JPWO2018105611A1 - シンチレータアレイ、シンチレータアレイを製造する方法、放射線検出器、および放射線検査装置 - Google Patents
シンチレータアレイ、シンチレータアレイを製造する方法、放射線検出器、および放射線検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2018105611A1 JPWO2018105611A1 JP2018555014A JP2018555014A JPWO2018105611A1 JP WO2018105611 A1 JPWO2018105611 A1 JP WO2018105611A1 JP 2018555014 A JP2018555014 A JP 2018555014A JP 2018555014 A JP2018555014 A JP 2018555014A JP WO2018105611 A1 JPWO2018105611 A1 JP WO2018105611A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scintillator
- less
- rare earth
- scintillator array
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 86
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 91
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 55
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 42
- UAHZTKVCYHJBJQ-UHFFFAOYSA-N [P].S=O Chemical compound [P].S=O UAHZTKVCYHJBJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims abstract description 38
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 59
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 43
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 claims description 37
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 30
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 19
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 14
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 5
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 37
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 34
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 22
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 18
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 7
- -1 rare earth oxysulfide Chemical class 0.000 description 7
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 6
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 6
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003325 tomography Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000002591 computed tomography Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910001938 gadolinium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940075613 gadolinium oxide Drugs 0.000 description 1
- CMIHHWBVHJVIGI-UHFFFAOYSA-N gadolinium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Gd+3].[Gd+3] CMIHHWBVHJVIGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N lutetium atom Chemical compound [Lu] OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);praseodymium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Pr+3].[Pr+3] MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002467 phosphate group Chemical group [H]OP(=O)(O[H])O[*] 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003447 praseodymium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 230000006335 response to radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N sulfur monoxide Chemical compound S=O XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20187—Position of the scintillator with respect to the photodiode, e.g. photodiode surrounding the crystal, the crystal surrounding the photodiode, shape or size of the scintillator
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/02—Arrangements for diagnosis sequentially in different planes; Stereoscopic radiation diagnosis
- A61B6/03—Computed tomography [CT]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
- C09K11/08—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
- C09K11/77—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals
- C09K11/7766—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals containing two or more rare earth metals
- C09K11/7767—Chalcogenides
- C09K11/7769—Oxides
- C09K11/7771—Oxysulfides
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2002—Optical details, e.g. reflecting or diffusing layers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/202—Measuring radiation intensity with scintillation detectors the detector being a crystal
- G01T1/2023—Selection of materials
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K4/00—Conversion screens for the conversion of the spatial distribution of X-rays or particle radiation into visible images, e.g. fluoroscopic screens
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K4/00—Conversion screens for the conversion of the spatial distribution of X-rays or particle radiation into visible images, e.g. fluoroscopic screens
- G21K2004/06—Conversion screens for the conversion of the spatial distribution of X-rays or particle radiation into visible images, e.g. fluoroscopic screens with a phosphor layer
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Surgery (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Pulmonology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Abstract
Description
一般式:A2O2S:Pr…(1)
(式中、AはY、Gd、LaおよびLuからなる群より選ばれる少なくとも一つの希土類元素を表す)
で実質的に表される組成を有することが好ましい。
一般式:(Gd1−xA’x)2O2S:Pr…(2)
(式中、A’はY、La、およびLuからなる群より選ばれる少なくとも一つの元素を表し、xは0≦x≦0.1を満足する数である)
で実質的に表される組成を有することがより好ましい。
希土類酸硫化物蛍光体粉末をラバープレスにより成形し、この成形体を表1に示す条件で、HIP法、HP法、またはSPS法による焼結方法で焼結体を作製した。
Claims (15)
- 第1のシンチレータ素子と、
第2のシンチレータ素子と、
前記第1および第2のシンチレータ素子の間に設けられ、前記第1および第2のシンチレータ素子の間の幅が80μm以下である反射体と、を具備し、
前記第1および第2のシンチレータ素子のそれぞれは、希土類酸硫化物蛍光体を含有する多結晶体を備え、前記多結晶体が面積1mm以下×1mm以下の放射線入射面を有し、
前記多結晶体の結晶粒の平均結晶粒径は5μm以上30μm以下であり、前記平均結晶粒径が、走査型電子顕微鏡を用いて前記多結晶体を観察することにより得られる観察像上で測定される結晶粒の平均切片長により定義され、
前記多結晶体の表面に存在する欠陥の最大長さまたは最大直径は、40μm以下である、シンチレータアレイ。 - 前記多結晶体は直方体状であり、
前記放射線入射面の面積は0.5mm以下×0.5mm以下であり、
前記反射体の前記幅は50μm以下であり、
前記多結晶体の頂点の少なくとも一つを含む全ての辺に存在する前記欠陥の最大長さは、40μm以下であり、
前記シンチレータアレイの短辺方向の長さは20mm以上であり、
前記シンチレータアレイの長辺方向の長さは30mm以上であり、
前記シンチレータアレイの厚さは0.5mm以上である、請求項1に記載のシンチレータアレイ。 - 超音波探傷を用い、周波数200MHz、焦点距離2.9mm、走査ピッチ2.5μm、走査面サイズ1mm×1mm、サンプル厚さ1mm、および検出下限欠陥長さ3μmを含む測定条件下で前記多結晶体の内部を検査することにより測定される、前記走査面の面積に対する前記走査面に存在する欠陥の合計面積の割合は、10%以下である、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 前記欠陥は、空孔、傷、前記希土類酸硫化物蛍光体と異なる成分を含む異物、前記希土類酸硫化物蛍光体と同じ成分であり結晶構造が異なる異相、および前記希土類酸硫化物蛍光体と異なる成分を含む異相からなる群より選ばれる少なくとも一つを含む、請求項1に記載のシンチレータアレイ。
- 前記希土類酸硫化物蛍光体は、
一般式:A2O2S:Pr
(式中、AはY、Gd、La、およびLuからなる群より選ばれる少なくとも1つの元素である)または、
一般式:(Gd1−xA’x)2O2S:Pr
(式中、A’はY、La、およびLuからなる群より選ばれる少なくとも1つの元素であり、xは0≦x≦0.1を満足する数である)
により表される、請求項1に記載のシンチレータアレイ。 - 前記希土類酸硫化物蛍光体は、セリウム、ジルコニウム、およびリンからなる群より選ばれる少なくとも一つの元素を含む、請求項5に記載のシンチレータアレイ。
- 希土類酸硫化物蛍光体を含有する原料を成形して成形体を形成する工程と、
前記成形体を焼結して焼結体を形成する工程と、
前記焼結体を切断して第1のシンチレータ素子と第2のシンチレータ素子とを形成する工程と、
前記第1および第2のシンチレータ素子の間に幅80μm以下の反射体を挟んで前記第1および第2のシンチレータ素子を集積させる工程と、を具備し、
前記第1および第2のシンチレータ素子のそれぞれは、希土類酸硫化物蛍光体を含有する多結晶体を備え、前記多結晶体が面積1mm以下×1mm以下の放射線入射面を有し、
前記多結晶体の結晶粒の平均結晶粒径は5μm以上30μm以下であり、前記平均結晶粒径が、走査型電子顕微鏡を用いて前記多結晶体を観察することにより得られる観察像上で測定される結晶粒の平均切片長により定義され、
前記多結晶体の表面に存在する欠陥の最大長さまたは最大直径は、40μm以下である、
シンチレータアレイを製造する方法。 - 前記焼結体は、熱間静水圧加圧法を用い、1300℃以上1500℃以下の温度、0.1時間以上10時間以下の時間、および98MPa以上の圧力で前記成形体を焼結することにより形成される、請求項7に記載の方法。
- 前記希土類酸硫化物蛍光体の平均粒子径は0.05μm以上0.5μm以下であり、
前記焼結体は、ホットプレス法を用い、1350℃以上1650℃以下の温度、0.1時間以上10時間以下の時間、および30MPa以上の圧力で前記成形体を焼結することにより形成される、請求項7に記載の方法。 - 前記焼結体は、プラズマ放電焼結法を用い、1400℃以上の温度、0.1時間以上8時間以下の時間、および50MPa以上の圧力で前記成形体を焼結することにより形成される、請求項7に記載の方法。
- 前記焼結体は、マイクロ波加熱法またはミリ波加熱法を用い、1300℃以上の温度、および0.1時間以上8時間以下の時間で前記成形体を焼結することにより形成される、請求項7に記載の方法。
- 前記第1および第2のシンチレータ素子は、前記焼結体をスライスまたは溝切加工することにより形成される、請求項7に記載の方法。
- 前記焼結体は、厚さ100μm以下の切断刃を前記焼結体の径方向に超音波振動させながら切断される、請求項7に記載の方法。
- 請求項1に記載のシンチレータアレイと、
前記シンチレータアレイからの光を電気に変換する光電変換器と、を具備する放射線検出器。 - 検査対象に放射線を照射する放射線源と、
前記検査対象を透過する放射線を検出する、請求項14に記載の放射線検出器と、を具備する、放射線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021189342A JP7204862B2 (ja) | 2016-12-06 | 2021-11-22 | シンチレータアレイ、シンチレータアレイを製造する方法、放射線検出器、および放射線検査装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016236921 | 2016-12-06 | ||
JP2016236921 | 2016-12-06 | ||
PCT/JP2017/043646 WO2018105611A1 (ja) | 2016-12-06 | 2017-12-05 | シンチレータアレイ、シンチレータアレイを製造する方法、放射線検出器、および放射線検査装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021189342A Division JP7204862B2 (ja) | 2016-12-06 | 2021-11-22 | シンチレータアレイ、シンチレータアレイを製造する方法、放射線検出器、および放射線検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018105611A1 true JPWO2018105611A1 (ja) | 2019-10-31 |
Family
ID=62492083
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018555014A Pending JPWO2018105611A1 (ja) | 2016-12-06 | 2017-12-05 | シンチレータアレイ、シンチレータアレイを製造する方法、放射線検出器、および放射線検査装置 |
JP2021189342A Active JP7204862B2 (ja) | 2016-12-06 | 2021-11-22 | シンチレータアレイ、シンチレータアレイを製造する方法、放射線検出器、および放射線検査装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021189342A Active JP7204862B2 (ja) | 2016-12-06 | 2021-11-22 | シンチレータアレイ、シンチレータアレイを製造する方法、放射線検出器、および放射線検査装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10739474B2 (ja) |
EP (1) | EP3553792B1 (ja) |
JP (2) | JPWO2018105611A1 (ja) |
CN (1) | CN110050311A (ja) |
WO (1) | WO2018105611A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102634270B1 (ko) * | 2018-11-27 | 2024-02-06 | 한국전기연구원 | 저선량 및 고해상도 구강 방사선 디텍터 |
US11428825B2 (en) * | 2019-12-19 | 2022-08-30 | GE Precision Healthcare LLC | Methods and systems for uniform CT detector heat distribution |
JP7447037B2 (ja) * | 2021-03-05 | 2024-03-11 | 東芝エネルギーシステムズ株式会社 | 発光放射線遮蔽体および樹脂状遮蔽部の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004077098A1 (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X線検出器とそれを用いたx線検査装置 |
WO2016047139A1 (ja) * | 2014-09-25 | 2016-03-31 | 株式会社 東芝 | シンチレータ、シンチレータアレイ、放射線検出器、および放射線検査装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5241979B2 (ja) | 1973-05-31 | 1977-10-21 | ||
US4733088A (en) | 1985-09-02 | 1988-03-22 | Hitachi, Ltd. | Radiation detector |
JPS63113388A (ja) | 1986-04-30 | 1988-05-18 | Hitachi Metals Ltd | シンチレ−タ材料 |
US4914303A (en) * | 1987-03-11 | 1990-04-03 | Siemens Aktiengesellschaft | X-Ray intensifier foil |
JPH08271486A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-18 | Chubu Electric Power Co Inc | セラミックス接合体の検査方法 |
JP5241979B2 (ja) | 1999-07-16 | 2013-07-17 | 株式会社東芝 | セラミックシンチレータ材料とその製造方法、およびそれを用いた放射線検出器と放射線検査装置 |
US6504156B1 (en) * | 1999-07-16 | 2003-01-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ceramic scintillator material and manufacturing method thereof, and radiation detector therewith and radiation inspection apparatus therewith |
EP1666566B1 (en) * | 2003-09-24 | 2010-11-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ceramic scintillator, and radiation detector and radiographic examination apparatus using same |
CN101617023B (zh) * | 2007-02-02 | 2013-09-25 | 日立金属株式会社 | 荧光材料及采用该荧光材料的闪烁器和放射线检测器 |
WO2012004703A2 (en) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | METHOD FOR PRODUCING A SCINTILLATOR ARRAY WITH SILVER (Ag) BASED SPACERS |
JP5498908B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2014-05-21 | 株式会社東芝 | 固体シンチレータ用材料、固体シンチレータ、およびそれを用いた放射線検出器並びに放射線検査装置 |
JP6113662B2 (ja) * | 2011-12-01 | 2017-04-12 | 株式会社東芝 | シンチレータアレイとそれを用いたx線検出器およびx線検査装置 |
WO2013136804A1 (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-19 | 株式会社 東芝 | 固体シンチレータ、放射線検出器、および放射線検査装置 |
CN104798140A (zh) * | 2012-11-26 | 2015-07-22 | 东丽株式会社 | 闪烁体面板和闪烁体面板的制造方法 |
JP6419692B2 (ja) * | 2013-04-01 | 2018-11-07 | 株式会社東芝 | シンチレータアレイ、x線検出器、およびx線検査装置 |
CN105798466B (zh) * | 2014-12-29 | 2018-11-16 | 清华大学 | 陶瓷闪烁体阵列的加工方法 |
JP7179462B2 (ja) * | 2015-11-02 | 2022-11-29 | 株式会社東芝 | シンチレータ、シンチレータアレイ、放射線検出器、および放射線検査装置 |
-
2017
- 2017-12-05 CN CN201780075691.3A patent/CN110050311A/zh active Pending
- 2017-12-05 JP JP2018555014A patent/JPWO2018105611A1/ja active Pending
- 2017-12-05 WO PCT/JP2017/043646 patent/WO2018105611A1/ja unknown
- 2017-12-05 EP EP17877867.6A patent/EP3553792B1/en active Active
-
2019
- 2019-06-03 US US16/429,367 patent/US10739474B2/en active Active
-
2021
- 2021-11-22 JP JP2021189342A patent/JP7204862B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004077098A1 (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X線検出器とそれを用いたx線検査装置 |
WO2016047139A1 (ja) * | 2014-09-25 | 2016-03-31 | 株式会社 東芝 | シンチレータ、シンチレータアレイ、放射線検出器、および放射線検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022031767A (ja) | 2022-02-22 |
EP3553792A1 (en) | 2019-10-16 |
US20190302284A1 (en) | 2019-10-03 |
JP7204862B2 (ja) | 2023-01-16 |
EP3553792B1 (en) | 2021-11-17 |
US10739474B2 (en) | 2020-08-11 |
CN110050311A (zh) | 2019-07-23 |
EP3553792A4 (en) | 2020-06-03 |
WO2018105611A1 (ja) | 2018-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7204862B2 (ja) | シンチレータアレイ、シンチレータアレイを製造する方法、放射線検出器、および放射線検査装置 | |
JP6158167B2 (ja) | 固体シンチレータ、放射線検出器、および放射線検査装置 | |
JP6911178B2 (ja) | シンチレータ、シンチレータアレイ、放射線検出器、および放射線検査装置 | |
US6504156B1 (en) | Ceramic scintillator material and manufacturing method thereof, and radiation detector therewith and radiation inspection apparatus therewith | |
US20120145962A1 (en) | Solid state scintillator material, solid state scintillator, radiation detector, and radiation inspection apparatus | |
US10684377B2 (en) | Scintillator, scintillator array, radiation detector, and radiation inspection device | |
JP6103042B2 (ja) | 蛍光材料、シンチレータ、並びに放射線変換パネル | |
WO2017082337A1 (ja) | セラミックシンチレータアレイとその製造方法、放射線検出器、および放射線検査装置 | |
WO2017110850A1 (ja) | セラミックシンチレータアレイ、x線検出器、およびx線検査装置 | |
JP5241979B2 (ja) | セラミックシンチレータ材料とその製造方法、およびそれを用いた放射線検出器と放射線検査装置 | |
JP2008024739A (ja) | 酸化物蛍光体及び放射線検出器及びx線ct装置 | |
JP5212841B2 (ja) | 蛍光材料の製造方法 | |
JP2017015627A (ja) | シンチレータアレイとその製造方法、およびそれを用いた放射線検出器と放射線検査装置 | |
JP6948829B2 (ja) | シンチレータアレイ、並びにそれを用いた放射線検出器、並びに放射線検査装置、およびシンチレータアレイの製造方法 | |
JP5572049B2 (ja) | 固体シンチレータ用材料、固体シンチレータ、およびそれを用いた放射線検出器並びに放射線検査装置 | |
JP5218891B2 (ja) | 蛍光材料の製造方法 | |
JP2005095514A (ja) | 放射線検出器及びそれを用いたx線ct装置 | |
EP4083165B1 (en) | Scintillator and radiation detector | |
WO2021149670A1 (ja) | シンチレータおよび放射線検出器 | |
JP2021102715A (ja) | シンチレータおよび放射線検出器 | |
JP2021102716A (ja) | シンチレータおよび放射線検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190610 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210615 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210805 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210824 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211122 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20211122 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20211130 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20211207 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20211217 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20211221 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220726 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20221101 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20230131 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20230228 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20230228 |