JPWO2007116963A1 - 基板検査用接触子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献2:特開2005−321211号公報
特許文献3:特許第3690801号
例えば、回路基板上の各検査点に、それぞれ電流供給用端子と電圧測定用端子とを当接させ、各検査点にそれぞれ当接させた電流供給用端子間に測定用電流を供給すると共に、各検査点にそれぞれ当接させた電圧測定用端子間に生じた電圧を測定することにより、測定端子と検査点との間の接触抵抗の影響を抑制して高精度に抵抗値を測定する方法(いわゆる、4端子測定法あるいはケルビン法)が知られており、この方法を用いて配線パターンの検査を行う基板検査装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
11・・・・第一導電部
12・・・第二導電部
13・・・・棒状部分
131・・・貫入部
14・・・・弾性部
51,61,71,81・・・・第一導電部
54,64,74,84・・・弾性部
100・・・レーザ装置
200・・・第二実施形態の基板検査用接触子
211・・・第一導電部
212・・・第二導電部
213・・・棒状部材
214・・・弾性部
300・・・第三実施形態の基板検査用接触子
311・・・第一導電部
312・・・第二導電部
314・・・弾性部
400・・・第四実施形態の基盤検査用接触子
411・・・第一導電部
412・・・第二導電部
413・・・棒状部材
414・・・弾性部
500・・・第五実施形態の基盤検査用接触子
511・・・第一導電部
512・・・第二導電部
514・・・弾性部
600・・・第六実施形態の基盤検査用接触子
611・・・第一導電部
614・・・弾性部
本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子1について説明する。
図3(a),図3(b)及び図3(c)は、基板検査用接触子1を用いて、被検査基板K上の所定の2つの検査点Bの間の抵抗を測定するために、第一導電部1を検査装置の電極部EPと被検査基板Kの検査点Bとの間に固定するまでの概略の工程を示す。なお、図3(a),図3(b)及び図3(c)においては、説明の簡略化のために、第二導電部12の図示は省略してある。
このような状態になると、第一導電部11及び第二導電部12の端部が、弾性部14と湾曲した第一導電部11及び第二導電部12の本体部分との元の直線状に戻ろうとする力により、検査点B及び電極部EPに強く圧接された状態となるので、確実に、検査点から電極部に電気信号を伝達することができるようになる。
図4は、弾性部214を両端部の貫入部231の近くにそれぞれ有する第二実施形態に係る基板検査用接触子200を示す。
図5は、弾性部314を両端部の貫入部331の近くにそれぞれ有する第三実施形態に係る基板検査用接触子300を示す。
次に、図6に基づいて、2つの基板検査用接触子300を用いて被検査基板Kの所定の2つの検査点Bの間の配線の抵抗を測定するにあたって、基板検査用接触子300の一つを検査装置の電極部EPと被検査基板Kの検査点Bとの間に固定するまでの作業の流れを説明する。
図8(a)及び図8(b)は、第四実施形態に係る基板検査用接触子400を示す。図8(a)は分解図、図8(b)は組立図である。
図9は、第五の実施形態に係る基板検査用接触子500を示す。
次に、基板検査用接触子500の一つを検査装置の電極部EPと被検査基板Kの検査点Bとの間に固定するまでの作業の流れを説明する。
図10は、第六の実施形態に係る基板検査用接触子600を示す。
次に、図11、図12及び図13を参照しながら、第一導電部11の弾性部14の形成方法について説明する。
Claims (17)
- 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とをそれぞれ備える第一導電部及び第二導電部を有するとともに前記第一導電部又は第二導電部の一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられ、端部が前記検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持される基板検査用接触子であって、
前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部を有し、
前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、
前記弾性部は、前記ヘッド部の前記保持孔に保持される際に、該保持孔の内部に配置される部分に設けられることを特徴とする基板検査用接触子。 - 請求項1の基板検査用接触子において、
前記保持板が上部保持板及び下部保持板からなり、該上部保持板又は下部保持板の一方の前記保持孔に挿入される前記第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。 - 請求項1の基板検査用接触子において、
前記保持板が上部保持板及び下部保持板からなり、前記第一導電部に設けられた弾性部と前記第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる保持板の前記保持孔に挿入される位置に形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。 - 請求項1の基板検査用接触子において、
前記弾性部は、前記第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。 - 請求項1の基板検査用接触子において、検査治具のヘッド部への取り付け前では、前記第一導電部が前記第二導電部よりも長いことを特徴とする基板検査用接触子。
- 請求項1の基板検査用接触子において、検査治具のヘッド部への取り付け前では、前記第二導電部が前記第一導電部よりも長いことを特徴とする基板検査用接触子。
- 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とを備え、端部が前記検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持される基板検査用接触子であって、
可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部が一体的に形成されており、
前記弾性部が、前記ヘッド部の保持孔に保持される際に、該保持孔の内部に配置される部分に設けられることを特徴とする基板検査用接触子。 - 被検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するために前記被検査基板の所定の検査点に接触させて電気信号を伝送する複数の接触子と該複数の接触子を保持する保持体とからなる検査治具であって、
前記接触子は、可撓性及び導電性を有する第一導電部と該第一導電部を内部に収容する可撓性及び導電性を有する第二導電部からなり、
前記保持体は、前記所定の検査点に前記接触子の一端を案内する第一保持孔と、前記接触子の他端を前記検査装置の電極部へ案内する第二保持孔を有し、
前記第一導電部は、少なくとも一つの長手方向に伸縮する弾性部を有し、
前記弾性部は、前記第一保持孔及び/又は第二保持孔内に配置されていることを特徴とする検査治具。 - 請求項8の検査治具において、前記保持孔は前記被検査基板に対し直交する方向に形成されていて、前記弾性部は該保持孔内において前記接触子の長手方向に直線的に伸縮自在であることを特徴とする検査治具。
- 請求項8の検査治具において、
前記第一保持孔又は第二保持孔の一方に挿入される前記第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されていることを特徴とする検査治具。 - 請求項8の検査治具において、
前記第一導電部に設けられた弾性部と前記第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる前記保持孔に挿入される部分に形成されていることを特徴とする検査治具。 - 請求項8の検査治具において、
前記弾性部は、前記第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることを特徴とする検査治具。 - 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子を製造する製造方法であって、
導電性を有する長尺状の第一導電部の一部にレーザ光を照射して、該一部を所定形状に加工して、該第一導電部の長手方向に伸縮する弾性部を形成する弾性部形成工程と、
前記弾性部が形成された前記第一導電部を、導電性を有する筒状部材により形成される第二導電部に収容する収容工程を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。 - 請求項13の基板検査用接触子の製造方法において、前記弾性部形成工程において一部に弾性部を形成する第一導電部及び第二導電部は、全体として可撓性を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。
- 請求項13の基板検査用接触子の製造方法において、前記弾性部形成工程は、
前記第一導電部の一部にレーザ光を照射して所定厚みの板状部を形成する第一形成工程と、
前記板状部にレーザ光を照射して、前記板状部の幅方向外側から内側に向って、交互に反対側から複数の所定の形状を作成するための切欠部を形成する第二形成工程を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。 - 請求項13の基板検査用接触子の製造方法において、前記弾性部は、前記板状部の一部を幅方向に交互に切欠いて波形状に形成され、前記弾性部は、前記板状部の一部を幅方向に切欠いて矩形波状に形成され、前記弾性部は、前記板状部の幅方向の外側部分を切欠いて細棒状に形成され、又は、前記弾性部は、前記板状部上で該板状部の中心点に関し点対称となるように形成され、さらに、前記弾性部形成工程の後に、前記第一導電部の外周に絶縁膜を形成する工程を有し、さらに、前記収容工程の後に、前記第二導電部の端部を先細り形状に形成する工程を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。
- 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、
前記第一導電部は、導電性を有する長尺状の形状を有するとともに、該第一導電部の一部分にレーザ光を照射して形成される長手方向に収縮する弾性部を有し、
前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに導電性を有する筒状部材により形成される、基板検査用接触子。
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