JPWO2009139209A1 - 放射線画像検出器および放射線画像検出器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
入射した放射線を光に変換するシンチレータが一方の面に形成された第一の基板と、
前記シンチレータにより変換された光を受けて電気信号に変換する光電変換素子が一方の面に形成された第二の基板と、
を備え、
前記光電変換素子が設けられた側の前記第二の基板の前記面上には、前記第一の基板の面上に形成された前記シンチレータと接触する平坦化層が形成されており、
前記光電変換素子の前記シンチレータに対向する受光面上に、前記受光面と前記シンチレータとの間に前記平坦化層が介在しない空洞が設けられていることを特徴とする。
光電変換素子が設けられた側の第二の基板の面上に平坦化層を形成する平坦化層形成工程と、
前記平坦化層のうち前記光電変換素子の受光面上の部分を除去する除去工程と、
第一の基板の一方の面に形成されたシンチレータを、前記第二の基板の面上に設けられた前記光電変換素子と対向させた状態で配置し、前記シンチレータを前記平坦化層に接触させるように取り付けるシンチレータ取付工程と、
を有することを特徴とする。
3 第二の基板
3a 面
4 シンチレータ
4a 蛍光体
4b 支持体
5 第一の基板
5a 面(下面)
10 走査線
11 信号線
14a 受光面
14 光電変換素子
143 第二の基板側の電極(第1電極)
20 平坦化層
C 空洞
Pa 先端
Claims (11)
- 入射した放射線を光に変換するシンチレータが一方の面に形成された第一の基板と、
前記シンチレータにより変換された光を受けて電気信号に変換する光電変換素子が一方の面に形成された第二の基板と、
を備え、
前記光電変換素子が設けられた側の前記第二の基板の前記面上には、前記第一の基板の面上に形成された前記シンチレータと接触する平坦化層が形成されており、
前記光電変換素子の前記シンチレータに対向する受光面上に、前記受光面と前記シンチレータとの間に前記平坦化層が介在しない空洞が設けられていることを特徴とする放射線画像検出器。 - 前記第二の基板上には、前記光電変換素子からの電気信号の読み出しを制御するための複数の走査線および複数の信号線が互いに交差するように配設されており、
前記平坦化層は、少なくとも前記第二の基板上の前記複数の走査線および前記複数の信号線の上方に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の放射線画像検出器。 - 前記平坦化層は、透明な材料で形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の放射線画像検出器。
- 前記平坦化層は、不透明な材料で形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の放射線画像検出器。
- 前記シンチレータは、支持体に対する蒸着により形成される蛍光体の柱状結晶からなっていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の放射線画像検出器。
- 前記シンチレータは、前記蛍光体の柱状結晶の鋭角状の先端が前記光電変換素子に対向するように前記平坦化層と接触されることを特徴とする請求項5に記載の放射線画像検出器。
- 光電変換素子が設けられた側の第二の基板の面上に平坦化層を形成する平坦化層形成工程と、
前記平坦化層のうち前記光電変換素子の受光面上の部分を除去する除去工程と、
第一の基板の一方の面に形成されたシンチレータを、前記第二の基板の面上に設けられた前記光電変換素子と対向させた状態で配置し、前記シンチレータを前記平坦化層に接触させるように取り付けるシンチレータ取付工程と、
を有することを特徴とする放射線画像検出器の製造方法。 - 前記平坦化層形成工程では、前記光電変換素子が設けられた前記第二の基板上に感光性樹脂を塗布して前記平坦化層を形成し、
前記除去工程では、前記感光性樹脂で形成された前記平坦化層に光を照射して、前記平坦化層のうち前記光電変換素子の受光面上の部分を除去することを特徴とする請求項7に記載の放射線画像検出器の製造方法。 - 前記除去工程では、前記感光性樹脂で形成された前記平坦化層上に、前記平坦化層のうち前記光電変換素子の受光面上の部分が除去されるようにマスクをかけ、光を照射して除去することを特徴とする請求項8に記載の放射線画像検出器の製造方法。
- 前記除去工程では、前記光電変換素子の前記第二の基板側の電極が透明または半透明に形成され透明または半透明の材料で形成された前記第二の基板の、前記感光性樹脂で前記平坦化層が形成された側とは反対側の面側から前記平坦化層に光を照射して、前記平坦化層のうち前記光電変換素子の受光面上の部分を除去することを特徴とする請求項8に記載の放射線画像検出器の製造方法。
- 前記シンチレータ取付工程では、蛍光体が柱状結晶状に形成された前記シンチレータを、前記蛍光体の柱状結晶の鋭角状の先端が前記光電変換素子に対向する状態で前記平坦化層に接触させるように配置することを特徴とする請求項7から請求項10のいずれか一項に記載の放射線画像検出器の製造方法。
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