JPWO2009157189A1 - 圧電体素子とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明の圧電体素子は、基板と、基板上に順に形成された下部電極層、圧電体層、上部電極層を有する。基板の線熱膨張係数を圧電体層のものより大きくし、圧電体層を圧縮方向の面内応力を有する多結晶体とする。これにより、圧電体層が分極軸方向に高い配向性を有し、印加電圧に対する変位量の比例性が高く、変位量の絶対値が大きい圧電体素子を実現する。
Description
本発明は、電気機械変換機能を有する圧電体素子とその製造方法に関する。
ペロブスカイト型構造を有する酸化物誘電体薄膜は一般式ABO3で表され、優れた強誘電性、圧電性、焦電性および電気光学特性を示す。各種センサやアクチュエータなど幅広いデバイスに有効な材料として注目されており、今後その利用範囲は急激に拡大していくと思われる。ペロブスカイト型酸化物であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT:一般式Pb(ZrxTi1−x)O3(0<x<1))系薄膜は、高い圧電性を有することから、圧電センサや圧電アクチュエータなどの圧電体素子として利用されている。圧電センサは、強誘電性の圧電効果を利用したものである。強誘電体は内部に自発分極を有しており、その表面に正および負電荷を発生させる。大気中における定常状態では大気中の分子が持つ電荷と結合して中性状態になっている。この圧電体に外圧がかかると圧電体から圧力量に応じた電気信号を取り出すことができる。また、圧電アクチュエータも同様の原理を用いたもので、圧電体に電圧を印加するとその電圧に応じて圧電体が伸縮し、伸縮方向あるいはその方向に直交する方向に変位を生じさせることができる。
PZT系薄膜は蒸着法、スパッタリング法(スパッタ法)、CVD法(Chemical Vapor Deposition法)等に代表される気相成長法、もしくは化学溶液法(CSD法:Chemical Solution Deposition法)、水熱合成法等に代表される液相成長法を用いて作製が試みられている。この中で、CSD法は組成制御が容易で、再現性良く薄膜を作製しやすい。また製造設備に必要なコストが安く大量生産が可能であるという特徴がある。
図9は、従来の強誘電体薄膜素子の断面図である。図9において、シリコン基板11の表面に膜厚2000Åの熱酸化膜12を形成し、この熱酸化膜12上に膜厚300ÅのTi膜13をスパッタ法で形成し、このTi膜13上に膜厚2000ÅのPt膜14を同じくスパッタ法で形成し、これらを基板として用いている。
以下、従来の強誘電体素子の製造方法を示す。
まず、1molの酢酸に、酢酸鉛0.1molを加え100℃において窒素雰囲気中で約一時間加熱撹拌した。この溶液に、チタンイソプロポキシド(Ti(OCH(CH3)2)4)を2−メトキシエタノールで1mol/Lに調製した溶液36mlとジルコニウムイソプロポキシド(Zr(OCH(CH3)2)4)を2−メトキシエタノールで1mol/Lに調製した溶液64mlを加えた。この溶液をさらに120℃において窒素雰囲気中で約3時間加熱撹拌して、室温まで冷却した後、2−メトキシエタノールで0.5mol/Lに調製した。さらに、この溶液に0.2molの水を加え約1時間撹拌した後ジエタノールアミンを加え、これをPZT前駆体溶液として用いた。この前駆体溶液を上記基板上に滴下し、350rpm×3秒、5000rpm×20秒の条件でスピンコートし、乾燥ゲルを100℃×15分の熱処理で作製した。その後、有機物の熱分解を400℃×60分で行った。このステップを3回繰り返すことにより、膜厚約2000Åの薄膜15を得た。前記薄膜15に、赤外線高速アニーリング装置を用いて熱処理を施して結晶化しPZT薄膜15を得た。熱処理条件は、大気圧、100%酸素雰囲気中、アニーリング温度は650℃、アニーリング時間は15秒である。PZT薄膜15の上に、さらに上部電極層16が形成される。
図10は従来の圧電体素子のP−Eヒステリシスを示す図である。図10において、従来の方法により作製したPZT薄膜15の108回の分極反転を繰り返した前後の強誘電性を示す分極量(P)−印加電界(E)ヒステリシスループを示す。従来の圧電体素子は、印加電圧に対する変位量の線形性が低かった。その理由は、圧電体層の結晶配向性が低いからである。
このような圧電体層では、P−Eヒステリシスループの角型性M、すなわちM=Pr/Psで表される飽和分極Psと残留分極Prの比が低くなり、印加電圧に対する変位量の線形性が低下する。印加電圧に対する変位量の線形性が低いと、デバイスの制御が困難となる。
この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
本発明の圧電体素子は、基板と、この基板上に順に形成された下部電極層、圧電体層、上部電極層とを有する。下部電極層は導電性酸化物結晶体からなり、基板は圧電体層よりも大きい線熱膨張係数を有し、圧電体層は圧縮方向の面内応力を有する多結晶体である。
これにより本発明は、印加電圧に対する変位量の線形性を向上させることができる。その理由は、圧電体層の結晶配向性が向上するからである。すなわち本発明は、下部電極層が導電性酸化物結晶体であるため、基板の組成に殆ど影響を受けること無く、その主配向面の格子定数を圧電体層の主配向面の格子定数と近似させることができる。
また基板は、圧電体層よりも線熱膨張係数の大きい基板を用いることで、圧電体層の形成ステップにおいて、この圧電体層に圧縮応力を印加することができる。その結果、圧電体層の分極軸方向に配向性が高まり、印加電圧に対する変位量の線形性を向上させることができる。
以下、本発明の圧電体素子とその製造方法に関する実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における圧電体素子の断面図である。図1において、圧電体素子は、基板1と、基板1上に順に形成された拡散防止層2と、下部電極層3と、圧電体層4と、上部電極層5とから構成されている。
図1は、本発明の実施の形態1における圧電体素子の断面図である。図1において、圧電体素子は、基板1と、基板1上に順に形成された拡散防止層2と、下部電極層3と、圧電体層4と、上部電極層5とから構成されている。
基板1の材料として、圧電体層4よりも線熱膨張係数が大きく、また破壊靱性が大きい材料を用いることができる。例えばステンレス材料やアルミ、マグネシウム等の金属材料等、種々の材料を用いることができる。
拡散防止層2は基板1や圧電体層4の構成元素の相互拡散を抑制するものであり、二酸化シリコンや二酸化チタン等の結晶粒界が存在しない酸化物材料が望ましい。
下部電極層3はニッケル酸ランタン(LNO:化学式LaNiO3)を主成分とする材料からなる。ニッケル酸ランタン(以下、LNOという)はR−3cの空間群を持ち、菱面体に歪んだペロブスカイト型構造(菱面体晶系:a0=5.461Å(a0=ap)、α=60°、擬立方晶系:a0=3.84Å)を有する。LNOは、抵抗率が1×10−3(Ω・cm、300K)で、金属的電気伝導性を有する酸化物であって、温度を変化させても金属−絶縁体転移が起こらないという特徴を持つ。
LNOを主成分とする材料としては、ニッケルの一部を他の金属で置換した材料等が用いられる。例えば鉄で置換したLaNiO3−LaFeO3系材料、アルミニウムで置換したLaNiO3−LaAlO3系材料、マンガンで置換したLaNiO3−LaMnO3系材料、コバルトで置換したLaNiO3−LaCoO3系材料等である。
圧電体層4は面体晶系または正方晶系の(001)面配向のPZTからなる。PZTの組成は、正方晶系と菱面体晶系との境界(モルフォトロピック相境界)付近の組成(Zr/Ti=53/47)である。なお、圧電体層4におけるZr/Ti組成は、Zr/Ti=53/47に限らず、Zr/Ti=30/70〜70/30であればよい。また、圧電体層4の構成材料は、PZTにSr、Nb、Al等の添加物を含有したもの等、PZTを主成分とするペロブスカイト型酸化物強誘電体であればよく、PMN(マグネシウムニオブ酸鉛)やPZN(亜鉛ニオブ酸鉛)であってもよい。
また圧電体層4は、基板1に垂直な面は分極軸方向に優先配向し、基板1に平行な面はランダム配向をしていることが好ましい。これにより弾性が小さく破壊靭性が大きい構造となり、アクチュエータのような振動を繰り返すデバイスに適する。
ここで、本実施の形態1で用いた正方晶系のPZTは、a=b=4.036Å、c=4.146Åの格子定数を有する材料である。したがって、a=3.84Åの格子定数を有する擬立方晶構造のLNOは、PZTとの格子マッチングが良好である。格子マッチングとは、PZTの単位格子とLNOの表面の単位格子との格子整合性のことをいう。一般的に、ある種の結晶面が表面に露出している場合、その結晶格子と、その上に成膜する膜の結晶格子とがマッチングしようとする力が働き、基板−膜界面でエピタキシャルな結晶核を形成しやすいことが報告されている。
なお、圧電体層4の主配向面と下部電極層3の主配向面との格子定数の差が±10%以内であれば、圧電体層4の(001)/(100)方向の配向性を高くすることができる。そして基板−膜界面でエピタキシャルな結晶核を形成することができる。
LNOを下述の製造方法により作製することで、種々の基板上に(100)方向に優先配向した多結晶膜を実現することができる。従って、LNOは下部電極としての働きだけではなく、圧電体層4の配向制御層としての機能も有する。これより(100)面配向したLNOの表面(格子定数:3.84Å)と格子マッチングのよいPZT(格子定数:a=4.036、c=4.146Å)の(001)面および(100)面が選択的に生成される。また、下部電極層3のLNO薄膜は多結晶構造であるから、その上に形成したPZT薄膜も多結晶構造となる。
圧電体層4の製造ステップにおいてCSD法を用いた場合には、成膜時にアニールステップが必要である。PZTは高温で結晶化再配列することから、室温までの冷却時に、基板1との熱膨張係数の差により圧縮応力が残留する。基板1として、例えばJIS(Japanese Industrial Standard)で規定されるオーステナイト系ステンレス鋼のSUS304を用いた場合を考えると、SUS304の線熱膨張係数が173×10−7/℃である。PZTの線熱膨張係数は79×10−7/℃であり、SUS304の方が線熱膨張係数が大きいため、PZTには面内方向に圧縮応力が残留する。本実施の形態1では、圧電体層4に圧縮応力が残留し、圧電体素子は、上部電極層5側を上面、基板1側を底面とすると、上面側が凸になるような構造となった。
ここで、作製した圧電体素子のX線回折パターンを説明する。図2は本発明の実施の形態1における圧電体層の(001)/(100)面のX線回折パターンを示す図である。図3は本発明の実施の形態1における圧電体層の(004)/(400)面のX線回折パターンを示す図である。
図2より、PZTからなる圧電体層4は、PZT(001)/(100)方向のみに選択配向していることがわかる。また、図3より、圧電体層4は分極軸方向である(004)方向に高い選択配向性を有していることがわかる。
ここで、(004)面の配向度(α(004))を
α(004)=I(004)/(I(004)+I(400))
と定義すると、α(004)=93%になり、非常に高い(004)配向度を有している。
α(004)=I(004)/(I(004)+I(400))
と定義すると、α(004)=93%になり、非常に高い(004)配向度を有している。
以上より、PZTに圧縮応力を印加することで、分極軸方向である(001)方向への配向性を高めることができると分かる。なお、圧電体層4に圧縮応力を印加すると、(100)配向の結晶構造が変形し、(001)配向になると考えられる。
上部電極層5は、0.3μm厚の金(Au)からなる。上部電極層5の材料はAuに限らず、導電性材料であればよく、膜厚は0.1〜0.5μmの範囲であればよい。
図4は本発明の実施の形態1における圧電体素子のP−Eヒステリシスを示す図である。従来例の図10と比較して、図4では非常に角型性の良いヒステリシスが得られていることがわかる。
図10に示す従来の圧電体素子は、P−Eヒステリシスループの角型性Mを、飽和分極Psと残留分極Prの比として、M=Pr/Psと定義すると、シリコン基板11上にCSD法により形成されたPZT薄膜15においては、M=0.55という低い値となる。
ここで低電圧駆動を特徴とするセンサやアクチュエータとして圧電体素子を用いる場合には、分極反転が起こらない電界領域で使用するため、高い圧電定数と共に、角型性Mの良好な、すなわちMが1に近い特性が求められる。したがって、角型性Mの低い従来の圧電体素子を低電圧駆動するデバイスに用いた場合には、印加電圧に対する変位量の変化の比例性が低いため、デバイスの制御が困難であった。また、従来の圧電体素子は、高電界領域と比較すると0kV/cm近傍の圧電特性が大きく低下することから、低電圧駆動した場合に変位量の絶対値も非常に小さくなってしまい、所定の特性が得られなかった。
これに対し本実施の形態1では、図4に示すP−Eヒステリシスループから角型性M=Pr/Psを算出すると、M=0.78という極めて優れた特性が得られる。すなわち、印加電界に対する変位量の比例性が良好な圧電体素子を実現することが出来る。さらに、残留分極値Prの値がPr=31.4(μC/cm2)という高い値を示すことから、低電圧駆動の場合も、変位量の絶対値の大きい圧電体素子を実現することが出来る。
次に、上記の圧電体素子の製造方法について説明する。
まず、基板1上に拡散防止層2を形成するため、SiO2前駆体溶液をスピンコート法により塗布する。SiO2前駆体溶液としては、公知の方法により作製された種々の溶液を用いることが可能であるが、本実施の形態1では高純度化学(株)製のSi−05Sを用いる。このSiO2前駆体溶液をスピンコート法により基板1上に塗布する。スピンコートの条件は、回転数2500rpmで30秒である。基板1上に塗布したSiO2前駆体溶液は150℃で10分間乾燥を行い、その後500℃で10分間の本焼成を行う。以上のステップを所定の膜厚になるまで繰り返すことにより、拡散防止層2を形成する。
次に、下部電極層3を形成するためのLNO前駆体溶液をスピンコート法により塗布する。LNO前駆体溶液を拡散防止層2上にスピンコートを行う条件としては、回転数3500rpmで30秒とする。
このLNO前駆体溶液の調整方法は以下の通りである。
出発原料としては、硝酸ランタン六水和物、酢酸ニッケル四水和物を用い、溶媒として2−メトキシエタノールと2−アミノエタノールを用いる。2−メトキシエタノールはわずかに水分を含んでいるため、あらかじめモレキュラーシーブ0.3nmを用いて水分を除去したものを使用する。
まず、硝酸ランタン六水和物(La(NO3)3・6H2O)をビーカーに採り、水和物の除去のため150℃で1時間以上乾燥させる。次に室温まで冷却の後2−メトキシエタノールを加えて、室温で3時間撹拌することで、硝酸ランタンを溶解させる(溶液A)。
一方、酢酸ニッケル四水和物((CH3COO)2Ni・4H2O)を別のセパラブルフラスコに採り、水和物の除去のため150℃で1時間乾燥の後、200℃で1時間、計2時間乾燥させる。次に、2−メトキシエタノールおよび2−アミノエタノールを加え、110℃で30分間撹拌する(溶液B)。
この溶液Bを室温まで冷却後、溶液Aを溶液Bが入っているセパラブルフラスコに投入する。これらの混合液を室温で3時間撹拌することにより、LNO前駆体溶液を作製する。
次に、基板1上に塗布したLNO前駆体溶液を150℃で10分間乾燥し脱水処理を行う。その後350℃で10分間の仮焼成による熱処理により、残留有機成分の熱分解を行い、LNO前駆体薄膜を作製する。塗布した前記前駆体溶液を脱水するステップは、LNO前駆体溶液中の物理吸着水分の除去を目的としたものであり、温度は100℃を超えて200℃未満であることが望ましい。これは、200℃以上ではLNO前駆体溶液中の残留有機成分の分解が開始するためであり、作製した膜中への水分の残留を防止するためである。一方、有機物を分解する仮焼成ステップによりLNO前駆体薄膜を作製するステップの温度は200℃以上500℃未満であることが好ましい。これは、500℃以上では乾燥したLNO前駆体溶液の結晶化が大きく進行するためであり、作製した膜中への有機成分の残留を防止するためである。
このLNO前駆体溶液を拡散防止層2上に塗布するステップからLNO前駆体薄膜を作製するステップまでを複数回繰り返す。所定の膜厚になった時点で、急速加熱炉(RTA:Rapid Thermal Annealing)を用いて急速加熱し、結晶化アニールを行う。結晶化アニールの条件は700℃で5分とし、昇温速度は200℃/minとする。結晶化アニール温度は500℃以上750℃以下が望ましい。そしてその後、室温まで冷却させる。以上のステップで下部電極層3を形成することにより、(100)面方向に高配向のLNOが得られる。下部電極層3の所定の膜厚を得るには、複数回の塗布から熱分解までを繰り返した後に結晶化を行う替わりに、毎回の塗布から結晶化までのステップを繰り返しても良い。
次に、下部電極層3上に、圧電体層4を形成するためのPZT前駆体溶液をスピンコート法やディップコート法などの既存の塗布工法により塗布する。PZT前駆体溶液を下部電極層3上にスピンコートを行う条件は、回転数2500rpmで30秒とする。
このPZT前駆体溶液の調整方法は次の通りである。
本調整方法に用いるエタノールは、含有水分による金属アルコキシドの加水分解を防止するため、予め脱水処理を行った無水エタノールとする。
まず、Pb前駆体溶液を調整する出発原料として、酢酸鉛(II)三水和物(Pb(OCOCH3)2・3H2O)を用いる。これをセパラブルフラスコに採り、水和物の除去のため150℃で2時間以上乾燥させる。次に無水エタノールを加えて溶解し、78℃で4時間還流させ、Pb前駆体溶液を作製する。Ti−Zr前駆体溶液を調整する出発原料としては、チタンイソプロポキシド(Ti(OCH(CH3)2)4)とジルコンノルマルプロポキシド(Zr(OCH2CH2CH3)4)を用いる。こちらも別のセパラブルフラスコに採り、無水エタノールを加えて溶解し、78℃で4時間還流することで、Ti−Zr前駆体溶液を作製する。Ti/Zr比はmol比でTi/Zr=47/53となるように秤量した。このTi−Zr前駆体溶液をPb前駆体溶液に混合する。このとき、Pb成分を化学量論組成(Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3)に対し20mol%過剰とした。これは、アニール時の鉛成分の揮発による不足分を補うためである。この混合溶液を78℃で4時間還流し、安定化剤としてアセチルアセトンを金属陽イオンの総量に対して0.5mol等量加え、さらに78℃で1時間還流することでPZT前駆体溶液を作製した。
次に、下部電極層3上に塗布したPZT前駆体溶液を115℃で10分間乾燥し脱水処理を行う。その後350℃で10分間の仮焼成による熱処理により、残留有機成分の熱分解を行い、PZT前駆体薄膜を作製する。塗布したPZT前駆体溶液を脱水するステップは、PZT前駆体溶液中の物理吸着水分の除去を目的としたものであり、温度は100℃を超えて200℃未満であることが望ましい。これは、200℃以上ではPZT前駆体溶液中の残留有機成分の分解が開始するためであり、作製した膜中への水分の残留を防止するためである。一方、有機物を分解する仮焼成ステップによりPZT前駆体薄膜を作製するステップの温度は200℃以上500℃未満であることが好ましい。これは、500℃以上では乾燥したPZT前駆体溶液の結晶化が大きく進行するためであり、作製した膜中への有機成分の残留を防止するためである。
このPZT前駆体溶液を下部電極層3上に塗布するステップからPZT前駆体薄膜を作製するステップまでを複数回繰り返す。所定の膜厚になった時点で、ランプヒータを用いた急速加熱炉(RTA:Rapid Thermal Annealing)で急速加熱し、結晶化アニールを行う。結晶化アニールの条件は650℃で5分とし、昇温速度は200℃/minとした。結晶化アニール温度は500℃以上750℃以下が望ましい。750℃よりも大きいと、PZT成膜時に膜中に含まれるPbが蒸発することにより不足し、結晶性が低下する。そしてこの結晶化アニールステップの後、室温まで冷却させ、圧電体層4を形成する。圧電体層4の所定の膜厚を得るには、複数回塗布〜熱分解を繰り返した後に結晶化を行う替わりに、毎回塗布〜結晶化までのステップを繰り返しても良い。上記ステップにより(001)面方向に高配向のPZT薄膜を得ることができる。
最後に、圧電体層4上にイオンビーム蒸着法により、Auからなる上部電極層5を形成する。上部電極層5の形成方法については、イオンビーム蒸着法に限るものではなく、抵抗加熱蒸着法、スパッタ法等を用いても良い。
本実施の形態1によれば、LNOからなる下部電極層3上にPZTからなる圧電体層4を形成しているので、従来の圧電体素子のようにPt電極上に形成した場合と比較して、格段に高い結晶配向性を得ることができる。
図5は本発明の実施の形態1における高伝導層を形成した圧電体素子の断面図である。LNOよりもさらに高い電気伝導性を有するデバイスに本圧電体素子を使用する場合には、図5に示すように下部電極層3と拡散防止層2の間に、高伝導層6を形成しても良い。高伝導層6としては、貴金属材料や貴金属酸化物が望ましく、例えば白金、ルテニウム、イリジウム、レニウム、酸化ルテニウム、酸化イリジウム、酸化レニウム等が用いられる。
また、本実施の形態1によれば、拡散防止層2、下地電極層3および圧電体層4はCSD法により作製しているため、スパッタ法等の気相成長法で必要となる真空プロセスが不要であり、コストが低減できる。下地電極層3に用いるLNOは、上述の製造方法により作製することで、(100)面方向に自己配向させることができるため、配向方向は基板1の材料には依存しにくい。したがって、基板1の材料に制限を与えないという特徴を有する。よって本実施の形態1では、熱膨張係数や破壊靭性の観点から、所定の基板1の材料を選択することができる。
さらに、本実施の形態1によれば、基板1がステンレス材等の破壊靱性が大きい種々の材料を用いており、脆性材料であるSi基板を用いた従来例と比較して、信頼性を高めることができる。このため本発明の圧電体素子は、センサやアクチュエータのような、振動を繰り返すデバイスに好適である。シリコン基板はデバイスの製造ステップにおいて微小なクラック等の欠陥が発生した場合でも、そこを起点として劈開する危険性を有する。これと比較して本実施の形態1の破壊靱性が高い材料は、劈開する危険性を飛躍的に低減することができ、デバイスの製造歩留りを向上させることができる。さらに、Si基板と比較してステンレス材料は非常に安価であり、基板コストを1/10程度に低減できる。
また、本実施の形態1によれば、圧電体層4として多結晶材料を用いていることから、単結晶材料を用いた場合と比較して振動による破壊耐性を向上させることができる。これは、単結晶材料の場合には基板面内方向の結合力が強いため、振動による応力を緩和することができず破壊しやすいが、多結晶材料の場合には面内方向に粒界が存在するために応力緩和が可能なためである。
なお、本実施の形態1においては、結晶化アニールステップにおいて急速加熱炉を用いているが、加熱の雰囲気を不活性雰囲気とすることで、基板1の酸化を抑制することができる。また、急速加熱炉に用いるハロゲンランプを圧電体層4の表面側のみに形成することで、圧電体層4の表面側からのみ加熱でき、基板1の加熱を抑制することができるために、基板1の酸化を抑制することができる。
なお、結晶化アニールの加熱炉としては、急速加熱炉に限定するものではなく、レーザアニールを用いても良い。レーザアニールを用いる場合には、圧電体層4に圧縮応力を付与するために基板1が充分に加熱されていることが望ましく、雰囲気炉と併用することが望ましい。
また、本実施の形態1においては、CSD法により圧電体層4を形成したが、この限りではなく、エアロゾルデポジション法(AD法)、スパッタ法、CVD法等の種々の成膜方法を用いることができる。
AD法を用いた場合には、成膜チャンバ内で圧電体層4の組成からなる酸化物膜を下部電極層3上に室温で成膜した後に、CSD法の結晶化アニールと同じように加熱することで、結晶配向性が高く、また圧縮応力が印加された圧電体層4を実現することができる。スパッタ法、CVD法を用いる場合には、チャンバ内で成膜を行う際に、あらかじめ基板1を加熱しておくことで、結晶配向性が高く、また圧縮応力が印加された圧電体層4を実現することができる。
また、本実施の形態1においては、拡散防止層3を形成しているが、製造ステップにおいて基板1や圧電体層4からの元素拡散が発生しない場合には用いなくても良く、基板1の上に直接下部電極層3を形成しても良い。
さらに、本実施の形態1においては、下部電極層3としてLNOを用いているが、本材料に限るものではなく、種々の導電性酸化物結晶体を用いることができ、特にペロブスカイト型導電性酸化物が望ましい。例えば擬立方晶系の、(100)面に優先配向したルテニウム酸ストロンチウム、ランタン−ストロンチウム−コバルト酸化物等を主成分とするペロブスカイト型酸化物を用いることができる。これらの場合も、主配向面の格子定数を圧電体層4の主配向面の格子定数の±10%以内とすることで、圧電体層4の(001)/(100)方向の配向性を高くすることができる。そしてさらに圧電体層4に圧縮応力を印加することで、圧電体層4の分極軸方向である(001)方向への配向性を高めることができる。
(実施の形態2)
以下、本発明の実施の形態2における圧電体素子に関して、図面を用いて説明する。本実施の形態2において、主な構成は実施の形態1と同様である。実施の形態1と同様の構成を有するものについては、その説明を省略し、相違点について詳述する。
以下、本発明の実施の形態2における圧電体素子に関して、図面を用いて説明する。本実施の形態2において、主な構成は実施の形態1と同様である。実施の形態1と同様の構成を有するものについては、その説明を省略し、相違点について詳述する。
本実施の形態2においては、さらなる圧電特性の向上を目的として、圧電体素子を形成するための基板1として、JISで規定されるフェライト系ステンレス鋼のSUS430を用いた。SUS430の線熱膨張係数は105×10−7/℃であるのに対して、圧電体層4であるPZTの線熱膨張係数は79×10−7/℃である。SUS430の方が線熱膨張係数が大きいため、PZTには圧縮応力が残留する。しかし、SUS304よりは線熱膨張係数が小さいことから、PZTへの圧縮応力はSUS304基板を用いた場合よりも小さくなると考えられる。
図6は本発明の実施の形態2における圧電体素子のP−Eヒステリシスを示す図である。圧電体層4は、面体晶系または正方晶系の(001)面配向のPZTからなる。図6において、PZTの組成は、正方晶系と菱面体晶系との境界(モルフォトロピック相境界)付近の異なる3通りの組成(Zr/Ti=53/47、60/40、65/35)を用いる。
図6から分かるように、それぞれリークのない、良好なヒステリシス曲線を得ることができた。この時の最大分極値(Pmax:400kV/cm時の分極値)はそれぞれ、31μC/cm2(53/47)、40μC/cm2(60/40)、33μC/cm2(65/35)である。また比誘電率はそれぞれ430(53/47)、620(60/40)、590(65/35)である。このことから、特にZr/Ti比が60/40の場合が、最大分極率と比誘電率が高くなり、誘電体/強誘電体特性が望ましいことがわかる。圧電定数については、SUS304基板上のPZT薄膜と比較して、約2倍の高い値が得られた。
なお、圧電体層4におけるZr/Ti組成は、Zr/Ti=53/47、60/40、65/35に限らず、Zr/Ti=30/70〜70/30であればよい。さらには、Zr/Ti=50/50〜70/30が望ましい。
(実施の形態3)
以下、本発明の実施の形態3における圧電体素子に関して、図面を用いて説明する。本実施の形態3において、主な構成は実施の形態1と同様である。実施の形態1と同様の構成を有するものについては、その説明を省略し、相違点について詳述する。
以下、本発明の実施の形態3における圧電体素子に関して、図面を用いて説明する。本実施の形態3において、主な構成は実施の形態1と同様である。実施の形態1と同様の構成を有するものについては、その説明を省略し、相違点について詳述する。
本実施の形態3においては、基板1にSUS304を用い、その基板1の表面形状が粗面であるものを用いている。
ここで成膜前、未成膜アニール処理後、成膜後のそれぞれのそりを基板の曲率半径Rにより比較した。曲率半径の絶対量が大きいということは、反り量が小さいことを示唆している。逆に、曲率半径の絶対量が小さいということは、反り量が大きいことを示唆している。
実施例として、基板1の厚さが0.2mm、表面が粗面で、表面粗さ(Ra)が93nmであるSUS304基板を用いた。また、比較例として、基板1の厚さが0.2mm、表面が鏡面で、表面粗さ(Ra)が30nmであるSUS304基板を用いた。実施例と比較例との性能比較を行った結果を表1に示す。結果は、成膜前の基板の曲率半径を無限大(∞)として規格化している。
表1の結果より、未成膜基板にアニール処理のみを行った場合では、実施例、比較例ともに曲率半径が非常に大きい。つまり、アニール処理によって、基板が反っている可能性が低いことが分かる。一方、成膜基板を測定したところ、実施例は曲率半径が大きく、比較例は曲率半径が小さい。つまり、基板表面が粗面である基板に成膜した場合の方が、基板表面が鏡面である基板に成膜した場合と比べて、反り量を抑制することが分かる。
図7は本発明の実施の形態3における圧電体素子のP−Eヒステリシスを示す図である。なお、圧電体層4におけるZr/Ti組成は、Zr/Ti=53/47を用いている。図7から分かるように、基板1表面が粗面であっても、良好なヒステリシス曲線を得ることができる。
(実施の形態4)
以下、本発明の実施の形態4における圧電体素子に関して、図面を用いて説明する。なお、実施の形態1と同様の構成を有するものについては、その説明を省略し、相違点について詳述する。
以下、本発明の実施の形態4における圧電体素子に関して、図面を用いて説明する。なお、実施の形態1と同様の構成を有するものについては、その説明を省略し、相違点について詳述する。
本実施の形態4においては、下部電極層3、圧電体層4が形成された基板1の第1面と対向する第2面上に、さらに圧電体層104を形成している。
図8は本発明の実施の形態4における圧電体素子の断面図である。図8において、圧電体素子は、基板1の第1面200上に、拡散防止層2と、下部電極層3と、圧電体層4と、上部電極層5が順に形成されている。さらに、基板1の第1面200と対向する第2面201上には、拡散防止層102と、下部電極層103と、圧電体層104とが順に形成されている。
基板1の材料として、圧電体層4、104よりも線熱膨張係数が大きく、また破壊靱性が大きい材料を用いることができる。例えばステンレス材料やアルミ、マグネシウム等の金属材料等、種々の材料を用いることができる。
拡散防止層2、102は基板1や圧電体層4、104の構成元素の相互拡散を抑制するものであり、二酸化シリコンや二酸化チタン等の結晶粒界が存在しない酸化物材料が望ましい。
下部電極層3,103はLNOを主成分とする材料からなる。LNOはペロブスカイト型構造を有する。圧電体層4,104は、面内の圧縮応力を有する多結晶体である。
第2面201上に、拡散防止層102と、下部電極層103と、圧電体層104を形成するステップは、第1面200上に同様の層を形成するステップを利用する。例えば、圧電体層104を形成するステップは、前駆体溶液を基板に塗布するステップ、基板を加熱した状態で前駆体溶液を結晶化するアニールステップと、冷却ステップとを含む。
第1面200上と第2面201上のステップが同じ場合、基本的には、同じ条件で、同時に処理することが出来るという特徴がある。これにより、層形成のステップの作業効率を向上させることができる。
上述のように作成した圧電体素子は、圧電体層4が面内の圧縮応力を有し、結晶の配向性が向上する。結果として印加電圧に対する変位量の線形性が優れている。
さらに、第1面200と対向する第2面201にも圧電体層104を備えることで、2つの圧電体層4、104の圧縮応力をバランスさせ、圧電体素子の反りを抑えることが出来る。
また第1面200上の圧電体層4と第2面201上の圧電体層104とを、同じ組成、同じ膜厚とすることで、基板1の中心面での反りがほとんど発生せず、圧電体素子の反りを抑えることが出来る。
なお、本実施の形態4では、基板1の第2面201上に、拡散防止層102、下部電極層103と、圧電体層104とを形成した例を用いて説明した。しかしながら第2面201上に少なくとも圧電体層104を形成すれば、第1面200上の圧電体層4との圧縮応力をバランスさせる効果を有する。
本発明の圧電体素子とその製造方法は、印加電圧に対する変位量の比例性の良好な、優れた圧電特性を示す圧電体素子を形成できる。このため、本発明の圧電体素子は各種電子機器に用いる角速度センサや赤外線センサ等の各種センサ、圧電アクチュエータや超音波モータ等の各種アクチュエータ、光スイッチや光スキャナ等の光学デバイス等の用途として有用である。
1 基板
2 拡散防止層
3 下部電極層
4 圧電体層
5 上部電極層
6 高伝導層
11 シリコン基板
12 熱酸化膜
13 Ti膜
14 Pt薄膜
15 PZT薄膜
2 拡散防止層
3 下部電極層
4 圧電体層
5 上部電極層
6 高伝導層
11 シリコン基板
12 熱酸化膜
13 Ti膜
14 Pt薄膜
15 PZT薄膜
Claims (18)
- 基板と、
前記基板上に形成された下部電極層と、
前記下部電極層上に形成された圧電体層と、
前記圧電体層上に形成された上部電極層とを備え、
前記下部電極層は、導電性酸化物結晶体からなり、
前記基板は、前記圧電体層よりも大きい線熱膨張係数を有し、
前記圧電体層は、面内の圧縮応力を有する多結晶体である
圧電体素子。 - 前記圧電体層が、化学溶液法により形成された
請求項1に記載の圧電体素子。 - 前記基板は、前記圧電体層よりも大きい破壊靱性を有する
請求項1に記載の圧電体素子。 - 前記下部電極層は、ペロブスカイト型である
請求項1に記載の圧電体素子。 - 前記下部電極層の主配向面の格子定数と前記圧電体層の主配向面の格子定数との差は±10%以内である
請求項1に記載の圧電体素子。 - 前記圧電体層は、前記基板に垂直な面が分極軸方向に優先配向し、前記基板に平行な面がランダム配向をしたペロブスカイト型酸化物強誘電体からなる
請求項1に記載の圧電体素子。 - 前記基板が金属材料からなる、
請求項1に記載の圧電体素子。 - 前記下部電極層の下に、この下部電極層よりも抵抗率の小さい高伝導層を形成した、
請求項1に記載の圧電体素子。 - 前記基板表面が粗面である
請求項1に記載の圧電体素子。 - 前記基板表面の表面状態が表面粗さRaで90nm以上である
請求項1に記載の圧電体素子。 - 前記下部電極層、前記圧電体層が形成された前記基板の第1面と対向する第2面上に、さらに圧電体層を形成し、
前記基板は、前記第2面上の圧電体層よりも大きい熱膨張係数を有し、前記第2面上の圧電体層は、面内の圧縮応力を有する多結晶体である
請求項1記載の圧電体素子。 - 前記第2面上の圧電体層は、下部電極層を介して前記第2面上に形成された
請求項11記載の圧電体素子。 - 圧電体層を基板上に形成した圧電体素子の製造方法であって、
前記圧電体層よりも大きい線熱膨張係数を有する前記基板上に導電性酸化物結晶体からなる下部電極層を形成するステップと、
前記下部電極層上に多結晶体である前記圧電体層を化学溶液法を用いて形成するステップと、
前記圧電体層上に上部電極層を形成するステップとを
備えた圧電体素子の製造方法。 - 前記化学溶液法を用いて前記圧電体層を形成するステップが、
前記下部電極層に前記圧電体層の前駆体溶液を塗布するステップと、
塗布した前記前駆体溶液を脱水するステップと、
脱水した前記前駆体溶液から有機物を分解する仮焼成により前駆体薄膜を作製するステップと、
前記前駆体溶液を塗布するステップの温度よりも高い温度で前記前駆体薄膜を結晶化するアニールステップと、
結晶化した前記前駆体薄膜を冷却する冷却ステップとを含む
請求項13に記載の圧電体素子の製造方法。 - 前記下部電極層上に前記圧電体層を形成するステップを複数回繰り返す
請求項13に記載の圧電体素子の製造方法。 - 前記アニールステップが前記基板および前記圧電体層を雰囲気炉で加熱するステップと、
前記圧電体層をレーザアニールで加熱するステップとを備えた、
請求項13に記載の圧電体素子の製造方法。 - 圧電体層を基板上に形成した圧電体素子の製造方法であって、
前記圧電体層よりも大きい線熱膨張係数を有する前記基板の第1面上に導電性酸化物結晶体からなる下部電極層を形成するステップと、
化学溶液法を用いて、前記基板の第1面上の前記下部電極層上に多結晶体である圧電体層を形成し、前記基板の第1面と対向する第2面上に多結晶体である圧電体層を形成するステップと、
前記第1面上の圧電体層の上に上部電極層を形成するステップとを、
備えた圧電体素子の製造方法。 - 前記第2面上の圧電体層を、下部電極層を介して前記基板の第2面上に形成する
請求項17に記載の圧電体素子の製造方法。
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---|---|---|---|---|
KR20110036889A (ko) * | 2008-06-27 | 2011-04-12 | 파나소닉 주식회사 | 압전체 소자와 그 제조 방법 |
JP2010135748A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-06-17 | Seiko Epson Corp | 圧電素子及びその製造方法、液体噴射ヘッド及びその製造方法、並びに液体噴射装置 |
WO2012054041A1 (en) * | 2010-10-21 | 2012-04-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Metal-insulator transition switching devices |
JP5350418B2 (ja) | 2011-02-28 | 2013-11-27 | 富士フイルム株式会社 | 共振振動子、共振振動子の製造方法およびこの共振振動子を有する超音波処置具 |
JP5909656B2 (ja) * | 2011-04-21 | 2016-04-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 誘電体素子用基材とその製造方法、並びにこの誘電体素子用基材を用いた圧電体素子 |
WO2013021614A1 (ja) * | 2011-08-08 | 2013-02-14 | パナソニック株式会社 | 圧電体素子 |
US9689748B2 (en) | 2011-08-08 | 2017-06-27 | Panasonic Corporation | Infrared detection element |
JP5836754B2 (ja) * | 2011-10-04 | 2015-12-24 | 富士フイルム株式会社 | 圧電体素子及びその製造方法 |
JP2013118231A (ja) | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子 |
JP5943178B2 (ja) | 2011-12-01 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法、超音波デバイスの製造方法及びセンサーの製造方法 |
CN103348501B (zh) | 2012-02-03 | 2016-08-31 | 松下知识产权经营株式会社 | 压电体膜、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用压电发电元件的发电方法 |
JP6130995B2 (ja) * | 2012-02-20 | 2017-05-17 | サンケン電気株式会社 | エピタキシャル基板及び半導体装置 |
US9646766B2 (en) * | 2012-06-14 | 2017-05-09 | Uchicago Argonne, Llc | Method of making dielectric capacitors with increased dielectric breakdown strength |
JP5966157B2 (ja) * | 2012-06-18 | 2016-08-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線検出装置 |
US9136820B2 (en) | 2012-07-31 | 2015-09-15 | Tdk Corporation | Piezoelectric device |
US8994251B2 (en) * | 2012-08-03 | 2015-03-31 | Tdk Corporation | Piezoelectric device having first and second non-metal electroconductive intermediate films |
JP5756786B2 (ja) * | 2012-09-19 | 2015-07-29 | 富士フイルム株式会社 | 圧電デバイス及びその使用方法 |
JP2014116443A (ja) | 2012-12-10 | 2014-06-26 | Panasonic Corp | 圧電体素子および圧電体素子の製造方法 |
JP6024502B2 (ja) * | 2013-02-13 | 2016-11-16 | 三菱マテリアル株式会社 | LaNiO3薄膜形成用組成物及びこの組成物を用いたLaNiO3薄膜の形成方法 |
JP6091281B2 (ja) * | 2013-03-25 | 2017-03-08 | 住友化学株式会社 | 圧電体薄膜積層基板 |
JP6225544B2 (ja) * | 2013-07-31 | 2017-11-08 | 株式会社デンソー | 圧電素子の製造方法 |
JP5754539B2 (ja) * | 2013-10-15 | 2015-07-29 | 三菱マテリアル株式会社 | LaNiO3薄膜形成用組成物及びこの組成物を用いたLaNiO3薄膜の形成方法 |
JPWO2015072095A1 (ja) * | 2013-11-14 | 2017-03-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線検出素子、及び赤外線検出装置、圧電体素子 |
JP6311178B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2018-04-18 | 株式会社ユーテック | 圧電体膜、強誘電体セラミックス及び圧電体膜の検査方法 |
JP6299338B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-03-28 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びセンサー |
JP6367331B2 (ja) * | 2014-06-20 | 2018-08-01 | 株式会社アルバック | 多層膜及びその製造方法 |
KR101578321B1 (ko) * | 2015-01-21 | 2015-12-16 | 성균관대학교산학협력단 | 온도변화에 의해 에너지를 발생시키는 에너지 발생소자 및 이를 포함하는 온도변화 감지센서 |
GB2548377A (en) * | 2016-03-16 | 2017-09-20 | Xaar Technology Ltd | A piezoelectric thin film element |
MX2018011197A (es) | 2016-03-16 | 2019-05-16 | Xaar Technology Ltd | Un elemento de pelicula delgada piezoelectrica. |
US10594029B2 (en) * | 2016-09-30 | 2020-03-17 | Intel Corporation | Actuatable and adaptable metamaterials integrated in package |
SG10201805743TA (en) * | 2017-07-07 | 2019-02-27 | Advanced Material Technologies Inc | Film structure body and method for manufacturing the same |
WO2019102952A1 (ja) * | 2017-11-22 | 2019-05-31 | 株式会社村田製作所 | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
CN107952370A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-04-24 | 北京科技大学 | 用于圆柱形膜组件自清洁技术的压电振动体及其制备方法 |
CN109459144B (zh) * | 2018-11-12 | 2020-11-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于压电效应及复合等离激元的宽光谱红外传感器 |
CN109459143B (zh) * | 2018-11-12 | 2020-02-07 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于等离激元及压电薄膜温度频率特性的红外传感器 |
CN109459146B (zh) * | 2018-11-12 | 2020-02-07 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种基于压电谐振器的非制冷红外探测器的制备方法 |
CN112853286A (zh) | 2019-11-12 | 2021-05-28 | 应用材料公司 | 压电膜的物理气相沉积 |
DE102020115315B4 (de) | 2020-06-09 | 2022-05-05 | Tdk Electronics Ag | Piezoelektrische Baugruppe und Prozess zum Bilden einer piezoelektrischen Baugruppe |
KR102322086B1 (ko) * | 2021-04-05 | 2021-11-04 | (주)퀸테스 | 가역반응이 가능한 고체상의 압전 전구체 폴리머 제조 방법 및 이를 이용한 압전 박막 제조 방법 |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4056654A (en) * | 1975-07-24 | 1977-11-01 | Kkf Corporation | Coating compositions, processes for depositing the same, and articles resulting therefrom |
US4383174A (en) | 1979-09-25 | 1983-05-10 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Pyroelectric detector and method for manufacturing the same |
JPS57104828A (en) | 1980-12-20 | 1982-06-30 | Horiba Ltd | Composing infrared detector |
GB2112571B (en) | 1981-07-27 | 1985-06-12 | Sony Corp | Method of manufacturing a pyroelectric unit |
DE3202819C2 (de) | 1982-01-29 | 1984-12-20 | Preh, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt | Infrarotdetektor und Verfahren zum Herstellen |
JPS5928629A (ja) | 1982-08-10 | 1984-02-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 焦電型赤外線検出器の製造方法 |
DE3852431T2 (de) | 1987-06-19 | 1995-06-29 | Sanyo Electric Co | Einbruchdetektorsystem. |
CH676523A5 (ja) | 1988-06-01 | 1991-01-31 | Cerberus Ag | |
US5650362A (en) * | 1993-11-04 | 1997-07-22 | Fuji Xerox Co. | Oriented conductive film and process for preparing the same |
JPH08157260A (ja) | 1994-11-30 | 1996-06-18 | Sharp Corp | 強誘電体薄膜の製造方法 |
US6005269A (en) * | 1998-02-19 | 1999-12-21 | Texas Instruments - Acer Incorporated | DRAM cell with a double-crown shaped capacitor |
JP4327942B2 (ja) * | 1999-05-20 | 2009-09-09 | Tdk株式会社 | 薄膜圧電素子 |
JP3582475B2 (ja) | 2000-10-27 | 2004-10-27 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪膜型素子 |
US6903491B2 (en) * | 2001-04-26 | 2005-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric element, actuator, and inkjet head |
JP2003059971A (ja) | 2001-08-20 | 2003-02-28 | Nec Kansai Ltd | 配線基板及びその製造方法並びに半導体装置 |
CN1222832C (zh) | 2002-07-15 | 2005-10-12 | 三星电子株式会社 | 使用图案化发射体的电子光刻设备 |
US7122797B2 (en) | 2002-09-09 | 2006-10-17 | Sensors Unlimited, Inc. | Method for making an infrared detector and infrared detector |
US7268472B2 (en) * | 2002-11-11 | 2007-09-11 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric device, liquid jetting head, ferroelectric device, electronic device and methods for manufacturing these devices |
US7059711B2 (en) | 2003-02-07 | 2006-06-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Dielectric film structure, piezoelectric actuator using dielectric element film structure and ink jet head |
WO2005031882A1 (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | 発光装置 |
JP4717344B2 (ja) * | 2003-12-10 | 2011-07-06 | キヤノン株式会社 | 誘電体薄膜素子、圧電アクチュエータおよび液体吐出ヘッド |
JP2005228838A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Hitachi Cable Ltd | 圧電薄膜素子 |
JP4431891B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2010-03-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器 |
JP2007043054A (ja) * | 2005-03-04 | 2007-02-15 | Sony Corp | 圧電素子及びその製造方法 |
JP5041765B2 (ja) * | 2005-09-05 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | エピタキシャル酸化物膜、圧電膜、圧電膜素子、圧電膜素子を用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
DE102005046479B4 (de) * | 2005-09-28 | 2008-12-18 | Infineon Technologies Austria Ag | Verfahren zum Spalten von spröden Materialien mittels Trenching Technologie |
JP4304516B2 (ja) | 2005-10-31 | 2009-07-29 | セイコーエプソン株式会社 | 導電性複合酸化物層の製造方法、強誘電体層を有する積層体の製造方法 |
JP5102459B2 (ja) | 2006-03-31 | 2012-12-19 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータユニット |
JP2007281049A (ja) | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Fujifilm Corp | 積層素子、圧電素子、及びインクジェット式記録ヘッド |
JP4352271B2 (ja) | 2006-06-09 | 2009-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置 |
US8287831B2 (en) | 2007-01-04 | 2012-10-16 | Carnegie Institution Of Washington | Ordered oxynitride perovskites |
JP2008244201A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法 |
KR20110036889A (ko) * | 2008-06-27 | 2011-04-12 | 파나소닉 주식회사 | 압전체 소자와 그 제조 방법 |
JP2011103327A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
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