JPWO2018179703A1 - マスク、マスクキット、製膜方法および製膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態のマスクの平面図である。図1に示すマスク100は、x方向に沿って複数の開口が設けられた長尺マスクである。マスク領域70では、開口11の外周縁に沿って非接着領域71が設けられている。
図3A〜Eは、図2のマスク100を用いて、被製膜基板1上にパターン状の薄膜111を形成する工程を示す概念図である。被製膜基板1は剛性基板でも可撓性基板でもよい。ロール・トゥ・ロール方式による連続的な製膜が可能であることから、可撓性基板が好ましい。被製膜基板1の表面には、事前に他の薄膜が設けられていてもよい。
図3A〜Eでは、事前に開口11が設けられたマスク基材30を被製膜基板1上に貼着して薄膜を製膜する例を示したが、マスクキットを用いて、被製膜基板1上で、マスク基材30に開口11を設けてマスクを形成してもよい。
上記のマスクまたはマスクキットを用いることにより、基板上にパターニングされた薄膜を形成できる。開口の形状の異なる複数のマスクを用いて、基板上へのマスクの付設(またはマスクキットを用いた基板上でのマスクの形成)、開口下に露出した基板への薄膜の形成、および基板上からのマスクの除去を繰り返し実施することにより、パターン形状の異なる複数の薄膜を備える多層膜を、基板上に形成できる。マスクの開口の外周縁に沿って非接着領域を設けることにより、多層膜を形成する場合でも、基板からマスクを剥離する際に、先に製膜された薄膜の基板からの剥離を抑制できる。
上記のマスクキットの応用により、1つのマスクキットを用いてパターン形状の異なる複数の薄膜を形成することもできる。図8は、多層パターニング用マスクキットの平面図である。図9は、図8のマスクキット108のA−A線における断面図である。
上記の様に、本発明のマスクおよびマスクキットは、各種のパターン形状を有する薄膜の形成に用いられる。薄膜の材料は特に限定されず、有機材料、無機材料、金属材料等が挙げられる。薄膜は導電性でも絶縁性でもよく、半導体でもよい。
100,104 マスク
105,107,108 マスクキット
30,40,530,540,830,840 マスク基材
50 支持基材
31,41,51 基材フィルム
32,42,52 粘着層
39 離型フィルム
35,735 被覆部材
11,12 開口
111,112 薄膜
70 マスク領域
71 外周非接着領域
511,811,812 開口形成部
311,312,371,412 切断線
Claims (14)
- 第一主面および第二主面を有し、被製膜基板上に形成する薄膜のパターン形状に対応した開口が設けられた可撓性のマスク基材を備えるマスクであって、
前記マスク基材は、被製膜基板との対向面である第一主面が、被製膜基板に対して接着性を有し、
前記マスク基材の第一主面において、前記開口の外周縁に沿って、前記被製膜基板に対する接着性を有していない外周非接着領域が設けられている、マスク。 - 前記マスク基材が可撓性樹脂フィルムからなる請求項1に記載のマスク。
- 前記マスク基材は、第一主面に粘着層が設けられている、請求項1または2に記載のマスク。
- 前記マスク基材は、第一主面の全面に粘着層が設けられており、
前記外周非接着領域は、前記粘着層に被覆部材が貼設されることにより、被製膜基板に対して非接着とされている、請求項3に記載のマスク。 - 前記マスク基材の第一主面に、離型フィルムが剥離可能に貼設されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載のマスク。
- 前記マスク基材の第二主面に、支持基材が剥離可能に貼設されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載のマスク。
- 被製膜基板上に形成する薄膜のパターン形状に対応した開口が設けられた可撓性のマスクを得るためのマスクキットであって、
第一主面および第二主面を有し、被製膜基板との対向面である第一主面が、被製膜基板に対して接着性を有する第一マスク基材;および
前記第一マスク基材の第二主面側に剥離可能に貼設された支持基材、を備え、
前記第一マスク基材は、被製膜基板上に形成する第一薄膜のパターン形状に対応する第一開口形成部の外周縁に沿って、厚み方向の全体に切断線が設けられており、
前記第一マスク基材の第一主面において、前記第一開口形成部、および前記第一開口形成部の外周縁に沿った領域に、前記被製膜基板に対する接着性を有していない非接着領域が設けられている、マスクキット。 - 前記第一マスク基材は、第一主面の全面に粘着層が設けられており、
前記第一開口形成部および前記第一開口形成部の外周縁に沿った領域は、前記粘着層に被覆部材が貼設されることにより、被製膜基板に対して非接着とされており、
前記被覆部材は、前記第一開口形成部の外周縁に沿って、厚み方向の全体に切断線が設けられている、請求項7に記載のマスクキット。 - 前記第一マスク基材と前記支持基材との間に、さらに第二マスク基材を備え、
前記第二マスク基材は、被製膜基板上に形成する第二薄膜のパターン形状に対応する第二開口形成部の外周縁に沿って、厚み方向の全体に切断線が設けられており、
前記第二開口形成部は、前記第一開口形成部の内部の領域であり、
前記第一マスク基材は、前記第一開口形成部の外周、および前記第二開口形成部の外周のそれぞれに沿って、厚み方向の全体に切断線が設けられている、請求項7または8に記載のマスクキット。 - 被製膜基板上に請求項1〜6のいずれか1項に記載のマスクを貼着し、前記開口下に露出した被製膜基板上に薄膜を形成した後、被製膜基板の表面から前記マスクを剥離除去する、製膜方法。
- 請求項7〜9のいずれか1項に記載のマスクキットの第一マスク基材の第一主面を、被製膜基板上に貼着し、
前記マスクキットの第二主面に貼設された支持基材とともに前記マスクキットに貼着された前記開口形成部のマスク基材を剥離して、マスク基材の開口下に被製膜基板を露出させ、
前記開口下に露出した被製膜基板上に薄膜を形成した後、被製膜基板の表面から前記マスク基材を剥離除去する、製膜方法。 - ロール・トゥ・ロール法により、前記基板を連続的に搬送しながら被製膜基板上への製膜が行われる、請求項11に記載の製膜方法。
- スパッタ法により薄膜が形成される、請求項11または12に記載の製膜方法。
- 請求項9に記載のマスクキットを用いて、パターン形状の異なる複数の薄膜を形成するための製膜装置であって、
巻出しロールから巻き出した被製膜基板を、複数の製膜部に順に導いて、被製膜基板上に多層薄膜を形成後に巻取りロールで薄膜付き基板を巻取るように構成されており、
巻出しロールから巻取りロールまでの搬送経路上において、1つの製膜部と他の製膜部との間に、被製膜基板上から前記マスク基材を剥離するための剥離手段が設けられている、製膜装置。
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