JPWO2016052220A1 - 固体撮像素子および製造方法、並びに電子機器 - Google Patents
固体撮像素子および製造方法、並びに電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2016052220A1 JPWO2016052220A1 JP2016551925A JP2016551925A JPWO2016052220A1 JP WO2016052220 A1 JPWO2016052220 A1 JP WO2016052220A1 JP 2016551925 A JP2016551925 A JP 2016551925A JP 2016551925 A JP2016551925 A JP 2016551925A JP WO2016052220 A1 JPWO2016052220 A1 JP WO2016052220A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microlens
- antireflection film
- pixel
- imaging device
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 49
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 52
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 11
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 abstract description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14621—Colour filter arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14623—Optical shielding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14685—Process for coatings or optical elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
Description
本開示の第4の側面の固体撮像素子は、各画素のマイクロレンズと、隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜とを備える固体撮像素子である。
本開示の第4の側面においては、各画素のマイクロレンズと、隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜とが備えられる。
本開示の第5の側面の製造方法は、各画素のマイクロレンズと、隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜とを備える固体撮像素子の製造方法である。
本開示の第5の側面においては、各画素のマイクロレンズと、隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜とを備える固体撮像素子が製造される。
本開示の第6の側面の電子機器は、各画素のマイクロレンズと、隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜とを備える電子機器である。
本開示の第6の側面においては、各画素のマイクロレンズと、隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜とが備えられる。
1.第1実施の形態:CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサ(図1乃至図10)
2.第2実施の形態:CMOSイメージセンサ(図11)
3.第3実施の形態:撮像装置(図12)
(CMOSイメージセンサの第1実施の形態の構成例)
図1は、本開示を適用した固体撮像素子としてのCMOSイメージセンサの第1実施の形態の構成例を示す図である。
図2は、図1の画素領域51の上面図であり、図3は、図2のb−c断面図であり、図4は、図2のd−e断面図である。
図5乃至図7は、透湿口101による効果を説明する図である。
本技術は、CMOSイメージセンサ50のカラーフィルタ97より上側に関する発明であるため、以下では、カラーフィルタ97より上側の製造方法についてのみ説明する。
(CMOSイメージセンサの第2実施の形態の画素領域の構成)
本開示を適用した固体撮像素子としてのCMOSイメージセンサの第2実施の形態の構成は、画素領域の構成を除いて、図1のCMOSイメージセンサ50の構成と同一であるため、以下では、画素領域の構成についてのみ説明する。
(撮像装置の一実施の形態の構成例)
図12は、本開示を適用した電子機器としての撮像装置の構成例を示すブロック図である。
各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成され、無機膜で覆われる拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された、前記マイクロレンズより屈折率の高い第1の反射防止膜と
を備える固体撮像素子。
(2)
前記マイクロレンズの下部に設けられるカラーフィルタ
をさらに備え、
前記拡散口は、前記カラーフィルタの凹部に設けられる
ように構成された
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(3)
隣接する前記画素の前記カラーフィルタの間の下部に設けられる遮光部
をさらに備える
ように構成された
前記(2)に記載の固体撮像素子。
(4)
前記第1の反射防止膜の上部に設けられる第2の反射防止膜
をさらに備え、
前記無機膜は、前記第2の反射防止膜と同一の膜である
ように構成された
前記(1)乃至(3)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(5)
各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成され、無機膜で覆われる拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された、前記マイクロレンズより屈折率の高い第1の反射防止膜と
を備える固体撮像素子の製造方法。
(6)
各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成され、無機膜で覆われる拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された、前記マイクロレンズより屈折率の高い第1の反射防止膜と
を備える電子機器。
(7)
各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜と
を備える固体撮像素子。
(8)
各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜と
を備える固体撮像素子の製造方法。
(9)
各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜と
を備える電子機器。
Claims (9)
- 各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成され、無機膜で覆われる拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された、前記マイクロレンズより屈折率の高い第1の反射防止膜と
を備える固体撮像素子。 - 前記マイクロレンズの下部に設けられるカラーフィルタ
をさらに備え、
前記拡散口は、前記カラーフィルタの凹部に設けられる
ように構成された
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 隣接する前記画素の前記カラーフィルタの間の下部に設けられる遮光部
をさらに備える
ように構成された
請求項2に記載の固体撮像素子。 - 前記第1の反射防止膜の上部に設けられる第2の反射防止膜
をさらに備え、
前記無機膜は、前記第2の反射防止膜と同一の膜である
ように構成された
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成され、無機膜で覆われる拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された、前記マイクロレンズより屈折率の高い第1の反射防止膜と
を備える固体撮像素子の製造方法。 - 各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成され、無機膜で覆われる拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された、前記マイクロレンズより屈折率の高い第1の反射防止膜と
を備える電子機器。 - 各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜と
を備える固体撮像素子。 - 各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜と
を備える固体撮像素子の製造方法。 - 各画素のマイクロレンズと、
隣接する前記画素の前記マイクロレンズの間に形成される拡散口と、
前記拡散口以外の前記マイクロレンズの表面に形成された反射防止膜と
を備える電子機器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014203001 | 2014-10-01 | ||
JP2014203001 | 2014-10-01 | ||
PCT/JP2015/076414 WO2016052220A1 (ja) | 2014-10-01 | 2015-09-17 | 固体撮像素子および製造方法、並びに電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016052220A1 true JPWO2016052220A1 (ja) | 2017-07-13 |
JP6673839B2 JP6673839B2 (ja) | 2020-03-25 |
Family
ID=55630261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016551925A Active JP6673839B2 (ja) | 2014-10-01 | 2015-09-17 | 固体撮像素子および製造方法、並びに電子機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10008529B2 (ja) |
JP (1) | JP6673839B2 (ja) |
CN (2) | CN107078137B (ja) |
WO (1) | WO2016052220A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018064007A (ja) | 2016-10-12 | 2018-04-19 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、および電子装置 |
US11315966B2 (en) * | 2017-10-06 | 2022-04-26 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state imaging element, manufacturing method, and electronic apparatus |
JP2019140230A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、電子装置、および、電子装置の製造方法 |
KR102498582B1 (ko) * | 2018-02-26 | 2023-02-14 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 파티션 패턴들을 가진 이미지 센서 |
JP7301530B2 (ja) * | 2018-11-30 | 2023-07-03 | キヤノン株式会社 | 光学装置および機器 |
JP2021097189A (ja) * | 2019-12-19 | 2021-06-24 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
US20210197506A1 (en) * | 2019-12-31 | 2021-07-01 | Semiconductor Components Industries, Llc | Microlens device and related methods |
TWI757048B (zh) * | 2020-01-20 | 2022-03-01 | 新加坡商視覺技術創投私人有限公司 | 3d光柵和3d顯示裝置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002280534A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
US20120086093A1 (en) * | 2010-10-07 | 2012-04-12 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, method of manufacturing solid-state imaging device, and electronic apparatus |
US20130249031A1 (en) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Vage Oganesian | Quantum Efficiency Back Side Illuminated CMOS Image Sensor And Package, And Method Of Making Same |
JP2014154662A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Sony Corp | 固体撮像素子、電子機器、および製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4123667B2 (ja) * | 2000-01-26 | 2008-07-23 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子の製造方法 |
JP2003101001A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2008270679A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-06 | Sony Corp | 固体撮像装置およびその製造方法および撮像装置 |
JP4798232B2 (ja) | 2009-02-10 | 2011-10-19 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
JP5538553B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2014-07-02 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
TW201933599A (zh) * | 2013-03-25 | 2019-08-16 | 日商新力股份有限公司 | 固體攝像元件、攝像裝置及電子裝置 |
-
2015
- 2015-09-17 WO PCT/JP2015/076414 patent/WO2016052220A1/ja active Application Filing
- 2015-09-17 US US15/512,131 patent/US10008529B2/en active Active
- 2015-09-17 JP JP2016551925A patent/JP6673839B2/ja active Active
- 2015-09-17 CN CN201580051705.9A patent/CN107078137B/zh active Active
- 2015-09-17 CN CN202111086321.4A patent/CN113972230A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002280534A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
US20120086093A1 (en) * | 2010-10-07 | 2012-04-12 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, method of manufacturing solid-state imaging device, and electronic apparatus |
JP2012084608A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法、並びに電子機器 |
US20130249031A1 (en) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Vage Oganesian | Quantum Efficiency Back Side Illuminated CMOS Image Sensor And Package, And Method Of Making Same |
JP2014154662A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Sony Corp | 固体撮像素子、電子機器、および製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016052220A1 (ja) | 2016-04-07 |
JP6673839B2 (ja) | 2020-03-25 |
CN107078137B (zh) | 2021-09-17 |
CN107078137A (zh) | 2017-08-18 |
US10008529B2 (en) | 2018-06-26 |
CN113972230A (zh) | 2022-01-25 |
US20170278889A1 (en) | 2017-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6673839B2 (ja) | 固体撮像素子および製造方法、並びに電子機器 | |
US9985066B2 (en) | Solid-state imaging device, method for manufacturing same, and electronic device | |
JP6721511B2 (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法、並びに電子機器 | |
TWI651563B (zh) | 透鏡陣列及其製造方法、固體攝像裝置及電子機器 | |
US10204948B2 (en) | Solid-state imaging device, solid-state imaging device manufacturing method, electronic device, and lens array | |
JP6060851B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
US7955764B2 (en) | Methods to make sidewall light shields for color filter array | |
WO2013121742A1 (ja) | 撮像素子 | |
KR102651181B1 (ko) | 촬상 소자 및 촬상 장치 | |
JP2005175422A (ja) | イメージセンサの無機物マイクロレンズの形成方法 | |
JP6115787B2 (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 | |
JP2008270679A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法および撮像装置 | |
US7611922B2 (en) | Image sensor and method for manufacturing the same | |
JP2015076476A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 | |
TW201104856A (en) | Solid-state imaging device, camera, electronic apparatus, and method for manufacturing solid-state imaging device | |
WO2015019913A1 (ja) | 固体撮像装置および電子機器 | |
JP5029640B2 (ja) | 固体撮像装置、電子機器、固体撮像装置の製造方法 | |
JPH08306895A (ja) | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 | |
TW202315149A (zh) | 受光元件及電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191008 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6673839 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |