JPWO2019064810A1 - 外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
光する。
Claims (6)
- ワークの外観を検査する外観検査装置であって、 前記ワークに光を照射する第1照明部と、 前記第1照明部によって照射された前記ワークを撮像する第1撮像部と、 前記第1撮像部が撮像した画像から第1不良を検出する第1検出部と、 前記ワークに光を照射する第2照明部と、 前記第2照明部によって照射された前記ワークを撮像する第2撮像部と、 前記第2撮像部が撮像した画像から第2不良を検出する第2検出部と、 を含み、 前記第1照明部は、同軸落射照明を用い、 前記第2照明部は、同軸落射照明及びドーム照明を用いる、 外観検査装置。
- 請求項1に記載の外観検査装置であって、 前記ワークを前記第2照明部に向けて上昇又は下降させる昇降部を含み、 前記昇降部は、前記第2照明部の鉛直方向の下方に設けられる、 外観検査装
置。 - 請求項1又は2に記載の外観検査装置であって、 前記第1照明部及び前記第2照明部は、白色光を用いる、 外観検査装置。
- ワークの外観を検査する外観検査方法であって、 前記ワークに光が照射される第1照明工程と、 前記第1照明工程にて照射された前記ワークが撮像される第1撮像工程と、 前記第1撮像工程にて撮像された画像から第1不良が検出される第1検出工程と、 前記ワークに光が照射される第2照明工程と、 前記第2照明工程にて照射された前記ワークが撮像される第2撮像工程と、 前記第2撮像工程にて撮像された画像から第2不良が検出される第2検出工程と、 を含み、 前記第1照明工程では、同軸落射照明が用いられ、 前記第2照明工程では、同軸落射照明及びドーム照明が用いられる、 外観検査方法。
- 請求項4に記載の外観検査方法であって、 前記第2照明工程では、前記ワークが鉛直方向に上昇又は下降される、 外観検査方法。
- 請求項4又は5に記載の外観検査方法であって、 前記第1照明工程及び前記第2照明工程では、白色光を用いられる、 外観検査方法。
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