小さくなり得る異方導電性部材３１，３２と、第二面Ｓ２に接触し、電極Ａ１，Ａ２の配置と対応するように配置された電極Ｅ１，Ｅ２と、電極Ｅ１に一端が接続された抵抗器ＲＣ１と、電極Ｅ２に一端が接続された抵抗器ＲＣ２と、抵抗器ＲＣ１の他端と抵抗器ＲＣ２の他端との間に電流を供給する電源部２４と、抵抗器ＲＣ１の他端と抵抗器ＲＣ２の他端との間の電流を検出する電流計２５と、検出された電流に基づいて、異方導電性部材３１，３２の抵抗と電極Ａ１，Ａ２相互間の抵抗とを含む抵抗値Ｒを取得する抵抗取得部２６１とを備えた。

Description

本発明は、異方導電性部材を用いて抵抗測定を行う抵抗測定装置、及びこれを用いた基板検査装置に関する。

従来より、検査対象の回路基板の配線パターンに設定された導通位置の配置に合わせて導通ピンを配置し、その導通ピンの上に、押圧された部位が導電性となる導電性ゴムシートを被せ、その導電性ゴムシートの上に検査対象の回路基板を押圧することによって、回路基板の配線パターンと導通ピンを導通させる回路基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、押圧しなくても、シートの厚み方向に導通し、シートの面方向には導通しない異方導電性シートが市販されている（例えば、信越ポリマー（株）製シンエツインターコネクターＭＴシリーズ）。あるいは、導電性と絶縁性のシリコーンゴム層を交互に積層することにより積層方向に延びる四角柱形状を形成し、積層方向には導通せず、積層方向と直交する方向に導通する異方導電性コネクタが市販されている（例えば、信越ポリマー（株）製シンエツインターコネクターＳタイプ）。

本明細書において、上述のように押圧された部位が導電性となる導電性ゴムシート、押圧されなくても導通方向が所定の方向に規定された異方導電性シートや異方導電性コネクタ等を、総称して異方導電性部材と称する。

実開昭５７−３７４７１号公報

ところで、上述のような異方導電性部材を用いて検査装置と検査対象の基板とを導通させた場合、異方導電性部材が弾性を有していることから、その押圧圧力により異方導電性部材そのものの抵抗や異方導電性部材と基板との接触抵抗の変動が大きい。（以下、説明を簡素化するため、異方導電性部材そのものの抵抗及び、異方導電性部材と基板との接触抵抗を含めて、単に、異方導電性部材の抵抗、抵抗値と称する。）

また、異方導電性部材はゴムなどの柔らかい材質で構成されていることから、検査の繰り返しによって摩耗や劣化が生じ易い。異方導電性部材は、摩耗や劣化によっても、抵抗が増大する。このように、異方導電性部材は、使用状況や摩耗、劣化等による抵抗のバラツキが大きい。

測定対象の基板に対して異方導電性部材を介して導通接続し、基板の抵抗を測定しようとすると、バラツキの大きな異方導電性部材の抵抗が測定結果に含まれる。また、抵抗測定経路には静電容量成分があり、抵抗測定経路のインピーダンス比は、静電容量成分：抵抗成分＝１０００：１となることがある。そのため、抵抗成分よりも静電容量成分の方が大きくなり、抵抗成分の測定値がバラツキやすい。そのため、抵抗値の測定結果に対する異方導電性部材の抵抗バラツキの影響が大きくなるという、不都合があった。

本発明の目的は、抵抗値の測定結果に対する異方導電性部材の抵抗バラツキの影響を低減することが容易な抵抗測定装置及び基板検査装置を提供することである。

本発明の一例に係る抵抗測定装置は、基板の一方の面に形成された一対の導電性のパターン部相互間の抵抗を測定する抵抗測定装置であって、前記一対のパターン部に接触するための第一面と、その第一面と対向する第二面とを有し、前記第一面と直交する第一方向に対する抵抗値が、前記第一面の面方向に沿う第二方向に対する抵抗値よりも小さくなり得る異方導電性部材と、前記第二面に接触し、前記一対のパターン部の配置と対応するように配置された第一及び第二電極と、前記第一電極に対して一端が接続された第一抵抗器と、前記第二電極に対して一端が接続された第二抵抗器と、前記第一抵抗器の他端と前記第二抵抗器の他端との間に電流を供給する電源部と、前記第一抵抗器の他端と前記第二抵抗器の他端との間の電圧及び電流のうち少なくとも一方を検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記少なくとも一方に基づいて、前記異方導電性部材の抵抗と前記一対のパターン部相互間の抵抗とを含む抵抗値を取得する抵抗取得部とを備える。

また、本発明の一例に係る基板検査装置は、上述の抵抗測定装置と、前記抵抗測定装置により測定された抵抗に基づき、前記基板の検査を行う基板検査部とを備える。

図１は、本発明の一実施形態に係る抵抗測定装置を用いた基板検査装置の構成の一例を示す斜視図である。図１に示す基板検査装置に検査対象の基板が取り付けられた状態を示している。図１に示す基板検査装置に取り付けられた基板を、押圧機構で押圧している状態を示している。押圧板によって基板が異方導電性部材に押圧された状態を、概念的に示した部分断面図である。図１に示す基板検査装置の電気的構成の一例を示すブロック図である。基板検査装置が抵抗器を備えていることによる効果を説明するための表形式の説明図である。

以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１は、本発明の一実施形態に係る抵抗測定装置を用いた基板検査装置１の構成の一例を示す斜視図である。図２は、図１に示す基板検査装置１に検査対象の基板Ａが取り付けられた状態を示している。図３は、図１に示す基板検査装置１に取り付けられた基板Ａを、後述の押圧機構４で押圧している状態を示している。なお、説明の便宜上、各図に上下左右前後の方向を示している場合があるが、方向は一例であって、これに限定されるものではない。

図１に示す基板検査装置１は、略直方体形状の筐体２１を有する装置本体部２と、筐体２１の上面に配設された治具ボード３（治具部）と、筐体２１の上面後方に立設された押圧機構４（押圧部）とを備えている。筐体２１の上面は、平坦な載置面２２とされている。載置面２２上に、検査対象の基板Ａを載置可能にされている。

検査対象の基板Ａは、例えば液晶ディスプレイ及びＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ等のディスプレイやタッチパネルディスプレイ、これらディスプレイ用の電極板、タッチパネル用等の透明導電板であってもよく、半導体パッケージ用のパッケージ基板、インターポーザ基板、フィルムキャリア、プリント配線基板、ガラスエポキシ基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板等の基板であってもよく、半導体ウェハ、半導体チップ、CSP(Chip size package)等の半導体基板等々種々の基板であってもよい。

また、検査対象の基板Ａは、半導体チップ等の電子部品が埋め込まれた部品内蔵基板（エンベデッド基板）であってもよい。また、検査対象は基板に限られず、半導体チップ等の電子部品であってもよい。検査対象の基板や電子部品には、配線パターン、パッド、ランド、半田バンプ、及び端子等の検査点が形成されている。

図２に示す基板Ａは、例えば、略矩形の形状を有するタッチパネルディスプレイであり、その一方面の端部付近には、基板Ａを外部と接続するための複数対の電極Ａ１，Ａ２が形成されている。対になる電極Ａ１と電極Ａ２とは、例えば図略の透明配線によって電気的に接続されている。対になる電極Ａ１，Ａ２が、一対のパターン部の一例に相当している。透明配線の抵抗値Ｒｄは、例えば１００Ω〜９ｋΩ程度である。

治具ボード３は、載置面２２の後方端部付近に配設されている。治具ボード３は、例えばプリント配線基板等により構成された治具基板３０、治具基板３０の上面に配設された異方導電性部材３１，３２、抵抗器ＲＣ１（第一抵抗器、図５参照）、抵抗器ＲＣ２（第二抵抗器、図５参照）、及び装置本体部２と電気的に接続するためのコネクタＣＮ１，ＣＮ２（図５参照）を備えている。治具基板３０は、左右方向に長尺の略長方形の板状形状とされている。

異方導電性部材３１，３２は、左右方向に長尺の略長方形の板状形状とされている。治具基板３０及び異方導電性部材３１，３２は、基板Ａにおける電極Ａ１，Ａ２の配置と対応するように配設されている。なお、異方導電性部材は、異方導電性部材３１，３２のように複数設けられている必要はなく、一つであってもよく、三つ以上であってもよい。また、異方導電性部材３１，３２は、必ずしも板状である必要はなく、直方体形状、柱状等であってもよい。

載置面２２上には、基板Ａの載置位置を位置決めするための、略Ｌ字形のガイド部材２３が凸設されている。基板Ａの二辺をガイド部材２３に当接させるようにして基板Ａを載置面２２上に配置することで、基板Ａが予め設定された検査位置に載置されるようになっている。ガイド部材２３は、図略の調節機構によって、基板Ａに合わせて検査位置を変更可能にされている。

電極Ａ１，Ａ２を下に向けて基板Ａを検査位置に載置することによって、各電極Ａ１，Ａ２が異方導電性部材３１，３２の上面に接触するように、異方導電性部材３１，３２の大きさ、形状、配置等が設定されている。

押圧機構４は、大略的に、治具ボード３の左右に二本ずつ載置面２２に立設された計四本の支柱４１と、四本の支柱４１によって治具ボード３の上方に水平に支持された天板４２と、天板４２と載置面２２との間で昇降可能な押圧板４３と、押圧板４３を上下動させるシリンダ機構４６とを備えている。

押圧板４３には、四本の支柱４１が貫通する四つのガイド孔４３１が形成されている。ガイド孔４３１を貫通する四本の支柱４１によって、押圧板４３の昇降がガイドされるようになっている。押圧板４３は、金属板等剛性の高い材料で構成されたベース板４４と、弾性を有するゴム等の材料で構成された弾性板４５とが積層されて構成されている。弾性板４５は、ベース板４４の下面に固着されている。これにより、押圧板４３が下降すると、弾性板４５が基板Ａに当接されるようになっている。

シリンダ機構４６は、例えばエアシリンダ等のアクチュエータである。シリンダ機構４６は、天板４２に固設されている。シリンダ機構４６は、上下方向に延設されてその先端がベース板４４に固着されたロッド４７を上下方向に伸縮させることによって、押圧板４３を昇降させる。シリンダ機構４６は、基板Ａが検査位置に載置された状態で、例えばユーザが図略の操作スイッチを操作すると、押圧板４３を下降させ、基板Ａの電極Ａ１，Ａ２を異方導電性部材３１，３２に押圧する（図３参照）。

図４は、押圧板４３によって基板Ａが異方導電性部材３１，３２に押圧された状態を、概念的に示した部分断面図である。治具基板３０の上面には、複数の電極Ｅ１（第一電極）と、複数の電極Ｅ２（第二電極）とが、基板Ａにおける電極Ａ１，Ａ２の配置と対応するように配設されている。そして、検査位置に位置決めされた基板Ａが異方導電性部材３１，３２に押圧されると、図４に示すように、電極Ａ１，Ａ２と、電極Ｅ１，Ｅ２とが、異方導電性部材３１，３２を間に挟んで対向配置される。

異方導電性部材３１，３２は、電極Ａ１，Ａ２に接触するための第一面Ｓ１と、その第一面Ｓ１と対向する第二面Ｓ２とを有している。異方導電性部材３１，３２の抵抗は、第一面Ｓ１と直交する第一方向、すなわち異方導電性部材３１，３２の厚み方向に対する抵抗値が、第一面Ｓ１の面方向に沿う第二方向に対する抵抗値よりも小さくなり得るようになっている。

「第一方向（厚み方向）に対する抵抗値が、第二方向に対する抵抗値よりも小さくなり得る」、とは、異方導電性部材３１，３２が、押圧されなくても厚み方向に導通するものであってもよく、押圧されたときに厚み方向に導通するものであってもよいことを意味している。

電極Ａ１，Ａ２を、弾力性を有する異方導電性部材３１，３２を介して電極Ｅ１，Ｅ２と導通させることで、電極Ａ１，Ａ２の損傷を防止するようになっている。

図４では、電極Ａ１と電極Ｅ１との間の抵抗を抵抗ＲＲ１で示し、電極Ａ２と電極Ｅ２との間の抵抗を抵抗ＲＲ２で示している。抵抗ＲＲ１，ＲＲ２には、異方導電性部材３１，３２そのものの抵抗の他、異方導電性部材３１，３２と電極Ａ１，Ａ２との接触抵抗、及び異方導電性部材３１，３２と電極Ｅ１，Ｅ２との接触抵抗が含まれているものとする。

図５は、図１に示す基板検査装置１の電気的構成の一例を示すブロック図である。図５は、基板検査装置１に検査対象の基板Ａを取り付けた状態を示している。基板Ａの透明配線等を抵抗ＲＤで示し、治具ボード３の配線等の内部抵抗をＲＪ１，ＲＪ２で示している。なお、図５では、電極Ａ１，Ａ２及び電極Ｅ１，Ｅ２を一対ずつ記載して電極の記載を省略している。

治具ボード３では、抵抗器ＲＣ１の一端が電極Ｅ１に接続され、抵抗器ＲＣ１の他端が内部抵抗ＲＪ１を介してコネクタＣＮ１に接続され、抵抗器ＲＣ２の一端が電極Ｅ２に接続され、抵抗器ＲＣ２の他端が内部抵抗ＲＪ２を介してコネクタＣＮ２に接続されている。内部抵抗ＲＪ１，ＲＪ２は抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２と直列接続され、内部抵抗ＲＪ１，ＲＪ２の前後に分布することになるが、図５では便宜上、抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２とコネクタＣＮ１，ＣＮ２との間に内部抵抗ＲＪ１，ＲＪ２を記載している。

装置本体部２は、電源部２４と、電流計２５（検出部）と、制御部２６と、コネクタＣＮ１，ＣＮ２とを備えている。装置本体部２及び治具ボード３は、一方がコネクタＣＮ１，ＣＮ２のオス側を、他方がコネクタＣＮ１，ＣＮ２のメス側を備えている。これにより、治具ボード３は、装置本体部２に対して脱着可能とされている。

基板Ａの電極Ａ１，Ａ２の配置等が変わると、電極Ｅ１，Ｅ２の配置等や異方導電性部材３１，３２の大きさ形状等も変える必要が生じる。しかしながら、治具ボード３が装置本体部２に対して脱着可能とされていることによって、装置本体部２を変えることなく、治具ボード３を交換するだけで、新たな基板Ａに対応することが可能にされている。また、治具ボード３が抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２を備えているので、治具ボード３を交換することによって、抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２の抵抗値ＲＣ_１，ＲＣ_２を新たな基板Ａに適した値に変更することができる。

電源部２４は、例えば交流電圧源であり、予め設定された交流の測定用電圧Ｖｓを出力する。電流計２５は、電源部２４から出力された電流を計測し、その測定電流値Ｉｓを制御部２６へ出力する。電流計２５は、例えばシャント抵抗、ホール素子、あるいはアナログデジタルコンバータ等を用いて構成されている。

そして、基板検査装置１に基板Ａが取り付けられると、電源部２４からコネクタＣＮ１、内部抵抗ＲＪ１、抵抗器ＲＣ１、電極Ｅ１、抵抗ＲＲ１、電極Ａ１、抵抗ＲＤ、電極Ａ２、抵抗ＲＲ２、電極Ｅ２、抵抗器ＲＣ２、内部抵抗ＲＪ２、コネクタＣＮ２、及び電流計２５を介して電源部２４に戻る抵抗測定用電流経路が形成される。

制御部２６は、例えば所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、一時的にデータを記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、所定の制御プログラム等を予め記憶する不揮発性の記憶装置、及びこれらの周辺回路等を備えたマイクロコンピュータである。制御部２６は、上記プログラムを実行することによって、抵抗取得部２６１及び基板検査部２６２として機能する。

抵抗取得部２６１は、測定用電圧Ｖｓと測定電流値Ｉｓとに基づいて、上記抵抗測定用電流経路の抵抗値Ｒを下記の式（１）に基づき算出する。
抵抗値Ｒ＝Ｖｓ／Ｉｓ・・・（１）

ここで、内部抵抗ＲＪ１，ＲＪ２の抵抗値をＲＪ_１，ＲＪ_２、抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２の抵抗値をＲＣ_１，ＲＣ_２、抵抗ＲＲ１，ＲＲ２の抵抗値をＲＲ_１，ＲＲ_２、抵抗ＲＤの抵抗値をＲｄとすると、抵抗値Ｒ＝ＲＪ_１＋ＲＣ_１＋ＲＲ_１＋Ｒｄ＋ＲＲ_２＋ＲＣ_２＋ＲＪ_２となる。従って、抵抗値Ｒには、基板Ａの抵抗ＲＤの抵抗値Ｒｄと、異方導電性部材３１，３２の抵抗値ＲＲ_１，ＲＲ_２と、抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２の抵抗値ＲＣ_１，ＲＣ_２と、治具ボード３の内部抵抗値ＲＪ_１，ＲＪ_２とが含まれる。

なお、装置本体部２は、コネクタＣＮ１，ＣＮ２間の電圧を測定する電圧測定部をさらに備え、抵抗取得部２６１は、電圧測定部により測定された電圧をＶｓとして式（１）から抵抗値Ｒを算出してもよい。あるいは、電源部２４として、予め設定された電流値Ｉｓの電流を出力する定電流回路を用い、電流計２５の代わりにコネクタＣＮ１，ＣＮ２間の電圧を測定する電圧測定部を備え、抵抗取得部２６１は、予め設定された電流値Ｉｓと電圧測定部により測定された電圧Ｖｓとから、式（１）を用いて抵抗値Ｒを算出してもよい。また、電源部２４は直流電圧、又は直流電流を出力してもよい。

また、電源部２４から出力される電圧又は電流が一定の固定値であれば、検出部で検出された測定電流値Ｉｓ又は電圧値と、抵抗値Ｒとは比例関係となって１対１で対応する。そこで、抵抗取得部２６１は、検出部で検出された測定電流値Ｉｓ又は電圧値を、そのまま抵抗値Ｒを示す情報として取得してもよい。

基板検査部２６２は、抵抗取得部２６１により取得された抵抗値Ｒに基づき、基板Ａの検査を実行する。具体的には、基板検査部２６２は、抵抗値Ｒを予め設定された基準値と比較し、抵抗値Ｒが基準値以下の場合に良、抵抗値Ｒが基準値を超えた場合に不良と判定してもよい。抵抗値Ｒには、基板Ａの抵抗値Ｒｄの他、異方導電性部材３１，３２の抵抗値ＲＲ_１，ＲＲ_２や治具ボード３の内部抵抗値ＲＪ_１，ＲＪ_２が含まれているが、抵抗値Ｒに抵抗値ＲＲ_１，ＲＲ_２や内部抵抗値ＲＪ_１，ＲＪ_２が含まれている場合であっても、抵抗値Ｒに基づいて、大雑把に基板Ａの良否を判定することが可能な場合がある。

なお、基板Ａの抵抗値Ｒｄを測定する前に、例えば電極Ａ１，Ａ２が短絡されたテスト基板を用いて抵抗取得部２６１によって抵抗値を測定し、得られた抵抗値Ｒｘを記憶装置に記憶しておく。その後に測定対象の基板Ａを基板検査装置１に取り付けて、抵抗取得部２６１によって抵抗値Ｒを測定する。そして、抵抗取得部２６１は、下記の式（２）に基づいて基板Ａの抵抗値Ｒｄを算出するようにしてもよい。
抵抗値Ｒｄ＝Ｒ−Ｒｘ・・・（２）

また、基板検査部２６２は、抵抗取得部２６１により取得された抵抗値Ｒに基づき得られた抵抗値Ｒｄを用いて基板Ａの検査を実行してもよい。具体的には、基板検査部２６２は、抵抗値Ｒｄを予め設定された基準値と比較し、抵抗値Ｒｄが基準値以下の場合に良、抵抗値Ｒｄが基準値を超えた場合に不良と判定してもよい。抵抗値Ｒｄを用いて判定することによって、抵抗値Ｒを用いて判定した場合よりも、基板Ａの検査精度が向上する。

図６は、基板検査装置１が抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２を備えていることによる効果を説明するための表形式の説明図である。図６に示す表の、（実施例）は基板検査装置１に対応し、（比較例）は基板検査装置１から抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２を取り除いた場合、すなわち抵抗値ＲＣ_１，ＲＣ_２がゼロΩの場合を示している。

まず、治具基板３０の内部抵抗値ＲＪ_１，ＲＪ_２は配線抵抗等であるから通常極めて低抵抗であり、ＲＪ_１＋ＲＪ_２＝１Ω程度である。抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２は、例えば、その合計の抵抗値ＲＣ_１＋ＲＣ_２が、測定対象の基板Ａの理想的な、設計上の抵抗値Ｒｄと略等しくされており、例えば理想的な抵抗値Ｒｄが１００Ωであった場合、ＲＣ_１＝ＲＣ_２＝５０Ωとされ、抵抗値ＲＣ_１＋ＲＣ_２が１００Ωとされている。抵抗値ＲＣ_１＋ＲＣ_２の値としては、理想的な抵抗値Ｒｄと略等しい、又は理想的な抵抗値Ｒｄ以上が好ましい。

異方導電性部材３１，３２は、押圧機構４による押圧圧力に応じて、異方導電性部材３１，３２そのものの抵抗値や、電極Ａ１，Ａ２，Ｅ１，Ｅ２との接触抵抗が変化する。そのため、押圧圧力のバラツキに起因する抵抗値ＲＲ_１＋ＲＲ_２の変動幅が大きい。また、異方導電性部材３１，３２はゴム等の柔らかい材料で構成されているので、抵抗測定を繰り返す過程で異方導電性部材３１，３２が摩耗、劣化し易い。そのため、摩耗、劣化に伴い抵抗値ＲＲ_１＋ＲＲ_２が増大し、経時的な抵抗値ＲＲ_１＋ＲＲ_２の変化も大きい。

その結果、抵抗値ＲＲ_１＋ＲＲ_２は、例えば１Ω〜５００Ωの範囲でばらつく（変動する）ことになる。

測定対象の基板Ａの抵抗値Ｒｄは、基板Ａの種類等に応じて様々であるが、例えばタッチパネル基板の透明配線の抵抗値を測定する場合であれば、一般的な抵抗値Ｒｄとして、１００Ω程度が想定される。

以上の条件によれば、抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２を備えた（実施例）の基板検査装置１では、抵抗値Ｒ＝ＲＪ_１＋ＲＪ_２＋ＲＣ_１＋ＲＣ_２＋ＲＲ_１＋ＲＲ_２＋Ｒｄ＝２０２Ω〜７０２Ωとなる。この場合、７０２／２０２＝３．４６となり、抵抗値Ｒに約３．５倍の変動倍率が生じることになる。

一方、抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２を備えていない、（比較例）の場合には、抵抗値Ｒ＝ＲＪ_１＋ＲＪ_２＋ＲＲ_１＋ＲＲ_２＋Ｒｄ＝１０２Ω〜６０２Ωとなる。この場合、６０２／１０２＝５．９０となり、抵抗値Ｒに約６倍の変動倍率が生じることになる。

このように、抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２を備えた場合と備えていない場合とでは、抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２を備えた場合の方が、抵抗値Ｒの変動倍率が小さくなる。従って、抵抗器ＲＣ１，ＲＣ２を備えることによって、抵抗値の測定結果に対する異方導電性部材の抵抗バラツキの影響を低減し、測定の安定性を向上させることが可能となる。

なお、基板検査部２６２を備えず、基板検査装置１は抵抗測定装置として構成されていてもよい。また、治具ボード３は、必ずしも装置本体部２に対して脱着可能にされている例に限られず、治具ボード３と装置本体部２とは一体に構成されていてもよい。また、基板検査装置１は、押圧機構４を備えていなくてもよい。

すなわち、本発明の一例に係る抵抗測定装置は、基板の一方の面に形成された一対の導電性のパターン部相互間の抵抗を測定する抵抗測定装置であって、前記一対のパターン部に接触するための第一面と、その第一面と対向する第二面とを有し、前記第一面と直交する第一方向に対する抵抗値が、前記第一面の面方向に沿う第二方向に対する抵抗値よりも小さくなり得る異方導電性部材と、前記第二面に接触し、前記一対のパターン部の配置と対応するように配置された第一及び第二電極と、前記第一電極に対して一端が接続された第一抵抗器と、前記第二電極に対して一端が接続された第二抵抗器と、前記第一抵抗器の他端と前記第二抵抗器の他端との間に電流を供給する電源部と、前記第一抵抗器の他端と前記第二抵抗器の他端との間の電圧及び電流のうち少なくとも一方を検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記少なくとも一方に基づいて、前記異方導電性部材の抵抗と前記一対のパターン部相互間の抵抗とを含む抵抗値を取得する抵抗取得部とを備える。

この構成によれば、電源部から供給された電流は、第一抵抗器、第一電極、異方導電性部材、一方のパターン部、他方のパターン部、異方導電性部材、第二電極、及び第二抵抗器を介して電源部に戻る抵抗測定用電流経路を流れる。従って、検出部によって検出された電圧及び電流のうち少なくとも一方に基づいて抵抗取得部で取得される抵抗値には、測定対象である一対のパターン部相互間の抵抗の他に、第一抵抗器と第二抵抗器の抵抗値が含まれることになる。その結果、異方導電性部材の抵抗値がばらついた場合であっても、そのばらついた抵抗値が小さいときと大きいときとの倍率が、第一抵抗器及び第二抵抗器を備えていない場合と比べて小さくなる。従って、異方導電性部材の抵抗バラツキに対する抵抗値の測定結果の倍率が小さくなるので、抵抗値の測定結果に対する異方導電性部材の抵抗バラツキの影響を低減することが容易である。

また、前記第一面に当接された前記基板を、前記第一面に向けて押圧する押圧部をさらに備えることが好ましい。

この構成によれば、押圧部によって、基板の一方の面に形成された一対のパターン部を異方導電性部材に押し当てることができるので、一対のパターン部と異方導電性部材との接触を安定化させることができる。

また、前記抵抗測定装置は、装置本体部と、前記装置本体部に対して脱着可能な治具部とを備え、前記電源部、前記検出部、及び前記抵抗取得部は前記装置本体部に設けられ、前記異方導電性部材、前記第一電極、前記第二電極、前記第一抵抗器、及び前記第二抵抗器は前記治具部に設けられていることが好ましい。

この構成によれば、治具部を交換するだけで、測定対象の基板に応じた異方導電性部材、第一電極、第二電極、第一抵抗器、及び第二抵抗器に取り替えることができるので、測定対象に対する抵抗測定装置の柔軟性が向上する。

この構成によれば、抵抗測定の対象となる基板を検査することができる。

このような構成の抵抗測定装置及び基板検査装置は、抵抗値の測定結果に対する異方導電性部材の抵抗バラツキの影響を低減することが容易となる。

この出願は、２０１８年１月１９日に出願された日本国特許出願特願２０１８−００７４６３を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。なお、発明を実施するための形態の項においてなされた具体的な実施態様又は実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、本発明は、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではない。

１基板検査装置
２装置本体部
３治具ボード（治具部）
４押圧機構（押圧部）
２１筐体
２２載置面
２３ガイド部材
２４電源部
２５電流計（検出部）
２６制御部
３０治具基板
３１，３２異方導電性部材
４１支柱
４２天板
４３押圧板
４４ベース板
４５弾性板
４６シリンダ機構
４７ロッド
２６１抵抗取得部
２６２基板検査部
４３１ガイド孔
Ａ基板
Ａ１，Ａ２電極（パターン部）
ＣＮ１，ＣＮ２コネクタ
Ｅ１電極（第一電極）
Ｅ２電極（第二電極）
Ｉｓ電流値
Ｒ抵抗値
ＲＣ１抵抗器（第一抵抗器）
ＲＣ２抵抗器（第二抵抗器）
ＲＤ，ＲＲ１，ＲＲ２抵抗
ＲＪ１，ＲＪ２内部抵抗
ＲＪ_１，ＲＪ_２内部抵抗値
ＲＣ_１，ＲＣ_２，Ｒｄ，ＲＲ_１，ＲＲ_２，Ｒｘ抵抗値
Ｓ１第一面
Ｓ２第二面
Ｖｓ電圧

Claims

基板の一方の面に形成された一対の導電性のパターン部相互間の抵抗を測定する抵抗測定装置であって、
前記一対のパターン部に接触するための第一面と、その第一面と対向する第二面とを有し、前記第一面と直交する第一方向に対する抵抗値が、前記第一面の面方向に沿う第二方向に対する抵抗値よりも小さくなり得る異方導電性部材と、
前記第二面に接触し、前記一対のパターン部の配置と対応するように配置された第一及び第二電極と、
前記第一電極に対して一端が接続された第一抵抗器と、
前記第二電極に対して一端が接続された第二抵抗器と、
前記第一抵抗器の他端と前記第二抵抗器の他端との間に電流を供給する電源部と、
前記第一抵抗器の他端と前記第二抵抗器の他端との間の電圧及び電流のうち少なくとも一方を検出する検出部と、
前記検出部によって検出された前記少なくとも一方に基づいて、前記異方導電性部材の抵抗と前記一対のパターン部相互間の抵抗とを含む抵抗値を取得する抵抗取得部とを備える抵抗測定装置。
前記第一面に当接された前記基板を、前記第一面に向けて押圧する押圧部をさらに備える請求項１記載の抵抗測定装置。
前記抵抗測定装置は、
装置本体部と、
前記装置本体部に対して脱着可能な治具部とを備え、
前記電源部、前記検出部、及び前記抵抗取得部は前記装置本体部に設けられ、
前記異方導電性部材、前記第一電極、前記第二電極、前記第一抵抗器、及び前記第二抵抗器は前記治具部に設けられている請求項１又は２に記載の抵抗測定装置。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の抵抗測定装置と、
前記抵抗測定装置により測定された抵抗に基づき、前記基板の検査を行う基板検査部とを備える基板検査装置。