JPWO2017122651A1 - ディスプレイ用スクリーン - Google Patents
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Abstract
本発明はスクリーンの分野に属する。本発明はマイクロレンズアレイを備える透過型のスクリーンを提供することを課題とする。本発明のスクリーン(20)はマイクロレンズアレイ(21)の配置された面の反対側の面に配置された開口アレイ(24)をさらに備える。開口アレイ(24)の遮光部(25)は金属膜である。本発明のスクリーンはディスプレイに用いることが出来る。
Description
本発明はディスプレイ用スクリーンに関し、特に透過型のスクリーンに関する。
特許文献1はヘッドアップディスプレイ(HUD)用の透過型のスクリーンを開示している。かかるスクリーンはレーザー光の入射側に位置するマイクロレンズアレイと、出射側に位置するアパーチャアレイとを備える(特許文献1の請求項1)。アパーチャアレイの遮光部はブラックレジストのような可視光を吸収する材料で形成されている(特許文献1の段落[0052])。
特許文献1のヘッドアップディスプレイでは、スクリーンに到達する外光を遮光部にて吸収することができる(同段落[0054])。このため、スクリーンでの外光反射を低減することで表示画像のコントラストを高めることができる(同段落[0056])。
上記アパーチャアレイの遮光部は外光を吸収する。したがって、遮光部は外光に対する集熱体として働く。このため遮光部の過熱によりスクリーン全体の過熱を招く可能性がある。
[1] マイクロレンズアレイを備える透過型のスクリーンであって、
前記マイクロレンズアレイの配置された面の反対側の面に配置された開口アレイをさらに備え、
前記開口アレイの遮光部は金属膜である、
スクリーン。
[2] 前記金属膜は蒸着膜である、
[1]に記載のスクリーン。
[3] 前記金属膜の外表面は鏡面を有する、
[1]又は[2]に記載のスクリーン。
[4] 前記金属膜の外表面は波長380nmから780nmの光の反射率が80%以上である、
[1]〜[3]のいずれかに記載のスクリーン。
[5] [1]〜[4]のいずれかに記載のスクリーンを備えるヘッドアップディスプレイであって、
前記マイクロレンズアレイ側から前記スクリーンに映像光が投射され、
前記開口アレイの開口部の内径は、前記開口部における断面上の映像光の拡がりの径と等しいか、又はこれより大きい、
ヘッドアップディスプレイ。
[6] [1]〜[4]のいずれかに記載のスクリーンを備えるヘッドアップディスプレイであって、
前記マイクロレンズアレイ側から前記スクリーンに投射される映像光の光軸に対して前記スクリーンが斜めになるように前記スクリーンが傾けてあり、
前記遮光部で反射した外光を吸収する吸光部をさらに備える、
ヘッドアップディスプレイ。
[7] マイクロレンズアレイと前記マイクロレンズアレイの反対側に配置された開口アレイとを備える透過型のスクリーンの製造方法であって、
片面にマイクロレンズアレイの形成された透明基材上に開口アレイを形成する際、
前記透明基材のマイクロレンズアレイの配置された面の反対側の面にネガティブレジストを塗布し、
前記マイクロレンズアレイ側から前記透明基材に向かって露光光を照射し、
前記露光光で前記ネガティブレジストを露光し、さらに現像することでレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンを形成した前記透明基材の面上に金属膜を形成し、
前記レジストパターンを除去することで前記金属膜からなる開口アレイを形成する、
スクリーンの製造方法。
[8] 前記マイクロレンズアレイの有するマイクロレンズに関する前記露光光の像点は前記マイクロレンズに対して、前記塗布されたネガティブレジストよりも手前にあり、
前記金属膜は蒸着により形成し、
前記レジストパターンはリフトオフにより除去する、
[7]に記載のスクリーンの製造方法。
[9] 前記蒸着において、前記透明基材の面に衝突する蒸気流の方向が、前記透明基材の面の法線方向を基準として傾斜していない、又は0°から20°傾斜している、
[8]に記載のスクリーンの製造方法。
[10] 前記マイクロレンズアレイの有するマイクロレンズに関する前記露光光の像点は前記マイクロレンズに対して、前記塗布されたネガティブレジストよりも遠くにあり、
前記金属膜は蒸着により形成し、
前記レジストパターンはリフトオフにより除去し、
前記蒸着において、前記透明基材の面に衝突する蒸気流の方向が、前記透明基材の面の法線方向を基準として20°から60°傾斜している、
[7]に記載のスクリーンの製造方法。
[11] [7]〜[10]のいずれかに記載の方法でスクリーンを作製し、
前記マイクロレンズアレイ側から前記スクリーンに映像光が投射されるように、前記スクリーンを配置するヘッドアップディスプレイの製造方法であって、
前記マイクロレンズアレイの有するマイクロレンズに関する前記露光光の像点距離と、前記映像光の像点距離とが等しくなるように、前記露光光及び前記映像光の少なくともいずれか一方を調整する、
ヘッドアップディスプレイの製造方法。
前記マイクロレンズアレイの配置された面の反対側の面に配置された開口アレイをさらに備え、
前記開口アレイの遮光部は金属膜である、
スクリーン。
[2] 前記金属膜は蒸着膜である、
[1]に記載のスクリーン。
[3] 前記金属膜の外表面は鏡面を有する、
[1]又は[2]に記載のスクリーン。
[4] 前記金属膜の外表面は波長380nmから780nmの光の反射率が80%以上である、
[1]〜[3]のいずれかに記載のスクリーン。
[5] [1]〜[4]のいずれかに記載のスクリーンを備えるヘッドアップディスプレイであって、
前記マイクロレンズアレイ側から前記スクリーンに映像光が投射され、
前記開口アレイの開口部の内径は、前記開口部における断面上の映像光の拡がりの径と等しいか、又はこれより大きい、
ヘッドアップディスプレイ。
[6] [1]〜[4]のいずれかに記載のスクリーンを備えるヘッドアップディスプレイであって、
前記マイクロレンズアレイ側から前記スクリーンに投射される映像光の光軸に対して前記スクリーンが斜めになるように前記スクリーンが傾けてあり、
前記遮光部で反射した外光を吸収する吸光部をさらに備える、
ヘッドアップディスプレイ。
[7] マイクロレンズアレイと前記マイクロレンズアレイの反対側に配置された開口アレイとを備える透過型のスクリーンの製造方法であって、
片面にマイクロレンズアレイの形成された透明基材上に開口アレイを形成する際、
前記透明基材のマイクロレンズアレイの配置された面の反対側の面にネガティブレジストを塗布し、
前記マイクロレンズアレイ側から前記透明基材に向かって露光光を照射し、
前記露光光で前記ネガティブレジストを露光し、さらに現像することでレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンを形成した前記透明基材の面上に金属膜を形成し、
前記レジストパターンを除去することで前記金属膜からなる開口アレイを形成する、
スクリーンの製造方法。
[8] 前記マイクロレンズアレイの有するマイクロレンズに関する前記露光光の像点は前記マイクロレンズに対して、前記塗布されたネガティブレジストよりも手前にあり、
前記金属膜は蒸着により形成し、
前記レジストパターンはリフトオフにより除去する、
[7]に記載のスクリーンの製造方法。
[9] 前記蒸着において、前記透明基材の面に衝突する蒸気流の方向が、前記透明基材の面の法線方向を基準として傾斜していない、又は0°から20°傾斜している、
[8]に記載のスクリーンの製造方法。
[10] 前記マイクロレンズアレイの有するマイクロレンズに関する前記露光光の像点は前記マイクロレンズに対して、前記塗布されたネガティブレジストよりも遠くにあり、
前記金属膜は蒸着により形成し、
前記レジストパターンはリフトオフにより除去し、
前記蒸着において、前記透明基材の面に衝突する蒸気流の方向が、前記透明基材の面の法線方向を基準として20°から60°傾斜している、
[7]に記載のスクリーンの製造方法。
[11] [7]〜[10]のいずれかに記載の方法でスクリーンを作製し、
前記マイクロレンズアレイ側から前記スクリーンに映像光が投射されるように、前記スクリーンを配置するヘッドアップディスプレイの製造方法であって、
前記マイクロレンズアレイの有するマイクロレンズに関する前記露光光の像点距離と、前記映像光の像点距離とが等しくなるように、前記露光光及び前記映像光の少なくともいずれか一方を調整する、
ヘッドアップディスプレイの製造方法。
本発明により透過型のスクリーンの過熱を抑制することができる。
[スクリーン]
図1には透過型のスクリーン20の断面図が示されている。スクリーン20はマイクロレンズアレイ21及び開口アレイ24を備える。開口アレイ24はマイクロレンズアレイ21の配置された面の反対側の面に配置されている。マイクロレンズアレイ21及び開口アレイ24は樹脂製の透明基材28上に配置されている。
図1に示すスクリーン20は映像光31を透過させる。この際マイクロレンズアレイ21の有する個別のマイクロレンズ22は映像光31の拡散32を生じる。したがって、映像光31の光軸の向きが分散することで、スクリーン20は光学的スクリーンとして機能する。またマイクロレンズ22の設計により拡散32における拡散角を所望のものとすることができる。拡散角を拡散した映像光31の中心輝度の半値となる位置を全角で表したものとして定義してもよい。マイクロレンズ22はスクリーン20の外部方向、すなわち図中の下方に向かって張り出す凸面を有する。
図1に示す開口アレイ24は遮光部25及び開口部26を備える。したがって上述の通り拡散された映像光31は最終的に開口部26を経由してスクリーン20を通り過ぎる。言い換えれば遮光部25は映像光31が透過する部分以外にだけ設けられることが好ましい。
図1に示す開口部26の内径は、開口部26における映像光31の断面上の、映像光31の拡がりの径と等しいか、又はこれよりも大きいことが好ましい。例えばスクリーン20を備えるヘッドアップディスプレイにおいてそのように設計する。かかる態様により遮光部25の内表面29で反射される映像光31を減らすことができる。内表面29とは遮光部25の有する面であって透明基材28の頂面側に位置する面である。すなわち外表面27の反対側の面である。
図2は開口アレイ24の実例の一つを撮影して得た像である。撮影像に示すように開口アレイ24上には開口部26が格子状に並んでいる。開口部26は遮光部25に取り囲まれている。遮光部25は金属膜である。金属膜は蒸着、スパッタ及び電鋳のいずれかの手段で形成された膜であることが好ましい。金属膜は蒸着膜であることが好ましい。
図1に戻る。遮光部25を構成する金属膜の外表面27は鏡面を有することが好ましい。遮光部25において外表面27はマイクロレンズアレイ21から遠い側の表面である。外表面27において、波長380nmから780nmの光の反射率は、好ましくは80%以上、より好ましくは83%以上、さらに好ましくは87%以上である。
図1に示す外表面27の反射率は例えば、遮光部25と同様に作製した金属膜であって、開口部を有しないものに対して光を照射し、分光光度計でその反射光の明るさを測定した時の値から求められる。この測定において、入射光は外表面27の法線を基準として10度の角度で外表面27に入射することが好ましい。分光光度計として例えば日立ハイテクサイエンス製のU-4100を用いてもよい。
[ヘッドアップディスプレイ]
図3にはヘッドアップディスプレイの光学系30が示されている。かかるヘッドアップディスプレイはスクリーン20を備える。スクリーン20は光学系30の一部を構成している。
図3において実線で表される映像光31はマイクロレンズアレイ21側からスクリーン20に投射される。映像光31は例えばPGU(Picture Generation Unit)で生成される。映像光31はプロジェクション光学系によってスクリーン20に導かれる。
図3に示す映像光31はマイクロレンズアレイ21にて拡散される。映像光31はスクリーン20を透過する。映像光31はスクリーン20から拡散光として出射するとともに凹面鏡35で反射される。その後、映像光31はヘッドアップディスプレイを視る観測者に対して虚像の画像として提示される。
図3に示すように、スクリーン20はマイクロレンズアレイ21を備える。このためスクリーン20の拡散角、効率などをマイクロレンズアレイ21によって制御しやすい。またマイクロレンズアレイ21を利用することで、映像光31によって提示される画像を観測者が視認しやすい画角に調整することもできる。
ここでヘッドアップディスプレイを車両に搭載して、その車両を屋外に配置した場合を考える。この場合、図3に示す光学系30には外光34として太陽光が侵入することがある。図3において破線で表される外光34は凹面鏡35で反射される。そして反射後に外光34はスクリーン20に到達する場合がある。
図3に示すスクリーン20を映像光31の光軸に対して直角な面上に配置すると、映像光31とは逆方向から進入してきた外光34はスクリーン20で反射される。具体的にはマイクロレンズアレイ21又は開口アレイ24で反射される。この際、映像光31の光軸と外光34の光軸とが平行になるため、映像光31に外光34が混ざる可能性がある。
図3に示す映像光31に外光34が混ざることで、映像光31によって提示される画像が白化する。したがって、画像のコントラストが低下する。観測者、例えば車両のドライバーにとっては、画像の視認性が悪化するのみならず、画像中に眩しい部分が視認されるようになる。かかる問題は外光34が太陽光である場合に限定されない。またヘッドアップディスプレイが車両に搭載された場合以外であっても同様の問題が生じる。
本実施形態では、図3に示すように開口部26から出射する映像光31の光軸と、遮光部25で反射する外光34の光軸とが平行にならないように、スクリーン20が傾けてある。マイクロレンズアレイ21側からスクリーン20に投射される映像光31の光軸に対してスクリーン20が斜めになるようにスクリーン20を傾ける。これにより、進入してきた外光34を映像光31の光軸とは別の方向に逃がすことが出来る。したがって、外光34は映像光31に混ざりにくいので画像の白化が抑制される。
図3に示すように本実施形態のヘッドアップディスプレイはさらに吸光部36を備える。吸光部36は遮光部25で反射した外光34が当たる。吸光部36には黒色塗装やアルマイト処理などが施されている。吸光部36は外光34を吸収する。このため外光34が光学系30において迷光となることは抑制される。
なお背景技術で説明したようにブラックレジストのような、ブラックマトリックスを遮光部25の代替として用いても画像のコントラストを高めることができる。しかしながら、図3に示す外光34は凹面鏡35でスクリーン上に集められるため、ブラックマトリックスで外光34のエネルギーを効率的に吸収してしまう。したがってスクリーンはブラックマトリクスとともに過熱しやすくなる。
ここでスクリーンが樹脂製の透明基材で構成されていれば、スクリーンの変形や発火を引き起こす可能性がある。このため、ヘッドアップディスプレイにおいて、スクリーンにはブラックマトリックスのような吸収型のコントラスト向上手段が適していない。かかる問題は外光34が太陽光である場合に限定されない。またヘッドアップディスプレイが車両に搭載された場合以外であっても同様の問題が生じる。
これに対して本実施形態では図3に示すように、スクリーン20に到達した外光34を吸光部36に逃がすことができる。これはスクリーン20に金属膜からなる遮光部25を設けてあるからである。遮光部25は、正反射により外光34を反射させる。このため遮光部25は過熱しにくいのでスクリーン20も過熱しにくい。
[マイクロレンズアレイの形成方法]
図1に示すマイクロレンズアレイ21は公知の方法に従いシートとして形成できる。マイクロレンズアレイシートの成形に使用する金型は、切削で形成してもよい。またフォトリソグラフィで鋳型を作り、かかる鋳型を元にして金型を形成してもよい。金型はレーザアブレーションにより作製してもよい。マイクロレンズアレイシートの成形に耐えうる金型であればどのような金型でも使うことが出来る。
図1に示すマイクロレンズアレイ21の成形では、射出成形、プレス成形、及び紫外線硬化による成形など、樹脂シートの成形に好適な手段が広く利用できる。また成形して得られたシートを透明基材28に貼り付けてもよい。また透明基材28上に配置した樹脂を成形してもよい。
[開口アレイの形成方法]
一方、開口アレイの形成では以下に留意する必要がある。すなわち図3に示すように開口アレイ24は外光34を遮るが、映像光31を遮らない。したがってマイクロレンズアレイ21におけるマイクロレンズ22の配置に基づき、透明基材28上に正確に開口アレイのパターンを形成する必要がある。
一方、開口アレイの形成では以下に留意する必要がある。すなわち図3に示すように開口アレイ24は外光34を遮るが、映像光31を遮らない。したがってマイクロレンズアレイ21におけるマイクロレンズ22の配置に基づき、透明基材28上に正確に開口アレイのパターンを形成する必要がある。
本実施形態ではパターン形成法としてセルフアライメント露光を用いることが好ましい。セルフアライメント露光では図1及び3に示すマイクロレンズアレイ21自身の集光機能を利用して、フォトレジストを露光する。セルフアライメント露光を用いる際には、不要な金属膜を選択的に除去することで、開口部26を形成するためにリフトオフ法を組み合わせることが好ましい。
図4−8を用いて、透明基材28上に開口アレイを形成する方法を説明する。図4はレジストの塗布の模式図である。透明基材28の片面、すなわち底面38にはマイクロレンズアレイ21が形成されている。レジスト41を透明基材28の頂面39に塗布する。頂面39は底面38の反対側の面である。レジスト41はネガティブレジストである。レジスト41は感光性樹脂であることが好ましい。
図4に示す頂面39にレジスト41を塗布する方法としては、スピンコート、ダイコート、スプレーコート、ロールコート、などを使うことができる。さらに塗布したレジスト41の溶媒を揮発させるために乾燥を行う。乾燥には、ホットプレート、オーブン、真空乾燥機、赤外線ヒータなどを使うことができる。塗布及び乾燥を行わない方法として、フイルムレジストをラミネートする方法をとることができる。
図5はレジストの露光の模式図である。マイクロレンズアレイ21の側から透明基材28に向かって露光光44を照射する。露光光44は紫外光であることが好ましい。露光光44は、マイクロレンズアレイ21の各マイクロレンズにて集光される。露光光44でレジスト41を露光する。このとき、マイクロレンズアレイ21のマイクロレンズの種類が複数種類含まれる場合は、マイクロレンズの焦点距離、拡散角に応じて開口径が変化しても良い。
図5に示す露光光44として、レジスト41を感光できる波長が含まれる光が使用できる。露光光44の光源は、図3に示す映像光31と投影角度および瞳直径が略同一の光を出射できる光源が好ましい。露光光44の光源は、視角が小さい光源が好ましい。
上記のようセルフアライメント露光を行うことは、後述する図7に示すような映像光31の光路と略同一光路で露光光を透過させることに適する。すなわち、映像光が図4に示すレジスト41に照射されたのであれば、レジスト41のうち、かかる映像光が透過すると考えられる部分だけを感光させることに適する。かかる部分のレジスト41は、図5に示す被露光レジスト42に変化する。
図6は、金属膜43の形成の工程を示す。金属膜43を形成する前に図5に示すレジスト41及び被露光レジスト42を現像する。現像に際して、露光が終わったレジストを透明基材板28ごと、現像液に晒す。現像液は、レジスト41に使用する材料に適したアルカリ現像液を使用すればよい。現像法は、浸漬法、揺動法、パドル法、及びスプレー法などが使用できる。現像後は、純水にて水洗し、乾燥させる。
上記によりレジスト41中の感光していない部分を除去する。その後、図6に示すレジストパターン45が形成される。レジストパターン45を形成した頂面39の上に金属膜48を形成する。金属膜48の形成は、蒸着、スパッタ及び電鋳のいずれかの手段で行ってもよいがこれらに限定されない。
図6に示すレジストパターン45を透明基材28上から除去する。レジストパターン45の除去により、図7に示すように金属膜48(図6)からなる開口アレイ24が形成される。被露光レジスト42は除去された箇所には図2に示すような開口部26が生じる。以上によりスクリーン20を作製できる。
図6に示すレジストパターン45の除去はリフトオフによって行うことが好ましい。リフトオフにおいては溶剤を被露光レジスト42に接触させることが好ましい。またリフトオフ溶液内に透明基材28ごと浸漬することでレジストパターン45を除去することが好ましい。リフトオフを促進させるために、リフトオフ溶液を加温してもよい。リフトオフを促進させるために、透明基材28に振動を与えてもよい。
上記リフトオフにおいては図6に示す被露光レジスト42の側面において、金属膜48に被覆されず、露出している部分が必要である。上記観点から、図6に示す金属膜48の形成手段として、蒸着法が好適である。蒸着法では金属粒子が蒸気流47として直進する。このため、被露光レジスト42の側面に金属粒子が回り込むことが少ない。したがって、被露光レジスト42の側面が金属膜48に被覆されにくい。
[セルフアライメント露光の効果]
図7に示すように、開口アレイは映像光31が通過する部分以外を遮光している。これは上記セルフアライメント法により、図7に示す映像光31が通過する開口部26が形成されるべき部位を、図5に示す露光光44が通過するようにしたからである。すなわち上記セルフアライメント法により開口部26が形成されるべき部位に被露光レジスト42を設けることが本実施形態のレジストパターン形成の要点である。
本実施形態では上記セルフアライメント法によりスクリーンを作製し、さらにかかるスクリーンをヘッドアップディスプレイ内に配置することでヘッドアップディスプレイを製造できる。
このとき図7に示すマイクロレンズアレイ21側からスクリーン20に対して映像光31が投射されるように、スクリーン20を配置する。かかる方法により製造されたヘッドアップディスプレイでは、開口部26での映像光31の透過が効率的に行われる。なぜならセルフアライメント法により、開口部26は映像光31が透過すべき位置に予め正確に設けられているからである。
さらに、セルフアライメント法を用いたヘッドアップディスプレイの製造方法では、図5に示す露光光44及び図7に示す映像光31の少なくともいずれか一方を調整してもよい。具体的には図5に示す露光光44の像点距離Exと、図7に示す映像光31の像点距離Imとが等しくなるように調整してもよい。あるいはこれらの像点距離の差が10、9、8、7,6、5、4、3、2及び1%のいずれかの範囲内にあることが好ましい。
上記により、図7に示す開口部26の内径は、開口部26における断面上の映像光31の拡がりの径と実質的に等しくすることができる。遮光部25の内表面29で反射される映像光31を減らしつつ、遮光部25での外光34の反射の効率も高めることができる。
上記態様により、図3に示すヘッドアップディスプレイの光学系、すなわち図3に示す光学系30の設計に応じて、映像光の透過効率と、外光の反射効率とのバランスをとることができる。したがってヘッドアップディスプレイの設計に基づく要求に応じて、映像光の透過効率の向上とコントラストの向上とを両立するよう調整できる。
[マイクロレンズの像点とリフトオフとの関係]
図5に戻る。像点50は、マイクロレンズアレイ21の有するマイクロレンズに関する露光光44の像点である。像点50はマイクロレンズに対して、塗布されたレジスト41よりも手前にある。図中では像点50は透明基材28中にあるが、他の態様において像点50はマイクロレンズアレイ21中にあってもよい。
ここで図6に示す被露光レジスト42は、マイクロレンズアレイ21から離れるにつれて先太りになる。被露光レジスト42はいわゆる逆テーパ形状を成している。これは図5に示すように被露光レジスト42に露光光44が到達する時点で、すでに露光光44は像点50を通り過ぎており、露光光44は発散している途中だからである。
図6に示す蒸気流47が一方向から頂面39に吹き付けられる場合、頂面39に対する蒸気流47の角度は制限されない。なぜなら逆テーパ形状をしている被露光レジスト42の側面は、蒸気流47に対して、いずれかの方向において、必ず陰になるからである。
したがって図6に示す頂面39に衝突する蒸気流47の方向が、頂面39の法線方向を基準として傾斜していないことが好ましい。また蒸気流47の方向が0°から20°傾斜していてもよい。かかる傾斜の範囲は、好ましくは0°から10°、さらに好ましくは0°から5°である。かかる傾斜が小さいほど効率的に金属膜46を厚くすることができる。
図5に示す像点50と、塗布されたレジスト41との位置関係は任意に調整することができる。かかる位置関係は、例えば透明基材28及びマイクロレンズアレイ21の基部19の少なくともいずれか一方の厚みで調整することができる。ただし、これらの厚みの合計が大きくなり、像点50の像点距離Exが変わらない場合、マイクロレンズアレイ21の主面からレジスト41までの距離が相対的に大きくなる。なお図において像点50の像点距離Exはマイクロレンズアレイ21と透明基材28との界面で露光光44が屈折することも考慮されている。図7に示す映像光31の像点距離Imも同様である。
上記のように像点50の像点距離Exよりも、マイクロレンズアレイ21の主面からレジスト41までの距離の方が著しく大きくなった場合、マイクロレンズアレイ21中の隣接するマイクロレンズの各々で拡散された露光光44が、レジスト41において相互に重なる可能性がある。この場合、レジスト41は大部分が露光される。したがって、図2に示すように遮光部25に囲まれた開口部26が形成できなくなる。このため、図3に示す開口アレイ24は外光34を効率的に反射することができなくなる。
[像点よりもレジストの方がマイクロレンズ主面に近い場合]
図8はレジストの露光の他の態様を表す。各マイクロレンズで拡散される露光光44は説明の便宜のために一部省略されている。透明基材28及び基部19の厚みの合計が小さくなり、像点50の像点距離Exが変わらない場合、マイクロレンズアレイ21の主面からレジスト41までの距離が相対的に小さくなる。図中ではマイクロレンズアレイ21の有するマイクロレンズに関する露光光44の像点は、かかるマイクロレンズに対して、レジスト41よりも遠くにある。なお図8において像点50の像点距離Exは透明基材28及びレジスト41で露光光44が屈折することも考慮されている。
上記の場合、図8に示す被露光レジスト42は、マイクロレンズアレイ21から離れるにつれて先細りになる。被露光レジスト42は、いわゆる順テーパ形状を成している。これは図に示すように被露光レジスト42に露光光44が到達する時点では、まだ露光光44は像点を通り過ぎておらず、露光光44は収束している途中だからである。
この場合、上述したリフトオフにおいて問題が生じる可能性がある。図8に示すように被露光レジスト42が順テーパの場合は、レジストパターンのリフトオフが出来ないことがある。図9に示すように頂面39に対して直角な蒸気流47が吹き付けるように蒸着を行うと、被露光レジスト42が金属粒子によって完全に覆い尽くされる。これは被露光レジスト42の側面において、蒸気流47に対して、陰となる部分が出来ないことによる。
上記の場合は、図9に示すように蒸気流51のように蒸気流を傾斜させることで、被露光レジスト42の側面において、金属膜48に被覆されず、露出している部分が生じる。頂面39に衝突する蒸気流51の方向の傾斜の大きさは、頂面39の法線方向を基準とする蒸着角度Vaに示される。蒸着角度Vaが60°を超えると、頂面39中で被露光レジスト42の陰となる部分が大きくなる場合がある。このため、遮光部を形成するのに十分な量の金属を、陰となる部分には送ることができない。
図10のグラフに、蒸着角度Vaと、開口アレイの遮光率との関係を示す。グラフは図9に示す頂面39に対して、蒸着角度Vaを変化させて蒸着を行った場合の開口アレイの遮光率を表す。被露光レジスト42は直径10μmの略円柱形状を有する。被露光レジスト42に依拠して形成される、開口アレイの開口部のピッチは20μmである。
図10に示す遮光率は、図9に示す頂面39上において金属膜の形成された面積の割合を示す。被露光レジスト42の高さは1μm及び5μmのいずれかである。高さ1μmの場合に比べて、高さ5μmの場合においては、被露光レジスト42の陰となる部分が大きくなる。このため、高さ5μmの場合において、高さ1μmの場合よりも遮光率が小さい。被露光レジスト42の高さが5μmの場合は、蒸着角度Vaを60°より大きくすると急激に遮光率が低くなる。
図11のグラフに、蒸着角度Vaと、レジストの露出率との関係を示す。レジストの露出率とは、図9に示す被露光レジスト42の側面における面積を基準とした露出率を表す。被露光レジスト42の高さが1μmの場合と、5μmの場合とでは露出率に殆んど違いはない。蒸着角度Vaを0°より大きくすることで被露光レジスト42の側面を露出させることができる。
上記より図9に示す蒸着角度Vaは、
蒸着膜の厚みと、
被露光レジスト42の側面において露出させたい部分の大きさと、
被露光レジスト42の陰となって蒸着されない頂面39の部分の大きさと、
を相補的に加味して決定することができる。
蒸着膜の厚みと、
被露光レジスト42の側面において露出させたい部分の大きさと、
被露光レジスト42の陰となって蒸着されない頂面39の部分の大きさと、
を相補的に加味して決定することができる。
上記の方針に基づくことで、図9に示す蒸着角度Vaは20°から60°の範囲とすることができる。蒸着角度Vaは45°が好適である。かかる蒸着角度Vaにより、被露光レジスト42の側面への金属の蒸着を抑制することでリフトオフを効率的に行うことができる。さらに頂面39において遮光部を形成すべき部分への金属の蒸着を効率よく行うことができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば図1に示す透明基材28とマイクロレンズアレイ21とは継ぎ目のない一体の部材として成形してもよい。
図4に示す透明基材28及びマイクロレンズアレイ21を備えるマイクロレンズアレイシートを形成した。紫外線硬化樹脂を使いポリカーボネートフイルム製の透明基材28上にマイクロレンズアレイ21を成形した。ポリカーボネートフイルムの厚みは100μmとした。紫外線硬化樹脂としてアクリル系樹脂を使用した。紫外線の照射量は500mJ/cm2とした。
図4に示すように、マイクロレンズアレイシートの裏側、すなわち頂面39に、レジスト41を塗布した。塗布はスピンコート法により行った。レジスト41の膜厚が5μmになるように、ワークであるマイクロレンズアレイシートの回転数を調整した。レジスト41は東京応化製のネガ型フォトレジストであるPMER N−CA3000を用いた。レジスト41をオーブンにて70℃20分乾燥させた。
マイクロレンズアレイシートをUV露光装置のステージに設置した。この時、図5に示すマイクロレンズアレイ21を上にした。マイクロレンズアレイ21側から紫外線を照射した。露光量は500mJ/cm2とした。露光後、マイクロレンズアレイシートをオーブン中にて、70℃20分間、PEB(post exposure bake)処理を行った。
現像のため、マイクロレンズアレイシートを有機アルカリ現像液(TMAH2.38%)に浸漬した。またマイクロレンズアレイシートを3分間揺動した。現像液から取り出したマイクロレンズアレイシートを純水にて水洗し、さらに乾燥させた。
図6に示す金属膜48を真空蒸着装置にて形成した。ただし、蒸着角度は45°とした。蒸着源の重量は10.4gとした。蒸着膜の厚みは約200nmとした。リフトオフは、NMP(n−メチル−2−ピロリドン)内に蒸着後のマイクロレンズアレイシートを浸漬することで行った。マイクロレンズアレイシートを180秒間揺動させた。これにより被露光レジスト42を溶解させることで、図7に示す開口アレイ24を形成した。これにより実施例のスクリーンを得た。NMPから取り出したスクリーンを、純水にて水洗後、自然乾燥させた。
実施例における紫外線硬化樹脂によるマイクロレンズアレイの成形まで行ったものを比較例のスクリーンとした。実施例と比較例とにおいて、マイクレンズアレイシートの裏側、すなわち図7に示す頂面39側の反射特性を評価した。
図12に、反射特性を評価する装置の模式図を示す。本装置は、被験スクリーン60に外光64を照射したときの反射角度に応じた反射光の強度分布を測定するためのゴニオメータである。マイクロレンズアレイ側を下にして被験スクリーン60を黒いシート59上に設置した。
図12に示す外光64として、広がり角5°以下のLED擬似平行光を用いた。かかる平行光を発する光源61を配置した。外光64の一部は被験スクリーン60にて乱反射し拡散反射光65となる。外光64の一部は被験スクリーン60にて正反射し正反射光66となる。正反射光66は+20°傾いている。
図12に示す拡散反射光65及び正反射光66の強度は、面輝度計62を用いて測定した。面輝度計62の観測角度Obを−60°から+60°まで変化させることで上記反射角度を変化させた。面輝度計62が被験スクリーン60に正対しているとき観測角度Obが0°とした。
本測定では、ヘッドアップディスプレイ内に被験スクリーン60を設置した時の、被験スクリーン60の取り付け角度を20°と想定している。このため、光源61の光軸と、観測角度Obが0°における面輝度計62の光軸とは−20°ずれている。
図13に拡散反射光の明るさと観測角度との相関をグラフで示した。拡散反射光の明るさの単位はcd/m2である。観測角度Obが+20°のときに観測されるべき正反射光66(図12)の強度はグラフ範囲の上限を超えていた。
図13示すように実施例のスクリーンでは、正反射光の強度が比較例よりも大きいと考えられた。しかしながら、0°以下の領域において、拡散反射光の強度が比較例よりも小さかった。このため、マイクロレンズまで到達した外光が反射して生ずる内部反射光は開口アレイによって遮光されていると考えられる。
上述の通り本測定では、ヘッドアップディスプレイにスクリーンを取り付ける時の傾斜角を20°としている。したがって強い正反射光が観測者の目に入ることは防止される。
比較例のスクリーンの場合は、マイクロレンズにより生ずる内部反射光の一部を観測者が視認できることが分かった。かかる内部反射光は映像コントラストを低下させる。比較例と実施例の比較は、本実施例の金属膜の開口アレイにより、この内部反射光の漏れを抑制することで、映像のコントラストの向上が期待できることを示している。
この出願は、2016年1月12日に出願された日本出願特願2016−003410を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
19 基部、 20 スクリーン、 21 マイクロレンズアレイ、 22 マイクロレンズ、 24 開口アレイ、 25 遮光部、 26 開口部、 27 外表面、 28 透明基材、 29 内表面、 30 光学系、 31 映像光、 32 拡散、 34 外光、 35 凹面鏡、 36 吸光部、 38 底面、 39 頂面、 41 レジスト、 42 被露光レジスト、 43 金属膜、 44 露光光、 45 レジストパターン、 46 金属膜、 47 蒸気流、 48 金属膜、 50 像点、 51 蒸気流、 59 シート、 60 被験スクリーン、 61 光源、 62 面輝度計、 64 外光、 65 拡散反射光、 66 正反射光、 Ex 露光光の像点距離、 Im 映像光の像点距離、 Ob 観測角度、 Va 蒸着角度
Claims (11)
- マイクロレンズアレイを備える透過型のスクリーンであって、
前記マイクロレンズアレイの配置された面の反対側の面に配置された開口アレイをさらに備え、
前記開口アレイの遮光部は金属膜である、
スクリーン。 - 前記金属膜は蒸着膜である、
請求項1に記載のスクリーン。 - 前記金属膜の外表面は鏡面を有する、
請求項1又は2に記載のスクリーン。 - 前記金属膜の外表面は波長380nmから780nmの光の反射率が80%以上である、
請求項1〜3のいずれかに記載のスクリーン。 - 請求項1〜4のいずれかに記載のスクリーンを備えるヘッドアップディスプレイであって、
前記マイクロレンズアレイ側から前記スクリーンに映像光が投射され、
前記開口アレイの開口部の内径は、前記開口部における断面上の映像光の拡がりの径と等しいか、又はこれより大きい、
ヘッドアップディスプレイ。 - 請求項1〜4のいずれかに記載のスクリーンを備えるヘッドアップディスプレイであって、
前記マイクロレンズアレイ側から前記スクリーンに投射される映像光の光軸に対して前記スクリーンが斜めになるように前記スクリーンが傾けてあり、
前記遮光部で反射した外光を吸収する吸光部をさらに備える、
ヘッドアップディスプレイ。 - マイクロレンズアレイと前記マイクロレンズアレイの反対側に配置された開口アレイとを備える透過型のスクリーンの製造方法であって、
片面にマイクロレンズアレイの形成された透明基材上に開口アレイを形成する際、
前記透明基材のマイクロレンズアレイの配置された面の反対側の面にネガティブレジストを塗布し、
前記マイクロレンズアレイ側から前記透明基材に向かって露光光を照射し、
前記露光光で前記ネガティブレジストを露光し、さらに現像することでレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンを形成した前記透明基材の面上に金属膜を形成し、
前記レジストパターンを除去することで前記金属膜からなる開口アレイを形成する、
スクリーンの製造方法。 - 前記マイクロレンズアレイの有するマイクロレンズに関する前記露光光の像点は前記マイクロレンズに対して、前記塗布されたネガティブレジストよりも手前にあり、
前記金属膜は蒸着により形成し、
前記レジストパターンはリフトオフにより除去する、
請求項7に記載のスクリーンの製造方法。 - 前記蒸着において、前記透明基材の面に衝突する蒸気流の方向が、前記透明基材の面の法線方向を基準として傾斜していない、又は0°から20°傾斜している、
請求項8に記載のスクリーンの製造方法。 - 前記マイクロレンズアレイの有するマイクロレンズに関する前記露光光の像点は前記マイクロレンズに対して、前記塗布されたネガティブレジストよりも遠くにあり、
前記金属膜は蒸着により形成し、
前記レジストパターンはリフトオフにより除去し、
前記蒸着において、前記透明基材の面に衝突する蒸気流の方向が、前記透明基材の面の法線方向を基準として20°から60°傾斜している、
請求項7に記載のスクリーンの製造方法。 - 請求項7〜10のいずれかに記載の方法でスクリーンを作製し、
前記マイクロレンズアレイ側から前記スクリーンに映像光が投射されるように、前記スクリーンを配置するヘッドアップディスプレイの製造方法であって、
前記マイクロレンズアレイの有するマイクロレンズに関する前記露光光の像点距離と、前記映像光の像点距離とが等しくなるように、前記露光光及び前記映像光の少なくともいずれか一方を調整する、
ヘッドアップディスプレイの製造方法。
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Legal Events
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