JPWO2015107657A1 - 光学測定装置 - Google Patents
光学測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015107657A1 JPWO2015107657A1 JP2015557639A JP2015557639A JPWO2015107657A1 JP WO2015107657 A1 JPWO2015107657 A1 JP WO2015107657A1 JP 2015557639 A JP2015557639 A JP 2015557639A JP 2015557639 A JP2015557639 A JP 2015557639A JP WO2015107657 A1 JPWO2015107657 A1 JP WO2015107657A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical
- light emitting
- emitting element
- spectroscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 263
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 163
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 26
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 36
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 34
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 34
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 20
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000012951 Remeasurement Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0228—Control of working procedures; Failure detection; Spectral bandwidth calculation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4228—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors arrangements with two or more detectors, e.g. for sensitivity compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J2001/4247—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors for testing lamps or other light sources
- G01J2001/4252—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors for testing lamps or other light sources for testing LED's
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Description
図1を用いて、光学測定装置3で測定する発光素子101の発光状況について説明する。
図1は、光学測定装置3で測定する発光素子101の発光状況を示す。
図1(a)に示すように、発光素子101は、発光面101aから光を放射状に出射する。
発光面101aは、発光素子101の表面に位置する。発光素子101の発光面101aの法線を発光中心軸LCAという。発光面101aは、図1(a)において発光中心軸LCAの正方向側にある発光素子101の表面である。
発光面101aを含む平面上の一方向を基準軸(x軸)とした場合に、当該平面上のx軸からの反時計回りの角度をφと定義する。また、φを固定した場合における、発光中心軸LCAとなす角度をθと定義する。
発光素子101が発光して、発光面101aから出射される光の強度は、発光中心軸LCAからの角度θ等によって異なる。
この光量を知ることによって、その発光素子101が各種の使用に適切であるか否かを検査することが可能となる。
図1(b)において、x軸とy軸との交点部分がθ=0°を表わしている。円上の各点がθ=90°の各φの位置をそれぞれ表わしている。
図1(c)は、φの値が一定の位置における断面図である。
すなわち、配光強度E(θ)を、発光中心軸LCA周りの円周で積分して(φ=0°から360°まで積分)、周配光強度J(θ)を求める。周配光強度J(θ)は、J(θ)=E(θ)・2πr・sinθで表される。この周配光強度J(θ)を、θ=0°からθ°積分して、発光素子101の表面側の光量K(θ)を求めることができる。
また、発光素子101の裏面側の光量は、K(θ)に一定の係数κを乗算することで求めることができる。
すると、発光素子101の光量は、表面側の光量K(θ)と裏面側の光量K(θ)・κとを加算することで求めることができる。
なお、発光素子101の表面側の光量と裏面側の光量との差は、同一工程で製造された発光素子101では略一定となることが分かっている。このため、係数κは、1つの発光素子101について光量を実測して求めておけば、他の発光素子101についても同じ値を適用することができる。
図2及び図3を用いて、光学測定装置3の構成について説明する。
図2は、光学測定装置3の構成を概略的に示す。図3は、光学測定装置3に含まれる光ファイバ117と発光素子101とを拡大した図を示す。
光学測定装置3は、発光素子101に電力を供給して発光させ、当該発光素子101が発光した光の光学特性を測定する。発光素子101が複数配列された状態であれば、光学測定装置3は、複数配列された発光素子101のうち測定対象の発光素子101に順次電力を供給して、測定対象の発光素子101が発光した光の光学特性を測定する。
光学測定装置3は、発光素子101の製造工程に含まれる検査工程で使用する検査装置に適用され得る。光学測定装置3は、発光素子101の光学特性に加えて電気特性も測定可能である。
テーブル103は、略一様な平板形状を有し、略水平に設置されている。
テーブル103と、これに載置された発光素子101とは、互いに略平行となる。
ガラステーブル103aは、サファイアやガラス等の光透過材料を用いて、略一様な平板形状に形成されている。
ダイシングシート103bは、表面に粘着性を有し、ガラステーブル103a上に積層されている。発光素子101は、このダイシングシート103b上に載置される。
ダイシングシート103bを有するテーブル103は、測定時に発光素子101をテーブル103に移載し易く、位置ズレを抑制することができる。
なお、発光素子101の製造工程において、発光素子101がダイシングシート103b上に予め複数配列されている場合には、発光素子101及びダイシングシート103bを一括してガラステーブル103a上に載置させてもよい。
図2のプローブ針109は、発光素子101の光学特性測定時、発光素子101の電極に接触して電圧を印加する。また、プローブ針109は、電気特性計測部125と接続されており、発光素子101の電気特性も同時に測定することができる。プローブ針109は、発光素子101の電極の位置に応じて、発光素子101の上面、下面、又は両面に配置される。
光ファイバ117は、図3に示すように、ヘッド117aと、光伝送路117b、入射口117cとを含む。
ヘッド117aは、筒形状に形成されている。ヘッド117aの先端には、光を入射させるための開口である入射口117cが設けられている。ヘッド117aは、入射口117cが発光素子101の発光面101aに対向するように配置される。入射口117cの中心軸は、測定対象の発光素子101の発光中心軸LCAと略一致する。ヘッド117aの中心軸は、入射口117cの中心軸と略一致する。
入射口117cは、予め定められた光ファイバ117の開口数に応じた範囲の光を入射させる。
光伝送路117bは、入射口117cが設けられたヘッド117aの先端とは反対側の端部と、分光器121とを光学的に接続する。
光伝送路117bは、入射口117cから入射した光を分光器121に導光する。光伝送路117bは、入射口117cから入射した光を内部で全反射させ、伝送損失を極力抑制して分光器121に導光する。
分光器121が測定する光学特性には、発光素子101が発光した光の光量、波長、色度が少なくとも含まれる。
分光器121は、受光素子を含む。分光器121は、受光素子に光が入射すると、光電変換によって入射光に応じた電荷を生成する。分光器121の受光素子は、例えばCCD(Charge Coupled Device)やフォトダイオードアレイ等である。
分光器121は、求めた各種光学特性に応じた電気信号を生成する。分光器121は、生成した電気信号を、信号線111を介して制御部151に出力する。この電気信号は、分光器121によって測定された波長スペクトル情報、色度情報、及び光量情報等に相当する。
光減衰器123は、発光素子101が発光した光を減衰し、減衰した光を分光器121に導く。分光器121が検出する光は、光減衰器123が減衰した光である。
光減衰器123の詳細な構成については、図4を用いて後述する。
また、光ファイバ117内で全反射し得る光の入射角の最大値をαとする。光ファイバ117と発光素子101との間の媒質は空気であるとし、屈折率=1であるとする。光ファイバ117の開口数をNAとし、開口数NAが示す範囲をS0とする。範囲S0を発光素子101に投影したときの、発光素子101の中心から範囲S0の外縁までの距離をDとする。
このとき、開口数NAは、NA=sinαである。距離Xは、X=A+Bである。距離Dは、D=Ltanαである。
このため、開口数NAが示す範囲S0は、分光器121によって検出可能な光の範囲に相当する。
本実施形態では、分光器121によって検出される光の範囲を、「検出範囲」ともいう。
また、分光器121の検出範囲は、光学測定装置3が光学特性を測定可能な光の範囲に相当する。
A/tanα≦L≦X/tanα
これにより、光学測定装置3は、複数の発光素子101が配列された状態において、測定対象以外の発光素子101が出射する意図しない光を検出せずに、測定対象の発光素子101が発光した光を検出することができる。
「測定対象以外の発光素子101が出射する意図しない光」とは、測定対象の発光素子101の発光に起因して測定対象以外の発光素子101が出射する光である。
例えば、測定対象の発光素子101が発光する光が測定対象以外の発光素子101に入射して、測定対象以外の発光素子101が励起されることによって出射される光がある。
例えば、測定対象の発光素子101が発光する光が測定対象以外の発光素子101に入射して、測定対象以外の発光素子101で反射されることによって出射される光がある。
通常、このHVユニット153からの電圧の印加状態で、発光素子101が発光する光を分光器121が測定を行う。
HVユニット153が検出した各種特性情報は制御部151に出力される。
ESDユニット155が検出した静電破壊情報は制御部151に出力される。
切替えユニット157によって、プローブ針109を介して発光素子101に印加される電圧が変更される。そして、この変更によって、発光素子101の検査項目が、定格電圧での各種特性を検出、又は、静電破壊の有無を検出にそれぞれ変更される。
制御部151は、分光器121によって測定された波長スペクトル情報、色度情報、及び光量情報が入力される。制御部151は、HVユニット153によって出力された各種電気特性情報が入力される。制御部151は、ESDユニット155が検出した静電破壊情報が入力される。
制御部151は、これらの入力から発光素子101の各種特性を分別・分析を行う。各種特性の分析後、制御部151は、その分析結果を出力部163から画像出力等の情報出力を行う。更に、制御部151は、その分析結果に基づき必要に応じて、光学測定装置3の各構成要素を制御する。
図4を用いて、光減衰器123について説明する。
図4は、光学測定装置3に含まれる光減衰器123の構成を示す。
光減衰器123は、発光素子101が発光した光を減衰し、減衰した光を分光器121に導く。
光減衰器123は、例えば、電気光学素子を用いて構成することができる。
偏光子123a及び偏光子123bは、入射光の偏光状態を直線偏光に変換する。偏光子123a及び偏光子123bは、入射光に対して略直交するように配置されている。偏光子123a及び偏光子123bは、クロスニコルの状態で配置されている。
ポッケルスセル123cは、偏光子123a及び偏光子123bの間に配置されている。ポッケルスセル123cは、入射光に対して略直交するように配置されている。
そして、ポッケルスセル123cによって印加電圧に応じたリタデーションに対する楕円偏光に変換された入射光は、偏光子123bによって直線偏光に変換される。
よって、ポッケルスセル123cを含む光減衰器123は、印加電圧に応じた入射光の位相変調を通じて振幅変調を行い得るため、印加電圧に応じて入射光の光強度を変調し得る。
それにより、ポッケルスセル123cを含む光減衰器123は、制御部151から入力された制御信号に応じた減衰量で、入射光を減衰させ得る。
更に、光減衰器123は、中継用ファイバコネクタであるファイバ継手を光伝送路117b上に配置し、当該ファイバ継手にエアギャップを設けることによって構成されていてもよい。
なお、光減衰器123は、減衰量をゼロにし得る構成も備えている。
図5A及び図5Bを用いて、分光器121の測定性能について説明する。
図5Aは、分光器121の光電変換特性を示す。
入力と出力とが比例関係にあることを、「直線性」という。分光器121における入射光量と出力電流との関係は、分光器121の光電変換特性を示す。すなわち、分光器121の光電変換特性における直線性は、入射光量と出力電流とが比例関係にあることである。分光器121の光電変換特性における直線性は、分光器121の測定性能を示す一指標である。
図5Aに示すように、分光器121の光電変換特性における直線性は、フォトディテクタに比べて劣ることが分かる。
更に、入力と出力との比例関係が成立する範囲のことを「ダイナミックレンジ」という。ダイナミックレンジは、直線性が成立する範囲のことである。分光器121の光電変換特性におけるダイナミックレンジは、入射光量と出力電流との比例関係が成立する範囲であり、光電変換特性における直線性が成立する範囲である。
図5Aに示すように、分光器121の光電変換特性におけるダイナミックレンジは、フォトディテクタに比べて狭いことが分かる。
図5Bは、電力が供給されると特定の波長領域の光を発光する素子の分光特性を分光器121で測定した例を示している。
図5Bに示すように、分光器121は、少なくとも870nmより短い波長領域や1000nmより大きい波長領域では、相対強度が10%以下であり、感度不良である。このため、分光器121は、少なくとも870nmより短い波長領域や1000nmより大きい波長領域の光については、光量を測定することができない。図5Bの黒色部分は、分光器121で光量を測定できない範囲を示す。
一定の測定精度の光量を得るため、例えば相対強度が20〜80%の範囲で分光器121を使用するときには、分光器121は、880nm〜920nm、950nm〜990nmの波長領域の光についてしか光量を測定することができない。これは、相対強度が20%以下の範囲や80%以上の範囲では、分光器121の光電変換特性における直線性が低下し、測定精度が低下するためである。図5Bの斜線部分は、分光器121で光量を測定可能な範囲を示す。
なお、図示していないが、フォトディテクタの光電変換特性におけるダイナミックレンジは十分に広いため、少なくとも図5Bに示した800nm〜1100nmの波長領域の光については、高い精度で光量を測定し得ることが多い。
よって、発光素子101の光学特性を高い信頼性で測定し得る技術が望まれている。
しかし、発光素子101の品種毎で測定環境を変えることによって、分光器121への入射光量を調整することは負荷が大きい。
よって、品種の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても、同じ測定環境下で高精度に測定し得る技術が望まれている。
発光素子101の光学特性測定時、測定対象の発光素子101が発光した光は、光ファイバ117に入射する。光ファイバ117に入射した光は、光減衰器123で減衰された後、分光器121に導光される。
分光器121は、光減衰器123を介して導光された光を検出すると、検出した光の光量を含む各種光学特性を測定する。分光器121は、光量を含む各種光学特性の測定結果を制御部151に出力する。
光学測定装置3の動作を統括的に制御する制御部151は、光学特性測定時に主として次のような処理を行う。
図6は、光学測定装置3の制御部151が光学特性測定時に行う処理を説明するためのフローチャートを示す。
制御部151は、分光器121の測定結果が入力されるまで待機する。一方、制御部151は、分光器121の測定結果が入力されたと判定されたならば、所定の記憶領域に記憶する。そして、制御部151は、ステップS20に移行する。
制御部151は、分光器121の測定結果の妥当性を、例えば、次のような方法で検証し得る。
制御部151は、ステップS20での検証により、分光器121の測定結果が妥当であると判定されたならば、ステップS40に移行する。一方、制御部151は、ステップS20での検証によって、分光器121の測定結果が妥当ではないと判定されたならば、ステップS60に移行する。
分光器121の測定結果は、出力部163にて情報出力される。
制御部151は、ステップS60で無効にされた分光器121の測定結果に含まれる光量測定結果を確認する。そして、制御部151は、当該光量測定結果に基づいて、光減衰器123における減衰量を求める。制御部151は、求めた減衰量を含む制御信号を光減衰器123に出力し、光減衰器123に減衰量を設定する。
制御部151は、光減衰器123における減衰量を、例えば、次のような方法で求め得る。すなわち、制御部151は、分光器121の光電変換特性におけるダイナミックレンジ内で取得し得る分光器121の光量測定結果の範囲の閾値と、ステップS60で無効にされた光量測定結果との差分に応じて減衰量を求める。
制御部151は、分光器121に制御信号を出力して、分光器121に再度測定するよう指示する。
再測定の際、分光器121は、ステップS70で設定された減衰量で減衰された光を検出し、光学特性を測定することができる。そして、再測定した分光器121の測定結果は、再び制御部151に入力されて、ステップS20で検証されることとなる。それにより、ステップS50で出力される分光器121の測定結果は、信頼性の高い測定だけとなる。
このため、光学測定装置3は、発光素子101の光学特性測定時に、信頼性の高い測定結果のみを有効として出力することができる。
よって、光学測定装置3の光学特性の測定結果は、高い信頼性を得ることができる。
このため、光学測定装置3は、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても、測定環境を変えずに、分光器121への入射光量を自動的に適正に保つことができる。
よって、光学測定装置3は、品種の異なる発光素子101の光学特性を、同じ測定環境下で高精度に測定することができる。そして、光学測定装置3は、簡単な構成で信頼性の高い測定結果を得ることができる。
図7〜図10を用いて、光学測定装置3の変形例について説明する。
図7〜図10に示す光学測定装置3の構成において、図2〜図6に示された光学測定装置3と同様の構成については説明を省略する。
図7は、光学測定装置3の変形例1を説明するための図を示す。
変形例1の光学測定装置3は、図2〜図6に示された光学測定装置3に積分球108を追加した構成を備える。
積分球108は、内壁108aと、取込口108bと、取出口108cとを備えている。
内壁108aは、積分球108の内部空間を形成する。内壁108aは、高反射率の拡散性に優れた材料で形成されている。
内壁108aには、取込口108b及び取出口108cが設けられている。
取込口108bの大きさは、光ファイバ117の入射口117cよりも十分に大きい。
取込口108bの開口中心軸は、測定対象の発光素子101の発光中心軸LCAと略一致する。
取込口108bは、発光素子101が発光した光を積分球108の内部に導く。取込口108bから積分球108の内部に導かれた光は、内壁108aで反射を繰り返し、取出口108cに到達する。
取出口108cは、内壁108aの取込口108bとは異なる位置に設けられている。
図7の取出口108cには、光ファイバ117が設けられている。
図7の取出口108cは、内壁108aで反射された光を光ファイバ117に導く。光ファイバ117に導かれた光は、光ファイバ117に入射し、光減衰器123を介して分光器121に導光される。
変形例1の光学測定装置3の他の構成については、図2〜図6に示された光学測定装置3の構成と同様である。
図8は、光学測定装置3の変形例2を説明するための図を示す。図9は、図8に示された制御部151が光学特性測定時に行う処理を説明するためのフローチャートを示す。
変形例2の光学測定装置3は、図7に示された変形例1の光学測定装置3に光導波路120と、フォトディテクタ105及びアンプ113と、を追加した構成を備える。
光導波路120は、光伝送路117bを、分光器121に向かう第1経路117dとフォトディテクタ105に向かう第2経路117eとに分岐する。第1経路117dは、光導波路120と分光器121との間を接続する光伝送路117bである。第2経路117eは、光導波路120とフォトディテクタ105との間を接続する光伝送路117bである。
光導波路120は、入射した光を内部で全反射させて伝送損失を極力抑制して、第1経路117d及び第2経路117eに分岐して導光する。第1経路117d及び第2経路117eに導光された光は、分光器121及びフォトディテクタ105にそれぞれ導光される。
フォトディテクタ105が測定する光学特性には、発光素子101が発光した光の光量が少なくとも含まれる。
フォトディテクタ105は、受光素子を含む。フォトディテクタ105は、受光素子に光が入射すると、光電変換によって入射光に応じた電荷を生成する。フォトディテクタ105の受光素子は、例えばフォトダイオード等である。
光学測定装置3の動作を統括的に制御する制御部151は、光学特性測定時に、図6に示された処理と一部異なる処理を行う。
なお、図9に示された各ステップのうち、図6と同様の処理については説明を省略する。
制御部151は、フォトディテクタ105の光量測定結果及び分光器121の測定結果が入力されるまで待機する。一方、制御部151は、フォトディテクタ105の光量測定結果及び分光器121の測定結果が入力されたと判定されたならば、各結果を対応付けて所定の記憶領域に記憶する。そして、制御部151は、ステップS20に移行する。
制御部151は、分光器121の測定結果の妥当性を、例えば、次のような方法で検証し得る。
制御部151は、ステップS60で無効にされた分光器121の測定結果と、当該結果に対応付けられたフォトディテクタ105の光量測定結果とを確認する。そして、制御部151は、当該光量測定結果に基づいて、光減衰器123における減衰量を求める。制御部151は、求めた減衰量を含む制御信号を光減衰器123に出力し、光減衰器123に減衰量を設定する。
制御部151は、光減衰器123における減衰量を、例えば、次のような方法で求め得る。
制御部151は、フォトディテクタ105及び分光器121に制御信号を出力して、フォトディテクタ105及び分光器121に再度測定するよう指示する。
このため、変形例2の光学測定装置3は、発光素子101の光学特性測定時に、より信頼性の高い測定結果のみを有効として出力することができる。
よって、変形例2の光学測定装置3の光学特性の測定結果は、より高い信頼性を得ることができる。
変形例2の光学測定装置3の他の構成については、図7に示された変形例1の光学測定装置3の構成と同様である。
図10は、光学測定装置3の変形例3を説明するための図を示す。
変形例3の光学測定装置3は、図8及び図9に示された変形例2の光学測定装置3に含まれるフォトディテクタ105を異なる位置に配置した構成を備える。
光ファイバ117の光伝送路117bは、分岐されておらず、光減衰器123及び分光器121にのみ接続されている。
フォトディテクタ105は、積分球108の内壁108aに設けられている。内壁108aにおけるフォトディテクタ105の位置は、取込口108b及び取出口108cが配置されていない位置である。
このため、変形例3の光学測定装置3は、フォトディテクタ105でより多くの光を検出することができ、より高い精度で光量を測定することができる。
変形例3の光学測定装置3の他の構成については、図8及び図9に示された変形例2の光学測定装置3の構成と同様である。
本実施形態の光学測定装置3は、発光素子101が発光した光を減衰する光減衰器123と、光減衰器123が減衰した光の光学特性を測定する分光器121と、発光素子101が発光した光の光量に基づいて、光減衰器123の減衰量を設定する制御部151と、を備えることを特徴とする。
このような構成により、光学測定装置3は、複雑な手段を用いることなく、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても測定環境を変えずに分光器121への入射光量を適正に保つことができる。そして、光学測定装置3は、簡単な構成で信頼性の高い測定結果を得ることができる。
このような構成により、光学測定装置3は、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても測定環境を変えずに分光器121への入射光量を適正に保つことができる装置を、より簡易な構成で実現することができる。そして、光学測定装置3は、信頼性の高い測定結果をより簡単な構成で得ることができる。
このような構成により、光学測定装置3は、複雑な手段を用いることなく、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても測定環境を変えずに分光器121への入射光量をより適正に保つことができる。そして、光学測定装置3は、簡単な構成でより信頼性の高い測定結果を得ることができる。
このような構成により、光学測定装置3は、複雑な手段を用いることなく、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても測定環境を変えずに分光器121への入射光量を更に適正に保つことができる。そして、光学測定装置3は、簡単な構成で更に信頼性の高い測定結果を得ることができる。
このような構成により、光学測定装置3は、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても測定環境を変えずに分光器121への入射光量を適正に保つことができる装置を、より簡易な構成で実現することができる。そして、光学測定装置3は、信頼性の高い測定結果をより簡単な構成で得ることができる。
このような構成により、光学測定装置3は、複雑な手段を用いることなく、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても測定環境を変えずに分光器121への入射光量を更に適正に保つことができる。そして、光学測定装置3は、簡単な構成で更に高精度で信頼性の高い測定結果を得ることができる。
「ダイナミックレンジ」は、入力と出力との比例関係が成立する範囲である。
本発明の「ダイナミックレンジ」の一例は、「測定器」又は「光量測定器」の光電変換特性におけるダイナミックレンジである。光電変換特性におけるダイナミックレンジは、入射光量と出力電流との比例関係が成立する範囲である。
本発明の「測定器」の一例は、分光器121である。
本発明の「光量測定器」の一例は、フォトディテクタ105である。
本発明の「制御部」の一例は、制御部151である。
本発明の「光減衰器」の一例は、光減衰器123である。
本発明の「導光管」の一例は、光ファイバ117である。
本発明の「入射口」の一例は、入射口117cである。
本発明の「光伝送路」の一例は、光伝送路117bである。
本発明の「積分球」の一例は、積分球108である。
101 発光素子
105 フォトディテクタ
108 積分球
117 光ファイバ
117a ヘッド
117b 光伝送路
117c 入射口
117d 第1経路
117e 第2経路
120 光導波路
121 分光器
123 光減衰器
151 制御部
Claims (6)
- 発光素子が発光した光を減衰する光減衰器と、
前記光減衰器が減衰した光の光学特性を測定する測定器と、
前記発光素子が発光した光の光量に基づいて、前記光減衰器の減衰量を設定する制御部と、
を備える光学測定装置。 - 前記発光素子が発光した光が入射する入射口と、前記入射口から入射した光を前記測定器に導光する光伝送路とを含む導光管を備え、
前記光減衰器は、前記入射口と前記測定器との間の前記光伝送路上に配置されている
請求項1に記載の光学測定装置。 - 前記制御部は、前記測定器が測定した光学特性の1つである光量に基づいて、前記光減衰器の減衰量を設定する
請求項2に記載の光学測定装置。 - 前記測定器よりもダイナミックレンジが広く、前記発光素子が発光した光の光量を測定する光量測定器を備え、
前記制御部は、前記光量測定器が測定した光量に基づいて、前記光減衰器の減衰量を設定する
請求項2に記載の光学測定装置。 - 前記導光管の前記光伝送路は、
前記入射口と前記光減衰器との間で前記光量測定器に向かって分岐され、
前記入射した光を分岐して前記測定器及び前記光量測定器に導光する
請求項4に記載の光学測定装置。 - 前記発光素子が発光した光を内部に取り込む積分球を備え、
前記導光管は、前記積分球に取り込まれた光を前記入射口から入射し、
前記光量測定器は、前記積分球に取り込まれた光の光量を測定する
請求項4に記載の光学測定装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2014/050694 WO2015107657A1 (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | 光学測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015107657A1 true JPWO2015107657A1 (ja) | 2017-03-23 |
JP6277208B2 JP6277208B2 (ja) | 2018-02-07 |
Family
ID=53542576
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015557639A Active JP6277208B2 (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | 光学測定装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6277208B2 (ja) |
TW (1) | TWI613421B (ja) |
WO (1) | WO2015107657A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6449830B2 (ja) * | 2016-10-11 | 2019-01-09 | 日機装株式会社 | 試験装置および発光装置の製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5494249U (ja) * | 1977-12-15 | 1979-07-04 | ||
JPH0779203A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Hitachi Cable Ltd | 光受信器 |
JPH08255367A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Sony Corp | 光信号検出増幅装置 |
US6360032B1 (en) * | 2000-02-18 | 2002-03-19 | John G. Berger | Two beam optical switch and attenuator and method of use |
JP2002107640A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Nikon Corp | 光量調整装置、光源装置、測定装置、研磨状況モニタ装置及び研磨装置 |
JP2002206967A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Minolta Co Ltd | 測光装置および測色装置 |
JP2002228521A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光装置および分光方法 |
JP2003322564A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Ando Electric Co Ltd | 光パワーメータ |
JP2009133735A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置 |
-
2014
- 2014-01-16 JP JP2015557639A patent/JP6277208B2/ja active Active
- 2014-01-16 WO PCT/JP2014/050694 patent/WO2015107657A1/ja active Application Filing
-
2015
- 2015-01-16 TW TW104101580A patent/TWI613421B/zh active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5494249U (ja) * | 1977-12-15 | 1979-07-04 | ||
JPH0779203A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Hitachi Cable Ltd | 光受信器 |
JPH08255367A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Sony Corp | 光信号検出増幅装置 |
US6360032B1 (en) * | 2000-02-18 | 2002-03-19 | John G. Berger | Two beam optical switch and attenuator and method of use |
JP2002107640A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Nikon Corp | 光量調整装置、光源装置、測定装置、研磨状況モニタ装置及び研磨装置 |
JP2002206967A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Minolta Co Ltd | 測光装置および測色装置 |
JP2002228521A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光装置および分光方法 |
JP2003322564A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Ando Electric Co Ltd | 光パワーメータ |
JP2009133735A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015107657A1 (ja) | 2015-07-23 |
TW201530102A (zh) | 2015-08-01 |
JP6277208B2 (ja) | 2018-02-07 |
TWI613421B (zh) | 2018-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8130378B2 (en) | Phase retardance inspection instrument | |
US20180172552A1 (en) | Optical fiber test apparatus | |
CN106931892B (zh) | 光学检测装置 | |
JP6277207B2 (ja) | 光学測定装置 | |
CN101813517A (zh) | 一种亮度测量装置 | |
US11435392B2 (en) | Inspection method and inspection system | |
JP3628344B2 (ja) | 半導体検査装置 | |
TW201405106A (zh) | 光量測定裝置及光量測定方法 | |
KR20020073255A (ko) | 광 투과율 측정방법 및 그 장치 | |
JP6277208B2 (ja) | 光学測定装置 | |
US6429669B1 (en) | Temperature-insensitive electro-optic probe | |
JP6277206B2 (ja) | 光学測定装置 | |
WO2017094495A1 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
CN108318134B (zh) | 一种亮度测量装置 | |
CN105510296B (zh) | 便携式消荧光拉曼光谱检测*** | |
US9377300B2 (en) | Photoreflectance device | |
US20100134791A1 (en) | Method and apparatus for measuring optical power of a light beam produced in a microscope | |
CN218823921U (zh) | 一种瞬态吸收光谱和磁光偏振并行测量*** | |
US11686669B2 (en) | Optical measurement device including a light splitting module comprising light splitters and a light inspecting module comprising a plurality of inspecting cameras | |
TWI801557B (zh) | 光差檢測器及檢查裝置 | |
US20230375337A1 (en) | Detection device, system and method for determination of incidence angle of an optical beam | |
CN211905063U (zh) | 一种光谱透过率测量装置 | |
CN207779554U (zh) | 一种亮度测量装置 | |
JP4713769B2 (ja) | 半導体レーザの高周波重畳動作検査装置 | |
CN115541534A (zh) | 一种瞬态吸收光谱和磁光偏振并行测量***及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170704 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6277208 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |