JPWO2017115617A1 - 粒子状物質の測定装置用部品 - Google Patents
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Abstract
Description
10:流路空間
11:流路
11a:第1の流路
11b:第2の流路
2:フィルタ部
3:電極
4:流入口
5:流出口
100:粒子状物質の測定装置用部品
Claims (10)
- セラミックスから成り内部にガスの流れる流路空間を有する基部と、前記流路空間を複数に区切って流路を形成するように前記流路空間に設けられた多孔質セラミックスから成るフィルタ部と、前記基部に前記フィルタ部を挟むように設けられた静電容量形成用の一対の電極とを備えており、
前記フィルタ部は、前記流路空間の長さ方向に対して傾斜して配置されているものを含んでいる粒子状物質の測定装置用部品。 - セラミックスから成る板状の部材であって主面が対向するように並置された一対の基部と、該一対の基部の間のガスの流れる流路空間を区切って流路を形成するように設けられた多孔質セラミックスから成るフィルタ部と、前記一対の基部にそれぞれ設けられており前記フィルタ部を挟むように設けられた静電容量形成用の一対の電極とを備えており、
前記フィルタ部は、前記流路空間の長さ方向に対して傾斜して配置されているものを含んでいる粒子状物質の測定装置用部品。 - 前記流路は、前記ガスが流入する流入口に繋がる第1の流路と、前記ガスが流出する流出口に繋がる第2の流路とを有しており、前記第1の流路は前記流入口から長さ方向に向かうにつれて幅が小さくなっており、前記第2の流路は前記流出口へ長さ方向に向かうにつれて幅が大きくなっている請求項1または請求項2に記載の粒子状物質の測定装置用部品。
- 前記電極が前記基部に埋設されている請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の粒子状物質の測定装置用部品。
- 前記基部および前記フィルタ部が一体的に形成されている請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の粒子状物質の測定装置用部品。
- 前記基部および前記フィルタ部が同じセラミックスから成る請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の粒子状物質の測定装置用部品。
- 前記基部および前記フィルタ部がアルミナから成る請求項6に記載の粒子状物質の測定装置用部品。
- 前記電極が、線状の配線パターンを有するとともに、前記フィルタ部に沿って設けられている請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の粒子状物質の測定装置用部品。
- 互いに気孔径が異なる複数の前記フィルタ部を有している請求項1乃至8のいずれかに記載の粒子状物質の測定装置用部品。
- 前記流路空間の長さ方向に垂直な断面視において、外側に位置する前記フィルタ部の気孔率が、内側に位置する前記フィルタ部の気孔率より大きい請求項1乃至9のいずれかに粒子状物質の測定装置用部品。
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