JPWO2009072365A1 - 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜 - Google Patents
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Abstract
Description
1.インジウム、亜鉛及びスズからなる群から選ばれる1以上の金属の酸化物と、
ハフニウム、タンタル、タングステン、ビスマス及びランタノイド系元素からなる群から選ばれる1以上の元素を含む酸化物を含み、
バンドギャップが3.0eV以上であり、
波長460nmにおける屈折率が2.1以上であり、
仕事関数が5.5eV以上である窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
2.前記インジウム、亜鉛及びスズからなる群から選ばれる1以上の金属の酸化物が、酸化インジウム−酸化亜鉛、酸化インジウム−酸化スズ、酸化亜鉛−酸化スズ又は酸化インジウム−酸化スズ−酸化亜鉛である1に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
3.前記インジウム、亜鉛及びスズからなる群から選ばれる1以上の金属の酸化物が、酸化インジウム−酸化亜鉛であって、インジウム及び亜鉛の原子比がIn/(In+Zn)=0.5〜0.95である1又は2に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
4.前記インジウム、亜鉛及びスズからなる群から選ばれる1以上の金属の酸化物が、酸化インジウム−酸化スズであって、インジウム及びスズの原子比がIn/(In+Sn)=0.7〜0.95である1又は2に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
5.酸化亜鉛を主成分とする金属酸化物と、
ハフニウム、タンタル、タングステン、ビスマス及びランタノイド系元素からなる群から選ばれる1以上の元素を含む酸化物を含み、
バンドギャップが3.2eV以上であり、
波長460nmにおける屈折率が2.2以上であり、
仕事関数が5.5eV以上である窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
6.酸化スズを主成分とする金属酸化物と、
ハフニウム、タンタル、タングステン、ビスマス及びランタノイド系元素からなる群から選ばれる1以上の元素を含む酸化物を含み、
バンドギャップが3.5eV以上であり、
波長380nmにおける屈折率が2.3以上であり、
仕事関数が5.5eV以上である窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
7.さらに添加物として酸化ガリウムを含み、
前記非晶質透明導電膜中の全金属元素に対する前記添加物のガリウム原子の原子比が1〜10at%である6に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
8.1〜7のいずれかに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜が、p型窒化ガリウム半導体に直接接合した窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
9.前記窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜上にさらに透明導電膜を積層してなる8に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
10.前記窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜が、その成膜時に酸化インジウム−酸化スズ又は酸化インジウム−酸化亜鉛を同時に成膜することにより、p型窒化ガリウム半導体側から徐々に屈折率が低下する屈折率分布を有する8又は9に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
尚、本発明の第1の非晶質透明導電膜のバンドギャップの上限は特に限定されないが、例えば3.8eVである。
尚、本発明の第1の非晶質透明導電膜の波長460nmにおける屈折率の上限は特に限定されないが、例えば2.4である。
尚、本発明の第1の非晶質透明導電膜の仕事関数の上限は特に限定されないが、例えば6.2eVである。
尚、Sn/(Zn+Sn)が0.05未満の場合、酸化スズの添加効果が小さく、比抵抗が低下しないおそれがある。
尚、本発明の第2の非晶質透明導電膜のバンドギャップの上限は特に限定されないが、例えば4.5eVである。
尚、本発明の第2の非晶質透明導電膜の波長460nmにおける屈折率の上限は特に限定されないが、例えば2.5である。
尚、In/(In+Sn)が0.05未満の場合、酸化インジウムの添加効果が小さく、比抵抗が低下しないおそれがある。
尚、Zn/(Zn+Sn)が0.01未満の場合、酸化亜鉛の添加効果が小さく、比抵抗が低下しないおそれがある。一方、Zn/(Zn+Sn)が0.3超の場合、酸化亜鉛のキャリヤー散乱効果が大きくなり、比抵抗が増大するおそれがある。
尚、本発明の第3の非晶質透明導電膜のバンドギャップの上限は特に限定されないが、例えば3.8eVである。
尚、本発明の第3の非晶質透明導電膜の波長380nmにおける屈折率の上限は特に限定されないが、例えば2.6である。
尚、最適酸素量とは非晶質透明導電膜の抵抗値が最も低くなる酸素量であり、酸素の供給量を変化させて、導電膜の比抵抗を計測することにより求めることができる。
図1は上記非晶質透明導電膜を含む本発明の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の一実施形態を示す概略断面図であり、図2は図1に示す窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の上面図である。
窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1は、基板10上に凸形状を有するn型半導体層12が積層しており、n型半導体層12の凸部上には発光層14、p型半導体層16、非晶質透明導電膜18及び正極ボンディングパッド20がこの順に積層しており、n型半導体層12の凹部上には、発光層14等と並列に負極22が積層している。
λ/n×(1/4+m/2)
[式中、λは発光素子が発する光の波長を表し、
nは非晶質透明導電膜の屈折率を表し、及び
mは0以上の整数を表す。]
λ/n×(m/2)
[式中、λは発光素子が発する光の波長を表し、
nは非晶質透明導電膜の屈折率を表し、及び
mは0以上の整数を表す。]
尚、基板10の面方位は特に限定されない。また、基板10はジャスト基板であってもよく、オフ角を付与した基板であってもよい。
窒化ガリウム系化合物半導体2は、サファイア基板30上に、GaN下地層32、n型GaNコンタクト層34、n型AlGaNクラッド層36、InGaN発光層38、p型AlGaNクラッド層40及びp型GaNコンタクト層42がこの順に積層した構造を有する。
正極ボンディングパッド20の厚さは、好ましくは100〜1000nmであり、膜厚が大きいほどボンダビリティーが高くなることから、より好ましくは300〜1000nmであり、製造コストの観点からさらに好ましくは300〜500nmである。
[実施例]
以下のようにして、図1の構造を有する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を作製した。
まず、MOCVD法を用いて、基板であるサファイアのc面((0001)結晶面)上に、AlNからなるバッファ層を介して、順次、アンドープGaN下地層(層厚=2μm)、Siドープn型GaNコンタクト層(層厚=2μm、キャリア濃度=1×1019cm−3)、Siドープn型Al0.07Ga0.93Nクラッド層(層厚=12.5nm、キャリア濃度=1×1018cm−3)、6層のSiドープGaN障壁層(層厚=14.0nm、キャリア濃度=1×1018cm−3)と5層のアンドープIn0.20Ga0.80Nの井戸層(層厚=2.5nm)とからなる多重量子構造の発光層、Mgドープp型Al0.07Ga0.93Nクラッド層(層厚10nm)、及びMgドープp型GaNコンタクト層(層厚=100nm)を積層し、エピタキシャル構造を有する積層体を作製した。
(1)比抵抗
得られた非晶質透明導電膜について、ロレスタ(三菱化学株式会社製)を用いて表面抵抗を計測し、及び触針式膜厚測定器を用いて膜厚を測定し、これら測定結果を基に比抵抗を算出した。
(2)バンドギャップ
得られた非晶質透明導電膜について、分光光度計を用いて透過率を測定して吸収係数を求め、吸収系数の2乗を波長に対しプロットし、その吸収切片をバンドギャップとした。
(3)屈折率
反射・透過システム(Film Tek3000、ヤーマン株式会社製)を用いて、得られた非晶質透明導電膜の透過率、反射率を測定し、屈折率をフィティングにより求めた。
(4)仕事関数
AC1(理研計器社製)を用いて、非晶質透明導電膜の照射する光エネルギーと放出される電子の量をプロットし、電子放出の立ち上がり切片を仕事関数として求めた。
表1に示す組成を有する透明導電膜を成膜したほかは実施例1と同様にして窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及びチップを作製し、評価した。結果を表1に示す。
比較例1の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、熱アニール処理を行っていないので、透過率が極端に低くいうえ、Poが4mWと非常に低かった。そこで、比較例1の非晶質透明導電膜の透過率を上昇させるため、さらに約600℃で熱アニール処理を
1分間行った。その結果、Vfが3.5V、Poが10mWとなり素子特性が向上した。しかし、これら結果は実施例の結果と比べて十分な値とは言えなかった。
熱アニール処理後、さらにレーザーアニール処理(エネルギー密度が150mJcm−2のKrFエキシマレーザーを1パルス(パルス幅=20ns))を行ったほかは比較例4と同様にして窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を評価した。その結果その結果、Vfが3.5V、Poが11mWとなり素子特性が向上した。しかし、これら結果は、比較例4と同様に実施例の結果と比べて十分な値とは言えなかった。
Claims (10)
- インジウム、亜鉛及びスズからなる群から選ばれる1以上の金属の酸化物と、
ハフニウム、タンタル、タングステン、ビスマス及びランタノイド系元素からなる群から選ばれる1以上の元素を含む酸化物を含み、
バンドギャップが3.0eV以上であり、
波長460nmにおける屈折率が2.1以上であり、
仕事関数が5.5eV以上である窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。 - 前記インジウム、亜鉛及びスズからなる群から選ばれる1以上の金属の酸化物が、酸化インジウム−酸化亜鉛、酸化インジウム−酸化スズ、酸化亜鉛−酸化スズ又は酸化インジウム−酸化スズ−酸化亜鉛である請求項1に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
- 前記インジウム、亜鉛及びスズからなる群から選ばれる1以上の金属の酸化物が、酸化インジウム−酸化亜鉛であって、インジウム及び亜鉛の原子比がIn/(In+Zn)=0.5〜0.95である請求項1又は2に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
- 前記インジウム、亜鉛及びスズからなる群から選ばれる1以上の金属の酸化物が、酸化インジウム−酸化スズであって、インジウム及びスズの原子比がIn/(In+Sn)=0.7〜0.95である請求項1又は2に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。
- 酸化亜鉛を主成分とする金属酸化物と、
ハフニウム、タンタル、タングステン、ビスマス及びランタノイド系元素からなる群から選ばれる1以上の元素を含む酸化物を含み、
バンドギャップが3.2eV以上であり、
波長460nmにおける屈折率が2.2以上であり、
仕事関数が5.5eV以上である窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。 - 酸化スズを主成分とする金属酸化物と、
ハフニウム、タンタル、タングステン、ビスマス及びランタノイド系元素からなる群から選ばれる1以上の元素を含む酸化物を含み、
バンドギャップが3.5eV以上であり、
波長380nmにおける屈折率が2.3以上であり、
仕事関数が5.5eV以上である窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。 - さらに添加物として酸化ガリウムを含み、
前記非晶質透明導電膜中の全金属元素に対する前記添加物のガリウム原子の原子比が1〜10at%である請求項6に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜が、p型窒化ガリウム半導体に直接接合した窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜上にさらに透明導電膜を積層してなる請求項8に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用非晶質透明導電膜が、その成膜時に酸化インジウム−酸化スズ又は酸化インジウム−酸化亜鉛を同時に成膜することにより、p型窒化ガリウム半導体側から徐々に屈折率が低下する屈折率分布を有する請求項8又は9に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
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