JPWO2019013112A1 - オキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤 - Google Patents

Abstract

下記一般式（I）で表されるオキシムエステル化合物。（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、Ｒ１１、Ｒ１２、及びＲ１３のうち、少なくとも三つが下記一般式（II）で表される基である。Ｒ３、Ｒ６及びＲ１１の少なくとも一つが、一般式（II）で表される基であることが好ましい。）

Description

本発明は、感光性組成物に用いられる光重合開始剤として有用な新規なオキシムエステル化合物、該化合物を含有する光重合開始剤、並びに該光重合開始剤及びエチレン性不飽和化合物を含有する感光性組成物に関する。

感光性組成物は、エチレン性不飽和化合物に光重合開始剤を加えたものであり、エネルギー線（光）を照射することによって重合硬化させることができるため、光硬化性インク、感光性印刷版、各種フォトレジスト等に用いられている。

上記感光性組成物に用いられる光重合開始剤として、特許文献１には、カルバゾール骨格を有するオキシムエステル光重合開始剤が開示されている。また、特許文献２には、トリアリールアミン骨格を有するオキシムエステル化合物を有する重合開始剤が開示されている。しかし、特許文献１及び２に記載のオキシムエステル化合物は、感度、耐熱性（低昇華性）及び透明性（カラーフィルタの輝度が高い）を満足できる水準で両立できるものではなかった。

また、カラーフィルタ等の着色剤を含有する着色アルカリ現像性感光性組成物は、高感度であることが求められため、レジスト中における光重合開始剤を高濃度にする必要がある。しかし、光重合開始剤の濃度が高い光重合開始剤は、現像性の悪化による残渣の発生や、昇華物によるフォトマスクや加熱炉の汚染及び硬化物が着色し輝度が劣る等の原因となっていた。

国際公開第２００８／１３８７３２号 国際公開第２０１７／０３３８８０号

従って、本発明の課題は、高感度であり、可視光領域の透過率が高い光重合開始剤として有用なオキシムエステル化合物及び該化合物を用いた光重合開始剤並びに感光性組成物を提供し、輝度の高いカラーフィルタ及び該カラーフィルタを含有する表示装置を提供することにある。

本発明は、下記［１］〜［９］を提供することにより、上記課題を解決したものである。

［１］ 下記一般式（I）で表されるオキシムエステル化合物。

（式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、及びＲ^１３は、それぞれ独立に、下記一般式（II）で表される基、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、Ｒ^２１、ＯＲ^２１、ＳＲ^２１、ＮＲ^２２Ｒ^２３、ＣＯＲ^２１、ＳＯＲ^２１、ＳＯ_２Ｒ^２１又はＣＯＮＲ^２２Ｒ^２３を表し、
Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、及びＲ^１３のうち、少なくとも三つが下記一般式（II）で表される基であり、
Ｒ^２１、Ｒ^２２及びＲ^２３は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜２０の炭化水素基又は炭素原子数２〜２０の複素環含有基を表し、
Ｒ^２１、Ｒ^２２及びＲ^２３で表される基中の水素原子は、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、アミノ基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、ビニルエーテル基、メルカプト基、イソシアネート基又は炭素原子数２〜２０複素環含有基で置換される場合があり、
Ｒ^２１、Ｒ^２２及びＲ^２３で表される基中のメチレン基は−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＲ^２４−、−ＮＲ^２４ＣＯ−、−Ｓ−、−ＣＳ−、−ＳＯ_２−、−ＳＣＯ−、−ＣＯＳ−、−ＯＣＳ−又はＣＳＯ−で置換される場合があり、
Ｒ^２４は、水素原子、炭素原子数１〜２０の炭化水素基を表し、
Ｘ^１は、不存在、直接結合、−ＣＯ−、−Ｏ−又は−Ｓ−を表す。）

（式中、Ｒ^３１及びＲ^３２は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、炭素原子数１〜２０の炭化水素基又は炭素原子数２〜２０の複素環含有基を表し、
Ｒ^３１及びＲ^３２で表される基中の水素原子はハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、アミノ基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、ビニルエーテル基、メルカプト基、イソシアネート基又は炭素原子数２〜２０複素環含有基で置換される場合があり、
Ｒ^３１及びＲ^３２で表される基中のメチレン基は−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＲ^３３−、−ＮＲ^３３ＣＯ−、−Ｓ−、−ＣＳ−、−ＳＯ_２−、−ＳＣＯ−、−ＣＯＳ−、−ＯＣＳ−又はＣＳＯ−で置換される場合もあり、
Ｒ^３３は、水素原子、炭素原子数１〜２０の炭化水素基を表し、
ｎは０又は１を表し、＊は結合手を表す。）

［２］ 一般式（I）中のＲ^３、Ｒ^６及びＲ^１１の少なくとも一つが、一般式（II）で表される基である［１］に記載のオキシムエステル化合物。

［３］ ［１］又は［２］に記載のオキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤。

［４］ ［３］に記載の光重合開始剤（Ａ）及びエチレン性不飽和化合物（Ｂ）を含有する感光性組成物。

［５］ 更に着色剤（Ｃ）を含有する［４］に記載の感光性組成物。

［６］ ［４］又は［５］に記載の感光性組成物とアルカリ現像性化合物（Ｄ）とを含有するアルカリ現像性感光性樹脂組成物。

［７］ ［４］若しくは［５］に記載の感光性組成物又は［６］に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物の硬化物。

［８］ ［７］に記載の硬化物を含有する表示装置。

［９］ ［４］若しくは［５］に記載の感光性組成物又は［６］に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物を光照射又は加熱にて硬化させる工程を有する硬化物の製造方法。

以下、本発明のオキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤（Ａ）について好ましい実施形態に基づき詳細に説明する。

本発明のオキシムエステル化合物は、上記一般式（I）で表される新規な化合物である。該オキシムエステル化合物には、オキシムの二重結合による幾何異性体が存在するが、これらを区別するものではない。
即ち、本明細書において、上記一般式（I）で表される化合物及びその例示化合物は、これら幾何異性体の一種又は２種以上の混合物を表すものであり、特定の異性体を示した構造に限定するものではない。

上記一般式（I）中のＲ^２１〜Ｒ^２４で表される炭素原子数１〜２０の炭化水素基は、特に限定されるものではないが、好ましくは炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数２〜２０のアルケニル基、炭素原子数３〜２０のシクロアルキル基、炭素原子数４〜２０のシクロアルキルアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基及び炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基等を表す。

上記炭素原子数１〜２０のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ｓ−ブチル、ｔ−ブチル、アミル、イソアミル、ｔ−アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、２−エチルヘキシル、ｔ−オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル及びイコシル等が挙げられ、特に炭素原子数１〜１０のアルキル基が好ましい。

炭素原子数２〜２０のアルケニル基としては、例えば、ビニル、エチレン、２−プロペニル、３−ブテニル、２−ブテニル、４−ペンテニル、３−ペンテニル、２−ヘキセニル、３−ヘキセニル、５−ヘキセニル、２−ヘプテニル、３−ヘプテニル、４−ヘプテニル、３−オクテニル、３−ノネニル、４−デセニル、３−ウンデセニル、４−ドデセニル及び４，８，１２−テトラデカトリエニルアリル等が挙げられる。特に炭素原子数１〜１０のアルケニル基が好ましい。

上記炭素原子数３〜２０のシクロアルキル基とは、３〜２０の炭素原子を有する、飽和単環式又は飽和多環式アルキル基を意味する。飽和単環式のものとしては、例えば、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル、シクロノニル及びシクロデシル等が挙げられる。飽和多環式のものとしては、アダマンチル、デカハイドロナフチル、オクタヒドロペンタレン及びビシクロ［１．１．１］ペンタニル等が挙げられる。

上記炭素原子数４〜２０のシクロアルキルアルキル基とは、アルキル基の水素原子が、シクロアルキル基で置換された４〜２０の炭素原子を有する基を意味する。例えば、シクロプロピルメチル、２−シクロブチルエチル、３−シクロペンチルプロピル、４−シクロヘキシルブチル、シクロヘプチルメチル、シクロオクチルメチル、２−シクロノニルエチル、２−シクロデシルエチル、３−３−アダマンチルプロピル及びデカハイドロナフチルプロピル等が挙げられる。

上記炭素原子数６〜２０のアリール基としては、例えば、フェニル、トリル、キシリル、エチルフェニル、ナフチル、アンスリル、フェナンスレニル、上記アルキル基で一つ以上置換されたフェニル、ビフェニリル、ナフチル、アンスリル等が挙げられる。

上記炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基とは、アルキル基の水素原子が、アリール基で置換された７〜３０の炭素原子を有する基を意味する。例えば、ベンジル、α−メチルベンジル、α、α−ジメチルベンジル、フェニルエチル及びナフチルプロピル等が挙げられる。

上記炭素原子数１〜２０の炭化水素基の中でも、光重合開始剤として感度がよいことから、炭素原子数１〜１２のアルキル基、炭素原子数２〜１０のアルケニル基、炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基、炭素原子数４〜１５のシクロアルキルアルキル基、炭素原子数６〜１５のアリール基及び炭素原子数７〜１５のアリールアルキル基が特に好ましい。

上記一般式（I）中の、Ｒ^２１〜Ｒ^２３で表される炭素原子数２〜２０の複素環含有基及びＲ^２１〜Ｒ^２３で表される基中の水素原子を置換する場合がある炭素原子数２〜２０の複素環含有基としては、例えば、ピロリル、ピリジル、ピリジルエチル、ピリミジル、ピリダジル、ピペラジル、ピペリジル、ピラニル、ピラニルエチル、ピラゾリル、トリアジル、トリアジルメチル、ピロリジル、キノリル、イソキノリル、イミダゾリル、ベンゾイミダゾリル、トリアゾリル、フリル、フラニル、ベンゾフラニル、チエニル、チオフェニル、ベンゾチオフェニル、チアジアゾリル、チアゾリル、ベンゾチアゾリル、オキサゾリル、ベンゾオキサゾリル、イソチアゾリル、イソオキサゾリル、インドリル、ユロリジル、モルフォリニル、チオモルフォリニル、２−ピロリジノン−１−イル、２−ピペリドン−１−イル、２，４−ジオキシイミダゾリジン−３−イル及び２，４−ジオキシオキサゾリジン−３−イル等が挙げられる。

上記一般式（I）中の、Ｒ^２１〜Ｒ^２３で表される基中のメチレン基は、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＲ^２４−、−ＮＲ^２４ＣＯ−、−Ｓ−、−ＣＳ−、−ＳＯ_２−、−ＳＣＯ−、−ＣＯＳ−、−ＯＣＳ−又はＣＳＯ−で置換される場合もあり、この置換は１種又は２種以上の基でもよく、連続して置換しえる基の場合は、酸素原子が隣り合わない条件で２つ以上連続して置換する場合もある。

上記炭素原子数２〜２０の複素環含有基の中でも、光重合開始剤として感度がよいことから、炭素原子数２〜１０の複素環含有基が特に好ましい。

上記一般式（II）中のＲ^３１〜Ｒ^３３で表される炭素原子数１〜２０の炭化水素基としては、上記一般式（I）中のＲ^２１〜Ｒ^２４で表される炭素原子数１〜２０の炭化水素基と同様のものが挙げられる。

上記一般式（II）中の、Ｒ^３１及びＲ^３２で表される炭素原子数２〜２０の複素環含有基並びにＲ^３１及びＲ^３２で表される基中の水素原子を置換する場合がある炭素原子数２〜２０の複素環含有基としては、上記一般式（I）中のＲ^２１〜Ｒ^２３で表される炭素原子数１〜２０の炭化水素基と同様のものが挙げられる。

上記一般式（II）中の、Ｒ^３１及びＲ^３２で表される基中のメチレン基は、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＲ^２４−、−ＮＲ^２４ＣＯ−、−Ｓ−、−ＣＳ−、−ＳＯ_２−、−ＳＣＯ−、−ＣＯＳ−、−ＯＣＳ−又はＣＳＯ−で置換される場合もあり、この置換は１種又は２種以上の基でもよく、連続して置換しえる基の場合は、酸素原子が隣り合わない条件で２つ以上連続して置換する場合もある。

上記一般式（I）及び（II）中のハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。

一般式（I）中のＸ^１が不存在又は直接結合であるオキシムエステル化合物は、光重合開始剤として用いた場合、輝度に優れることから好ましく、Ｘ^１が直接結合であるオキシムエステル化合物は、輝度に加え感度が一層優れることから特に好ましい。本発明においてＸ^１が不存在とは、Ｘ^１の位置に如何なる原子も存在せず、一般式（I）で表されるオキシムエステル化合物がトリフェノールアミン骨格を有することを意味する。

Ｒ^１〜Ｒ^１３が一般式（II）以外の基である場合、Ｒ^１〜Ｒ^１３として水素原子又はシアノ基、特に水素原子であるものは、合成が容易なので好ましい。

一般式（I）中のＲ^３、Ｒ^６及びＲ^１１の少なくとも一つ、好ましくは二つ、より好ましくは全てが、一般式（II）で表される基であるオキシムエステル化合物は、合成時に収率がよく、精製も容易なことから好ましい。一般式（I）中のＲ^３、Ｒ^６及びＲ^１１の全てが一般式（II）で表される基である場合、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１２及びＲ^１３は水素原子であるオキシムエステル化合物は合成が容易なので好ましい。

上記一般式（II）において、ｎ＝１であるオキシムエステル化合物を光重合開始剤（Ａ）として用いた硬化物は、透明性及び輝度に優れるため好ましい。

上記一般式（II）において、Ｒ^３１が炭素原子数１〜１２のアルキル基、特に炭素原子数１〜７のアルキル基であるものが有機溶剤への溶解性が高いので好ましい。Ｒ^３２が炭素原子数１〜４のアルキル、特にメチル基若しくはエチル基又はフェニル基であるものは、反応性が高いので好ましい。

上記一般式（I）で表される本発明のオキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．２６１が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。

上記一般式（I）で表される本発明のオキシムエステル化合物は、特に限定されないが、例えば、下記に示す方法で合成できる。

一般式（II）中のｎが０で場合ある場合、下記の反応スキームで合成することができる。具体的には、公知の窒素含有化合物と公知であり市販されている酸クロリドとを反応させることによりケトン化合物１を得、得られたケトン化合物１と塩酸ヒドロキシルアミンを反応させることにより、オキシム化合物１を得る。続いて、オキシム化合物１に、トリエチルアミン（ＴＥＡ）存在下で酸クロリドを反応させることにより、上記一般式（I）で表される本発明のオキシムエステル化合物１を得る。
オキシム化合物及びオキシムエステル化合物は、国際公開２００８／０７８６７８号に記載の方法でも製造できる。

上記反応式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^３１、Ｒ^３２及びＸ^１は、一般式（I）及び一般式（II）のＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^３１、Ｒ^３２及びＸ^１と同じである。

一般式（II）中のｎが１で場合ある場合、下記の反応式に従って、以下の方法により製造することができる。
即ち、公知の窒素含有化合物と酸クロリドと反応させることによりケトン化合物２を得、ケトン化合物２と亜硝酸イソブチルを反応させることにより、オキシム化合物２を得る。続いて、オキシム化合物２に、酸無水物又は酸クロリドを反応させることにより、上記一般式（I）で表される本発明のオキシムエステル化合物２を得る。

上記反応式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^３１、Ｒ^３２及びＸ^１は、一般式（I）及び一般式（II）のＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^３１、Ｒ^３２及びＸ^１と同じである。

以上説明した本発明の新規なオキシムエステル化合物は、医薬、農薬、塩基発生剤及び光重合開始剤等に有用で、光重合開始剤の中でも特にラジカル重合開始剤（光ラジカル重合開始剤又は熱ラジカル重合開始剤）として有用である。また、本発明の新規なオキシムエステル化合物は、増感剤としても好適に用いることができる。

本発明の感光性組成物は、本発明の光重合開始剤（Ａ）及びエチレン性不飽和化合物（Ｂ）を含有し、任意成分として、着色剤（Ｃ）、アルカリ現像性化合物（Ｄ）、無機化合物、溶剤等の成分を組み合わせて含有するものである。

本発明の光重合開始剤（Ａ）は、一般式（I）で表される本発明のオキシムエステル化合物を少なくとも１種含有するものであり、他の光重合開始剤を併用することができる。光重合開始剤（Ａ）中における本発明のオキシムエステル化合物の含有量は、好ましくは３０〜１００質量％、より好ましくは５０〜１００質量％である。
また、本発明の光重合開始剤（Ａ）は、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）の光重合開始剤として有用なものである。

一般式（I）に属さない他の光重合開始剤としては、光照射によりラジカルを発生するものであれば特に制限されず従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、オキシムエステル系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンジル系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、ホスフィンオキサイド系化合物及びチタノセン系化合物等を好ましいものとして例示することができる。

上記オキシムエステル系化合物としては、上記一般式（II）で表される基を有する化合物等が挙げられ、上記光重合開始剤の中でも感度が良好であることから、本発明の感光性組成物に好ましく使用することができる。

上記一般式（II）中のＲ^３１〜Ｒ^３３で表される炭素原子数１〜２０の炭化水素基は、一般式（I）に記載されている炭素原子数１〜２０の炭化水素基と同様である。

上記一般式（II）中のＲ^３１及びＲ^３２並びにＲ^３１又はＲ^３２で表される基を修飾する場合がある複素環を含有する炭素原子数２〜２０の基は、一般式（I）で記載されている複素環を含有する炭素原子数２〜２０の基と同様である。

上記一般式（II）で表される基を有するオキシムエステル系化合物の中でも下記一般式（III）で表される化合物は、特に感度が高いことから、本発明の感光性組成物に用いることが好ましい。

上記一般式（I）で表される基を有するオキシムエステル系化合物の中でも下記一般式（III）で表される化合物は、特に感度が高いことから、本発明の感光性組成物に用いることが好ましい。

（式中、Ｒ^３１、Ｒ^３２及びｎは、それぞれ一般式（II）におけるＲ^３１、Ｒ^３２及びｎと同一であり、
Ｒ^４１及びＲ^４２は、それぞれ独立に、直接結合、水素原子、ニトロ基、シアノ基、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基又は複素環を含有する炭素原子数２〜２０の基を表し、
Ｘ^１１は、酸素原子、硫黄原子、セレン原子、ＣＲ^４３Ｒ^４４、ＣＯ、ＮＲ^４５又はＰＲ^４６を表し、
Ｘ^１２は、無結合、直接結合、炭素原子数１〜２０の炭化水素基、ＣＯを表し、Ｒ^４３〜Ｒ^４６は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１〜２０の炭化水素基又は複素環を含有する炭素原子数２〜２０の基を表し、Ｒ^４３〜Ｒ^４６で表される基中の水素原子は、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、アミノ基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、メルカプト基、イソシアネート基、複素環含有基で置換される場合もあり、Ｒ^４１〜Ｒ^４６で表される基中のメチレン基は、酸素が隣り合わない条件で−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−Ｓ−、−ＳＯ_２−、−ＳＣＯ−又は−ＣＯＳ−で置換される場合もあり、
Ｒ^４１〜Ｒ^４６は、それぞれ独立に、隣接するどちらかのベンゼン環と一緒になって環を形成する場合もあり、
ａは、０〜４の数を表し、
ｂは、０〜３の数を表す。）

上記一般式（III）中のＲ^４１〜Ｒ^４６で表される炭素原子数１〜２０の炭化水素基は、それぞれ上記一般式（I）に記載されている炭素原子数１〜２０の炭化水素基と同様である。

上記一般式（III）中のＲ^４１〜Ｒ^４６で表される、複素環を含有する炭素原子数２〜２０の基は、上記一般式（I）に記載されている複素環を含有する炭素原子数２〜２０の基と同様である。

上記一般式（III）で表される好ましいオキシムエステル系化合物は、例えば下記に示す化合物Ｎｏ．Ａ２−１〜Ｎｏ．Ａ２−２８が挙げられる。但し、本発明で用いられる重合開始剤（Ａ）は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。

一般式（III）において、Ｘ^１が、硫黄原子で、Ｘ^２が、無結合の場合、上記化合物Ｎｏ．Ａ２−１〜Ａ２−７で表されるジフェニルスルフィド骨格を有したオキシムエステル系化合物となり、重合開始剤として本発明のオキシムエステル化合物と併用することで感度が良好な感光性組成物が得られる点で好ましい。

一般式（III）において、Ｘ^１が、ＮＲ^５５で、Ｘ^２が、直接結合の場合、上記化合物Ｎｏ．Ａ２−８〜Ａ２−２８で表されるカルバゾール骨格を有したオキシムエステル系化合物となり、感度が良好な感光性組成物が得られる点で特に好ましい。

アセトフェノン系化合物としては例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、４’−イソプロピル−２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２−ヒドロキシメチル−２−メチルプロピオフェノン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ−ターシャリブチルジクロロアセトフェノン、ｐ−ターシャリブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ−アジドベンザルアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパノン−１、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル及び１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン等が挙げられる。

上記ベンジル系化合物としては、ベンジル等が挙げられる。

上記ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、ミヒラーケトン、４，４’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン及び４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルスルフィド等が挙げられる。

上記チオキサントン系化合物としては、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン等が挙げられる。

ホスフィンオキサイド系化合物としては、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等のホスフィンオキサイド系化合物が挙げられる。
チタノセン系化合物としてはビス（シクロペンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（ピル−１−イル）］チタニウム等が挙げられる。

市販のラジカル開始剤としては、アデカオプトマーＮ−１４１４、Ｎ−１７１７、Ｎ−１９１９、アデカアークルズＮＣＩ−８３１、ＮＣＩ−９３０（以上、ＡＤＥＫＡ製）；ＩＲＧＡＣＵＲＥ１８４、ＩＲＧＡＣＵＲＥ３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ６５１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ７８４（以上、ＢＡＳＦ製）；ＴＲ−ＰＢＧ−３０４、ＴＲ−ＰＢＧ−３０５、ＴＲ−ＰＢＧ−３０９及びＴＲ−ＰＢＧ−３１４（以上、ＴＲＯＮＬＹ製）；等が挙げられる。

本発明の感光性組成物において、光重合開始剤（Ａ）の含有量は特に限定されるものではないが、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）１００質量部に対して、好ましくは１〜７０質量部、より好ましくは１〜５０質量部、最も好ましくは５〜３０質量部である。

上記エチレン性不飽和化合物（Ｂ）は、エチレン性の不飽和結合を有している。エチレン性不飽和化合物（Ｂ）としては、特に限定されず、従来、感光性組成物に用いられているものを用いることができるが、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン等の不飽和脂肪族炭化水素；（メタ）アクリル酸、α―クロルアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、シトラコン酸、フマル酸、ハイミック酸、クロトン酸、イソクロトン酸、ビニル酢酸、アリル酢酸、桂皮酸、ソルビン酸、メサコン酸、コハク酸モノ［２−（メタ）アクリロイロキシエチル］、フタル酸モノ［２−（メタ）アクリロイロキシエチル］、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等の両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノ（メタ）アクリレート；ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート・マレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート或いは１個のカルボキシル基と２個以上の（メタ）アクリロイル基とを有する多官能（メタ）アクリレート等の不飽和多塩基酸；（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸グリシジル、下記化合物Ｎｏ．Ａ１〜Ｎｏ．Ａ４、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸−ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ｎ−オクチル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸ステアリル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノメチル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸アミノプロピル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノプロピル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル、（メタ）アクリル酸ポリ（エトキシ）エチル、（メタ）アクリル酸ブトキシエトキシエチル、（メタ）アクリル酸エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸フェノキシエチル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフリル、（メタ）アクリル酸ビニル、（メタ）アクリル酸アリル、（メタ）アクリル酸ベンジル、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメチロールジ（メタ）アクリレート、トリ［（メタ）アクリロイルエチル］イソシアヌレート、ポリエステル（メタ）アクリレートオリゴマー等の不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステル；（メタ）アクリル酸亜鉛、（メタ）アクリル酸マグネシウム等の不飽和多塩基酸の金属塩；マレイン酸無水物、イタコン酸無水物、シトラコン酸無水物、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、５−（２，５−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メチル−３−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等の不飽和多塩基酸の酸無水物；（メタ）アクリルアミド、メチレンビス−（メタ）アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド等の不飽和一塩基酸及び多価アミンのアミド；アクロレイン等の不飽和アルデヒド；（メタ）アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン、シアン化アリル等の不飽和ニトリル；スチレン、４−メチルスチレン、４−エチルスチレン、４−メトキシスチレン、４−ヒドロキシスチレン、４−クロロスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、ビニル安息香酸、ビニルフェノール、ビニルスルホン酸、４−ビニルベンゼンスルホン酸、ビニルベンジルメチルエーテル、ビニルベンジルグリシジルエーテル等の不飽和芳香族化合物；メチルビニルケトン等の不飽和ケトン；ビニルアミン、アリルアミン、Ｎ−ビニルピロリドン、ビニルピペリジン等の不飽和アミン化合物；アリルアルコール、クロチルアルコール等のビニルアルコール；ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ｎ−ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテル等のビニルエーテル；マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類；インデン、１−メチルインデン等のインデン類；１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類；ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリ−ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー類；ビニルクロリド、ビニリデンクロリド、ジビニルスクシナート、ジアリルフタラート、トリアリルホスファート、トリアリルイソシアヌラート、ビニルチオエーテル、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾリン、ビニルカルバゾール、ビニルピロリドン、ビニルピリジン、水酸基含有ビニルモノマー及びポリイソシアネート化合物のビニルウレタン化合物、水酸基含有ビニルモノマー及びポリエポキシ化合物のビニルエポキシ化合物が挙げられる。

上記エチレン性不飽和化合物（Ｂ）としては市販品を用いることができ、例えば、カヤラッドＤＰＨＡ、ＤＰＥＡ−１２、ＰＥＧ４００ＤＡ、ＴＨＥ−３３０、ＲＰ−１０４０、ＮＰＧＤＡ、ＰＥＴ３０（日本化薬社製）ＳＰＣ−１０００、ＳＰＣ−３０００（昭和電工製）、アロニックスＭ−１４０、Ｍ−２１５、Ｍ−３５０（東亞合成社製）、ＮＫエステルＡ−ＤＰＨＡ−ＴＭＰＴ、Ａ−ＤＣＰ、Ａ−ＨＤ−Ｎ、Ａ−９３００、ＴＭＰＴ、ＤＣＰ、ＮＰＧ及びＨＤ−Ｎ（新中村化学工業社製）等が挙げられる。

これらの中でも、両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノ（メタ）アクリレート、１個のカルボキシル基と２個以上の（メタ）アクリロイル基とを有する多官能（メタ）アクリレート、不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステルは、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物に好適である。

エチレン性不飽和化合物は、単独で又は２種以上を混合して使用することができ、また２種以上を混合して使用する場合には、それらを予め共重合して共重合体として使用してもよい。

本発明の感光性組成物には、更に着色剤（Ｃ）を含有させて着色感光性組成物としてもよい。該着色剤（Ｃ）としては、顔料、染料、天然色素等が挙げられる。これらの着色剤（Ｃ）は、単独で又は２種以上を混合して用いることができる。

上記顔料としては、例えば、ニトロソ化合物；ニトロ化合物；アゾ化合物；ジアゾ化合物；キサンテン化合物；キノリン化合物；アントラキノン化合物；クマリン化合物；フタロシアニン化合物；イソインドリノン化合物；イソインドリン化合物；キナクリドン化合物；アンタンスロン化合物；ペリノン化合物；ペリレン化合物；ジケトピロロピロール化合物；チオインジゴ化合物；ジオキサジン化合物；トリフェニルメタン化合物；キノフタロン化合物；ナフタレンテトラカルボン酸；アゾ染料、シアニン染料の金属錯体化合物；レーキ顔料；ファーネス法、チャンネル法又はサーマル法によって得られるカーボンブラック、或いはアセチレンブラック、ケッチェンブラック又はランプブラック等のカーボンブラック；上記カーボンブラックをエポキシ樹脂で調整又は被覆したもの、上記カーボンブラックを予め溶剤中で樹脂に分散処理し、２０〜２００ｍｇ／ｇの樹脂を吸着させたもの、上記カーボンブラックを酸性又はアルカリ性表面処理したもの、平均粒径が８ｎｍ以上でＤＢＰ吸油量が９０ｍｌ／１００ｇ以下のもの、９５０℃における揮発分中のＣＯ及びＣＯ₂から算出した全酸素量が、カーボンブラックの表面積１００ｍ²当たり９ｍｇ以上であるもの；黒鉛、黒鉛化カーボンブラック、活性炭、炭素繊維、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、カーボンナノホーン、カーボンエアロゲル、フラーレン；アニリンブラック、ピグメントブラック７、チタンブラック；酸化クロム緑、ミロリブルー、コバルト緑、コバルト青、マンガン系、フェロシアン化物、リン酸塩群青、紺青、ウルトラマリン、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄（III））、カドミウム赤、合成鉄黒、アンバー等の有機又は無機顔料を用いることができる。これらの顔料は単独で、或いは複数を混合して用いることができる。

上記顔料としては、市販の顔料を用いることもでき、例えば、ピグメントレッド１、２、３、９、１０、１４、１７、２２、２３、３１、３８、４１、４８、４９、８８、９０、９７、１１２、１１９、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１６９、１７０、１７１、１７７、１７９、１８０、１８４、１８５、１９２、２００、２０２、２０９、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２５４；ピグメントオレンジ１３、３１、３４、３６、３８、４３、４６、４８、４９、５１、５２、５５、５９、６０、６１、６２、６４、６５、７１；ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１６、１７、２０、２４、５５、６０、７３、８１、８３、８６、９３、９５、９７、９８、１００、１０９、１１０、１１３、１１４、１１７、１２０、１２５、１２６、１２７、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１６６、１６８、１７５、１８０、１８５；ピグメントグリーン７、１０、３６；ピグメントブルー１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：５、１５：６、２２、２４、５６、６０、６１、６２、６４；ピグメントバイオレット１、１９、２３、２７、２９、３０、３２、３７、４０、５０等が挙げられる。

上記染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用いる場合もある。

本発明の感光性組成物において、上記着色剤（Ｃ）の含有量は、上記エチレン性不飽和化合物（Ｂ）１００質量部に対して、好ましくは１０〜２００質量部、より好ましくは１０〜１００質量部である。

本発明の感光性組成物には、更にアルカリ現像性化合物（Ｄ）を含有させてアルカリ現像性感光性樹脂組成物としてもよい。着色剤（Ｃ）及びアルカリ現像性化合物（Ｄ）を同時に含むものは、着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物ともいう。

上記アルカリ現像性化合物（Ｄ）としては、アルカリ水溶液に可溶であれば特に限定されないが、例えば、特開２００４−２６４４１４号公報に記載の樹脂等が挙げられる。

また、上記アルカリ現像性化合物（Ｄ）としては、アクリル酸エステルの共重合体、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、カルボキシル基を有する重合体、下記一般式（ＩＶ）で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物のエポキシ基に不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を用いることができる。
上記エポキシアクリレート樹脂とは、エポキシ化合物に（メタ）アクリル酸を作用させたものであり、その例としては、Ｒｉｐｏｘｙ ＳＰＣ−２０００、ＤＩＣ社製のディックライトＵＥ−７７７、日本ユピカ社製ユピカ４０１５等を挙げることができる。
これらの化合物の中でも、エポキシアクリレート樹脂及びカルボキシル基を有する重合体が好ましい。

上記カルボキシル基を有する重合体は、カルボキシル基を有する構造単位を（以下、「構造単位（Ｕ１）」という。）有するものであればよく、特に制限をされない。上記カルボキシル基を有する重合体は、構造単位（Ｕ１）に加え、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、ビニルエーテル基、メルカプト基及びイソシアネート基等の架橋性基を有する構造単位（以下、「構造単位（Ｕ２）」という。）、シリル基を有する構造単位（以下「構造単位（Ｕ３）」という。）を有することが好ましい。
上記カルボキシル基を有する重合体は、上記構造単位（Ｕ１）〜（Ｕ３）以外の構造単位（以下、「構造単位（Ｕ４）」という。）を有していてもよい。

上記構造単位（Ｕ１）は、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選択される少なくとも１種の化合物（以下、「化合物（ｕ１）」という。）に由来する構造単位であることが好ましい。
上記化合物（ｕ１）としては、例えば、モノカルボン酸、ジカルボン酸及びジカルボン酸の無水物等を挙げることができる。
上記モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、２−アクリロイルオキシエチルコハク酸、２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、２−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸及び２−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸等を挙げることができる。
上記ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸及びシトラコン酸等を挙げることができる。
上記ジカルボン酸の無水物としては、上記のジカルボン酸の無水物等を挙げることができる。
これらの化合物のうち、共重合反応性、得られる共重合体の現像液に対する溶解性の点から、アクリル酸、メタクリル酸、２−アクリロイルオキシエチルコハク酸、２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸又は無水マレイン酸が特に好ましい。
上記カルボキシル基を有する重合体は、１種の化合物（ｕ１）に由来する１種の構造単位（Ｕ１）を有していてもよく、２種以上の化合物（ｕ１）に由来する２種以上の構造単位（Ｕ１）を有していてもよい。

上記構造単位（Ｕ２）は、エポキシ基又はオキセタニル基を有する重合性不飽和化合物（以下、「化合物（ｕ２）」という。）に由来する構造単位であることが好ましい。
上記化合物（ｕ２）は、エポキシ基を有する重合性不飽和化合物及びオキセタニル基を有する重合性不飽和化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。

エポキシ基を有する重合性不飽和化合物として、例えば、（メタ）アクリル酸オキシラニル（シクロ）アルキルエステル、α−アルキルアクリル酸オキシラニル（シクロ）アルキルエステル及び重合性不飽和結合を有するグリシジルエーテル化合物等が挙げられる。
オキセタニル基を有する重合性不飽和化合物として、例えば、オキセタニル基を有する（メタ）アクリル酸エステル等が挙げられる。

（メタ）アクリル酸オキシラニル（シクロ）アルキルエステルの具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸グリシジル、（メタ）アクリル酸２−メチルグリシジル、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートグリシジルエーテル、（メタ）アクリル酸３，４−エポキシブチル、（メタ）アクリル酸６，７−エポキシヘプチル、（メタ）アクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルメチル及び３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０^２．６］デシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
α−アルキルアクリル酸オキシラニル（シクロ）アルキルエステルの具体例としては、例えば、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸６，７−エポキシヘプチル及びα−エチルアクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシル等が挙げられる。
重合性不飽和結合を有するグリシジルエーテル化合物の具体例としては、例えば、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル及びｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等が挙げられる。
オキセタニル基を有する（メタ）アクリル酸エステルの具体例としては、例えば、３−（（メタ）アクリロイルオキシメチル）オキセタン、３−（（メタ）アクリロイルオキシメチル）−３−エチルオキセタン、３−（（メタ）アクリロイルオキシメチル）−２−メチルオキセタン、３−（（メタ）アクリロイルオキシエチル）−３−エチルオキセタン、２−エチル−３−（（メタ）アクリロイルオキシエチル）オキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロイルオキシメチルオキセタン及び３−エチル−３−（メタ）アクリロイルオキシメチルオキセタン等が挙げられる。
これら化合物のうち、特に、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸２−メチルグリシジル、メタクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシル、メタクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルメチル、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０^２．６］デシルメタアクリレート、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０^２．６］デシルアクリレート、３−メタクリロイルオキシメチル−３−エチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロイルオキシメチルオキセタン又は３−エチル−３−メタクリロイルオキシメチルオキセタンが、重合性の点から好ましい。
上記カルボキシル基を有する重合体は、１種の化合物（ｕ２）に由来する１種の構造単位（Ｕ２）を有していてもよく、２種以上の化合物（ｕ２）に由来する２種以上の構造単位（Ｕ２）を有していてもよい。

上記構造単位（Ｕ２）のうち、架橋性基として、メタクリロイル基又はアクリロイル基を有する構造単位としては、（メタ）アクリロイルオキシ基を有する構造単位を好ましく用いることができる。
上記（メタ）アクリロイルオキシ基を有する構造単位は、重合体中のカルボキシル基にエポキシ基を有する（メタ）アクリル酸エステルを反応させて得られる。反応後の（メタ）アクリロイルオキシ基を有する構造単位は、下記式（Ｕ）で表される構造単位であることが好ましい。

（式中、Ｒ^１０００及びＲ^１００１は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、
ｕは、１〜６の整数を表し、
Ｒ^１００２は、下記式（Ｕα）又は下記式（Ｕβ）で表される２価の基を表し、
＊は結合手を表す。）

（式中、Ｒ^１００３は、水素原子又はメチル基を表し
＊は、結合手を表す。）

上記式（Ｕ）で表される構造単位について、例えば、カルボキシル基を有する共重合体に、メタクリル酸グリシジル又はメタクリル酸２−メチルグリシジル等の化合物を反応させた場合、式（Ｕ）中のＲ^１００２は式（Ｕα）となる。カルボキシル基を有する共重合体に、メタクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルメチル等の化合物を反応させた場合、式（Ｕ）中のＲ^１００２は、式（Ｕβ）となる。

上述した、重合体中のカルボキシル基とエポキシ基を有する（メタ）アクリル酸エステル等の不飽和化合物との反応は、必要に応じて適当な触媒の存在下、好ましくは重合禁止剤を含む重合体の溶液に、エポキシ基を有する不飽和化合物を投入し、加温下で所定時間撹拌し行うことが好ましい。上記触媒としては、例えば、テトラブチルアンモニウムブロミド等が挙げられる。上記重合禁止剤としては、例えば、ｐ−メトキシフェノール等が挙げられる。反応温度は、７０℃〜１００℃が好ましい。反応時間は、８時間〜１２時間が好ましい。

上記カルボキシル基を有する重合体の構造単位比率において、架橋性基として（メタ）アクリロイルオキシ基を有する構造単位の含有比率は、カルボキシル基を有する重合体全構造単位のうちの１０モル％〜７０モル％であることが好ましく、２０モル％〜５０モル％であることがより好ましい。（メタ）アクリロイルオキシ基を有する構造単位比率が上述の範囲であることで、耐熱性及び現像時の現像不良が少なくなり、現像残渣の発生が抑制できる。

上記構造単位（Ｕ３）は、シリル基を有する重合性不飽和化合物（以下、「化合物（ｕ３）」という。）に由来する構造単位であることが好ましい。

上記化合物（ｕ３）としては、例えば、３−（メタ）アクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロイルオキシプロピルエチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン及び３−（メタ）アクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン等を挙げることができる。
上記カルボキシル基を有する重合体が構造単位Ｕ３を有する場合、１種の化合物（ｕ３）に由来する１種の構造単位（Ｕ３）を有していてもよく、２種以上の化合物（ｕ３）に由来する２種以上の構造単位（Ｕ３）を有していてもよい。

上記構造単位（Ｕ４）は、上記（Ｕ１）〜（Ｕ３）以外の構造単位であり、上記（ｕ１）〜（ｕ３）以外の重合性不飽和化合物（以下、「化合物（ｕ４）」という。）に由来する構造単位であることが好ましい。
上記化合物（ｕ４）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル、（メタ）アクリル酸アリールエステル、（メタ）アクリル酸アラルキルエステル、不飽和ジカルボン酸ジアルキルエステル、含酸素複素５員環又は含酸素複素６員環を有する（メタ）アクリル酸エステル、ビニル芳香族化合物、共役ジエン化合物及びその他の重合性不飽和化合物を挙げることができる。
（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、例えば、アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸ｉ−プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｓｅｃ−ブチル及び（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル等が挙げられる。
（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステルの具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸２−メチルシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸トリシクロ［５．２．１．０^２，６］デカン−８−イル、（メタ）アクリル酸２−（トリシクロ［５．２．１．０^２，６］デカン−８−イルオキシ）エチル及び（メタ）アクリル酸イソボロニル等が挙げられる。
（メタ）アクリル酸アリールエステルの具体例としては、例えば、アクリル酸フェニル等が挙げられる。
（メタ）アクリル酸アラルキルエステルの具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸ベンジル等が挙げられる。
不飽和ジカルボン酸ジアルキルエステルの具体例としては、例えば、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル等が挙げられる。
含酸素複素５員環又は含酸素複素６員環を有する（メタ）アクリル酸エステルの具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフラン−２−イル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロピラン−２−イル及び（メタ）アクリル酸２−メチルテトラヒドロピラン−２−イル等が挙げられる。
ビニル芳香族化合物の具体例としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン等が挙げられる。
共役ジエン化合物の具体例としては、例えば、１，３−ブタジエン及びイソプレン等が挙げられる。
その他の重合性不飽和化合物の具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、アクリルアミド、メタクリルアミド等が挙げられる。
以上で挙げた化合物（ｕ４）のうち、共重合反応性の点から、メタクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸２−メチルグリシジル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸トリシクロ［５．２．１．０^２，６］デカン−８−イル、スチレン、ｐ−メトキシスチレン、メタクリル酸テトラヒドロフラン−２−イル及び１，３−ブタジエン等が好ましい。
上記カルボキシル基を有する重合体が構造単位（Ｕ４）を有する場合、１種の化合物（ｕ４）に由来する１種の構造単位（Ｕ４）を有していてもよく、２種以上の化合物（ｕ４）に由来する２種以上の構造単位（Ｕ４）を有していてもよい。

本実施形態における好ましいカルボキシル基を有する重合体は、上記のような化合物（ｕ１）〜（ｕ４）を、それぞれ、以下の割合で含む重合性不飽和化合物の混合物を共重合することにより合成することができる。
また、得られた共重合体中の化合物（ｕ１）に由来する構造単位中のカルボキシル基に対して、エポキシ基を有する（メタ）アクリル酸エステルを反応させることで、（メタ）アクリロイルオキシ基を有する構造単位を有するものとすることができる。

化合物（ｕ１）：好ましくは０．１モル％〜３０モル％、より好ましくは１モル％〜２０モル％、更に好ましくは５モル％〜１５モル％
化合物（ｕ２）：好ましくは１モル％〜９５モル％、より好ましくは１０モル％〜６０モル％、更に好ましくは２０モル％〜３０モル％
化合物（ｕ３）：好ましくは５０モル％以下、より好ましくは１モル％〜４０モル％、更に好ましくは１０モル％〜３０モル％
化合物（ｕ４）：好ましくは８０モル％以下、より好ましくは１モル％〜６０モル％、更に好ましくは２５モル％〜５０モル％

化合物（ｕ１）〜化合物（ｕ４）を上記の範囲で含有する重合性不飽和化合物の混合物を共重合して得られるカルボキシル基を有する重合体を含有する重合性組成物は、良好な塗布性が損なわれることなく高い解像度が達成されるから、高精細なパターンであっても物性のバランスが高度に調整された硬化膜を得ることができることから好ましい。

カルボキシル基を有する重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは２０００〜１０００００であり、より好ましくは５０００〜５００００である。この範囲のＭｗを有するカルボキシル基を有する重合体を使用することにより、良好な塗布性が損なわれることなく高い解像度が達成されるから、高精細なパターンであっても特性のバランスが高度に調整された硬化膜を与えることができることとなる。
本発明において重量平均分子量（Ｍｗ）とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）をいうものである。

カルボキシル基を有する重合体は、上記重合性不飽和化合物の混合物を、好ましくは適当な溶媒中において、好ましくはラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。

重合性不飽和化合物の混合物の重合に用いられる溶媒としては、例えば、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸３−メトキシブチル、シクロヘキサノールアセテート、ベンジルアルコール、３−メトキシブタノール等を挙げることができる。これらの溶媒は、１種を単独で使用してもよく、又は２種以上を混合して使用してもよい。

上記ラジカル重合開始剤としては、特に限定されるものではなく、例えば、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス−（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）、４，４’−アゾビス（４―シアノバレリン酸）、ジメチル−２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）等のアゾ化合物を挙げることができる。これらのラジカル重合開始剤は、１種を単独で使用してもよく、又は２種以上を混合して使用してもよい。

上記カルボキシル基を有する重合体の中でも、特開２００５−２３４３６２号公報に記載の重合体、下記一般式（ＶＩ）で表されるエポキシ化合物のエポキシ基に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られる重合体が好ましい。

また、上記アルカリ現像性化合物（Ｄ）としては、アクリル酸エステルの共重合体や、フェノール及び／又はクレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、下記一般式（III）で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物のエポキシ基に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を用いることができる。ここでいうエポキシアクリレート樹脂とは、上記エポキシ化合物に（メタ）アクリル酸を作用させたものであり、その例としては、Ｒｉｐｏｘｙ ＳＰＣ−２０００、ＤＩＣ社製のディックライトＵＥ−７７７、日本ユピカ社製ユピカ４０１５等を挙げることができる。
これらの中でも、エポキシアクリレート樹脂、及び、下記一般式（IV）で表されるエポキシ化合物のエポキシ基に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂が好ましい。
また、上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物は、不飽和基を０．２〜１．０当量含有していることが好ましい。

（式中、Ｘ^２１は直接結合、メチレン基、炭素原子数１〜４のアルキリデン基、炭素原子数３〜２０の脂環式炭化水素基、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ−₂、−ＳＳ−、−ＳＯ−、−ＣＯ−、−ＯＣＯ−又は下記〔化３６〕、〔化３７〕若しくは〔化３８〕で表される基を表し、上記アルキリデン基はハロゲン原子で置換される場合もあり、Ｒ^５１、及びＲ^５２は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜５のアルキル基、炭素原子数１〜８のアルコキシ基、炭素原子数２〜５のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換される場合もあり、
Ｒ^５１、及びＲ^５２がそれぞれ複数存在する場合は、同一の場合も異なる場合もあり、
ｃは、０〜４の整数であり、
ｄは、０〜４の整数であり、
ｍは０〜１０の整数であり、
ｍが０でない場合に存在する光学異性体は、どの異性体でもよい。）

（式中、Ｚ^１は水素原子、炭素原子数１〜１０のアルキル基若しくは炭素原子数１〜１０のアルコキシ基により置換されていてもよいフェニル基、又は炭素原子数１〜１０のアルキル基若しくは炭素原子数１〜１０のアルコキシ基により置換されていてもよい炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基を示し、Ｙ¹は炭素原子数１〜１０のアルキル基、炭素原子数１〜１０のアルコキシ基、炭素原子数２〜１０のアルケニル基又はハロゲン原子を示し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換されていてもよく、ｅは０〜５の整数を表し、＊は結合手を表す。）

（式中、＊は結合手を表す。）

（式中、Ｙ²及びＺ^２は、それぞれ独立して、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数１〜１０のアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数６〜２０のアリール基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数６〜２０のアリールオキシ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数６〜２０のアリールチオ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数６〜２０のアリールアルケニル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基、又はハロゲン原子を表し、Ｙ^２で表される基中のメチレン基は、不飽和結合、−Ｏ−又は−Ｓ−で置換される場合があり、Ｚ^２は、隣接するＺ^２同士で環を形成していてもよく、ｆは０〜４の整数を表し、ｇは０〜８の整数を表し、ｈは０〜４の整数を表し、ｉは０〜４の整数を表し、ｈとｉの数の合計は２〜４の整数であり、＊は結合手を表す）

上記エポキシ化合物に作用させる上記不飽和一塩基酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリレート・マレート、ヒドロキシエチルアクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート等が挙げられる。

上記不飽和一塩基酸を作用させた後に作用させる上記多塩基酸無水物としては、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、ビフタル酸無水物、無水マレイン酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、２，２’−３，３’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、５−（２，５−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メチル−３−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等が挙げられる。

上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応モル比は、以下の通りとすることが好ましい。
即ち、上記エポキシ化合物のエポキシ基１個に対し、上記不飽和一塩基酸のカルボキシル基が０．１〜１．０個で付加させた構造を有するエポキシ付加物において、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物の酸無水物構造が０．１〜１．０個となる比率となるようにするのが好ましい。
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応は、常法に従って行うことができる。

本発明の感光性組成物の実施態様の一つである、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、必須成分として、光重合開始剤（Ａ）と、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）と、アルカリ現像性化合物（Ｄ）とを含有し、任意成分として、無機化合物、溶剤等の成分を組み合わせて含有するものである。尚、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物のうち、着色剤（Ｃ）を含有するものを、特に、本発明の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物ともいう。
上記アルカリ現像性化合物（Ｄ）は１種を単独で用いる場合があり、２種以上を併用して用いる場合がある。
上記アルカリ現像性化合物（Ｄ）がエチレン性不飽和結合を有している場合には、該アルカリ現像性化合物（Ｄ）はエチレン性不飽和化合物（Ｂ）の範疇に含まれる場合がある。アルカリ現像性化合物（Ｄ）がエチレン性不飽和化合物（Ｂ）でもある場合、アルカリ現像性化合物（Ｄ）を含んでいる組成物は、感光性組成物であり、且つアルカリ現像性感光性樹脂組成物でもある。

酸価調整して本発明の（着色）アルカリ現像性感光性樹脂組成物の現像性を改良するため、上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物と共に、更に単官能又は多官能エポキシ化合物を用いることができる。上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物は、固形分の酸価が５〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲であることが好ましく、単官能又は多官能エポキシ化合物の使用量は、上記酸価を満たすように選択するのが好ましい。

上記単官能エポキシ化合物としては、グリシジルメタクリレート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、ｔ−ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、２−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、ｐ−メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、ｐ−メトキシグリシジルエーテル、ｐ−ブチルフェノールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、２−メチルクレジルグリシジルエーテル、４−ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、ｐ−クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、２，３−エポキシプロピルメタクリレート、エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油、グリシジルブチレート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、上記化合物Ｎｏ．Ａ２、Ｎｏ．Ａ３等が挙げられる。

上記多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ化合物及びグリシジルエーテル類からなる群から選択される１種以上の化合物を用いると、特性の一層良好な（着色）アルカリ現像性感光性樹脂組成物を得ることができるので好ましい。
上記ビスフェノール型エポキシ化合物としては、上記一般式（IV）で表されるエポキシ化合物を用いることができる他、例えば、水添ビスフェノール型エポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物も用いることができる。
また上記グリシジルエーテル類としては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、１，４−ブタンジオールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、１，８−オクタンジオールジグリシジルエーテル、１，１０−デカンジオールジグリシジルエーテル、２，２−ジメチル−１，３−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、１，４−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、１，１，１−トリ（グリシジルオキシメチル）プロパン、１，１，１−トリ（グリシジルオキシメチル）エタン、１，１，１−トリ（グリシジルオキシメチル）メタン、１，１，１，１−テトラ（グリシジルオキシメチル）メタン等を用いることができる。
その他、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールＡノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物；３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、１−エポキシエチル−３，４−エポキシシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物；フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル類；テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルＰ−アミノフェノール、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン等のグリシジルアミン類；１，３−ジグリシジル−５，５−ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物；ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物；ナフタレン型エポキシ化合物；トリフェニルメタン型エポキシ化合物；ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物等を用いることもできる。

特に、本発明の感光性組成物をアルカリ現像性感光性樹脂組成物とする場合、上記エチレン性不飽和結合を有してもよいアルカリ現像性を有する化合物の含有量は、本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物中、１〜２０質量％、特に３〜１２質量％が好ましい。

本発明の感光性組成物には、更に溶剤を加えることができる。該溶剤としては、通常、必要に応じて上記の各成分（光重合開始剤（Ａ）及びエチレン性不飽和化合物（Ｂ）等）を溶解又は分散しえる溶剤、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン等のケトン類；エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、１，２−ジメトキシエタン、１，２−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸シクロヘキシル、乳酸エチル、コハク酸ジメチル、テキサノール等のエステル系溶剤；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のセロソルブ系溶剤；メタノール、エタノール、イソ−又はｎ−プロパノール、イソ−又はｎ−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶剤；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルエーテルアセテート、エトキシエチルエーテルプロピオネート等のエーテルエステル系溶剤；ベンゼン、トルエン、キシレン等のＢＴＸ系溶剤；ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤；テレピン油、Ｄ−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油；ミネラルスピリット、スワゾール＃３１０（コスモ松山石油社）、ソルベッソ＃１００（エクソン化学社）等のパラフィン系溶剤；四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン、１，２−ジクロロエタン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶剤；クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶剤；カルビトール系溶剤；アニリン；トリエチルアミン；ピリジン；酢酸；アセトニトリル；二硫化炭素；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド；Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）；Ｎ−メチルピロリドン；ジメチルスルホキシド；水等が挙げられ、これらの溶剤は１種又は２種以上の混合溶剤として使用することができる。
これらの中でも、ケトン類、エーテルエステル系溶剤等、特にプロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート、シクロヘキサノン等が、感光性組成物において、レジストと光重合開始剤（Ａ）の相溶性がよいので好ましい。

また、本発明の感光性組成物には、必要に応じて、ｐ−アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、ｔ−ブチルカテコール、無機化合物、潜在性添加剤、有機重合体、連鎖移動剤、増感剤、界面活性剤、シランカップリング剤、メラミン化合物、熱重合抑制剤；可塑剤；接着促進剤；充填剤；消泡剤；レベリング剤；表面調整剤；酸化防止剤；紫外線吸収剤；分散助剤；凝集防止剤；触媒；効果促進剤；架橋剤；増粘剤等の慣用の添加物を加えることができる。

本発明の感光性組成物には、着色剤（Ｃ）及び／又は無機化合物を分散させる分散剤を加えることができる。該分散剤としては、着色剤（Ｃ）又は無機化合物を分散、安定化できるものであれば制限されず、市販の分散剤、例えば、ビックケミー・ジャパン社製のＢＹＫシリーズ等を用いることができる。特に、塩基性官能基を有するポリエステル、ポリエーテル、又はポリウレタンからなる高分子分散剤、塩基性官能基として窒素原子を有し、窒素原子を有する官能基がアミン、及び／又はその四級塩であり、アミン価が1〜１００ｍｇＫＯＨ/ｇのものが好適に用いられる。

上記潜在性添加剤は、下記一般式（Ａ）〜（Ｃ）で表される。

（式中、環Ａ^１は、六員環の脂環、芳香環又は複素環であり、Ｒ^８１、Ｒ^８２、Ｒ^８３、Ｒ^８４及びＲ^８５は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜４０のアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基、炭素原子数２〜２０の複素環含有基又は−Ｏ−Ｒ^６６を表し、
Ｒ^８１、Ｒ^８２、Ｒ^８３、Ｒ^８４及びＲ^８５のうち少なくとも一つは水素原子でなく、
Ｒ^８６は、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数２〜２０のアルケニル基、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基、炭素原子数２〜２０の複素環含有基又はトリアルキルシリル基を表す。）

（式中、環Ａ^１及びＲ^９１は、上記一般式（Ａ）と同じであり、
Ｘ^７は、下記一般式（１）で表される基であり、Ｒ^９２、Ｒ^９３、Ｒ^９４及びＲ^９５は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜４０のアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環含有基を表し、Ｒ^９２、Ｒ^９３、Ｒ^９４及びＲ^９５のうち少なくとも一つは水素原子でない。）

（上記一般式（１）中、Ｘ^８は、−ＣＲ^９７Ｒ^９８−、−ＮＲ^９９−、二価の炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基若しくは炭素原子数２〜３５の複素環基、又は、下記〔化４２〕〜〔化４４〕で表されるいずれかの置換基を表し、
該脂肪族炭化水素基中のメチレン基は、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−又は−ＮＨ−、或いは酸素原子が隣り合うことなしにこれらを組み合わせた結合基で置換される場合があり、
Ｒ^９７及びＲ^９８は、水素原子、炭素原子数１〜８のアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基又は炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基を表し、Ｚ^５及びＺ^６は、それぞれ独立に、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、＞ＣＯ、−ＣＯ−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−、−ＳＯ₂−、−ＳＳ−、−ＳＯ−又は＞ＮＲ^１００を表し、Ｒ^９９及びＲ^１００は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、＊は結合手を表す。）

（上記式中、Ｒ^１０１は水素原子、置換基を有していてもよいフェニル基、又は炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基を表し、Ｒ^１０２は炭素原子数１〜１０のアルキル基、炭素原子数１〜１０のアルコキシ基、炭素原子数２〜１０のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基は置換基を有していてもよく、ｆは０〜５の整数であり、＊は結合手を表し、＊は結合手を表す。）

（式中、＊は結合手を表す。）

（上記式中、Ｒ^１０３及びＲ^１０４は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜１０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜２０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜２０のアリールオキシ基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜２０のアリールチオ基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜２０のアリールアルケニル基、置換基を有していてもよい炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基又はハロゲン原子を表し、該アルキル基及びアリールアルキル基中のメチレン基は不飽和結合、−Ｏ−又は−Ｓ−で中断されていてもよく、Ｒ^１０３は、隣接するＲ^１０３同士で環を形成していてもよく、ｂは０〜４の数を表し、ｃは０〜８の数を表し、ｇは０〜４の数を表し、ｈは０〜４の数を表し、ｇとｈの数の合計は２〜４である。）

（式中、ｋ＝２〜６であり、Ｘ^９は、ｋ＝２のとき上記一般式（２）で表される基であり、ｋ＝３のとき下記一般式（３）で表される基であり、ｋ＝４のとき下記一般式（４）で表される基であり、ｋ＝５のとき下記一般式（５）であり、ｋ＝６のとき下記一般式（６）であり、Ｒ^１１１、Ｒ^１１２、Ｒ^１１３及びＲ^１１４は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜４０のアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環含有基を表し、Ｒ^１１１、Ｒ^１１２、Ｒ^１１３及びＲ^１１４のうち少なくとも一つは水素原子でなく、環Ａ^１及びＲ^８６は、上記一般式（Ａ）と同じである。）

（上記一般式（２）中、Ｙ^１１は、三価の炭素原子数３〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数３〜３５の脂環族炭化水素基、炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基若しくは炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、Ｚ^１１、Ｚ^１２及びＺ^１３は、それぞれ独立に、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、＞ＣＯ、−ＣＯ−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−、−ＳＯ_２−、−ＳＳ−、−ＳＯ−、−ＮＲ^１２１−、−ＰＲ^１２１−又は置換基を有していてもよい炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、
Ｒ^１２１は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基中のメチレン基は、炭素一炭素二重結合、−Ｏ−、−ＣＯ−、−Ｏ−ＣＯ−、−ＣＯ−Ｏ−又は−ＳＯ_２−で置換される場合もある。）

（上記一般式（３）中、Ｙ^１２は、炭素原子、又は、四価の炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基若しくは炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基中のメチレン基は、−ＣＯＯ−、−Ｏ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨＣＯ−、−ＮＨ−又は−ＣＯＮＨ−で置換される場合もあり、Ｚ^１１〜Ｚ^１４は、それぞれ独立に、上記一般式（２）におけるＺ^１１〜Ｚ^１３で表される基と同じ範囲の基である。）

（上記一般式（４）中、Ｙ^１３は、五価の炭素原子数２〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜３０の芳香族炭化水素基又は炭素原子数２〜３０の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基は、−ＣＯＯ−、−Ｏ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨＣＯ−、−ＮＨ−又は−ＣＯＮＨ−で中断されていてもよく、Ｚ^１１〜Ｚ^１５は、それぞれ独立に、上記一般式（２）におけるＺ^１１〜Ｚ^１３で表される基と同じ範囲の基である。）

（上記一般式（５）中、Ｙ^１４は、六価の炭素原子数２〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基又は炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基は、−ＣＯＯ−、−Ｏ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨＣＯ−、−ＮＨ−又は−ＣＯＮＨ−で中断されていてもよく、Ｚ¹¹〜Ｚ¹⁶は、それぞれ独立に、上記一般式（２）におけるＺ^１１〜Ｚ^１３で表される基と同じ範囲の基である。）

上記有機重合体［エチレン性不飽和化合物（Ｂ）を除く］を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレート共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸、スチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、（メタ）アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレン−ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２、ウレタン樹脂、ポリカーボネートポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられ、これらの中でも、ポリスチレン、（メタ）アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エポキシ樹脂が好ましい。
有機重合体を使用する場合、その使用量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物１００質量部に対して、好ましくは１０〜５００質量部である。

上記連鎖移動剤又は上記増感剤としては、一般的に硫黄原子含有化合物が用いられる。例えばチオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、２−メルカプトプロピオン酸、３−メルカプトプロピオン酸、３−メルカプト酪酸、Ｎ−（２−メルカプトプロピオニル）グリシン、２−メルカプトニコチン酸、３−［Ｎ−（２−メルカプトエチル）カルバモイル］プロピオン酸、３−［Ｎ−（２−メルカプトエチル）アミノ］プロピオン酸、Ｎ−（３−メルカプトプロピオニル）アラニン、２−メルカプトエタンスルホン酸、３−メルカプトプロパンスルホン酸、４−メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル（４−メチルチオ）フェニルエーテル、２−メルカプトエタノール、３−メルカプト−１，２−プロパンジオール、１−メルカプト−２−プロパノール、３−メルカプト−２−ブタノール、メルカプトフェノール、２−メルカプトエチルアミン、２−メルカプトイミダゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−３−ピリジノール、２−メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、２−ヨードエタノール、２−ヨードエタンスルホン酸、３−ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトイソブチレート）、ブタンジオールビス（３−メルカプトイソブチレート）、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、下記化合物Ｎｏ．Ｃ１、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート等の脂肪族多官能チオール化合物、昭和電工社製カレンズＭＴ ＢＤ１、ＰＥ１、ＮＲ１等が挙げられる。

上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素系界面活性剤；高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤；高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤；ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤；両性界面活性剤；シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。

上記シランカップリング剤としては、例えば信越化学社製シランカップリング剤を用いることができ、その中でも、ＫＢＥ−９００７、ＫＢＭ−５１０３、ＫＢＭ−５０２、ＫＢＥ−４０３等の、イソシアネート基、アクリロイル基、メタクリロイル基又はエポキシ基を有するシランカップリング剤が好適に用いられる。

上記メラミン化合物としては、（ポリ）メチロールメラミン、（ポリ）メチロールグリコールウリル、（ポリ）メチロールベンゾグアナミン、（ポリ）メチロールウレア等の窒素化合物中の活性メチロール基（ＣＨ₂ＯＨ基）の全部又は一部（少なくとも２つ）がアルキルエーテル化された化合物等を挙げることができる。
ここで、アルキルエーテルを構成するアルキル基としては、メチル基、エチル基又はブチル基が挙げられ、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、アルキルエーテル化されていないメチロール基は、一分子内で自己縮合していてもよく、二分子間で縮合して、その結果オリゴマー成分が形成されていてもよい。
具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラブトキシメチルグリコールウリル等を用いることができる。これらの中でも、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン等のアルキルエーテル化されたメラミンが好ましい。

上記レベリング剤としては、レベリング効果があれば、既存のレベリング剤を使用することができるが、その中でもシリコーン系レベリング剤及びフッ素系レベリング剤を特に好ましく使用することができる。

上記シリコーン系レベリング剤としては、市販のシリコーン系レベリング剤を使用でき、例えば、ＢＹＫ−３００、ＢＹＫ−３０６、ＢＹＫ−３０７、ＢＹＫ−３１０、ＢＹＫ−３１５、ＢＹＫ−３１３、ＢＹＫ−３２０、ＢＹＫ−３２２、ＢＹＫ−３２３、ＢＹＫ−３２５、ＢＹＫ−３３０、ＢＹＫ−３３１、ＢＹＫ−３３３、ＢＹＫ−３３７、ＢＹＫ−３４１、ＢＹＫ−３４４、ＢＹＫ−３４７、ＢＹＫ−３４８、ＢＹＫ−３４９、ＢＹＫ−３７０、ＢＹＫ−３７５、ＢＹＫ−３７７、ＢＹＫ−３７８、ＢＹＫ−ＵＶ３５００、ＢＹＫ−ＵＶ３５１０、ＢＹＫ−ＵＶ３５７０、ＢＹＫ−３５５０、ＢＹＫ−ＳＩＬＣＬＥＡＮ３７００、ＢＹＫ−ＳＩＬＣＬＥＡＮ３７２０（以上、ビックケミー・ジャパン社製）；ＡＣＦＳ１８０、ＡＣＦＳ３６０、ＡＣ Ｓ２０（以上、Ａｌｇｉｎ Ｃｈｅｍｉｅ製）；ポリフローＫＬ−４００Ｘ、ポリフローＫＬ−４００ＨＦ、ポリフローＫＬ−４０１、ポリフローＫＬ−４０２、ポリフローＫＬ−４０３、ポリフローＫＬ−４０４（以上、共栄社化学製）；ＫＰ−３２３、ＫＰ−３２６、ＫＰ−３４１、ＫＰ−１０４、ＫＰ−１１０、ＫＰ−１１２（以上、信越化学工業製）；ＬＰ−７００１、ＬＰ−７００２、８０３２ＡＤＤＩＴＩＶＥ、５７ＡＤＤＩＴＩＶＥ、Ｌ−７６０４、ＦＺ−２１１０、ＦＺ−２１０５、６７ＡＤＤＩＴＩＶＥ、８６１８ＡＤＤＩＴＩＶＥ、３ＡＤＤＩＴＩＶＥ、５６ＡＤＤＩＴＩＶＥ（以上、東レ・ダウコーニング製）等の市販品を使用することができる。

上記フッ素系レベリング剤としては、市販のフッ素系レベリング剤を使用でき、例えば、オプツールＤＳＸ、オプツールＤＡＣ−ＨＰ（以上、ダイキン工業製）；サーフロンＳ−２４２、サーフロンＳ−２４３、サーフロンＳ−４２０、サーフロンＳ−６１１、サーフロンＳ−６５１、サーフロンＳ−３８６（以上、ＡＧＣセイミケミカル製）；ＢＹＫ−３４０（ビックケミー・ジャパン社製）；ＡＣ１１０ａ、ＡＣ１００ａ（以上、ＡｌｇｉｎＣｈｅｍｉｅ製）；メガファックＦ−１１４、メガファックＦ−４１０、メガファックＦ−４４４、メガファックＥＸＰＴＰ−２０６６、メガファックＦ−４３０、メガファックＦ−４７２ＳＦ、メガファックＦ−４７７、メガファックＦ−５５２、メガファックＦ−５５３、メガファックＦ−５５４、メガファックＦ−５５５、メガファックＲ−９４、メガファックＲＳ−７２−Ｋ、メガファックＲＳ−７５、メガファックＦ−５５６、メガファックＥＸＰＴＦ−１３６７、メガファックＥＸＰＴＦ−１４３７、メガファックＦ−５５８、メガファックＥＸＰＴＦ−１５３７（以上、ＤＩＣ製）；ＦＣ−４４３０、ＦＣ−４４３２（以上、住友スリーエム製）；フタージェント１００、フタージェント１００Ｃ、フタージェント１１０、フタージェント１５０、フタージェント１５０ＣＨ、フタージェントＡ−Ｋ、フタージェント５０１、フタージェント２５０、フタージェント２５１、フタージェント２２２Ｆ、フタージェント２０８Ｇ、フタージェント３００、フタージェント３１０、フタージェント４００ＳＷ（以上、ネオス製）；ＰＦ−１３６Ａ、ＰＦ−１５６Ａ、ＰＦ−１５１Ｎ、ＰＦ−６３６、ＰＦ−６３２０、ＰＦ−６５６、ＰＦ−６５２０、ＰＦ−６５１、ＰＦ−６５２、ＰＦ−３３２０（以上、北村化学産業製）等の市販品を使用することができる。

本発明の感光性組成物において、重合開始剤（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、着色剤（Ｃ）、アルカリ現像性化合物（Ｄ）、溶剤、無機化合物、有機重合体を除く任意成分の使用量は、その使用目的に応じて適宜選択され特に制限されないが、好ましくは、上記エチレン性不飽和化合物（Ｂ）１００質量部に対して合計で５０質量部以下とする。

本発明の感光性組成物、アルカリ現像性感光性樹脂組成物又は硬化物は、光硬化性塗料又はワニス；光硬化性接着剤；プリント基板；表示装置（カラーテレビ、ＰＣモニタ、携帯情報端末、デジタルカメラ等）のカラー表示の液晶表示素子におけるカラーフィルタ；ＣＣＤイメージセンサのカラーフィルタ；プラズマ表示パネル用の電極材料；粉末コーティング；印刷インク；印刷版；接着剤；歯科用組成物；ゲルコート；電子工学用のフォトレジスト；電気メッキレジスト；エッチングレジスト；ドライフィルム；はんだレジスト；種々の表示装置の構造を形成するためのレジスト；電気及び電子部品を封入するための組成物；ソルダーレジスト；磁気記録材料；微小機械部品；導波路；光スイッチ；メッキ用マスク；エッチングマスク；カラー試験系；ガラス繊維ケーブルコーティング；スクリーン印刷用ステンシル；ステレオリトグラフィによって三次元物体を製造するための材料；ホログラフィ記録用材料；画像記録材料；微細電子回路；脱色材料；画像記録材料のための脱色材料；マイクロカプセルを使用する画像記録材料用の脱色材料；印刷配線板用フォトレジスト材料；ＵＶ及び可視レーザー直接画像系用のフォトレジスト材料；プリント回路基板の逐次積層における誘電体層形成に使用するフォトレジスト材料又は保護膜等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。

本発明の感光性組成物又は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、液晶表示パネル用のスペーサーを形成する目的及び垂直配向型液晶表示素子用突起を形成する目的で使用することもできる。特に垂直配向型液晶表示素子用の突起とスペーサーを同時に形成するための感光性組成物として有用である。

本発明の感光性組成物又はアルカリ現像性感光性樹脂組成物の硬化方法について下記に詳細に説明する。

本発明の感光性組成物又はアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、ソーダガラス、石英ガラス、半導体基板、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用することができる。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。

また、本発明の感光性組成物アルカリ現像性感光性樹脂組成物を硬化させる際に用いられるエネルギー線の光源としては、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、キセノンアーク灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、蛍光灯、タングステンランプ、エキシマーランプ、殺菌灯、発光ダイオード、ＣＲＴ光源等から得られる２０００オングストロームから７０００オングストロームの波長を有する電磁波エネルギーや電子線、Ｘ線、放射線等の高エネルギー線を利用することができるが、好ましくは、波長３００〜４５０ｎｍの光を発光する超高圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、カーボンアーク灯、キセノンアーク灯等が挙げられる。

更に、露光光源にレーザー光を用いることにより、マスクを用いずに、コンピューター等のデジタル情報から直接画像を形成するレーザー直接描画法が、生産性のみならず、解像性や位置精度等の向上も図れることから有用であり、そのレーザー光としては、３４０〜４３０ｎｍの波長の光が好適に使用されるが、エキシマーレーザー、窒素レーザー、アルゴンイオンレーザー、ヘリウムカドミウムレーザー、ヘリウムネオンレーザー、クリプトンイオンレーザー、各種半導体レーザー及びＹＡＧレーザー等の可視から赤外領域の光を発するものも用いられる。これらのレーザーを使用する場合には、可視から赤外の当該領域を吸収する増感色素が加えられる。

上記の液晶表示パネル用スペーサーは、（１）本発明の感光性組成物の塗膜を基板上に形成する工程、（２）該塗膜に所定のパターン形状を有するマスクを介して放射線を照射する工程、（３）露光後のベーク工程、（４）露光後の該被膜を現像する工程、（５）現像後の該被膜を加熱する工程により好ましく形成される。

撥インク剤を添加した本発明の感光性組成物は、インクジェット方式用隔壁形成樹脂組成物として有用であり、該組成物はカラーフィルタ用として用いられ、特にプロファイル角が５０°以上であるインクジェット方式カラーフィルタ用隔壁に好ましく用いられる。該撥インク剤としては、フッ素系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤からなる組成物が好適に用いられる。

本発明の感光性組成物から形成された隔壁が被転写体上を区画し、区画された被転写体上の凹部にインクジェット法により液滴を付与して画像領域を形成する方法により光学素子が製造される。この際、上記液滴が着色剤を含有し、上記画像領域が着色されているのが好ましく、基板上に複数の着色領域からなる画素群と上記画素群の各着色領域を離隔する隔壁を少なくとも有し、上記の光学素子の製造方法により作製された光学素子が好ましく用いられる。

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。

〔実施例１−１〜１−３〕化合物Ｎｏ．１の製造

［実施例１−１］中間体１Ａ（ケトン化合物）の製造
四つ口フラスコにトリフェニルアミン（３．３ｇ）、ジクロロエタン（１５ｇ）を仕込んだ後、氷冷下塩化アルミニウム（５．８ｇ）、塩化アセチル（３．３ｇ）を加えた。室温で３時間撹拌後、氷冷した５％希塩酸に反応溶液をあけ撹拌し油水分離した。有機層を５％ＨＣｌ水溶液で２回洗浄し、更に４回水洗した。製品層を脱溶媒後、シリカゲルカラム（ヘキサン／酢酸エチル＝６５／３５）により精製を行い、中間体１Ａを得た（２．６ｇ：収率５２％）。

［実施例１−２］中間体１Ｂ（オキシム化合物）の製造
四つ口フラスコに中間体１Ａ（２．６ｇ）、エタノール（２４ｇ）、水（１２ｇ）、塩酸ヒドロキシルアミン（１．６ｇ）を仕込み、１０時間加熱還流した。室温まで冷却後、析出物をろ取し、十分に乾燥させ、中間体１Ｂを得た（２．８ｇ：収率９６％）。

［実施例１−３］化合物Ｎｏ．１（本発明のオキシムエステル化合物）の製造
四つ口フラスコに中間体１Ｂ（２．１ｇ）、ジメチルフォルムアミド（１５ｇ）を仕込んだ後、氷冷下トリエチルアミン（１．７ｇ）、塩化アセチル（１．３ｇ）を仕込んだ。室温で２時間撹拌後、イオン交換水（１５ｇ）、酢酸エチル（３０ｇ）を仕込み油水分離した。有機層を３回水洗し、脱溶媒後、シリカゲルカラム（ヘキサン／酢酸エチル＝５０／５０）により精製を行い、化合物Ｎｏ．１を得た（１．４ｇ：収率５０％）得られた化合物Ｎｏ．１のＮＭＲデータを［表１］に示す。

〔実施例２−１〜２−３〕化合物Ｎｏ．２の製造

［実施例２−１］中間体２Ａ（ケトン化合物）の製造
四つ口フラスコにトリフェニルアミン（５．９ｇ）、ジクロロエタン（４０ｇ）を仕込んだ後、氷冷下塩化アルミニウム（１０．５ｇ）、プロピオニルクロリド（７．１ｇ）を加えた。室温で５時間撹拌後、氷冷した５％希塩酸に反応溶液をあけ撹拌し油水分離した。有機層を５％ＨＣｌ水溶液で２回洗浄し、更に４回水洗した。製品層を脱溶媒後、シリカゲルカラム（ヘキサン／酢酸エチル＝８０／２０）により精製を行い、中間体２Ａを得た（３．９ｇ：収率３９％）。

［実施例２−２］中間体２Ｂ（オキシム化合物）の製造
四つ口フラスコに中間体２Ａ（３．９ｇ）、ジメチルフォルムアミド（２４ｇ）を秤量し、氷冷下、３５％塩酸（３．９ｇ）、亜硝酸イソブチル（３．９ｇ）を滴下し、室温で２０時間撹拌した。イオン交換水（２４ｇ）、酢酸エチル（４８ｇ）を加え、油水分離し、有機層を３回水洗した。有機層を脱溶媒後、中間体ＮＣＩｘ１７５−ｂを得た（４．５ｇ：収率９６％）。

［実施例２−３］化合物Ｎｏ．２（本発明のオキシムエステル化合物）の製造四つ口ナスフラスコに中間体２Ｂ（４．５ｇ）、テトラヒドロフラン（２３ｇ）を仕込み、氷冷下、トリエチルアミン（３．０ｇ）、塩化アセチル（２．２ｇ）を順に滴下し、室温で２時間撹拌した。イオン交換水（１７ｇ）、酢酸エチル（４６ｇ）を添加後油水分離し、有機層を５回水洗した。有機層を脱溶媒後、シリカゲルカラム（ヘキサン／酢酸エチル＝５０：５０）により精製を行い、化合物Ｎｏ．２を得た（２．７ｇ：収率４８％）。得られた化合物Ｎｏ．２のＮＭＲデータを［表１］に示す。

〔実施例３−１〜３−４〕化合物Ｎｏ．１３３の製造

［実施例３−１］中間体１３３Ａの製造
四つ口フラスコにフロロベンゼン（２７．７ｇ）、ジクロロエタン（１９２ｇ）を仕込んだ後、氷冷下塩化アルミニウム（４０．４ｇ）、ｎ−オクタノイルクロリド（４６．８ｇ）を順に仕込んだ。室温で１時間反応を行った後、氷冷した５％希塩酸に反応溶液をあけ撹拌し油水分離した。有機層を５％希塩酸で２回、イオン交換水で３回洗浄後、脱溶媒し中間体１３３Ａを得た（５０．０ｇ：収率７８％）

［実施例３−２］中間体１３３Ｂ（窒素含有化合物）の製造
四つ口フラスコにカルバゾール（２０．０ｇ）、中間体１３３Ａ（２９．３ｇ）、炭酸カリウム（２４．８ｇ）、ジメチルスルホキシド（１３３ｇ）を仕込み、１６０℃で６時間反応させた。イオン交換水（１７３ｇ）を添加し、ジクロロエタン（１６３ｇ）で抽出を行った。有機層を３回水洗後脱溶媒し中間体１３３Ｂを得た（４１．２ｇ：収率９３％）。

［実施例３−３］中間体１３３Ｃ（ケトン化合物）の製造
四つ口フラスコに中間体１３３Ｂ（４１．２ｇ）、ジクロロエタン（２０９ｇ）を仕込んだ後、氷冷下塩化アルミニウム（４９．１ｇ）、ｎ−オクタノイルクロリド（３９．９ｇ）を順に仕込んだ。同温で４時間反応を行った後、氷冷した５％希塩酸に反応溶液をあけ撹拌を行い油水分離した。有機層を５％希塩酸で２回、イオン交換水で３回洗浄後、脱溶媒し中間体１３３Ｃを得た（５０．５ｇ：７３％）

［実施例３−４］化合物Ｎｏ．１３３（オキシムエステル化合物）の製造
四つ口フラスコに中間体１３３Ｃ（１０．０ｇ）、ジメチルホルムアミド（５０ｇ）、塩酸ヒドロキシルアミン（３．７ｇ）、ピリジン（４．２ｇ）を加え、８０℃で１０時間撹拌した。氷冷で冷却後、トリエチルアミン（５．４ｇ）、塩化アセチル（４．２ｇ）の順で滴下し、室温で５時間撹拌した。イオン交換水（５０ｇ）を添加し、酢酸エチル（１００ｇ）で抽出を行った。有機層を３回水洗後、脱溶媒し、シリカゲルカラム（酢酸エチル／ヘキサン＝１／４）により精製し、化合物Ｎｏ．１３３を得た（２．３ｇ：収率１８％）。得られた化合物Ｎｏ．１３３のＮＭＲデータを［表１］に示す。

〔実施例４−１〜４−２〕化合物Ｎｏ．１３４の製造

［実施例４−１］中間体１３４Ａ（オキシム化合物）の製造
四つ口フラスコに中間体１３３Ｃ（１０．０ｇ）、ＤＭＦ（１０．０ｇ）を秤量し、氷冷下、３５％塩酸（６．７０ｇ）、亜硝酸イソブチル（６．６３ｇ）を滴下し、室温で２０時間撹拌した。イオン交換水（２２．８ｇ）、酢酸エチル（３４．２ｇ）を加え、油水分離し、有機層を３回水洗した。有機層を脱溶媒後、シリカゲルカラム（酢酸エチル／ヘキサン＝１／４）により精製を行い、中間体１３４Ａを得た（２．８ｇ：収率２５％）。

［実施例４−２］化合物Ｎｏ．１３４（オキシムエステル化合物）の製造
四つ口ナスフラスコに中間体１３４Ａ（２．７ｇ）、酢酸エチル（１０ｇ）を仕込んだ。氷冷下、トリエチルアミン（１．３ｇ）、塩化アセチル（１．０ｇ）を順に滴下し、室温まで昇温し後、３時間撹拌した。イオン交換水（１２ｇ）を添加後油水分離し、有機層を５回水洗した。有機層を脱溶媒後、シリカゲルカラム（ヘキサン／酢酸エチル＝８５：１５）により精製を行い、化合物Ｎｏ．１３４を得た（０．８９ｇ：収率２７％）。
得られた化合物Ｎｏ．１３４のＮＭＲデータを［表１］に示す。

［製造例１］ブルー顔料分散液Ｎｏ．１の製造
分散剤としてＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６１（１２．５質量部；ビックケミー・ジャパン社製）及び着色剤としてピグメントブルー１５：６（１５質量部）を、ＰＧＭＥＡ（７２．５質量部）に、ビーズミルを使用して分散させてブルー顔料分散液を製造した。

［実施例５〜７及び比較例１〜２］感光性組成物の調製
［表２］及び［表３］の配合に従って各成分を調製し、感光性組成物Ｎｏ．１〜３及び比較感光性組成物Ｎｏ．１〜２を得た。尚、表中の数字は質量部を表す。光重合開始剤として化合物Ｎｏ．２、Ｎｏ．１３３、Ｎｏ．１３４、Ｎｏ．Ａ２−３、及びＮｏ．Ａ２−１１を単独で使用した。
また、表中の符号は、下記の成分を表す。
Ａ−１ 化合物Ｎｏ．２
Ａ−２ 化合物Ｎｏ．１３３
Ａ−３ 化合物Ｎｏ．１３４
Ａ´−４ 化合物Ｎｏ．Ａ２−３
Ａ´−５ 化合物Ｎｏ．Ａ２−１１
Ｂ−１ ＳＰＣ−３０００^＊ （酸基を有するエチレン性不飽和化合物、
固形分４２ｗｔ％ＰＧＭＥＡ溶液；昭和電工製）
Ｂ−２ カヤラッドＤＰＨＡ
（エチレン性不飽和化合物；日本化薬製）
Ｃ−１ ブルー顔料分散液Ｎｏ．１ （着色剤ＰＧＭＥＡ分散液）
Ｄ−１ ＫＢＥ−４０３ （シランカップリング剤；信越化学製）
Ｄ−２ Ｆ−５５４ （含フッ素基・親油性基含有オリゴマー；ＤＩＣ製）
Ｅ−１ ＰＧＭＥＡ （溶剤）
^＊ＳＰＣ−３０００は、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）であり、且つアルカリ現像性化合物（Ｄ）でもある。

［感光性組成物より得られる硬化物の評価］
上記感光性組成物Ｎｏ．１〜３及び比較感光性組成物Ｎｏ．１〜２から得られる硬化物において輝度の評価を下記の手順で行った。結果を［表４］に併記する。

（輝度）
ガラス基板上に上記感光性組成物Ｎｏ．１〜３及び比較感光性組成物Ｎｏ．１〜２をスピンコート（５００ｒｐｍ、２秒間、９００ｒｐｍ、５秒間）し、ホットプレートを用いて、９０℃で９０秒間プリベークを行った後、２３℃で４０秒間冷却した。その後、高圧水銀ランプを用いて１００ｍＪ／ｃｍ^２を照射し評価サンプルを作成した。得られたサンプルの３８０〜７８０ｎｍにおける透過率からＪＩＳ Ｚ８７０１に準拠してＹ値を求めた。Ｙ値が９．５以上のものをＡとし、Ｙ値が９．５未満のものをＢとした。ＢＹ値が高いほど輝度が高いことを意味し、有用である。輝度の評価がＡのものはカラーフィルタに好ましく用いることができ、評価がＢのものはカラーフィルタとして適さない。

［感光性組成物の評価］
上記輝度の評価において評価がＡの感光性組成物Ｎｏ．１、３及び比較感光性組成物Ｎｏ．１の感度評価を下記の手順で行った。結果を［表５］に併記する。

（感度）
ガラス基板上に上記感光性組成物Ｎｏ．１〜３及び比較感光性組成物Ｎｏ．１〜２をスピンコート（５００ｒｐｍ、２秒間、９００ｒｐｍ、５秒間）し、ホットプレートを用いて、９０℃で９０秒間プリベークを行った後、２３℃で４０秒間冷却した。その後、高圧水銀ランプを用いてマスクを介して露光した。現像液として２．５質量％＜炭酸ナトリウム水溶液を用い現像後、よく水洗し、オーブンを用いて、２３０℃で３０分ポストベークを行い、パターンを定着させた。４０ｍＪ／ｃｍ^２の露光量に対するパターンを電子顕微鏡で観察し、マスク開口３０μｍの線幅を測定した。線幅が３５μｍ以上のものをＡ、２５μｍ以上のものをＢ、２５μｍ未満のものをＣとした。線幅が大きいほど感度が良好である。感度の評価がＡ及びＢの感光性組成物は、カラーフィルタ用途として使用することができ、感度の評価がＡの感光性組成物は特に好ましい。感度の評価がＣの感光性組成物は、カラーフィルタ用途として適さない。

上記〔表３〕〜〔表５〕より、本発明のオキシムエステル化合物は、感度が高く、本発明の硬化物は輝度が高いことは明らかである。

よって、本発明のオキシムエステル化合物は、フォトリトグラフィ性に優れ、得られる硬化物の輝度に優れるため、光重合開始剤として有用なものである。

本発明のオキシムエステル化合物は、高感度でかつ耐熱性（低昇華性）に優れた光重合開始剤として有用な新規な化合物であり、特に光重合開始剤として有用である。とりわけ、該光重合開始剤を含有する感光性組成物によって、輝度の高いカラーフィルタ及び該カラーフィルタを含有する表示装置を提供することができるため、本発明のオキシムエステル化合物は有用である。

Claims (9)

1. 下記一般式（I）で表されるオキシムエステル化合物。
   

   

   
   
   （式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、及びＲ^１３は、それぞれ独立に、下記一般式（II）で表される基、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、Ｒ^２１、ＯＲ^２１、ＳＲ^２１、ＮＲ^２２Ｒ^２３、ＣＯＲ^２１、ＳＯＲ^２１、ＳＯ_２Ｒ^２１又はＣＯＮＲ^２２Ｒ^２３を表し、
   Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、及びＲ^１３のうち、少なくとも三つが下記一般式（II）で表される基であり、
   Ｒ^２１、Ｒ^２２及びＲ^２３は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜２０の炭化水素基又は炭素原子数２〜２０の複素環含有基を表し、
   Ｒ^２１、Ｒ^２２及びＲ^２３で表される基中の水素原子は、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、アミノ基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、ビニルエーテル基、メルカプト基、イソシアネート基又は炭素原子数２〜２０複素環含有基で置換される場合があり、
   Ｒ^２１、Ｒ^２２及びＲ^２３で表される基中のメチレン基は−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＲ^２４−、−ＮＲ^２４ＣＯ−、−Ｓ−、−ＣＳ−、−ＳＯ_２−、−ＳＣＯ−、−ＣＯＳ−、−ＯＣＳ−又はＣＳＯ−で置換される場合があり、
   Ｒ^２４は、水素原子、炭素原子数１〜２０の炭化水素基を表し、
   Ｘ^１は、不存在、直接結合、−ＣＯ−、−Ｏ−又は−Ｓ−を表す。）
   

   

   
   
   （式中、Ｒ^３１及びＲ^３２は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、炭素原子数１〜２０の炭化水素基又は炭素原子数２〜２０の複素環含有基を表し、
   Ｒ^３１及びＲ^３２で表される基中の水素原子はハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、アミノ基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、ビニルエーテル基、メルカプト基、イソシアネート基又は炭素原子数２〜２０複素環含有基で置換される場合があり、
   Ｒ^３１及びＲ^３２で表される基中のメチレン基は−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＲ^３３−、−ＮＲ^３３ＣＯ−、−Ｓ−、−ＣＳ−、−ＳＯ_２−、−ＳＣＯ−、−ＣＯＳ−、−ＯＣＳ−又はＣＳＯ−で置換される場合もあり、
   Ｒ^３３は、水素原子、炭素原子数１〜２０の炭化水素基を表し、
   ｎは０又は１を表し、＊は結合手を表す。）
2. 一般式（I）中のＲ^３、Ｒ^６及びＲ^１１の少なくとも一つが、一般式（II）で表される基である請求項１に記載のオキシムエステル化合物。
3. 請求項１又は２に記載のオキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤。
4. 請求項３に記載の光重合開始剤（Ａ）及びエチレン性不飽和化合物（Ｂ）を含有する感光性組成物。
5. 更に着色剤（Ｃ）を含有する請求項４に記載の感光性組成物。
6. 請求項４又は５に記載の感光性組成物とアルカリ現像性化合物（Ｄ）とを含有するアルカリ現像性感光性樹脂組成物。
7. 請求項４若しくは５に記載の感光性組成物又は請求項６に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物の硬化物。
8. 請求項７に記載の硬化物を含有する表示装置。
9. 請求項４若しくは５に記載の感光性組成物又は請求項６に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物を光照射又は加熱にて硬化させる工程を有する硬化物の製造方法。