JPWO2013129446A1 - 垂直共振面発光レーザ - Google Patents
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Abstract
垂直共振面発光レーザ(10)は、量子井戸を備える活性層と(50)、この活性層(50)を挟む第1クラッド層(40)および第2クラッド層(60)と、第1クラッド層(40)の活性層(50)と反対側に配置された第1多層膜反射層(30)と、第2クラッド層(60)の活性層(50)と反対側に配置された第2多層膜反射層(80)と、第1多層膜反射層(30)の第1クラッド層(40)と反対側に配置された第1電極(91)と、第2多層膜反射層(80)の第2クラッド層(60)と反対側に配置された第2電極(92)と、を備える。第1クラッド層(40)および第2クラッド層(60)の少なくとも一方に、活性層(50)の量子井戸を形成するための光閉じ込め層の最小バンドギャップよりも小さく、量子井戸のバンドギャップよりも大きなバンドギャップとなる低活性エネルギー層(42,62)を備える。
Description
本発明は、基板面に対して垂直方向に光を共振させて、当該垂直方向に沿って出射する垂直共振面発光レーザに関する。
現在、半導体レーザの一種として、垂直共振面発光レーザ(VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting LASER))が実用化されている。
垂直共振面発光レーザの概略的な構造は、例えば特許文献1に示すように、裏面に下部電極が形成された絶縁性基板の上層に、第1DBR(多層分布ブラッグ反射器)層が形成されている。第1DBR(多層分布ブラッグ反射器)層の上層には第1スペーサ層が形成されている。第1スペーサ層の上層には、量子井戸を備える活性層が形成されている。活性層の上層には、第2スペーサ層が形成されている。第2スペーサ層の上層には、第2DBR層が形成されている。第2DBR層の上層には、上部電極が形成されている。そして、上部電極と下部電極間に駆動信号を印加することで、基板に垂直な(積層方向に平行な)方向へ鋭い指向性を有するレーザ光が発生する。
このような垂直共振面発光レーザにおいて、消費電流を低減しながら、活性層に与える電流密度を増加させるため、特許文献1の垂直共振面発光レーザでは、第2DBR層内に、酸化層によって電流開口が狭くされた領域が形成されている。
しかしながら、上述の構成からなる垂直共振面発光レーザでは、一般に、活性層を含む層を構成する材料と、特許文献1でいうところのスペーサ層やDBR層を構成する材料の組成が異なるため、格子不整合に起因する応力や歪みが生じる。このため、通電によりこれらの応力や歪みの影響が促進されて活性層に悪影響を及ぼし、電気光変換効率を低下させてしまうことがある。さらには、上述の特許文献1に示すように、酸化層によって電流開口が狭くされた領域を設けた場合にも、酸化層が形成されたことによって生じる応力や歪みの影響が通電により促進され、活性層へ悪影響を及ぼし、電気光変換効率を低下させてしまうことがある。
この発明の目的は、連続通電しても電気光変換効率が低下しない信頼性の高い垂直共振面発光レーザを実現することにある。
この発明は、量子井戸を備える活性層と、該活性層を挟む第1クラッド層および第2クラッド層と、第1クラッド層の活性層と反対側に配置された第1多層膜反射層と、第2クラッド層の活性層と反対側に配置された第2多層膜反射層と、第1多層膜反射層の第1クラッド層に接続された第1電極と、第2多層膜反射層の第2クラッド層に接続された第2電極と、を層構造で備える垂直共振面発光レーザに関するものであって、次の特徴を有する。第1クラッド層および第2クラッド層の少なくとも一方に、活性層の量子井戸を形成するための光閉じ込め層の最小バンドギャップよりも小さく、量子井戸のバンドギャップよりも大きなバンドギャップとなる低活性エネルギー層を備える。
この構成では、低活性エネルギー層を設けることで、格子不整合に起因する応力や歪みの活性層への伝搬が抑制される。これにより、連続通電による電気光変換効率の低下が抑制される。
また、この発明の垂直面発光レーザは、次の構成であることが好ましい。第2クラッド層と第2多層膜反射層との間に酸化狭窄層を備える。低活性エネルギー層は、第2クラッド層に形成されている。
この構成では、酸化狭窄層を備えることで消費電力を低下させることができるとともに、酸化狭窄層に起因する応力や歪みの活性層への伝搬が抑制される。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、第2クラッド層の低活性エネルギー層は、第2クラッド層の活性層と反対側の端部に形成されていることが好ましい。
この構成では、低活性エネルギー層の第2クラッド層内の具体的な形成位置を示している。このように活性層から離間することで、電気光変換効率の低下の抑制を効果的に実現できる。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、低活性エネルギー層は、第1クラッド層と第2クラッド層の両方に形成されていることが好ましい。
この構成では、活性層を挟む両側からの応力や歪みの活性層への伝搬が抑制される。これにより、電気光変換効率の低下の抑制を、より確実に実現できる。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、第1クラッド層に形成された低活性エネルギー層のバンドギャップは、第2クラッド層に形成された低活性エネルギー層のバンドギャップよりも小さいことが好ましい。
この構成では、低活性エネルギー層のより効果的な態様を示している。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、活性層は複数の量子井戸を備え、第1クラッド層の低活性エネルギー層のバンドギャップは複数の量子井戸間の障壁層のバンドギャップよりも小さいことが好ましい。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、第1クラッド層の低活性エネルギー層のバンドギャップおよび第2クラッド層の低活性エネルギー層のバンドギャップは、障壁層のバンドギャップよりも小さいことが好ましい。
これらの構成のように、障壁層のバンドギャップよりも低活性エネルギー層のバンドギャップを小さくすることで、電気光変換効率の低下の抑制を、より確実に実現できる。特に、第1、第2クラッド層の両方の低活性エネルギー層のバンドギャップを障壁層のバンドギャップよりも小さくすることで、電気光変換効率の低下の抑制を、より一層確実に実現できる。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、次の構成であってもよい。第1クラッド層のみに低活性エネルギー層が形成されている。第1クラッド層の低活性エネルギー層は、第1クラッド層の活性層と反対側の端部に形成されている。
この構成では、基板に起因する応力や歪みの活性層への伝搬が抑制される。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、次の構成であってもよい。第1クラッド層のみに前記低活性エネルギー層が形成されている。活性層は、複数の量子井戸を備える。第1クラッド層の低活性エネルギー層のバンドギャップは、複数の量子井戸間の障壁層のバンドギャップよりも小さい。
この構成のように、障壁層のバンドギャップよりも低活性エネルギー層のバンドギャップを小さくすることで、電気光変換効率の低下の抑制を、より確実に実現できる。
また、この発明は、量子井戸を備える活性層と、該活性層を挟む第1クラッド層および第2クラッド層と、第1クラッド層の活性層と反対側に配置された第1多層膜反射層と、第2クラッド層の活性層と反対側に配置された第2多層膜反射層と、第1多層膜反射層の第1クラッド層に接続された第1電極と、第2多層膜反射層の第2クラッド層に接続された第2電極と、を層構造で備える垂直共振面発光レーザに関するものであって、次の特徴を有する。活性層、第1クラッド層、第2クラッド層、第1多層膜反射層、第2多層膜反射層は、AlGaAs材料からなる。第1クラッド層および第2クラッド層の少なくとも一方に、活性層の量子井戸を形成するための光閉じ込め層のAl組成比率よりも低く、量子井戸のAl組成比率よりも高いAl組成比率となる低活性エネルギー層を備える。
この構成では、Al組成比率の低い低活性エネルギー層を設けることで、基板等に起因する応力や歪みの活性層への伝搬が抑制される。これにより、連続通電による電気光変換効率の低下が抑制される。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、次の構成であることが好ましい。第2クラッド層と第2多層膜反射層との間に第2多層膜反射層よりもAl組成比率の高い酸化狭窄層を備える。低活性エネルギー層は、第2クラッド層に形成されている。
この構成では、Al組成比率の高い酸化狭窄層を備えることで消費電力を低下させることができるとともに、酸化狭窄層に起因する応力や歪みの活性層への伝搬が抑制される。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、第2クラッド層の低活性エネルギー層は、第2クラッド層の前記活性層と反対側の端部に形成されていることが好ましい。
この構成では、低活性エネルギー層の第2クラッド層内の具体的な形成位置を示している。このように活性層から離間することで、電気光変換効率の低下の抑制を効果的に実現できる。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、低活性エネルギー層は、第1クラッド層と第2クラッド層の両方に形成されていることが好ましい。
この構成では、活性層を挟む両側からの応力や歪みの活性層への伝搬が抑制される。これにより、電気光変換効率の低下の抑制を、より確実に実現できる。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、第1クラッド層に形成された低活性エネルギー層のAl組成比率は、第2クラッド層に形成された低活性エネルギー層のAl組成比率よりも低いことが好ましい。
この構成では、低活性エネルギー層のAl組成比率のより効果的な態様を示している。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、活性層は複数の量子井戸を備え、第1クラッド層の低活性エネルギー層のAl組成比率は複数の量子井戸間の障壁層の組成比率よりも低いことが好ましい。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、第1クラッド層の低活性エネルギー層のAl組成比率および第2クラッド層の低活性エネルギー層のAl組成比率は、障壁層のAl組成比率よりも低いことが好ましい。
これらの構成のように、障壁層のAl組成比率よりも低活性エネルギー層のAl組成比率を低くすることで、電気光変換効率の低下の抑制を、より確実に実現できる。特に、第1、第2クラッド層の両方の低活性エネルギー層のAl組成比率を障壁層のAl組成比率よりも低くすることで、電気光変換効率の低下の抑制を、より一層確実に実現できる。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、次の構成であってもよい。第1クラッド層のみに低活性エネルギー層が形成されている。第1クラッド層の低活性エネルギー層は、第1クラッド層の活性層と反対側の端部に形成されている。
この構成では、基板に起因する応力や歪みの活性層への伝搬が抑制される。
また、この発明の垂直面発光レーザでは、次の構成であってもよい。第1クラッド層のみに低活性エネルギー層が形成されている。活性層は複数の量子井戸を備える。第1クラッド層の低活性エネルギー層のAl組成比率は、複数の量子井戸間の障壁層のAl組成比率よりも低い。
この構成のように、障壁層のAl組成比率よりも低活性エネルギー層の組成比率を低くすることで、電気光変換効率の低下の抑制を、より確実に実現できる。
この発明によれば、垂直共振面発光レーザに連続通電しても電気光変換効率が殆ど低下しない。これにより、信頼性の高い垂直共振面発光レーザを実現することができる。
本発明の第1の実施形態に係る垂直共振面発光レーザ(VCSEL)について、図を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施形態に係る垂直共振面発光レーザ10の平面図である。図2は本発明の第1の実施形態に係る垂直共振面発光レーザ10の側面断面図である。図3は、本発明の第1の実施形態に係る垂直共振面発光レーザ10の部分拡大側面断面図である。
垂直共振面発光レーザ10は、図1、図2、図3に示す構造を有するヘテロ接合型の半導体からなる。垂直共振面発光レーザ10は、GaAsを材料とするベース基板20を備える。ベース基板20は平板状であり、下面には第1電極91が形成されている。
ベース基板20の上面、すなわち第1電極91が形成された下面と反対側の面には、第1DBR(多層分布ブラッグ反射器)層30が形成されている。第1DBR層30は、AlGaAs材料からなり、GaAsに対するAlの組成比率が異なる層を複数層積層してなる。このような層構成により所定周波数のレーザ光を発生するための第1の反射器を形成する。第1DBR層30はn型のDBR層である。
第1DBR層30の上面(ベース基板20に当接する面と反対の面)の所定領域には、第1クラッド層40が形成されている。第1クラッド層40もAlGaAs材料からなる。第1クラッド層40は、高活性エネルギー層41と低活性エネルギー層42とを備える。高活性エネルギー層41と低活性エネルギー層42は、層状に形成されている。低活性エネルギー層42が第1DBR層30側となるように、高活性エネルギー層41と低活性エネルギー層42が配置されている。
第1クラッド層40の上面(第1DBR層30と当接する面と反対の面)には、活性層50が形成されている。活性層50もAlGaAs材料からなる。活性層50は、積層方向に沿って屈折率分布が形成されるように、屈折率が異なる複数の層が積層された構造からなる。これら屈折率の異なる層は、各層のGaAsに対するAl組成比率を異ならせることによって実現される。このような構成により、活性層50には、バンドギャップの高い光閉じ込め層に挟まれた単一もしくは複数の量子井戸を有する層となる。
活性層50の上面(第1クラッド層40と当接する面の反対の面)には、第2クラッド層60が形成されている。第2クラッド層60もAlGaAs材料からなる。第2クラッド層60は、高活性エネルギー層61と低活性エネルギー層62とを備える。高活性エネルギー層61と低活性エネルギー層62は、層状に形成されている。高活性エネルギー層61が活性層50側となるように、高活性エネルギー層61と低活性エネルギー層62が配置されている。
第2クラッド層60の上面(活性層50に当接する面の反対の面)には、第2DBR層80が形成されている。第2DBR層80は、AlGaAs材料からなり、GaAsに対するAlの組成比率が異なる層を複数層積層してなる。このような層構成により所定周波数のレーザ光を発生するための第2の反射器を形成する。第2DBR層80はp型のDBR層である。第2DBR層80は、第1DBR層30に対して反射率が若干低くなるように形成されている。
第2クラッド層60と第2DBR層80との境界面には、酸化狭窄層70が形成されている。酸化狭窄層70は、AlGaAs材料からなり、GaAsに対するAlの組成比率が他の各層よりも高く設定されている。酸化狭窄層70は、第2クラッド層60と第2DBR層80と境界面の全面に形成されているわけでなく、形成領域の略中央に所定の面積で非形成部が存在する。
第2DBR層80の上面には、リング電極921が形成されている。リング電極921は、図1に示すように平面視して環状の電極である。
上述のような層構成からなる半導体機能部に対して、リング電極921の形成部を除く全体が、絶縁層93で覆われている。さらに、第1クラッド層40から第2DBR層80までが形成された領域と高さを略一致させるため、絶縁体94が形成されている。絶縁体94の上面には、リング電極921に接続するパッド電極922が形成されている。このリング電極921とパッド電極922とにより、第2電極92が構成される。
このような構成において、光定在波分布の中心の腹の位置に、1つの発光スペクトルピーク波長を有する複数の量子井戸が配置されるように、各層の厚み、GaAsに対するAlの組成比率を設定することで、垂直共振面発光レーザ10として機能する。さらに、上述の酸化狭窄層70を備えることで、電流を活性領域に効率良く注入できるとともに、レンズ効果も得られるため、低消費電力の垂直共振面発光レーザを実現できる。
本実施形態の垂直共振面発光レーザ10では、次に示すように、各層におけるGaAsに対するAlの組成比率をさらに設定することで、バンドギャップの大小関係を決定している。図4は本発明の第1の実施形態に係る垂直共振面発光レーザ10のバンドエネルギーの分布図である。図5は図4に示すバンドエネルギーの分布図の活性層50付近の拡大図である。図6は本発明の第1の実施形態に係る垂直共振面発光レーザ10の各層のAl組成比率(Al含有比)の分布図である。
基板20は、GaAs材料からなり、Alは含有されていない。第1DBR層30は、Alの組成比率が大幅に異なる層が複数層積層した構造からなる。すなわち、Al組成比率が大幅に高い層とAl組成比率が大幅に低い層とが交互に積層された構造からなる。これにより、上述のようにレーザ光に対して反射器として作用する。
第1クラッド層40は、Al組成比の高い高活性エネルギー層41と、Al組成比の低い低活性エネルギー層42とによって構成される。これにより、第1クラッド層40は、エネルギーギャップの高い高活性エネルギー層41とエネルギーギャップの低い低活性エネルギー層42との2層構造となる。
活性層50は、Al組成比率の高い光閉じ込め層で、Alの含有されていない複数の層を挟み込む構造からなる。これにより、活性層50は、エネルギーギャップの高い光閉じ込め層で複数(多重)の量子井戸を挟み込む構造となる。
ここで、第1クラッド層40の高活性エネルギー層41のエネルギーギャップEg(CL)は、活性層50の光閉じ込め層のエネルギーギャップEg(OC)よりも大きくなるように、設定されている。第1クラッド層40の低活性エネルギー層42のエネルギーギャップEg(CLD1)は、光閉じ込め層のエネルギーギャップEg(OC)よりも小さく、量子井戸準位のエネルギーギャップEg(QW)よりも大きくなるように設定されている。
言い換えれば、高活性エネルギー層41のAl組成比率が、活性層50の光閉じ込め層のAl組成比率よりも高くなるように設定されている。また、低活性エネルギー層42のAl組成比率が、光閉じ込め層のAl組成比率よりも低く、量子井戸準位のAl組成比率よりも高くなるように設定されている。
このような構成とすることで、連続通電により基板20および第1DBR層30に起因する応力や歪みが活性層50に影響を及ぼすことが抑制されていると考えられる。この際、本実施形態の垂直共振面発光レーザ10のように、低活性エネルギー層42を第1DBR層30側に配置することで、より効果的に影響を抑制することができる。
第2クラッド層60は、Al組成比の高い高活性エネルギー層61と、Al組成比の低い低活性エネルギー層62とによって構成される。これにより、第1クラッド層60は、エネルギーギャップの高い高活性エネルギー層61とエネルギーギャップの低い低活性エネルギー層62との2層構造となる。
ここで、第2クラッド層60の高活性エネルギー層61のエネルギーギャップEg(CL)は、活性層50の光閉じ込め層のエネルギーギャップEg(OC)よりも大きくなるように、設定されている。第2クラッド層60の低活性エネルギー層62のエネルギーギャップEg(CLD2)は、光閉じ込め層のエネルギーギャップEg(OC)よりも小さく、量子井戸準位のエネルギーギャップEg(QW)よりも大きくなるように設定されている。
言い換えれば、高活性エネルギー層61のAl組成比率が、活性層50の光閉じ込め層のAl組成比率よりも高くなるように設定されている。また、低活性エネルギー層62のAl組成比率が、光閉じ込め層のAl組成比率よりも低く、量子井戸準位のAl組成比率よりも高くなるように設定されている。
このような構成とすることで、連続通電により酸化狭窄層70および第2DBR層80に起因する応力や歪みが活性層50に影響を及ぼすことが抑制されていると考えられる。この際、本実施形態の垂直共振面発光レーザ10のように、低活性エネルギー層62を酸化狭窄層70および第2DBR層80側に配置することで、より効果的に影響を抑制することができる。
さらに、低活性エネルギー層42,62は、Alの組成比率(含有率)が低いため、第1、第2クラッド層40,60の熱伝導性が向上する。これにより、活性層50で発生した熱が外部へ効率良く伝導され、レーザ特性の劣化を抑制することができる。
また、低活性エネルギー層42,62のAlの組成比率が少ないことで、意図しない不純物(ドーパント)の増加を防ぐことができる。これにより、垂直共振面発光レーザ10を実現する半導体エピ構造の結晶性を良好することができる。
図7は、本発明の第1の実施形態に係る垂直共振面発光レーザ10と、従来のクラッド層の構造の垂直共振面発光レーザとの連続通電による平均光出力の変化を示す特性図である。なお、本実験は、150℃における高温通電実験の結果である。
また、図7に特性を示す従来の各クラッド層は、図8に示すような構成からなる。図8は、従来の垂直共振面発光レーザのAl組成比率(Al含有比)の分布図である。図8(A)の構成は、図7の従来1に対応し、両クラッド層のAl組成比率が厚み方向に一定である。図8(B)の構成は、図7の従来2に対応し、両クラッド層のAl組成比率が活性化層側からDBR層側に向かって徐々に高くなっている。図8(C)の構成は、図7の従来3に対応し、第1クラッド層のAl組成比率が活性化層側からDBR層側に向かって徐々に高くなり、第2クラッド層が高活性エネルギー層(活性化層側)と低活性エネルギー層(第2DBR層側)の2層構造になっている。
図7に示すように、本実施形態の垂直共振面発光レーザ10では、1000時間通電し続けても、光出力量が殆ど変化しない。すなわち、通電時間によらず電気光変換効率が低下しない。一方、従来の各構成の垂直共振面発光レーザでは、通電時間にしたがって、光出力量が低下していく。すなわち、通電時間にしたがって電気光変換効率が低下していく。
この実験結果からも分かるように、本実施形態に示すように、活性層50を挟む第1クラッド層40および第2クラッド層60に低活性エネルギー層を設けることで、連続通電による電気光変換効率の低下を大幅に抑制することができる。
なお、上述の説明では、第1クラッド層40、第2クラッド層60の両方に低活性エネルギー層を設ける例を示したが、少なくともいずれか一方に低活性エネルギー層を設けるだけでも、連続通電による電気光変換効率の低下を抑制することはできる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る垂直共振面発光レーザについて、図を参照して説明する。図9は本発明の第2の実施形態に係る垂直共振面発光レーザ10Aのバンドエネルギーの分布図の活性層50A付近の拡大図である。なお、本実施形態の垂直共振面発光レーザ10Aは、活性層50Aの構成(エネルギー分布)、第1クラッド層40Aの構成(エネルギー分布)が異なるものであり、他の構成は第1の実施形態に示した垂直共振面発光レーザ10と同じである。
本実施形態の垂直共振面発光レーザ10Aは、複数の量子井戸の間に光閉じ込め層よりもエネルギーギャップの小さな障壁層を備えるものである。このような構成では、第1クラッド層40Aの低活性エネルギー層42AのエネルギーギャップEg(CLD1A)が次に示す関係になるように設定する。
第1クラッド層40Aの低活性エネルギー層42AのエネルギーギャップEg(CLD1A)は、活性層50Aの障壁層のエネルギーギャップEg(BL)よりも小さく、量子井戸準位のエネルギーギャップEg(QW)よりも大きくなるように設定されている。言い換えれば、第1クラッド層40Aの低活性エネルギー層42AのAl組成比率は、活性層50Aの障壁層のAl組成比率よりも低く、量子井戸準位のAl組成比率よりも高くなるように設定されている。
活性層50Aに障壁層を備える場合、このような構成とすることで、上述の第1の実施形態と同様に、基板20および第1DBR層30に起因する応力や歪みが活性層50Aに影響を及ぼすことを抑制することができると考えられる。これにより、連続通電による電気光変換効率の低下を大幅に抑制することができる。
さらに、第2クラッド層60Aの低活性エネルギー層62AのエネルギーギャップEg(CLD2A)を、活性層50Aの障壁層のエネルギーギャップEg(BL)よりも小さく、量子井戸準位のエネルギーギャップEg(QW)よりも大きくなるように設定すると、よりよい。言い換えれば、第2クラッド層60Aの低活性エネルギー層62AのAl組成比率を、活性層50Aの障壁層のAl組成比率よりも低く、量子井戸準位のAl組成比率よりも高くなるように設定するとよい。
これにより、さらに酸化狭窄層70および第2DBR層80に起因する応力や歪みが活性層50Aに影響を及ぼすことを抑制することができると考えられる。これにより、連続通電による電気光変換効率の低下をさらに大幅に抑制することができる。
次に、第3の実施形態に係る垂直共振面発光レーザについて、図を参照して説明する。図10は本発明の第3の実施形態に係る垂直共振面発光レーザ10Aのバンドエネルギーの分布図の活性層50B付近の拡大図である。なお、本実施形態の垂直共振面発光レーザ10Bは、活性層50Bの構成(エネルギー分布)、第1クラッド層40Aの構成(エネルギー分布)が異なるものであり、他の構成は第1の実施形態に示した垂直共振面発光レーザ10と同じである。
本実施形態の垂直共振面発光レーザ10Bは、活性層50Bに単一の量子井戸を備えるものである。このような構成では、第1クラッド層40Aの低活性エネルギー層42AのエネルギーギャップEg(CLD1B)が次に示す関係になるように設定する。
第1クラッド層40の低活性エネルギー層42のエネルギーギャップEg(CLD1B)は、光閉じ込め層のエネルギーギャップEg(OC)よりも小さく、量子井戸準位のエネルギーギャップEg(QW)よりも大きくなるように設定されている。言い換えれば、第1クラッド層40Bの低活性エネルギー層42BのAl組成比率は、活性層50Bの光閉じ込め層のAl組成比率よりも低く、量子井戸準位のAl組成比率よりも高くなるように設定されている。
このような構成とすることで、上述の第1、第2の実施形態と同様に、基板20および第1DBR層30に起因する応力や歪みが活性層50Bに影響を及ぼすことを抑制することができると考えられる。これにより、連続通電による電気光変換効率の低下を大幅に抑制することができる。
さらに、第2クラッド層60Bの低活性エネルギー層62BのエネルギーギャップEg(CLD2B)を、活性層50Bの光閉じ込め層のエネルギーギャップEg(OC)よりも小さく、量子井戸準位のエネルギーギャップEg(QW)よりも大きくなるように設定すると、よりよい。言い換えれば、第2クラッド層60Bの低活性エネルギー層62BのAl組成比率を、活性層50Bの光閉じ込め層のAl組成比率よりも低く、量子井戸準位のAl組成比率よりも高くなるように設定するとよい。
これにより、さらに酸化狭窄層70および第2DBR層80に起因する応力や歪みが活性層50Bに影響を及ぼすことを抑制することができると考えられる。これにより、連続通電による電気光変換効率の低下をさらに大幅に抑制することができる。
なお、上述の各実施形態では、GaAs基板上にAlGaAsをヘテロ接合した半導体による垂直共振面発光レーザを例に示したが、他の材料からなるヘテロ接合した半導体による垂直共振面発光レーザにも、上述の構成を適用することができる。
10,10A,10B:垂直平面発光レーザ、
20:ベース基板、
30:第1DBR層、
40,40A,40B:第1クラッド層、
41:高活性エネルギー層、
42,42A,42B:低活性エネルギー層、
50,50A,50B:活性層、
60,60A,60B:第2クラッド層、
61:高活性エネルギー層、
62,62A,62B:低活性エネルギー層、
70:酸化狭窄層、
80:第2DBR層、
91:第1電極、92:第2電極、
921:リング電極、922:パッド電極
20:ベース基板、
30:第1DBR層、
40,40A,40B:第1クラッド層、
41:高活性エネルギー層、
42,42A,42B:低活性エネルギー層、
50,50A,50B:活性層、
60,60A,60B:第2クラッド層、
61:高活性エネルギー層、
62,62A,62B:低活性エネルギー層、
70:酸化狭窄層、
80:第2DBR層、
91:第1電極、92:第2電極、
921:リング電極、922:パッド電極
Claims (18)
- 量子井戸を備える活性層と、
該活性層を挟む第1クラッド層および第2クラッド層と、
前記第1クラッド層の前記活性層と反対側に配置された第1多層膜反射層と、
前記第2クラッド層の前記活性層と反対側に配置された第2多層膜反射層と、
前記第1多層膜反射層の前記第1クラッド層に接続された第1電極と、
前記第2多層膜反射層の前記第2クラッド層に接続された第2電極と、を層構造で備える垂直共振面発光レーザであって、
前記第1クラッド層および前記第2クラッド層の少なくとも一方に、前記活性層の前記量子井戸を形成するための光閉じ込め層の最小バンドギャップよりも小さく、前記量子井戸のバンドギャップよりも大きなバンドギャップとなる低活性エネルギー層を備える、垂直共振面発光レーザ。 - 前記第2クラッド層と前記第2多層膜反射層との間に酸化狭窄層を備え、
前記低活性エネルギー層は、前記第2クラッド層に形成されている、請求項1に記載の垂直共振面発光レーザ。 - 前記第2クラッド層の前記低活性エネルギー層は、前記第2クラッド層の前記活性層と反対側の端部に形成されている、請求項1または請求項2に記載の垂直面発光レーザ。
- 前記低活性エネルギー層は、前記第1クラッド層と前記第2クラッド層の両方に形成されている、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の垂直面発光レーザ。
- 前記第1多層膜反射層の前記第1クラッド層と反対側に配置された支持用の基板を更に備え、
前記第1クラッド層に形成された前記低活性エネルギー層のバンドギャップは、前記第2クラッド層に形成された前記低活性エネルギー層のバンドギャップよりも小さい、請求項4に記載の垂直面発光レーザ。 - 前記活性層は、複数の量子井戸を備え、
前記第1クラッド層の前記低活性エネルギー層のバンドギャップは、前記複数の量子井戸間の障壁層のバンドギャップよりも小さい、請求項4または請求項5に記載の垂直共振面発光レーザ。 - 前記第1クラッド層の前記低活性エネルギー層のバンドギャップおよび前記第2クラッド層の前記低活性エネルギー層のバンドギャップは、前記障壁層のバンドギャップよりも小さい、請求項6に記載の垂直面発光レーザ。
- 前記第1クラッド層のみに前記低活性エネルギー層が形成されており、
前記第1クラッド層の前記低活性エネルギー層は、前記第1クラッド層の前記活性層と反対側の端部に形成されている、請求項1に記載の垂直共振面発光レーザ。 - 前記第1クラッド層のみに前記低活性エネルギー層が形成されており、
前記活性層は、複数の量子井戸を備え、
前記第1クラッド層の前記低活性エネルギー層のバンドギャップは、前記複数の量子井戸間の障壁層のバンドギャップよりも小さい、請求項1または請求項8に記載の垂直面発光レーザ。 - 量子井戸を備える活性層と、
該活性層を挟む第1クラッド層および第2クラッド層と、
前記第1クラッド層の前記活性層と反対側に配置された第1多層膜反射層と、
前記第2クラッド層の前記活性層と反対側に配置された第2多層膜反射層と、
前記第1多層膜反射層の前記第1クラッド層に接続された第1電極と、
前記第2多層膜反射層の前記第2クラッド層に接続された第2電極と、を層構造で備える垂直共振面発光レーザであって、
前記活性層、前記第1クラッド層、前記第2クラッド層、前記第1多層膜反射層、前記第2多層膜反射層は、AlGaAs材料からなり、
前記第1クラッド層および前記第2クラッド層の少なくとも一方に、前記活性層の前記量子井戸を形成するための光閉じ込め層のAl組成比率よりも低く、前記量子井戸のAl組成比率よりも高いAl組成比率となる低活性エネルギー層を備える、垂直共振面発光レーザ。 - 前記第2クラッド層と前記第2多層膜反射層との間に前記第2多層膜反射層よりもAl組成比率の高い酸化狭窄層を備え、
前記低活性エネルギー層は、前記第2クラッド層に形成されている、請求項10に記載の垂直共振面発光レーザ。 - 前記第2クラッド層の前記低活性エネルギー層は、前記第2クラッド層の前記活性層と反対側の端部に形成されている、請求項10または請求項11に記載の垂直面発光レーザ。
- 前記低活性エネルギー層は、前記第1クラッド層と前記第2クラッド層の両方に形成されている、請求項10乃至請求項12のいずれかに記載の垂直面発光レーザ。
- 前記第1多層膜反射層の前記第1クラッド層と反対側に配置された支持用の基板を更に備え、
前記第1クラッド層に形成された前記低活性エネルギー層のAl組成比率は、前記第2クラッド層に形成された前記低活性エネルギー層のAl組成比率よりも低い、請求項13に記載の垂直面発光レーザ。 - 前記活性層は、複数の量子井戸を備え、
前記第1クラッド層の前記低活性エネルギー層のAl組成比率は、前記複数の量子井戸間の障壁層の組成比率よりも低い、請求項13または請求項14に記載の垂直共振面発光レーザ。 - 前記第1クラッド層の前記低活性エネルギー層のAl組成比率および前記第2クラッド層の前記低活性エネルギー層のAl組成比率は、前記障壁層のAl組成比率よりも低い、請求項15に記載の垂直面発光レーザ。
- 前記第1クラッド層のみに前記低活性エネルギー層が形成されており、
前記第1クラッド層の前記低活性エネルギー層は、前記第1クラッド層の前記活性層と反対側の端部に形成されている、請求項10に記載の垂直共振面発光レーザ。 - 前記第1クラッド層のみに前記低活性エネルギー層が形成されており、
前記活性層は、複数の量子井戸を備え、
前記第1クラッド層の前記低活性エネルギー層のAl組成比率は、前記複数の量子井戸間の障壁層のAl組成比率よりも低い、請求項10または請求項17に記載の垂直面発光レーザ。
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