JPWO2009122693A1 - 位置検出装置及びこれを用いたリニアアクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 所定のピッチでインデックスが配列された第一スケール(14a)と、この第一スケール(14a)に対向配置されてそのインデックスを検出する第一検出センサ(15a)と、前記第一スケール(14a)に隣接配置されると共に当該第一スケール(14a)と同一ピッチでインデックスが配列された第二スケール(14b)と、この第二スケール(14b)に対向配置されてそのインデックスを検出する第二検出センサ(15b)とを備え、
前記第一スケール(14a)又は第二スケール(14b)におけるインデックス配列方向の両端には、前記第一検出センサ(15a)及び第二検出センサ(15b)の出力信号が異なるエリア外認識領域(14c)が設けられていることを特徴とする位置検出装置。 - 前記エリア外認識領域(14c)にはインデックスが付されていないことを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 前記エリア外認識領域(14c)は第一スケール(14a)の一端と第二スケール(14b)の他端に設けられていることを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 前記エリア外認識領域(14c)は第二スケール(14b)の両端に設けられていることを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 前記第一検出センサ(15a)及び第二検出センサ(15b)は、前記インデックスを読み取った際に90度の位相差を備えた正弦波及び余弦波を出力する一対の検出ヘッドを備えていることを特徴とする請求項3又は4記載の位置検出装置。
- 前記第一検出センサ(15a)は、前記インデックスを読み取った際に90度の位相差を備えた正弦波及び余弦波を出力する一対の検出ヘッドを備える一方、
前記第二検出センサ(15b)は前記インデックスを読み取った際に正弦波又は余弦波を出力する単一の検出ヘッドを備えていることを特徴とする請求項4記載の位置検出装置。 - 前記エリア外認識領域(14c)を除き、前記第一検出センサ(15a)及び第二検出センサ(15b)の出力信号は同一であることを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 前記第一スケール(14a)又は第二スケール(14b)のいずれか一方が原点設定用スケールとして用いられることを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 第一部材と、この第一部材に対して相対的に並進運動が可能な第二部材と、前記第一部材に対して第二部材を推進する駆動手段と、前記第一部材に設けられると共に前記第二部材の運動方向に沿って所定のピッチでインデックスが配列された第一スケール(14a)と、前記第二部材に搭載されると共に前記第一スケール(14a)に対向配置されてそのインデックスを検出する第一検出センサ(15a)と、前記第一部材に設けられて前記第一スケール(14a)に隣接配置されると共に当該第一スケール(14a)と同一ピッチでインデックスが配列された第二スケール(14b)と、前記第二部材に搭載されると共に前記第二スケール(14b)に対向配置されてそのインデックスを検出する第二検出センサ(15b)と、前記第一検出センサ(15a)及び第二検出センサ(15b)から出力される検出信号を受信して前記駆動手段を制御する駆動制御手段とを備え、
前記第一スケール(14a)又は第二スケール(14b)におけるインデックス配列方向の両端には、前記第一検出センサ(15a)及び第二検出センサ(15b)の出力信号が異なるエリア外認識領域(14c)が設けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 前記エリア外認識領域(14c)は、前記第一部材に対する第二部材の有効ストローク範囲の外側に隣接して設けられていることを特徴とする請求項9記載のリニアアクチュエータ。
- 前記駆動制御部は、前記第一検出センサ(15a)又は第二検出センサ(15b)の出力信号が前記エリア外認識領域(14c)に対応した状態に変化した場合に、前記駆動手段を停止することを特徴とする請求項10記載のリニアアクチュエータ。
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