JPWO2007015503A1 - 光電変換素子 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 234
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 270
- 239000000872 buffer Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 54
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 33
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 claims abstract description 16
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 14
- 238000004768 lowest unoccupied molecular orbital Methods 0.000 claims abstract description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 89
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 44
- 229920003026 Acene Polymers 0.000 claims description 38
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims description 37
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 claims description 31
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 24
- 239000004215 Carbon black (E152) Chemical group 0.000 claims description 16
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 16
- 229930195733 hydrocarbon Chemical group 0.000 claims description 16
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims description 13
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 11
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 9
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 claims description 9
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 claims description 9
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 9
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 8
- 125000003808 silyl group Chemical group [H][Si]([H])([H])[*] 0.000 claims description 8
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000005161 aryl oxy carbonyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 6
- 125000003917 carbamoyl group Chemical group [H]N([H])C(*)=O 0.000 claims description 5
- 125000002485 formyl group Chemical group [H]C(*)=O 0.000 claims description 5
- 125000005067 haloformyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 5
- 125000001261 isocyanato group Chemical group *N=C=O 0.000 claims description 5
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 125000005248 alkyl aryloxy group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000000858 thiocyanato group Chemical group *SC#N 0.000 claims description 4
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000002462 isocyano group Chemical group *[N+]#[C-] 0.000 claims description 3
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000001544 thienyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 259
- 239000010408 film Substances 0.000 description 43
- -1 single crystal Chemical class 0.000 description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 description 36
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 28
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 22
- 239000000047 product Substances 0.000 description 21
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 18
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 15
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 14
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 14
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 11
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 10
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 8
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 7
- 229940125904 compound 1 Drugs 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 7
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 6
- 229940125782 compound 2 Drugs 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 5
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 4
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 4
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 4
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 4
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 4
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 4
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 4
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HZNVUJQVZSTENZ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dichloro-5,6-dicyano-1,4-benzoquinone Chemical compound ClC1=C(Cl)C(=O)C(C#N)=C(C#N)C1=O HZNVUJQVZSTENZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-n-[4-[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical class C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 3
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 3
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 3
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 3
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 3
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 125000006575 electron-withdrawing group Chemical group 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 231100000053 low toxicity Toxicity 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 3
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N thiophenol Chemical compound SC1=CC=CC=C1 RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 3
- QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrachloroethane Chemical compound ClC(Cl)C(Cl)Cl QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QPUYECUOLPXSFR-UHFFFAOYSA-N 1-methylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C)=CC=CC2=C1 QPUYECUOLPXSFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IXHWGNYCZPISET-UHFFFAOYSA-N 2-[4-(dicyanomethylidene)-2,3,5,6-tetrafluorocyclohexa-2,5-dien-1-ylidene]propanedinitrile Chemical compound FC1=C(F)C(=C(C#N)C#N)C(F)=C(F)C1=C(C#N)C#N IXHWGNYCZPISET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BJDDKZDZTHIIJB-UHFFFAOYSA-N 4,5,6,7-tetrafluoro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C2C(=O)OC(=O)C2=C1F BJDDKZDZTHIIJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IYBLVRRCNVHZQJ-UHFFFAOYSA-N 5-Hydroxyflavone Chemical compound C=1C(=O)C=2C(O)=CC=CC=2OC=1C1=CC=CC=C1 IYBLVRRCNVHZQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CONKBQPVFMXDOV-QHCPKHFHSA-N 6-[(5S)-5-[[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]methyl]-2-oxo-1,3-oxazolidin-3-yl]-3H-1,3-benzoxazol-2-one Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C[C@H]1CN(C(O1)=O)C1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1 CONKBQPVFMXDOV-QHCPKHFHSA-N 0.000 description 2
- DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N Acetamide Chemical compound CC(N)=O DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KXDAEFPNCMNJSK-UHFFFAOYSA-N Benzamide Chemical compound NC(=O)C1=CC=CC=C1 KXDAEFPNCMNJSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007818 Grignard reagent Substances 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000846 In alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MZRVEZGGRBJDDB-UHFFFAOYSA-N N-Butyllithium Chemical compound [Li]CCCC MZRVEZGGRBJDDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N N-Pentanol Chemical compound CCCCCO AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- ISZWRZGKEWQACU-UHFFFAOYSA-N Primuletin Natural products OC1=CC=CC(C=2OC3=CC=CC=C3C(=O)C=2)=C1 ISZWRZGKEWQACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N [60]pcbm Chemical compound C123C(C4=C5C6=C7C8=C9C%10=C%11C%12=C%13C%14=C%15C%16=C%17C%18=C(C=%19C=%20C%18=C%18C%16=C%13C%13=C%11C9=C9C7=C(C=%20C9=C%13%18)C(C7=%19)=C96)C6=C%11C%17=C%15C%13=C%15C%14=C%12C%12=C%10C%10=C85)=C9C7=C6C2=C%11C%13=C2C%15=C%12C%10=C4C23C1(CCCC(=O)OC)C1=CC=CC=C1 MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 125000002015 acyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 2
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 2
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 2
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001244 carboxylic acid anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 2
- 229940125898 compound 5 Drugs 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- VHILMKFSCRWWIJ-UHFFFAOYSA-N dimethyl acetylenedicarboxylate Chemical compound COC(=O)C#CC(=O)OC VHILMKFSCRWWIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 2
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002803 fossil fuel Substances 0.000 description 2
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004795 grignard reagents Chemical class 0.000 description 2
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 2
- AICOOMRHRUFYCM-ZRRPKQBOSA-N oxazine, 1 Chemical compound C([C@@H]1[C@H](C(C[C@]2(C)[C@@H]([C@H](C)N(C)C)[C@H](O)C[C@]21C)=O)CC1=CC2)C[C@H]1[C@@]1(C)[C@H]2N=C(C(C)C)OC1 AICOOMRHRUFYCM-ZRRPKQBOSA-N 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 125000001037 p-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(=C([H])C([H])=C1*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002964 pentacenes Chemical class 0.000 description 2
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 2
- 229920000548 poly(silane) polymer Chemical class 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-N sulfonic acid Chemical compound OS(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 2
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005259 triarylamine group Chemical class 0.000 description 2
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 125000000008 (C1-C10) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003837 (C1-C20) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004178 (C1-C4) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004169 (C1-C6) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006649 (C2-C20) alkynyl group Chemical group 0.000 description 1
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEYOCULIXLDCMW-UHFFFAOYSA-N 1,2-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC=C1N GEYOCULIXLDCMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 1,3-Diphenylbenzene Chemical group C1=CC=CC=C1C1=CC=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWXNBPOGRDFPTB-UHFFFAOYSA-N 1,3-dimethylimidazolidin-2-one;1-methylpyrrolidin-2-one Chemical compound CN1CCCC1=O.CN1CCN(C)C1=O XWXNBPOGRDFPTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZEVSDGEBAJOTK-UHFFFAOYSA-N 1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-2-[5-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]-1,3,4-oxadiazol-2-yl]ethanone Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)C(CC=1OC(=NN=1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)=O KZEVSDGEBAJOTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CCFAKBRKTKVJPO-UHFFFAOYSA-N 1-anthroic acid Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(C(=O)O)=CC=CC3=CC2=C1 CCFAKBRKTKVJPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPFGGYIWNDCEJM-UHFFFAOYSA-N 1-n,1-n,3-n,3-n,5-n,5-n-hexakis-phenylbenzene-1,3,5-triamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=C(C=C(C=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DPFGGYIWNDCEJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OLUMNEXGMXIAMJ-UHFFFAOYSA-N 1-n,1-n,4-n-triphenyl-4-n-[4-(n-[4-(n-phenylanilino)phenyl]anilino)phenyl]benzene-1,4-diamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 OLUMNEXGMXIAMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQKHQIGNWMQMIQ-UHFFFAOYSA-N 1-n,3-n-diphenyl-1-n,3-n-bis[4-(n-phenylanilino)phenyl]benzene-1,3-diamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=C(C=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 PQKHQIGNWMQMIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004206 2,2,2-trifluoroethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C(F)(F)F 0.000 description 1
- PDAQFIFHJIRWEX-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydroanthracene-1,4-dione Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(=O)CCC(=O)C3=CC2=C1 PDAQFIFHJIRWEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MVWPVABZQQJTPL-UHFFFAOYSA-N 2,3-diphenylcyclohexa-2,5-diene-1,4-dione Chemical class O=C1C=CC(=O)C(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 MVWPVABZQQJTPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- STTGYIUESPWXOW-UHFFFAOYSA-N 2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline Chemical compound C=12C=CC3=C(C=4C=CC=CC=4)C=C(C)N=C3C2=NC(C)=CC=1C1=CC=CC=C1 STTGYIUESPWXOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JQMFQLVAJGZSQS-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-N-(2-oxo-3H-1,3-benzoxazol-6-yl)acetamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)CC(=O)NC1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1 JQMFQLVAJGZSQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJLUBHOZZTYQIP-UHFFFAOYSA-N 2-[5-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]-1,3,4-oxadiazol-2-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1=NN=C(O1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 YJLUBHOZZTYQIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IDSBZNIEHNSIPE-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-[3-methyl-4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]-n-(3-methylphenyl)-n-phenylaniline Chemical group CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C(=CC(=CC=2)C=2C=C(C)C(N(C=3C=CC=CC=3)C=3C=C(C)C=CC=3)=CC=2)C)=C1 IDSBZNIEHNSIPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 3-(oxolan-2-yl)propanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC1CCCO1 WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BELZNVWOTRMVFA-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-n-[4-[4-(n-(3-methoxyphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical group COC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(OC)C=CC=2)=C1 BELZNVWOTRMVFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDBQJSCPCGTAFG-QHCPKHFHSA-N 4,4-difluoro-N-[(1S)-3-[4-(3-methyl-5-propan-2-yl-1,2,4-triazol-4-yl)piperidin-1-yl]-1-pyridin-3-ylpropyl]cyclohexane-1-carboxamide Chemical compound FC1(CCC(CC1)C(=O)N[C@@H](CCN1CCC(CC1)N1C(=NN=C1C)C(C)C)C=1C=NC=CC=1)F WDBQJSCPCGTAFG-QHCPKHFHSA-N 0.000 description 1
- BWGRDBSNKQABCB-UHFFFAOYSA-N 4,4-difluoro-N-[3-[3-(3-methyl-5-propan-2-yl-1,2,4-triazol-4-yl)-8-azabicyclo[3.2.1]octan-8-yl]-1-thiophen-2-ylpropyl]cyclohexane-1-carboxamide Chemical compound CC(C)C1=NN=C(C)N1C1CC2CCC(C1)N2CCC(NC(=O)C1CCC(F)(F)CC1)C1=CC=CS1 BWGRDBSNKQABCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CMSGUKVDXXTJDQ-UHFFFAOYSA-N 4-(2-naphthalen-1-ylethylamino)-4-oxobutanoic acid Chemical compound C1=CC=C2C(CCNC(=O)CCC(=O)O)=CC=CC2=C1 CMSGUKVDXXTJDQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001255 4-fluorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C([H])C([H])=C1F 0.000 description 1
- UNZWWPCQEYRCMU-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-[4-[4-(n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical group C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=CC=C1 UNZWWPCQEYRCMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIRVQSRSPDUEOJ-UHFFFAOYSA-N 9-bromoanthracene Chemical compound C1=CC=C2C(Br)=C(C=CC=C3)C3=CC2=C1 ZIRVQSRSPDUEOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001148 Al-Li alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNQQGTGDRRNJCR-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)N(C1=CC=CC=C1)C=1C=CC2=C3C=CC(=CC3=C(N=C2C1)C1=CC=CC=C1)N(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C=CC12 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N(C1=CC=CC=C1)C=1C=CC2=C3C=CC(=CC3=C(N=C2C1)C1=CC=CC=C1)N(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C=CC12 MNQQGTGDRRNJCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003860 C1-C20 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006374 C2-C10 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005865 C2-C10alkynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003358 C2-C20 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910000882 Ca alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005698 Diels-Alder reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 235000000177 Indigofera tinctoria Nutrition 0.000 description 1
- 229910000799 K alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFZAGIJXANFPFN-UHFFFAOYSA-N N-[3-[4-(3-methyl-5-propan-2-yl-1,2,4-triazol-4-yl)piperidin-1-yl]-1-thiophen-2-ylpropyl]acetamide Chemical compound C(C)(C)C1=NN=C(N1C1CCN(CC1)CCC(C=1SC=CC=1)NC(C)=O)C LFZAGIJXANFPFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002319 Poly(methyl acrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical group C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JFBZPFYRPYOZCQ-UHFFFAOYSA-N [Li].[Al] Chemical compound [Li].[Al] JFBZPFYRPYOZCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHYLKGDXMUDNEO-UHFFFAOYSA-N [Mg].[In] Chemical compound [Mg].[In] JHYLKGDXMUDNEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000980 acid dye Substances 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002877 alkyl aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N aluminum magnesium Chemical compound [Mg].[Al] SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940072049 amyl acetate Drugs 0.000 description 1
- PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N anhydrous amyl acetate Natural products CCCCCOC(C)=O PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- HCQYOADEQHBNDH-UHFFFAOYSA-N anthracene-1-thiol Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(S)=CC=CC3=CC2=C1 HCQYOADEQHBNDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 229940027991 antiseptic and disinfectant quinoline derivative Drugs 0.000 description 1
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005899 aromatization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002102 aryl alkyloxo group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N benzyl chloride Chemical compound ClCC1=CC=CC=C1 KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PPYIVKOTTQCYIV-UHFFFAOYSA-L beryllium;selenate Chemical compound [Be+2].[O-][Se]([O-])(=O)=O PPYIVKOTTQCYIV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 125000000319 biphenyl-4-yl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1C1=C([H])C([H])=C([*])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229950005499 carbon tetrachloride Drugs 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000004440 column chromatography Methods 0.000 description 1
- 229940126214 compound 3 Drugs 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000392 cycloalkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- VKONPUDBRVKQLM-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,4-diol Chemical class OC1CCC(O)CC1 VKONPUDBRVKQLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- GUVUOGQBMYCBQP-UHFFFAOYSA-N dmpu Chemical compound CN1CCCN(C)C1=O GUVUOGQBMYCBQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000002353 field-effect transistor method Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M heptanoate Chemical compound CCCCCCC([O-])=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- ALBYIUDWACNRRB-UHFFFAOYSA-N hexanamide Chemical compound CCCCCC(N)=O ALBYIUDWACNRRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M hexanoate Chemical compound CCCCCC([O-])=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000007857 hydrazones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 229940097275 indigo Drugs 0.000 description 1
- COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N indigo powder Natural products N1C2=CC=CC=C2C(=O)C1=C1C(=O)C2=CC=CC=C2N1 COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHJOPRPDWDXEIY-UHFFFAOYSA-N indium lithium Chemical compound [Li].[In] LHJOPRPDWDXEIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229940057995 liquid paraffin Drugs 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001989 lithium alloy Substances 0.000 description 1
- 125000000040 m-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C([H])C(=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N magnesium silver Chemical compound [Mg].[Ag] SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- UKVIEHSSVKSQBA-UHFFFAOYSA-N methane;palladium Chemical compound C.[Pd] UKVIEHSSVKSQBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- VGGNVBNNVSIGKG-UHFFFAOYSA-N n,n,2-trimethylaziridine-1-carboxamide Chemical compound CC1CN1C(=O)N(C)C VGGNVBNNVSIGKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- SEXOVMIIVBKGGM-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1-thiol Chemical compound C1=CC=C2C(S)=CC=CC2=C1 SEXOVMIIVBKGGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 125000003261 o-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000013086 organic photovoltaic Methods 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002903 organophosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- 150000007978 oxazole derivatives Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- IGKLGCQYPZTEPK-UHFFFAOYSA-N pentacene-1,2-dione Chemical compound C1=CC=C2C=C(C=C3C(C=C4C=CC(C(C4=C3)=O)=O)=C3)C3=CC2=C1 IGKLGCQYPZTEPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFCVADNIXDUEFZ-UHFFFAOYSA-N pentacene-6,13-dione Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(=O)C4=CC5=CC=CC=C5C=C4C(=O)C3=CC2=C1 UFCVADNIXDUEFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N perinone Chemical compound C12=NC3=CC=CC=C3N2C(=O)C2=CC=C3C4=C2C1=CC=C4C(=O)N1C2=CC=CC=C2N=C13 DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000005041 phenanthrolines Chemical class 0.000 description 1
- 125000005499 phosphonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTUSEBKMEQERQV-UHFFFAOYSA-N propan-2-ol;hydrate Chemical compound O.CC(C)O XTUSEBKMEQERQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003248 quinolines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003252 quinoxalines Chemical class 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 description 1
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- SNOOUWRIMMFWNE-UHFFFAOYSA-M sodium;6-[(3,4,5-trimethoxybenzoyl)amino]hexanoate Chemical compound [Na+].COC1=CC(C(=O)NCCCCCC([O-])=O)=CC(OC)=C1OC SNOOUWRIMMFWNE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical class C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- QHMQWEPBXSHHLH-UHFFFAOYSA-N sulfur tetrafluoride Chemical compound FS(F)(F)F QHMQWEPBXSHHLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 229940042055 systemic antimycotics triazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000003518 tetracenes Chemical class 0.000 description 1
- UGNWTBMOAKPKBL-UHFFFAOYSA-N tetrachloro-1,4-benzoquinone Chemical compound ClC1=C(Cl)C(=O)C(Cl)=C(Cl)C1=O UGNWTBMOAKPKBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOUDBUYBGJYFFP-FOCLMDBBSA-N thioindigo Chemical compound S\1C2=CC=CC=C2C(=O)C/1=C1/C(=O)C2=CC=CC=C2S1 JOUDBUYBGJYFFP-FOCLMDBBSA-N 0.000 description 1
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 1
- IBBLKSWSCDAPIF-UHFFFAOYSA-N thiopyran Chemical compound S1C=CC=C=C1 IBBLKSWSCDAPIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 1
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 1
- PZJJKWKADRNWSW-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilicon Chemical group CO[Si](OC)OC PZJJKWKADRNWSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GBXQPDCOMJJCMJ-UHFFFAOYSA-M trimethyl-[6-(trimethylazaniumyl)hexyl]azanium;bromide Chemical compound [Br-].C[N+](C)(C)CCCCCC[N+](C)(C)C GBXQPDCOMJJCMJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000000026 trimethylsilyl group Chemical group [H]C([H])([H])[Si]([*])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMBQEXOLIRBNPN-UHFFFAOYSA-L zirconocene dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zr+4].C=1C=C[CH-]C=1.C=1C=C[CH-]C=1 QMBQEXOLIRBNPN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/10—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising heterojunctions between organic semiconductors and inorganic semiconductors
- H10K30/15—Sensitised wide-bandgap semiconductor devices, e.g. dye-sensitised TiO2
- H10K30/151—Sensitised wide-bandgap semiconductor devices, e.g. dye-sensitised TiO2 the wide bandgap semiconductor comprising titanium oxide, e.g. TiO2
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/20—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising organic-organic junctions, e.g. donor-acceptor junctions
-
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- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/30—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising bulk heterojunctions, e.g. interpenetrating networks of donor and acceptor material domains
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- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/80—Constructional details
- H10K30/81—Electrodes
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/50—Photovoltaic [PV] devices
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- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/10—Organic polymers or oligomers
- H10K85/111—Organic polymers or oligomers comprising aromatic, heteroaromatic, or aryl chains, e.g. polyaniline, polyphenylene or polyphenylene vinylene
- H10K85/113—Heteroaromatic compounds comprising sulfur or selene, e.g. polythiophene
- H10K85/1135—Polyethylene dioxythiophene [PEDOT]; Derivatives thereof
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- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/10—Organic polymers or oligomers
- H10K85/154—Ladder-type polymers
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- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/20—Carbon compounds, e.g. carbon nanotubes or fullerenes
- H10K85/211—Fullerenes, e.g. C60
- H10K85/215—Fullerenes, e.g. C60 comprising substituents, e.g. PCBM
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/30—Coordination compounds
- H10K85/311—Phthalocyanine
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/40—Organosilicon compounds, e.g. TIPS pentacene
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
- H10K85/615—Polycyclic condensed aromatic hydrocarbons, e.g. anthracene
- H10K85/621—Aromatic anhydride or imide compounds, e.g. perylene tetra-carboxylic dianhydride or perylene tetracarboxylic di-imide
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子であり、該光電変換層が、(1)p型半導体層および(2)p型半導体とn型半導体との混合層、必要に応じてこれに(3)n型半導体層または金属酸化物層を順次積層した構造を有する光電変換素子において、以下に示す(a)〜(c)のうちの少なくとも1つの光電変換効率向上手段を採用したことを特徴とする光電変換素子。(a)上記(1)〜(3)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(3)n型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること
Description
本発明は、光照射により起電力を発生する光電変換素子に関する。
近年、化石燃料による地球温暖化や人口の増加に伴うエネルギー需要の増大は、人類の存亡に関わる大きな問題と成っている。一方、太陽光は、言うまでもなく、太古以来現在まで、地球の環境を育み、人類を含む全ての生物のエネルギー源となってきた。そこで、最近では、無限でかつ有害物質を発生しないクリーンなエネルギー源として太陽光を利用することが検討されている。なかでも、光エネルギーを電気エネルギーに変換する光電変換素子、所謂太陽電池が有力な技術手段として注目されている。
太陽電池の起電力材料としては、単結晶、多結晶、アモルファスのシリコンやCuInSe、GaAs、CdS等の化合物からなる無機半導体が使用されている。これらの無機半導体を用いた太陽電池は、10%から20%と比較的高いエネルギー変換効率を示すため、遠隔地用の電源や携帯用小型電子機器の補助的な電源として広く用いられている。しかし、冒頭で述べたように、化石燃料の消費を抑えて地球環境の悪化を防止するという目的に照らすと、現時点では無機半導体を用いた太陽電池は十分な効果を上げているとは言い難い。なぜなら、これらの無機半導体を用いた太陽電池は、プラズマCVD法や高温結晶成長プロセスにより製造されており、素子の作製に多くのエネルギーを必要とするためである。また、Cd、As、Se等の環境に有害な影響を及ぼしかねない成分を含んでおり、素子の廃棄による環境破壊の懸念もある。
この点を改善し得る光起電力材料として、有機半導体を用いた有機太陽電池が提案されている。有機半導体は、多様性があること、毒性が低いこと、加工性・生産性がよくコストダウンが可能であること、可撓性を有するためフレキシブル化が容易であること等の優れた特長を有する。これらの優れた特長を活かし、実用化に向けた有機太陽電池の研究が盛んである。
有機太陽電池は色素増感型と半導体型とに大別できる。色素増感型は、1991年にスイスのグレーツエル(Gratzel)らが報告し大きな注目を浴びたもので、表面積の大きい多孔質二酸化チタン薄膜の表面にルテニウムビピリジンカルボン酸色素を吸収させた電極を用い、これに電解液を接触させた構造を有する(非特許文献1)。しかし、二酸化チタンの処理に高温が必要であったり、電解液及びヨウ素を使用することの問題点が指摘され、実用化はなかなか進んでいない。二酸化チタンの処理が低温でも可能になってプラスチック基板に作製可能になれば、また、電解液部分を固体化できれば、実用化に向けて大きく前進することは明らかであり、二酸化チタンの低温処理や固体化には種々の方法が試みられているが、いずれも低い光電変換効率に止まっている。例えば、電解質部分に導電性高分子であるポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン等を使用することについて検討がなされているが、いずれも変換効率は低い(非特許文献2)。
半導体型は、光生成した電荷ペアを解離させる機構の違いによってショットキー型とpn接合型の2種類に分けられる。ショットキー型は、有機半導体と金属との接合面に誘起されるショットキー障壁による内部電界を利用する(非特許文献3)。かかるショットキー型太陽電池は、比較的大きな開放電圧(Voc)を得られるという特長を有する反面、照射光量が増加すると光電変換効率が低下しやすいという課題を有している。
pn接合型は、p型半導体とn型半導体の接合面に発生する内部電界を利用するもので、両半導体に有機物を用いる有機/有機pn接合型と、どちらかの半導体に無機物を用いる有機/無機pn接合型等がある。かかる有機pn接合型太陽電池は、比較的高い変換効率が得られているが十分ではない(非特許文献4)。
また、これまで有機半導体型太陽電池では、有機半導体で形成されるpn接合の光電変換層の厚みが数nm程度しかないため、単純積層型有機太陽電池では光の利用効率が悪く、大きな光電流を取り出すことはできなかった。このため、有機薄膜太陽電池のエネルギー変換効率を向上させるには、光電変換層の拡大による利用効率の改善が鍵とされていた。そこで、p型半導体材料とn型半導体材料を混合した層を設けて、有機半導体に分子レベルで3次元的なpn接合を形成させて、変換効率の大幅な向上を図っている(非特許文献5)。
しかし、この混合層の膜厚を連続的に変化させた場合の光電変換特性を評価すると、膜厚が増えると光の利用効率が向上してキャリア発生量が増加する一方、キャリア輸送能は逆に減少してしまうため、エネルギー変換効率が極大となる混合層膜厚が存在することが明らかとなっている。これは、混合層中ではp型とn型の分子が共存しており、発生したキャリアが再結合してしまう確率も大きくなっているためである。多くの場合、キャリア輸送能の減少の影響が大きく、膜厚をできるだけ薄くしなければ良い効率が得られないという欠点があった。また、p型半導体材料とn型半導体材料を混合した層の外側のp型半導体層やn型半導体層においても、膜厚を厚くするとキャリア分離能は増加するがキャリアの輸送能は低下するため、エネルギー変換効率が極大となる混合層膜厚が存在する。この場合もキャリア輸送能の減少の影響が大きく、膜厚をできるだけ薄くしなければならないという欠点があった。
一方、光電変換層の周辺にバッファー層を設けて変換効率の改善を図る試みもなされている。例えば、陽極電極としてのITO電極にPEDOT−PSS[Poly(ethylenedioxy)thiophene−polystyrene sulphonic acid]の層(膜厚10〜100nm)を、陰極電極側にBCP[Bathocuproine]層(膜厚10nm程度)やLiF(膜厚数nm)を形成する方法等が報告されている(非特許文献6、7)。
また、有機半導体化合物は結晶形によって異なる特性、例えば電荷移動度を有し、有機半導体化合物は特定の結晶形においてのみ優れた光電特性を示すことが知られている。蒸着法による成膜工程で結晶形を選択する方法として、基板温度制御による改善方法が試みられているが(非特許文献8)、高い光電特性を有する所望の結晶形からなる半導体層を得るのは難しいという問題もある。
また、pn接合セルを2個以上積層したタンデム化セルの試みも報告されている(非特許文献9)。
B.O'regan,M.Gratzel,Nature,353,737(1991)
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従って、本発明の目的は、加工性・生産性がよく、毒性が低く、光電変換効率が良好で、フレキシブルな光電変換素子を提供することにある。
p型半導体とn型半導体の混合層をつくり、界面の面積を大幅に増大することにより、これまでの有機薄膜太陽電池の変換効率を改善してきているが、界面が増大した分に相当する変換効率の向上が得られていないことを本発明者らは注目した。これまでの多くの議論は光を吸収して発生した励起子をどのようにして界面に運び、界面でキャリアに変換するかというところに集中し、界面で溜まったキャリアをどのように輸送するかという議論が欠落しているように見えた。
本発明者らは界面で発生した多くのキャリアが輸送されず、そのため界面付近で再結合などにより、変換効率が増大した界面の面積分改善されていないひとつの大きな理由であると考えた。そこで界面付近で発生した多くのキャリアをいち早く電極へ輸送することを考え、鋭意検討を重ねた結果、キャリア移動度の高い有機半導体材料を使用することにより、上記目的を達成し得ることを見出した。
本発明(請求の範囲第1項に記載の発明)は、上記知見に基づきなされたもので、対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子であり、該光電変換層が、(1)p型半導体層、(2)p型半導体とn型半導体との混合層及び(3)n型半導体層を順次積層した構造〔尚、(1)p型半導体層中のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体、(2)混合層中のn型半導体と(3)n型半導体層中のn型半導体とは、それぞれ、同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよい〕を有する光電変換素子において、以下に示す(a)〜(c)のうちの少なくとも1つ以上の光電変換効率向上手段を採用したことを特徴とする光電変換素子を提供するものである。
(a)上記(1)〜(3)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること
(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(3)n型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること
(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること
(a)上記(1)〜(3)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること
(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(3)n型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること
(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること
また、本発明(請求の範囲第2項に記載の発明)は、対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子であり、該光電変換層が、(1)p型半導体層及び(2)p型半導体とn型半導体との混合層を順次積層した構造〔尚、(1)p型半導体層中のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体とは、それぞれ、同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよい〕を有する光電変換素子において、以下に示す(a)〜(c)のうちの少なくとも1つ以上の光電変換効率向上手段を採用したことを特徴とする光電変換素子を提供するものである。
(a)上記(1)〜(2)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること
(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(2)混合層中のn型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること
(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること
(a)上記(1)〜(2)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること
(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(2)混合層中のn型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること
(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること
また、本発明(請求の範囲第3項に記載の発明)は、対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子であり、該光電変換層が、(1)p型半導体層、(2)p型半導体とn型半導体との混合層及び(3)金属酸化物層を順次積層した構造〔尚、(1)p型半導体層中のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体とは、それぞれ、同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよい〕を有する光電変換素子において、以下に示す(a)〜(c)のうちの少なくとも1つ以上の光電変換効率向上手段を採用したことを特徴とする光電変換素子を提供するものである。
(a)上記(1)〜(2)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること
(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(2)混合層中のn型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること
(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること
(a)上記(1)〜(2)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること
(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(2)混合層中のn型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること
(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること
また、本発明(請求の範囲第4項に記載発明)は、少なくとも半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いる光電変換効率向上手段を採用した請求の範囲第1〜3項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第5項に記載の発明)は、p型半導体層に電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いた請求の範囲第1〜4項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第5項に記載の発明)は、p型半導体層に電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いた請求の範囲第1〜4項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第6項に記載の発明)は、上記半導体層で構成される上記光電変換層からなる光電変換ユニットを複数個有し、各光電変換ユニットは、中間電極としての等電位面を形成する層及び/又は電荷発生層によって仕切られていることを特徴とする請求の範囲第4又は5項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第7項に記載の発明)は、少なくとも上記(b)の光電変換効率向上手段を採用した請求の範囲第1〜3項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第8項に記載の発明)は、少なくとも上記(c)の光電変換効率向上手段を採用した請求の範囲第1〜3項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第9項に記載の発明)は、上記光電変換層のうち(1)p型半導体層の厚さが10nm以上であることを特徴とする請求の範囲第1〜8項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第8項に記載の発明)は、少なくとも上記(c)の光電変換効率向上手段を採用した請求の範囲第1〜3項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第9項に記載の発明)は、上記光電変換層のうち(1)p型半導体層の厚さが10nm以上であることを特徴とする請求の範囲第1〜8項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第10項に記載の発明)は、上記半導体層に用いられる有機半導体化合物の少なくとも1つが、下記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体から選ばれることを特徴とする請求の範囲第1〜9項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
また、本発明(請求の範囲第11項に記載の発明)は、上記光電変換層を構成する(1)p型半導体層、(2)p型半導体とn型半導体との混合層又は(3)n型半導体層あるいは金属酸化物層のうち少なくとも1層が、溶液塗布法により形成されたことを特徴とする請求の範囲第1〜10項のいずれか1項に記載の光電変換素子を提供するものである。
以下、本発明に関して詳細に説明する。
まず、上記(a)の光電変換効率向上手段を採用した本発明の光電変換素子(第一の発明の光電変換素子)について説明する。
第一の発明の光電変換素子は以下の特徴を有する。つまり、対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子において、該光電変換層は、(1)p型半導体層、(2)p型半導体とn型半導体との混合層及び(3)n型半導体層が順次積層された構造を有し、(1)p型半導体層のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体、(2)混合層中のn型半導体と(3)n型半導体層のn型半導体は、それぞれ同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよく、各層間には光電変換素子としての良好な電荷移動を妨げることのない任意の層を有していてもよく、これらの半導体層の1層以上に高移動度有機半導体薄膜を用いることを特徴とする。
第一の発明の光電変換素子は以下の特徴を有する。つまり、対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子において、該光電変換層は、(1)p型半導体層、(2)p型半導体とn型半導体との混合層及び(3)n型半導体層が順次積層された構造を有し、(1)p型半導体層のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体、(2)混合層中のn型半導体と(3)n型半導体層のn型半導体は、それぞれ同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよく、各層間には光電変換素子としての良好な電荷移動を妨げることのない任意の層を有していてもよく、これらの半導体層の1層以上に高移動度有機半導体薄膜を用いることを特徴とする。
このときの高移動度有機半導体薄膜の電荷移動度は0.005cm2/V・sec以上が好ましく、さらに好ましくは0.01cm2/V・sec以上であり、またさらに好ましくは0.1cm2/V・sec以上であり、さらに好ましくは0.4cm2/V・sec以上であり、またさらに好ましくは1.0cm2/V・sec以上である。
上記有機半導体薄膜の電荷移動度の上限は、特に制限されず、大きいほど好ましい。尚、(1)〜(3)の半導体層からなる上記光電変換層は、陽極電極側に(1)層が位置し、陰極電極側に(3)層が位置するように設けられる。
上記有機半導体薄膜の電荷移動度の上限は、特に制限されず、大きいほど好ましい。尚、(1)〜(3)の半導体層からなる上記光電変換層は、陽極電極側に(1)層が位置し、陰極電極側に(3)層が位置するように設けられる。
また光電変換素子は特に(3)のn型半導体層を有しない光電変換素子であってもよい。この場合、p型半導体とn型半導体との混合層にもちいるp型半導体層は好ましくは少なくとも1つの高分子化合物を含む。高分子化合物として特に制限するわけではないが、置換基を有してもよいチオフェン誘導体の重合物、置換基を有しても良いポリフェニレン誘導体、置換基を有していても良いポリフェニレンビニレン誘導体などがあげられる。この場合のn型半導体としては好ましくはC60あるいはC70などの誘導体である。C60あるいはC70などの誘導体の例として特に制限するわけではないが、C60、C70、PCBMなどがあげられる。
このような混合層に高分子を含む光電変換素子は通常(1)のp型半導体層や(3)のn型半導体層を有しておらず、混合層に電極あるいは電極とバッファー層をつけるだけである程度の光電変換率が達成される。しかしながら上述したように、混合層に溜まる電荷を早く混合層から引き出すことにより光電変換効率は著しく改善されることを本発明において見出しており、p型半導体である高移動度有機半導体薄膜をこの混合層だけからなる光電変換素子に加えることにより著しく変換効率が改善される。このときのp型半導体層の膜厚は好ましくは10nm以上であり、さらに好ましくは20nm以上100nm以下である。またこのときの高移動度有機半導体薄膜の電荷移動度については改めて記載しないが、すでに上述した説明を適宜適応するものとする。
また変換素子は(1)のp型半導体層および(2)の混合層からなる光電変換素子に金属酸化物からなる層を加えた変換素子であってもよい。金属酸化物は特に制限するわけではないが、酸化チタン、酸化スズなどである。このような光電変換素子においても(1)のp型半導体素子に高移動度有機半導体薄膜を加えることにより変換効率が改善される。
電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の高移動度有機半導体薄膜は、(1)層、(2)層及び(3)層のどの層に用いてもよい。
まず、高移動度有機半導体薄膜を(1)層に用いた場合は、(2)層で発生した電子と正孔のキャリアが再結合する前に分離することが必要だが、正孔の移動速度が速いため、分離が良好になる。更に、高移動度材料(電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を形成することができる材料)により正孔の拡散距離が長くなるため、膜厚を厚くでき、そのため正孔の分離が良好になるとともに、光の吸収量が増加して正孔と電子のキャリア発生量が増え、電流が増加するという利点もある。
まず、高移動度有機半導体薄膜を(1)層に用いた場合は、(2)層で発生した電子と正孔のキャリアが再結合する前に分離することが必要だが、正孔の移動速度が速いため、分離が良好になる。更に、高移動度材料(電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を形成することができる材料)により正孔の拡散距離が長くなるため、膜厚を厚くでき、そのため正孔の分離が良好になるとともに、光の吸収量が増加して正孔と電子のキャリア発生量が増え、電流が増加するという利点もある。
高移動度有機半導体薄膜を(2)層に用いる場合については、次のように考えられる。即ち、低移動度材料の場合には、混合層膜厚が増えると、光の利用効率が向上してキャリア発生量が増加する一方、キャリア輸送能は逆に減少してしまうため、エネルギー変換効率が極大となる混合層膜厚が存在することが明らかとなっている。これは、混合層中ではp型とn型の分子が共存しており、発生したキャリアが再結合してしまう確率も大きくなっているためである。しかし、高移動度材料を用いると、混合層膜厚を厚くでき、そのため光の利用効率が向上してキャリア発生量が増加し、キャリア輸送能も長くなるため、エネルギー変換効率が極大となる混合層膜厚が増加し、その結果として変換効率の向上が図れる。上記高移動度材料を用いた(2)混合層中では、発生したキャリアが再結合してしまうことの確率も、低移動度材料の場合に比べて小さくなる。
高移動度有機半導体薄膜を(3)層に用いた場合は、(2)層で発生した電子と正孔のキャリアが再結合する前に分離することが必要だが、電子の移動速度が速いため、この分離が良好になる。更に、高移動度材料により電子の移動距離が長くなるため、膜厚を厚くでき、そのため電子の分離が良好になるとともに、光の吸収量が増加して正孔と電子のキャリア発生量が増え、電流が増加するという利点もある。
更に、高移動度材料を用いると次のような利点もある。即ち、透明電極と反対側の電極表面が平坦な場合は、入射した光は、透明電極、半導体層を順に通過し、反対側の電極で反射した後、半導体層、透明電極を順に通過することになる。これに対して、透明電極と反対側の電極表面に凹凸があると、この凹凸により光が乱反射し、光を内部に閉じ込める反射率が上がり、半導体層での光路長が増加するため光吸収が増加する、即ち、光閉じ込め構造(テクスチャー構造)により光吸収効率が改善でき、変換効率の向上が図られる(例えば、特開2005−2387公報参照)。この凹凸の大きさは数十nmは必要であるが、高移動度材料を用いないと膜厚を厚くできないので、テクスチャー構造による変換効率の向上は図れないが、上記高移動度材料を用いれば可能となるという利点も生じる。
上記(1)〜(3)の半導体層は薄膜状に形成され、(1)p型半導体層の好ましい膜厚は、1nm〜200nmであり、より好ましい膜厚は10nm〜200nmである、さらにより好ましい膜厚は20nm〜100nmである。(2)p型半導体及びn型半導体の混合層の好ましい膜厚は、5nm〜200nmであり、より好ましい膜厚は10nm〜100nmである。(3)n型半導体層を用いる場合の好ましい膜厚は、1nm〜200nmであり、より好ましい膜厚は5nm〜100nmである。
また、(2)p型半導体とn型半導体との混合層においては、分子レベル(もしくはナノレベル)でn型半導体とp型半導体とが混合していることが好ましい。また、p型半導体とn型半導体とは、体積比(前者:後者)が1:0.1〜1:5.0となるように混合されているのが好ましく、1:0.5〜1:2.0となるように混合されているのがより好ましい。
(1)p型半導体層、(2)p型半導体とn型半導体との混合層及び(3)n型半導体層の形成方法は、後で説明する従来公知の光電変換素子の形成方法により行なえばよい。特に(2)p型半導体及びn型半導体の混合層を形成する際に真空蒸着法を採用する場合は、共蒸着法を用いればよいが、もちろん、p型半導体及びn型半導体の両者を溶剤に溶解もしくは分散させて、溶剤塗布法(スピンコート等)により形成することもできる。
上記金属酸化物層の金属酸化物は特に制限するわけではないが、酸化チタンや酸化スズなどの金属酸化物が好ましく、 好ましい膜厚は1nm〜200nmであり、より好ましい膜厚は20nm〜100nmである。
上記金属酸化物層の金属酸化物は特に制限するわけではないが、酸化チタンや酸化スズなどの金属酸化物が好ましく、 好ましい膜厚は1nm〜200nmであり、より好ましい膜厚は20nm〜100nmである。
第1の発明の光電変換素子においては、上記(1)〜(3)の半導体層の少なくとも一層に、半導体化合物としてポリアセン誘導体あるいはポリアセン誘導体と他の有機物との混合物を使用することが好ましい。ポリアセン誘導体としては下記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体が特に好ましい。またポリアセン誘導体と混合物を形成する場合の有機物は好ましいのはオリゴマーやポリマーで、特に制限するわけではないが、ポリアセン誘導体と混合することにより電荷移動度あるいは安定性を向上させる有機物であればよい。
ポリアセン誘導体としては下記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体が特に好ましい。下記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体について、以下に詳しく説明する。
ポリアセン誘導体としては下記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体が特に好ましい。下記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体について、以下に詳しく説明する。
上記ハロゲン原子の例としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
本発明において、C1〜C40炭化水素基は、飽和若しくは不飽和の非環式であってもよいし、飽和若しくは不飽和の環式であってもよい。C1〜C40炭化水素基が非環式の場合には、線状でもよいし、枝分かれでもよい。C1〜C40炭化水素基には、C1〜C40アルキル基、C2〜C40アルケニル基、C2〜C40アルキニル基、C3〜C40アリル基、C4〜C40アルキルジエニル基、C4〜C40ポリエニル基、C6〜C18アリール基、C6〜C40アルキルアリール基、C6〜C40アリールアルキル基、C4〜C40シクロアルキル基、C4〜C40シクロアルケニル基等が含まれる。
C1〜C40アルキル基、C2〜C40アルケニル基、C2〜C40アルキニル基、C3〜C40アリル基、C4〜C40アルキルジエニル基及びC4〜C40ポリエニル基は、それぞれ、C1〜C20アルキル基、C2〜C20アルケニル基、C2〜C20アルキニル基、C3〜C20アリル基、C4〜C20アルキルジエニル基及びC4〜C20ポリエニル基であることが好ましく、C1〜C10アルキル基、C2〜C10アルケニル基、C2〜C10アルキニル基、C3〜C10アリル基、C4〜C10アルキルジエニル基及びC4〜C10ポリエニル基であることがさらに好ましい。
C1〜C40アルキル基、C2〜C40アルケニル基、C2〜C40アルキニル基、C3〜C40アリル基、C4〜C40アルキルジエニル基及びC4〜C40ポリエニル基は、それぞれ、C1〜C20アルキル基、C2〜C20アルケニル基、C2〜C20アルキニル基、C3〜C20アリル基、C4〜C20アルキルジエニル基及びC4〜C20ポリエニル基であることが好ましく、C1〜C10アルキル基、C2〜C10アルケニル基、C2〜C10アルキニル基、C3〜C10アリル基、C4〜C10アルキルジエニル基及びC4〜C10ポリエニル基であることがさらに好ましい。
本発明の実施において、置換基を有していてもよいC1〜C40炭化水素基として有用な、置換基を有していてもよいC1〜C40アルキル基の例には、制限するわけではないが、メチル、エチル、プロピル、n−ブチル、t−ブチル、ドデカニル、トリフルオロメチル、ペルフルオロ−n−ブチル、2,2,2−トリフルオロエチル、ベンジル、2−フェノキシエチル等がある。
本発明の実施において、置換基を有していてもよいC1〜C40炭化水素基として有用な、置換基を有していてもよいC6〜C18アリール基の例には、制限するわけではないが、フェニル、2−トリル、3−トリル、4−トリル、ナフチル、ビフェニル、4−フェノキシフェニル、4−フルオロフェニル、3−カルボメトキシフェニル、4−カルボメトキシフェニル等がある。
本発明の実施において、置換基を有していてもよいC1〜C40炭化水素基とし有用な、置換基を有していてもよいC2〜C18アルキニル基の例には、特に制限するわけではないが、エチニルなどがある。
本発明の実施において、置換基を有していてもよいC1〜C40炭化水素基として有用な、置換基を有していてもよいC6〜C18アリール基の例には、制限するわけではないが、フェニル、2−トリル、3−トリル、4−トリル、ナフチル、ビフェニル、4−フェノキシフェニル、4−フルオロフェニル、3−カルボメトキシフェニル、4−カルボメトキシフェニル等がある。
本発明の実施において、置換基を有していてもよいC1〜C40炭化水素基とし有用な、置換基を有していてもよいC2〜C18アルキニル基の例には、特に制限するわけではないが、エチニルなどがある。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいC1〜C40アルコキシ基の例には、制限するわけではないが、メトキシ、エトキシ、2−メトキシエトキシ、t−ブトキシ等がある。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいC6〜C40アリールオキシ基の例には、制限するわけではないが、フェノキシ、ナフトキシ、フェニルフェノキシ、4−メチルフェノキシ等がある。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいC7〜C40アルキルアリールオキシ基としては、メチルフェノキシ、エチルフェノキシ、プロピルフェノキシ、ブチルフェノキシ等が挙げられる。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいC2〜C40アルコキシカルボニル基としては、例えば、上記の置換基を有していてもよいC1〜C40アルコキシ基として例示したアルコキシ基に対応するアルコキシカルボニル基が挙げられる。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいC7〜C40アリールオキシカルボニル基としては、例えば、上記の置換基を有していてもよいC6〜C40アリールオキシ基として例示したアリールオキシ基に対応するアリールオキシカルボニル基が挙げられる。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいC2〜C40アルコキシカルボニル基としては、例えば、上記の置換基を有していてもよいC1〜C40アルコキシ基として例示したアルコキシ基に対応するアルコキシカルボニル基が挙げられる。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいC7〜C40アリールオキシカルボニル基としては、例えば、上記の置換基を有していてもよいC6〜C40アリールオキシ基として例示したアリールオキシ基に対応するアリールオキシカルボニル基が挙げられる。
シアノ基(−CN);カルバモイル基(−C(=O)NH2);ハロホルミル基(−C(=O)−X、式中、Xはハロゲン原子を示す。);ホルミル基(−C(=O)−H);イソシアノ基;イソシアナト基;チオシアナト基;又はチオイソシアナト基は、例えば、アルコキシカルボニル基から通常の有機化学の手法により変換することができる。また、カルバモイル基(−C(=O)NH2)、ハロホルミル基(−C(=O)−X、式中、Xはハロゲン原子を示す。)、ホルミル基(−C(=O)−H)等は、シアノ基、アルコキシカルボニル基と互いに変換することができる。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいアミノ基の例には、制限するわけではないが、アミノ、ジメチルアミノ、メチルアミノ、メチルフェニルアミノ、フェニルアミノ等がある。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいアミド基の例には、制限するわけではないが、アセトアミド、ベンズアミド、ヘキサンアミド等がある。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいアミド基の例には、制限するわけではないが、アセトアミド、ベンズアミド、ヘキサンアミド等がある。
置換基を有していてもよいシリル基としては、式−Si(R12)(R13)(R14)で示される基[式中、R12、R13及びR14は、それぞれ、互いに独立して、ハロゲン原子で置換されていてもよいC1〜C40アルキル基;ハロゲン原子で置換されていてもよいC6〜C40アリールアルキル基;ハロゲン原子で置換されていてもよいC1〜C40アルコキシ基;ハロゲン原子で置換されていてもよいC6〜C40アリールアルキルオキシ基である。]を挙げることができる。
本発明の実施において有用な、置換基を有していてもよいシリル基の例には、制限されるわけではないが、トリメチルシリル、トリエチルシリル、トリメトキシシリル、トリエトキシシリル、ジフェニルメチルシリル、トリフェニルシリル、トリフェノキシシリル、ジメチルメトキシシリル、ジメチルフェノキシシリル、メチルメトキシフェニル等がある。
C1〜C40炭化水素基、C1〜C40アルコキシ基、C6〜C40アリールオキシ基、アミノ基、シリル基等には、置換基が導入されていてもよく、この置換基としては、例えば、シリル基、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基等が挙げられる。
上記置換基としてのハロゲン原子には、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が含まれる。C1〜C40炭化水素基、C1〜C40アルコキシ基、C6〜C40アリールオキシ基等の水素原子が、フッ素原子で置換されている場合には、ポリアセン誘導体の溶解度が増大するので好ましい。またトリイソプロピルエチニル基が置換されているときにはポリアセン誘導体の安定性が増大するので好ましい。
A1及びA2、A3及びA4は、互いに架橋して、式−C(=O)−B−C(=O)−で示される環を形成してもよい[式中、Bは、酸素原子又は式−N(B1)−で示される基(式中、B1は、水素原子、C1〜C40炭化水素基又はハロゲン原子である)である]。
例えば、A1、A2、A3及びA4が、アルコキシカルボニル基である場合には、通常の有機化学の手法により、カルボキシ基に変換することができる。そして、隣接するカルボキシル基は、脱水することにより、無水カルボン酸、即ち、式−C(=O)−O−C(=O)−で示される環に変換することができる。同様にして、無水カルボン酸は、通常の有機化学の手法により、イミド、即ち、式−C(=O)−N(B1)−C(=O)−で示される環(B1は上記の意味を有する。)に変換することができる。
例えば、A1、A2、A3及びA4が、アルコキシカルボニル基である場合には、通常の有機化学の手法により、カルボキシ基に変換することができる。そして、隣接するカルボキシル基は、脱水することにより、無水カルボン酸、即ち、式−C(=O)−O−C(=O)−で示される環に変換することができる。同様にして、無水カルボン酸は、通常の有機化学の手法により、イミド、即ち、式−C(=O)−N(B1)−C(=O)−で示される環(B1は上記の意味を有する。)に変換することができる。
また、A3及びA4は、互いに架橋して、C4〜C40飽和又は不飽和環を形成してもよい。不飽和環は、ベンゼン環、チオフェン環等の芳香族環であってもよい。A3及びA4が互いに架橋して形成する環は、4〜16員環であることが好ましく、4〜12員環であることが更に好ましい。この環は、芳香族環であってもよいし、脂肪族環であってもよい。この環には、C1〜C20炭化水素基、C1〜C20アルコキシ基、C6〜C20アリールオキシ基、アミノ基、水酸基又はシリル基等の置換基が導入されていてもよい。
前記飽和又は不飽和環は、酸素原子、硫黄原子、又は式−N(R11)−で示される基[式中、R11は水素原子又は炭化水素基である。]で中断されていてもよい。R11は水素原子又はC1〜C6アルキル基であることが好ましく、水素原子又はC1〜C4アルキル基であることがさらに好ましい。
前記飽和又は不飽和環は、酸素原子、硫黄原子、又は式−N(R11)−で示される基[式中、R11は水素原子又は炭化水素基である。]で中断されていてもよい。R11は水素原子又はC1〜C6アルキル基であることが好ましく、水素原子又はC1〜C4アルキル基であることがさらに好ましい。
nは、1以上の整数である。nが1及び2の場合には、前記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体は、それぞれ、4環式及び5環式、即ち、ナフタセン誘導体及びペンタセン誘導体となる。
従来は、縮合多環芳香族化合物中の芳香族環の数が増大するにつれて、溶解度が減少する傾向にあった。しかし、後述する製造方法によれば、縮合多環芳香族化合物中の芳香族環の数が増大しても、適切な様々な置換基を導入することにより、溶解度を維持することができる。従って、nは1〜2に限られることなく、3以上の整数であってもよいし、4以上の整数であってもよいし、5以上の整数であってもよく、その上限は、特に制限されないが、確実な溶解性、製造コスト等を考慮すると、1〜2程度が好ましい。
従来は、縮合多環芳香族化合物中の芳香族環の数が増大するにつれて、溶解度が減少する傾向にあった。しかし、後述する製造方法によれば、縮合多環芳香族化合物中の芳香族環の数が増大しても、適切な様々な置換基を導入することにより、溶解度を維持することができる。従って、nは1〜2に限られることなく、3以上の整数であってもよいし、4以上の整数であってもよいし、5以上の整数であってもよく、その上限は、特に制限されないが、確実な溶解性、製造コスト等を考慮すると、1〜2程度が好ましい。
現在、無置換ペンタセンは、有機化合物の中でもキャリア移動度が最も高いことが知られており、盛んに研究がなされているが、溶媒には不溶のため、薄膜作製は真空蒸着法が一般的で、スピンコート等の湿式法は困難である。前記一般式(I)で示される本発明に係るポリアセン誘導体のうち、「R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、A1、A2、A3及びA4の少なくとも一つは水素原子でないもの」は、溶媒に可溶な分子設計が容易であり、スピンコート等による薄膜作製が可能なため、真空蒸着法に比べて加工性・生産性が格段に向上する。また、薄膜中の結晶性は、化合物自身や分子間の相互作用、溶媒の種類等を選択することにより、自己組織化的に、制御することも可能となる。
次に、前記(b)の光電変換効率向上手段を採用した本発明の光電変換素子(第2の発明の光電変換素子)について説明する。
第2の発明の光電変換素子は以下の特徴を有する。つまり、陽極電極の仕事関数と(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、陰極電極の仕事関数と(3)n型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下、好ましく0.3eV以下であることを特徴とする。有機層から電極に電荷を取り出す際のエネルギーギャップが大きいと、光電変換層で生成した正孔や電子が失われる。その減少を少なくするには、エネルギーギャップが0.5eV以下、好ましくは0.3eV以下がよい。
第2の発明の光電変換素子は以下の特徴を有する。つまり、陽極電極の仕事関数と(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、陰極電極の仕事関数と(3)n型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下、好ましく0.3eV以下であることを特徴とする。有機層から電極に電荷を取り出す際のエネルギーギャップが大きいと、光電変換層で生成した正孔や電子が失われる。その減少を少なくするには、エネルギーギャップが0.5eV以下、好ましくは0.3eV以下がよい。
第2の発明の光電変換素子においては、前記(1)〜(3)の半導体層の少なくとも一層に、半導体化合物としてポリアセン誘導体または他の有機物との混合物を使用することが好ましく、ポリアセン誘導体としては前記で説明した一般式(I)で示されるポリアセン誘導体が特に好ましい。
またポリアセン誘導体と混合物を形成する場合の有機物は他の一般的な有機物が好ましいが、特に好ましいのはオリゴマーやポリマーで、特に制限するわけではないが、ポリアセン誘導体と混合することにより電荷移動度あるいは安定性を向上させる有機物であればよい。
またポリアセン誘導体と混合物を形成する場合の有機物は他の一般的な有機物が好ましいが、特に好ましいのはオリゴマーやポリマーで、特に制限するわけではないが、ポリアセン誘導体と混合することにより電荷移動度あるいは安定性を向上させる有機物であればよい。
第2の発明おいて、特に詳述しなかった部分については、第1の発明についての説明を適宜適用することができる。
次に、前記(c)の光電変換効率向上手段を採用した本発明の光電変換素子(第3の発明の光電変換素子)について説明する。
第3の発明の光電変換素子は以下の特徴を有する。つまり、有機半導体層を有する光電変換素子において、各電極と半導体層の間にバッファー層を設置し、バッファー層の有機化合物と電極とが化学結合していることを特徴とする。所謂自己組織化単分子層の形成である。
光電変換層から電極に電荷を取り出す際には、さまざまなエネルギー障壁が存在するが、バッファー層の有機化合物と電極とが化学結合していればその問題は大幅に減少する。電極の仕事関数の大小が不問になる、バッファー層に接する有機半導体層の分子配向性を制御できる等の可能性も生じる。電荷移動度は化合物特有の数値ではなく、化合物の種類によってある範囲を有する。即ち、電荷移動度は薄膜にて測定され、その薄膜中での分子配向性や結晶性によることが知られている。光電変換層における有機半導体は、薄膜中で化合物の配向性を制御することが望ましい。電極に接したバッファー層化合物の分子配向性が制御できれば、バッファー層に接する有機半導体層の化合物の分子配向性も制御できる可能性がある。このバッファー層の分子配向性は、電極を形成する金属等に結合する官能基の種類、位置及び量によって制御することが考えられる。それらの結果、有機半導体層に好ましい分子配向を有する薄膜が得られ、本発明の目的である電荷移動度の高い薄膜作製が可能となる。
第3の発明の光電変換素子は以下の特徴を有する。つまり、有機半導体層を有する光電変換素子において、各電極と半導体層の間にバッファー層を設置し、バッファー層の有機化合物と電極とが化学結合していることを特徴とする。所謂自己組織化単分子層の形成である。
光電変換層から電極に電荷を取り出す際には、さまざまなエネルギー障壁が存在するが、バッファー層の有機化合物と電極とが化学結合していればその問題は大幅に減少する。電極の仕事関数の大小が不問になる、バッファー層に接する有機半導体層の分子配向性を制御できる等の可能性も生じる。電荷移動度は化合物特有の数値ではなく、化合物の種類によってある範囲を有する。即ち、電荷移動度は薄膜にて測定され、その薄膜中での分子配向性や結晶性によることが知られている。光電変換層における有機半導体は、薄膜中で化合物の配向性を制御することが望ましい。電極に接したバッファー層化合物の分子配向性が制御できれば、バッファー層に接する有機半導体層の化合物の分子配向性も制御できる可能性がある。このバッファー層の分子配向性は、電極を形成する金属等に結合する官能基の種類、位置及び量によって制御することが考えられる。それらの結果、有機半導体層に好ましい分子配向を有する薄膜が得られ、本発明の目的である電荷移動度の高い薄膜作製が可能となる。
電極とバッファー層の有機化合物とを化学結合させるためには、バッファー層の有機化合物が、窒素、酸素、硫黄、リンといったヘテロ原子を含む官能基を有するものであることが好ましい。特に、硫黄を含むものが好ましく、−SH基(チオール基)を有するものが最も好ましい。電極は、例えば有機化合物が−SH基を有する場合は金電極(金薄膜又は金を含有する電極を含む)が好ましい。具体的にバッファー層の有機化合物と電極との化学結合の例を挙げると、例えば、電極を形成する金(Au)と−SH基(チオール基)を有するバッファー層の有機化合物との反応によるAu−S−結合が挙げられる。即ち、金電極(金薄膜又は金を含有する電極を含む)と、−SH基を有する化合物とを反応させればよい。他に、バッファー層の有機化合物の例としては、−COOH基を有するものも挙げられる。
バッファー層の有機化合物の具体例としては、ベンゼンチオール、ナフタレンチオール、アントラセンチオール、アントラセンカルボン酸等の多環芳香族化合物が挙げられる。
バッファー層の有機化合物の具体例としては、ベンゼンチオール、ナフタレンチオール、アントラセンチオール、アントラセンカルボン酸等の多環芳香族化合物が挙げられる。
電極とバッファー層の有機化合物とを化学結合させる方法としては、従来の方法を採用することができ特に制限されないが、例えば以下の方法が挙げられる。
光電変換層の形成前にバッファー層を形成する場合は、バッファー層の有機化合物をTHF等の適宜な溶媒に0.01〜20質量%程度の濃度で溶解して、該有機化合物の溶液を調製し、次いで、該溶液に電極基板を浸漬し引き上げた後、適宜な溶媒でリンスし、乾燥させることにより、電極上に、上記有機化合物が電極と化学結合を形成しているバッファー層を形成することができる。また、電極上に、バッファー層の有機化合物を蒸着することによっても、電極とバッファー層の有機化合物とを化学結合させることができる。尚、光電変換層は、後述の各種形成方法によってバッファー層上に形成すればよい。 また、光電変換層の形成後にバッファー層を形成する場合は、光電変換層上にバッファー化合物を蒸着してバッファー層を形成した後、該バッファー層上に電極物質を蒸着して電極を形成することによって、電極とバッファー層の有機化合物とを化学結合させることができる。
光電変換層の形成前にバッファー層を形成する場合は、バッファー層の有機化合物をTHF等の適宜な溶媒に0.01〜20質量%程度の濃度で溶解して、該有機化合物の溶液を調製し、次いで、該溶液に電極基板を浸漬し引き上げた後、適宜な溶媒でリンスし、乾燥させることにより、電極上に、上記有機化合物が電極と化学結合を形成しているバッファー層を形成することができる。また、電極上に、バッファー層の有機化合物を蒸着することによっても、電極とバッファー層の有機化合物とを化学結合させることができる。尚、光電変換層は、後述の各種形成方法によってバッファー層上に形成すればよい。 また、光電変換層の形成後にバッファー層を形成する場合は、光電変換層上にバッファー化合物を蒸着してバッファー層を形成した後、該バッファー層上に電極物質を蒸着して電極を形成することによって、電極とバッファー層の有機化合物とを化学結合させることができる。
バッファー層は薄膜状に形成され、単分子層でよい。
第3の発明の光電変換素子においては、前記(1)〜(3)の半導体層の少なくとも一層に、半導体化合物としてポリアセン誘導体あるいはポリアセン誘導体と他の有機物との混合物を使用することが好ましく、ポリアセン誘導体としては前記で説明した一般式(I)で示されるポリアセン誘導体が特に好ましい。
第3の発明おいて、特に詳述しなかった部分については、第1の発明についての説明を適宜適用することができる。
次に、前記(a)の光電変換効率向上手段を採用した本発明の光電変換素子(第1の発明の光電変換素子)の好ましい一実施形態(第4の発明の光電変換素子)について説明する。
第4の発明の光電変換素子は以下の特徴を有する。つまり、対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子において、該光電変換層は、(1)p型半導体層および(2)p型半導体とn型半導体との混合層またはこれにさらに(3)n型半導体層あるいは金属酸化物層が順次積層された構造を有し、(1)p型半導体層のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体、(2)混合層中のn型半導体と(3)n型半導体層のn型半導体とは、それぞれ同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよく、各層間には光電変換素子としての良好な電荷移動を妨げることのない任意の層を有していてもよく、これらの半導体層の1つ以上に電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用い、上記光電変換層からなる光電変換ユニットを複数個有し、各光電変換ユニットは、中間電極としての等電位面を形成する層及び/又は電荷発生層によって仕切られていることを特徴とする。
第4の発明の光電変換素子は以下の特徴を有する。つまり、対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子において、該光電変換層は、(1)p型半導体層および(2)p型半導体とn型半導体との混合層またはこれにさらに(3)n型半導体層あるいは金属酸化物層が順次積層された構造を有し、(1)p型半導体層のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体、(2)混合層中のn型半導体と(3)n型半導体層のn型半導体とは、それぞれ同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよく、各層間には光電変換素子としての良好な電荷移動を妨げることのない任意の層を有していてもよく、これらの半導体層の1つ以上に電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用い、上記光電変換層からなる光電変換ユニットを複数個有し、各光電変換ユニットは、中間電極としての等電位面を形成する層及び/又は電荷発生層によって仕切られていることを特徴とする。
太陽光の全波長領域をカバーし且つ有効利用するには、光電変換ユニットを積層することが有効である。有機半導体では光電変換層の膜厚に限界があるため、ある波長領域においてさえ1つの光電変換ユニットで太陽光を100%吸収することは難しい。また、太陽光の全波長領域に吸収を有する半導体材料の開発も困難である。そこで、異なった波長領域に吸収のある半導体材料からなる光電変換ユニットを積層することによって、太陽光の有効利用を図る。従来のpn接合型素子を単純に積層しても好結果は少ないが、本発明の光電変換素子では高効率化が図れる。
第4の発明の光電変換素子において、上記光電変換ユニットの個数は、2個以上であれば特に制限されないが、光電変換効率の向上とコストとのバランス等の観点から、好ましくは2〜3個程度である。
中間電極としての上記の等電位面を形成する層は、例えば、ITO(インジウム・すず酸化物)、IZO(インジウム・亜鉛酸化物)、Ag、Au、フラーレン類、オリゴチオフェン類等の化合物を、上記光電変換ユニット上に薄膜状に成膜することにより形成することができる。等電位面を形成する層は、0.1〜50nmの膜厚であることが好ましい。
中間電極としての上記電荷発生層は、例えば、N,N'−ジフェニル−N,N'−ジ(m−トリル)ベンジジン、4,4',4"−トリス(N−3−メチルフェニル−N−フェニル−アミノ)−トリフェニルアミン等のアリールアミンや、V2O5等の金属酸化物、テトラフルオロテトラシアノキノジメタン等の電子受容性を有する化合物を、上記光電変換ユニット上に薄膜状に成膜することにより形成することができる。電荷発生層は、0.1〜50nmの膜厚であることが好ましい。
中間電極としての上記電荷発生層は、例えば、N,N'−ジフェニル−N,N'−ジ(m−トリル)ベンジジン、4,4',4"−トリス(N−3−メチルフェニル−N−フェニル−アミノ)−トリフェニルアミン等のアリールアミンや、V2O5等の金属酸化物、テトラフルオロテトラシアノキノジメタン等の電子受容性を有する化合物を、上記光電変換ユニット上に薄膜状に成膜することにより形成することができる。電荷発生層は、0.1〜50nmの膜厚であることが好ましい。
また、第4の発明の光電変換素子においては、第3の発明の光電変換素子のように、各電極と半導体層との間にバッファー層を設置し、電極と該バッファー層の有機化合物とが化学結合していることが好ましい。
また、第4の発明の光電変換素子においては、前記(1)〜(3)の半導体層の少なくとも一層に、半導体化合物としてポリアセン誘導体あるいはポリアセン誘導体と他の有機物との混合物を使用することが好ましく、前記で説明した一般式(I)で示されるポリアセン誘導体が特に好ましい。
また、第4の発明の光電変換素子においては、前記(1)〜(3)の半導体層の少なくとも一層に、半導体化合物としてポリアセン誘導体あるいはポリアセン誘導体と他の有機物との混合物を使用することが好ましく、前記で説明した一般式(I)で示されるポリアセン誘導体が特に好ましい。
以上、本発明の4種類の光電変換素子について説明したが、それぞれの特徴を複数有する光電変換素子も、もちろん本発明の範囲内である。
次に、本発明の光電変換素子について、さらに説明する。以下の説明は、第1〜4の発明のいずれにも適宜適用される。しかしながら、以下の説明は、本発明の光電変換素子の構成を特に限定するものではない。
本発明の光電変換素子は、例えば、支持体、電極A、光電変換層、電極B及び被覆層が順次積層された構造を有する。或いは、支持体、電極A、光電変換層、中間電極、光電変換層、電極B及び被覆層、又は、支持体、電極A、光電変換層、中間電極、光電変換層、中間電極、光電変換層、電極B及び被覆層が順次積層された構造でもよい。尚、電極Aが陽極であり、電極Bが陰極である。
光電変換素子においては、電極A又はBの少なくとも一方から光電変換層へ光が到達する必要がある。支持体及び電極Aから光電変換層へ照射光を到達させるためには、支持体及び電極Aを光透過性の材料で形成する。同様に、被覆層及び電極Bから光電変換層へ照射光を到達させるためには、被覆層及び電極Bを光透過性の材料で形成する。更に、両側から光電変換層へ光を到達させるためには、支持体、電極A、電極B及び被覆層を光透過性の材料で形成する。
支持体は電極Aを表面に安定して保持することが可能であれば、材質や厚みには制限されない。そのため、支持体の形状は板状でもフィルム状でもよい。支持体には、例えば、アルミニウム、ステンレス等の金属や合金類、ポリカーボネート、ポリエステル等のプラスチック、木材、紙、布等が使用される。照射光を支持体側から入射する場合は、支持体は光透過性の物質(材料)から構成される必要があり、透明性を有するガラス、透明プラスチック等が使用できる。ここで、透明性とは、光電変換素子において使用される所定波長領域、例えば可視光領域の光を高率で透過する性質をいう。尚、本発明の光電変換素子は、支持体の表面に形成されることが望ましいが、電極A自体にある程度硬度があり、自立性を有する場合は、電極Aが支持体を兼ねる構成としてもよく、この場合、支持体は省略されてもよい。
電極Aは、光電変換層に含まれる有機p型半導体化合物とオーミックに近い接合を形成可能にするために、仕事関数が4.5V以上であることが望ましく、4.8V以上であることがより好ましい。これに対して、電極Bはn型半導体化合物とオーミックスに近い接合を可能にするため仕事関数が4.5V以下であることが好ましい。尚、本発明において、対向配置される一対の電極の仕事関数は、相互に相対的に大小関係を有する(即ち互いに仕事関数の異なる)ものとすればよい。従って、本実施形態においても電極Aの仕事関数が電極Bよりも相対的に大きければよい。この場合、両電極間の仕事関数の差は0.5V以上であることが好ましい。尚、各電極と半導体層の間にバッファー層を設置し、電極上のバッファー層の化合物と電極とが化学結合している場合は、これらの制約が緩和されることがある。
電極A及びBとしては、例えば、金、白金、銀等の金属類、及び酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫(NESA)、錫ドープ酸化インジウム(ITO)、フッ素ドープ酸化錫(FTO)等の金属酸化物、リチウム、リチウム−インジウム合金、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、カルシウム、マグネシウム、マグネシウム−銀合金、マグネシウム−インジウム合金、インジウム、ルテニウム、チタニウム、マンガン、イットリウム、アルミニウム、アルミニウム−リチウム合金、アルミニウム−カルシウム合金、アルミニウム−マグネシウム合金、グラファイト薄膜、PEDOT−PSS等の有機導電性化合物等を、適宜用いることができる。これらの電極物質は、単独で使用してもよく、あるいは複数併用してもよい。電極A及びBは、これらの電極物質を用いて、例えば、蒸着法、スパッタリング法、イオン化蒸着法、イオンプレーティング法、クラスターイオンビーム法等の方法により、形成することができる。ゾルゲル法等により焼成して形成してもよい。また、陰極は一層構造であってもよく、あるいは多層構造であってもよい。電極の厚みは、使用する電極物質の材料にもよるが、陽極、陰極とも、一般に、5〜1000nm程度、より好ましくは10〜500nm程度に設定する。尚、少なくとも一方の電極が透明ないし半透明であることが必要であり、光透過率が70%以上となるように電極の材料、厚みを設定することがより好ましい。
本発明の光電変換素子において、前記一般式(I)で示される本発明に係るポリアセン誘導体は、その構造によってp型有機半導体化合物又はn型有機半導体化合物として作用することができる。一般に、n型有機半導体化合物はポリアセン骨格構造に置換基として電子吸引性の官能基を結合させることにより得られ、p型有機半導体化合物はそれ以外の官能基を結合させることにより得られる。また、p型有機半導体化合物及びn型有機半導体化合物は、公知の物質をドーピングすることによっても得られる。電子吸引性の官能基としては、カルボニル基、シアノ基、ニトロ基、スルホニル基、ホスホニル基、ハロゲン基等の公知の電子吸引基、もしくはこれらの電子吸引基が結合した官能基が挙げられ、特にn型有機半導体化合物として使用する場合は、A1、A2、A3、A4のいずれかに電子吸引基を有することが好ましい。
本発明の光電変換素子においては、半導体化合物として、前記一般式(I)で示される本発明に係るポリアセン誘導体が好ましく用いられるが、その他の公知の半導体化合物を使用してもよい。また、第1の発明の光電変換素子においては、高移動度材料を光電変換層の少なくとも一層に使用することが必須であるが、他の層には公知の半導体化合物を使用してもよい。また、本発明に係るポリアセン誘導体を使用した有機半導体層においては、本発明に係るポリアセン誘導体を単独で使用してもよく、あるいは複数併用してもよく、公知の半導体化合物と併用してもよい。
本発明において使用可能な他のp型半導体化合物としては、フタロシアニン系顔料、インジゴ又はチオインジゴ系顔料、キナクリドン系顔料等が挙げられる。本発明において用いられる他の正孔注入輸送機能を有する化合物としては、トリアリールメタン誘導体、トリアリールアミン誘導体、オキサゾール誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ピラゾリン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリフェニレンビニレン及びその誘導体、ポリチオフェン及びその誘導体、ポリ−N−ビニルカルバゾール誘導体等が挙げられる。また、トリアリールアミン誘導体(例えば、4,4'−ビス〔N−フェニル−N−(4''−メチルフェニル)アミノ〕ビフェニル、4,4'−ビス〔N−フェニル−N−(3''−メチルフェニル)アミノ〕ビフェニル、4,4'−ビス〔N−フェニル−N−(3''−メトキシフェニル)アミノ〕ビフェニル、4,4'−ビス〔N−フェニル−N−(1''−ナフチル)アミノ〕ビフェニル、3,3'−ジメチル−4,4'−ビス〔N−フェニル−N−(3''−メチルフェニル)アミノ〕ビフェニル、1,1−ビス〔4'−[N,N−ジ(4''−メチルフェニル)アミノ]フェニル〕シクロヘキサン、9,10−ビス〔N−(4'−メチルフェニル)−N−(4''−n−ブチルフェニル)アミノ〕フェナントレン、3,8−ビス(N,N−ジフェニルアミノ)−6−フェニルフェナントリジン、4−メチル−N,N−ビス〔4'',4'''−ビス[N',N'−ジ(4−メチルフェニル)アミノ]ビフェニル−4−イル〕アニリン、N,N'−ビス〔4−(ジフェニルアミノ)フェニル〕−N,N'−ジフェニル−1,3−ジアミノベンゼン、N,N'−ビス〔4−(ジフェニルアミノ)フェニル〕−N,N'−ジフェニル−1,4−ジアミノベンゼン、5,5''−ビス〔4−(ビス[4−メチルフェニル]アミノ)フェニル〕−2,2':5',2''−ターチオフェン、1,3,5−トリス(ジフェニルアミノ)ベンゼン、4,4',4''−トリス(N−カルバゾリイル)トリフェニルアミン、4,4',4''−トリス〔N−(3'''−メチルフェニル)−N−フェニルアミノトリフェニルアミン、4,4',4''−トリス〔N,N−ビス(4'''−tert−ブチルビフェニル−4''''−イル)アミノ〕トリフェニルアミン、1,3,5−トリス〔N−(4'−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルアミノ〕ベンゼン等〕が挙げられる。尚、正孔注入輸送機能を有する化合物は、単独で使用してもよく、あるいは複数併用してもよい。
本発明において使用可能な他のn型半導体化合物としては、有機物では、ペリレン系顔料、ペリノン系顔料、多環キノン系顔料、アゾ系顔料、C60フラーレンやC70フラーレン及びその誘導体等を用いることができ、無機物では、酸化亜鉛、酸化チタン、硫化カドミウム等を用いることができる。また、有機金属錯体〔例えば、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム、ビス(10−ベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム、5−ヒドロキシフラボンのベリリウム塩、5−ヒドロキシフラボンのアルミニウム塩〕、オキサジアゾール誘導体〔例えば、1,3−ビス[5'−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2'−イル]ベンゼン〕、トリアゾール誘導体〔例えば、3−(4'−tert−ブチルフェニル)−4−フェニル−5−(4''−ビフェニル)−1,2,4−トリアゾール〕、フェナントロリン誘導体[例えば、2,9−ジメチル−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(バソクプロイン、BCP)]、トリアジン誘導体、キノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体等を用いることができる。
光電変換層の形成方法に関しては、特に限定するものではないが、例えば、真空蒸着法、イオン化蒸着法、溶液塗布法(例えば、スピンコート法、キャスト法、ディップコート法、バーコート法、ロールコート法、ラングミュア・ブロゼット法、インクジェット法等)により、前記(1)〜(3)の半導体層としての薄膜を形成することにより作製することができる。真空蒸着法により各層を形成する場合、真空蒸着の条件は特に限定するものではないが、10-5Torr程度以下の真空下で、50〜600℃程度のボート温度(蒸着源温度)、−50〜300℃程度の基板温度で、0.005〜50nm/sec程度の蒸着速度で実施することが好ましい。この場合、真空下で、連続して形成することにより、諸特性に一層優れた光電変換素子を製造することができる。真空蒸着法により各層を複数の化合物を用いて形成する場合、化合物を入れた各ボートを個別に温度制御して、共蒸着することが好ましい。
溶液塗布法により各層を形成する場合、各層を形成する成分あるいはその成分とバインダー樹脂等を、適当な溶媒に溶解又は分散させて塗布液とし、該塗布液を用いて各種の塗布法により、薄膜を形成することができる。使用しうるバインダー樹脂としては、例えば、ポリ−N−ビニルカルバゾール、ポリアクリレート、ポリスチレン、ポリエステル、ポリシロキサン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテル、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリパラキシレン、ポリエチレン、ポリエチレンエーテル、ポリプロピレンエーテル、ポリフェニレンオキサイド、ポリエーテルスルフォン、ポリアニリン及びその誘導体、ポリチオフェン及びその誘導体、ポリフェニレンビニレン及びその誘導体、ポリフルオレン及びその誘導体、ポリチエニレンビニレン及びその誘導体等の高分子化合物が挙げられる。バインダー樹脂は、単独で使用してもよく、あるいは複数併用してもよい。
各層を形成する成分あるいはその成分とバインダー樹脂等を溶解又は分散させる上記溶媒としては、有機溶媒及び水が挙げられ、該有機溶媒としては、例えば、ヘキサン、オクタン、デカン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、1−メチルナフタレン等の炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒、ジクロロメタン、クロロホルム、テトラクロロメタン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、テトラクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、クロロトルエン等のハロゲン化炭化水素系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル等のエステル系溶媒、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコール等のアルコール系溶媒、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、アニソール等のエーテル系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、1−メチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、ジメチルスルフォキサイド等の極性溶媒等が挙げられ、これらの溶媒は単独で用いてもよく併用してもよい。
分散する方法としては、特に限定するものではないが、例えば、ボールミル、サンドミル、ペイントシェーカー、アトライター、ホモジナイザー等を用いて微粒子状に分散することができる。
塗布液の濃度に関しては、特に限定するものではなく、実施する塗布法により、所望の厚みの薄膜を作製するに適した濃度範囲に設定することができるが、一般には、塗布液中の半導体化合物の濃度が0.1〜50重量%程度、好ましくは1〜30重量%程度である。尚、バインダー樹脂を使用する場合、その使用量に関しては、特に限定するものではないが、一般には、各光電変換層を形成する半導体成分に対して(例えば、一層の光電変換層を有する素子を形成する場合には、(1)〜(3)層を形成する各半導体成分の総量に対して)、5〜99.9重量%程度、好ましくは10〜99重量%程度、より好ましくは15〜90重量%程度になるように設定する。
塗布液の濃度に関しては、特に限定するものではなく、実施する塗布法により、所望の厚みの薄膜を作製するに適した濃度範囲に設定することができるが、一般には、塗布液中の半導体化合物の濃度が0.1〜50重量%程度、好ましくは1〜30重量%程度である。尚、バインダー樹脂を使用する場合、その使用量に関しては、特に限定するものではないが、一般には、各光電変換層を形成する半導体成分に対して(例えば、一層の光電変換層を有する素子を形成する場合には、(1)〜(3)層を形成する各半導体成分の総量に対して)、5〜99.9重量%程度、好ましくは10〜99重量%程度、より好ましくは15〜90重量%程度になるように設定する。
本発明で好ましく用いられる有機半導体である前記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体は、前述したように溶媒に可溶な分子設計が容易であり、スピンコート等の上記溶液塗布法による薄膜作製に好適である。該ポリアセン誘導体を用いて溶液塗布法により薄膜作製を行うことにより、加工性・生産性が格段に向上する。
光電変換層の膜厚に関しては、特に限定するものではないが、一般に、5nm〜5μm程度に設定することが好ましい。
作製した素子に対し、酸素や水分等との接触を防止する目的で、保護層(封止層)を設けたり、また、素子を、例えば、パラフィン、流動パラフィン、シリコンオイル、フルオロカーボン油、ゼオライト含有フルオロカーボン油等の不活性物質中に封入して保護することができる。
上記保護層に使用する材料としては、例えば、有機高分子材料(例えば、フッ素化樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、エポキシシリコーン樹脂、ポリスチレン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリパラキシレン、ポリエチレン、ポリフェニレンオキサイド)、無機材料(例えば、ダイヤモンド薄膜、アモルファスシリカ、電気絶縁性ガラス、金属酸化物、金属窒化物、金属炭素化物、金属硫化物)、さらには光硬化性樹脂等を挙げることができ、保護層に使用する材料は、単独で使用してもよく、あるいは複数併用してもよい。保護層は、一層構造であってもよく、また多層構造であってもよい。
また、電極に保護膜として、例えば、金属酸化膜(例えば、酸化アルミニウム膜)、金属フッ化膜を設けることもできる。また、電極の表面に、例えば、有機リン化合物、ポリシラン、芳香族アミン誘導体、フタロシアニン誘導体(例えば、銅フタロシアニン)、カーボンから成る界面層(中間層)を設けることもできる。さらに、電極はその表面を、例えば、酸、アンモニア/過酸化水素、あるいはプラズマで処理して使用することもできる。
本発明の光電変換素子は、遠隔地用の電源、携帯用小型電子機器の補助的な電源等の従来の光電変換素子の延長としての高効率の光電変換素子としての用途の他、光電変換を利用する全ての用途に使用することができる。
次に、本発明で好ましく用いられる有機半導体である前記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体の製造方法について説明する。前記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体は、例えば、溶媒中で、下記式(II)で示される炭化水素縮合環を、脱水素試薬の存在下、芳香族化することにより得ることができる。
上記式(II)で示される炭化水素縮合環には、例えば、結合の種類によって、下記式(IIa)、(IIb)及び(IIc)で示される炭化水素縮合環が含まれる。
上記式(II)で示される炭化水素縮合環が、nが奇数であり、上記式(IIb)で示される炭化水素縮合環である場合、上記式(IIb)中のkは、(n+1)/2で示される整数である。上記式(II)で示される炭化水素縮合環が、nが偶数であり、上記式(IIc)で示される炭化水素縮合環である場合、上記式(IIc)中のmは、n/2で示される整数である。
上記式(IIa)で示される炭化水素縮合環を芳香族化して前記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体を製造する場合には、上記式(IIa)で示される炭化水素縮合環の一つの環が芳香族化されることになる。一方、上記式(IIb)又は上記式(IIc)で示される炭化水素縮合環の場合には、2以上の環が芳香族化されることになる。
もっとも、上記式(II)で示される炭化水素縮合環には、繰り返し単位中の環が、芳香族環である場合と、芳香族環でない場合がランダムに繰り返される場合も含まれる。
前記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体の製造方法において、前記脱水素試薬は、下記式(III)で示される化合物であることが好ましい。
上記式(III)で示される化合物は、上記式(II)で示される炭化水素縮合環と反応して、1,4−ジヒドロキシ−シクロヘキサン誘導体に変換する。
上記式(III)中のX1、X2、X3及びX4で示されるハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子又はヨウ素原子が好ましく、塩素原子又は臭素原子がより好ましく、塩素原子が更に好ましい。例えば、X1、X2、X3及びX4は全て塩素原子であってもよい。即ち、上記式(III)で示される化合物はクロラニルであってもよい。あるいは、X1及びX2がシアノ基であり、X3及びX4が塩素原子であってもよい。即ち、上記式(III)で示される化合物は2,3−ジクロロ−5,6−ジシアノキノンであってもよい。X1、X2、X3及びX4が全てシアノ基であってもよい。即ち、上記式(III)で示される化合物は2,3,5,6−テトラシアノキノンであってもよい。
前記脱水素試薬として上記式(III)で示される化合物を用いた場合には、上記式(III)で示される化合物が更に生成物のポリアセン誘導体とDiels−Alder反応をして、副生成物を生じる場合がある。該副生成物は、所望により、カラムクロマトグラフィー等により除去すればよい。
上記式(III)で示される化合物は、このような副生成物の生成を防止するために、上記式(II)で示される化合物の0.9〜1.2当量用いることが好ましく、0.9〜1.15当量用いることがより好ましく、0.95〜1.05当量用いることが更に好ましい。
上記式(III)で示される化合物は、このような副生成物の生成を防止するために、上記式(II)で示される化合物の0.9〜1.2当量用いることが好ましく、0.9〜1.15当量用いることがより好ましく、0.95〜1.05当量用いることが更に好ましい。
前記芳香族化の反応に用いる溶媒としては、有機溶媒が好ましく、特にベンゼン等の芳香族化合物が好ましい。反応温度としては、−80〜200℃が好ましく、0〜100℃がより好ましく、10〜80℃が更に好ましい。所望により、光を遮断して反応を進行させてもよい。
また、前記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体の製造方法において、前記脱水素試薬は、パラジウムを含むことが好ましい。例えば、活性炭のような炭素に担持されたパラジウム、いわゆるパラジウムカーボン(Pd/C)として市販されているものを好適に用いることができる。Pd/Cは、脱水素化に広く用いられている触媒であり、本発明においても従来の脱水素化においてと同様に用いることができる。Pd/Cを用いる場合の反応温度は、例えば、200〜500℃である。もっとも、該反応温度は、出発物質等の様々な条件に依存して、適宜設定すればよい。
上記式(II)で示される炭化水素縮合環は、例えば、下記のようなスキームで得ることができる。
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、勿論、本発明はこれらに限定されるものではない。尚、合成例で得られた各化合物は、昇華精製法等により精製して実施例に用いた。
〔合成例1〕化合物1
下記〔化7〕に示す構造を有する化合物の市販品(Aldrich社製)を、化合物1として用いた。
下記〔化7〕に示す構造を有する化合物の市販品(Aldrich社製)を、化合物1として用いた。
〔合成例2〕化合物2の合成
下記〔化8〕に示す化合物2を、以下の手順で合成した。
下記〔化8〕に示す化合物2を、以下の手順で合成した。
THF中に溶解したジルコノセンジクロリドに−78℃でn−ブチルリチウムを2当量加え1時間攪拌した。この液に下記化合物ジイン1を1当量加え室温で攪拌すると、下記化合物ジルコナシクロペンタジエン1が生成した。これにCuClを2当量、N,N−ジメチルプロピレンウレア(DMPU)を3当量、ジメチルアセチレンジカルボキシレート(DMAD)を1当量加えて50℃で3時間攪拌すると、化合物2のジヒドロ体が得られた。このジヒドロ体を2,3−ジクロロ−5,6−ジシアノベンゾキノン(DDQ)1当量と反応させると、化合物2が得られた。
〔合成例3〕化合物3の合成
上記ジイン1に代えて下記〔化11〕に示すジイン2を用いた以外は、合成例2の化合物2の合成方法と同様にして、下記〔化10〕に示す化合物3を合成した。以下の手順で合成した。
上記ジイン1に代えて下記〔化11〕に示すジイン2を用いた以外は、合成例2の化合物2の合成方法と同様にして、下記〔化10〕に示す化合物3を合成した。以下の手順で合成した。
〔合成例4〕化合物4の合成
下記〔化12〕に示す化合物4を、以下の手順で合成した。
下記〔化12〕に示す化合物4を、以下の手順で合成した。
非特許文献(JACS、2001、123、9482)に記載のとおりに、トリイソプロピルアセチレンから合成したグリニャール試薬とペンタセンキノンを反応させ、反応液を塩化スズを含む塩酸溶液で処理することにより、青色固体として化合物4を得ることができた。
〔合成例5〕化合物5の合成
下記〔化13〕に示す化合物5を、以下の手順で合成した。
下記〔化13〕に示す化合物5を、以下の手順で合成した。
3.7g(10mmol)のペリレン−3,4,9,10−テトラカルボン酸無水物と2.9g(25mmol)のo−フェニレンジアミンとを50mlのN−メチルピロリドン中で、205℃にて18時間反応させた。反応の進行とともに、生成物が徐々に沈殿した。沈殿物を濾別し、50mlのテトラヒドロフランで懸濁洗浄を4回繰り返した後、乾燥して化合物5を得た。収量は4.5g(収率80%)であった。
〔合成例6〕化合物6の合成
下記〔化14〕に示す化合物6を、以下の手順で合成した。
下記〔化14〕に示す化合物6を、以下の手順で合成した。
〔バッファー層用の有機化合物〕
下記バッファー1及び2は、それぞれ市販品(東京化成製)を用いた。また、下記バッファー3は、9−ブロムアントラセン(東京化成製)からGrignard試薬を経由する反応により合成した。
下記バッファー1及び2は、それぞれ市販品(東京化成製)を用いた。また、下記バッファー3は、9−ブロムアントラセン(東京化成製)からGrignard試薬を経由する反応により合成した。
〔比較化合物〕
比較化合物としての下記比較品1、2及び3は、それぞれ市販品(東京化成製)を用いた。
比較化合物としての下記比較品1、2及び3は、それぞれ市販品(東京化成製)を用いた。
〔実施例1〕
FET法にて、化合物1〜6及び比較品1〜3の電荷移動度(キャリア移動度)を測定した。測定したキャリアの種類と結果と化合物の文献値を表1に示す。(非特許文献Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 1854-1856;J. Appl. Phys., 2004, 96, 769; Appl. Phys. Lett., 2003, 83, 3108;Appl. Phys. Lett.2004, 84, 3789; J. Phys. Chem. B 107, 5877 (2003);J. Phys. Chem. B 2004, 108, 8614-8621)
FET法にて、化合物1〜6及び比較品1〜3の電荷移動度(キャリア移動度)を測定した。測定したキャリアの種類と結果と化合物の文献値を表1に示す。(非特許文献Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 1854-1856;J. Appl. Phys., 2004, 96, 769; Appl. Phys. Lett., 2003, 83, 3108;Appl. Phys. Lett.2004, 84, 3789; J. Phys. Chem. B 107, 5877 (2003);J. Phys. Chem. B 2004, 108, 8614-8621)
〔実施例2〕
厚さ130nmのITO透明電極を有するガラス基板をパターニングした後、アセトン、基板洗浄剤、蒸留水、イソプロピルアルコールの順に超音波洗浄し、更にUV/オゾン洗浄した後、真空蒸着装置のホルダーに固定した。蒸着槽を10-4Pa程度に減圧し、有機物用マスクを用い、表2に示す有機半導体化合物を用い、p型有機半導体化合物を膜厚50nm((1)p型半導体層)、p型有機半導体化合物とn型有機半導体化合物とを混合比(体積基準)1:1で膜厚20nm((2)混合層)、n型有機半導体化合物を膜厚20nm((3)n型半導体層)に順次蒸着した。次いで、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した。この光電変換素子について、開放電圧、短絡電流、曲線因子及び変換効率を、分光計器(株)社製光電変換素子評価装置を用い、白色光強度100mW/cm2にて測定した。結果を表2に示す。
厚さ130nmのITO透明電極を有するガラス基板をパターニングした後、アセトン、基板洗浄剤、蒸留水、イソプロピルアルコールの順に超音波洗浄し、更にUV/オゾン洗浄した後、真空蒸着装置のホルダーに固定した。蒸着槽を10-4Pa程度に減圧し、有機物用マスクを用い、表2に示す有機半導体化合物を用い、p型有機半導体化合物を膜厚50nm((1)p型半導体層)、p型有機半導体化合物とn型有機半導体化合物とを混合比(体積基準)1:1で膜厚20nm((2)混合層)、n型有機半導体化合物を膜厚20nm((3)n型半導体層)に順次蒸着した。次いで、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した。この光電変換素子について、開放電圧、短絡電流、曲線因子及び変換効率を、分光計器(株)社製光電変換素子評価装置を用い、白色光強度100mW/cm2にて測定した。結果を表2に示す。
〔実施例3〕
実施例2と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極に、金を5nmの厚さに蒸着した。この基板をバッファー1の2質量%THF溶液に浸漬し引き上げた後、THFにてリンスし、次いで真空乾燥して、金薄膜上にバッファー層を作製した。次に、表3に示したp型有機半導体化合物を1,2−ジクロルエタンに溶解して、バッファー層上に塗布し、乾燥して、膜厚50nmの薄膜((1)p型半導体層)を作製した。次いで、真空蒸着装置のホルダーに固定し、実施例2と同様に、表3に示すp型有機半導体化合物とn型有機半導体化合物とを混合比(体積基準)1:1で膜厚20nm((2)混合層)、n型有機半導体化合物を膜厚20nm((3)n型半導体層)に順次蒸着した。次いで、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表3に示す。
実施例2と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極に、金を5nmの厚さに蒸着した。この基板をバッファー1の2質量%THF溶液に浸漬し引き上げた後、THFにてリンスし、次いで真空乾燥して、金薄膜上にバッファー層を作製した。次に、表3に示したp型有機半導体化合物を1,2−ジクロルエタンに溶解して、バッファー層上に塗布し、乾燥して、膜厚50nmの薄膜((1)p型半導体層)を作製した。次いで、真空蒸着装置のホルダーに固定し、実施例2と同様に、表3に示すp型有機半導体化合物とn型有機半導体化合物とを混合比(体積基準)1:1で膜厚20nm((2)混合層)、n型有機半導体化合物を膜厚20nm((3)n型半導体層)に順次蒸着した。次いで、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表3に示す。
尚、表3から明らかなように、p型有機半導体化合物として置換基を有していない化合物1を用いると、化合物1は溶媒に不溶なため溶液塗布法による薄膜が作製できず、光電変換素子は得られなかった(参考例)。これに対し、置換基を有している化合物を用いると、該化合物は溶解性に優れるため、溶液塗布法による薄膜作成が可能であった(実施例3−1〜3−3)。しかしながら、前記表2の実施例2の結果からも明らかなように、化合物1は、蒸着法による薄膜作製は可能で、蒸着法を採用した場合には良好な諸特性を有する光電変換素子が得られる。
〔実施例4〕
実施例2と同様に、ITO透明電極をパターニングし洗浄した。更に、UVオゾン処理を行ってITO電極の仕事関数を0.5eV高くした。その後、表4−1に示すp型有機半導体化合物、p型有機半導体化合物及びn型有機半導体化合物(混合比は体積基準で1:1)、n型有機半導体化合物を順次蒸着して、(1)p型半導体層、(2)混合層及び(3)n型半導体層を作製した。次いで、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表4−1に示す。 また、大気中光電分光法による薄膜のイオン化ポテンシャル及び吸収スペクトルよりエネルギーギャップを求めた。結果を表4−2に示す。
実施例2と同様に、ITO透明電極をパターニングし洗浄した。更に、UVオゾン処理を行ってITO電極の仕事関数を0.5eV高くした。その後、表4−1に示すp型有機半導体化合物、p型有機半導体化合物及びn型有機半導体化合物(混合比は体積基準で1:1)、n型有機半導体化合物を順次蒸着して、(1)p型半導体層、(2)混合層及び(3)n型半導体層を作製した。次いで、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表4−1に示す。 また、大気中光電分光法による薄膜のイオン化ポテンシャル及び吸収スペクトルよりエネルギーギャップを求めた。結果を表4−2に示す。
〔実施例5〕
実施例2と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極に、金を5nmの厚さに蒸着した。この基板を表5に示したバッファー化合物の2質量%THF溶液に浸漬し引き上げた後、THFにてリンスし、次いで真空乾燥して、金薄膜上にバッファー層Iを作製した。次に、有機物用マスクを用い、バッファー層I上に、比較品1を膜厚20nm((1)p型半導体層)、比較品1と比較品2とを混合比(体積基準)1:1にて膜厚20nm((2)混合層)、比較品2を膜厚20nm((3)n型半導体層)に、順次蒸着した。更に、(3)n型半導体層上に、表5に示したバッファー化合物を膜厚1nmに蒸着してバッファー層IIを作製後、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した(実施例5−1〜5−4)。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表5に示す。 また、実施例2と同様にITO透明電極を洗浄し後、PEDOT−PSS[Poly(ethylenedioxy)thiophene−polystyrene sulphonic acid]を膜厚30nmにスピンコートした後、減圧乾燥し、電極とは化学結合がないバッファー層Iを作製した。次に、比較品1を20nm(p型半導体層)、比較品1と比較品2とを混合比(体積基準)で1:1にて20nm(混合層)、比較品2を20nm(n型半導体層)順次蒸着した。更に、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、フッ化リチウムを膜厚0.5nmに蒸着して無機バッファー層IIを作製後、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した(比較例5−1)。また、バッファー層I及びIIを設けないこと以外は、比較例5−1と同様にして、光電変換素子を作製した(比較例5−2)これらの光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表5に示す。
実施例2と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極に、金を5nmの厚さに蒸着した。この基板を表5に示したバッファー化合物の2質量%THF溶液に浸漬し引き上げた後、THFにてリンスし、次いで真空乾燥して、金薄膜上にバッファー層Iを作製した。次に、有機物用マスクを用い、バッファー層I上に、比較品1を膜厚20nm((1)p型半導体層)、比較品1と比較品2とを混合比(体積基準)1:1にて膜厚20nm((2)混合層)、比較品2を膜厚20nm((3)n型半導体層)に、順次蒸着した。更に、(3)n型半導体層上に、表5に示したバッファー化合物を膜厚1nmに蒸着してバッファー層IIを作製後、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した(実施例5−1〜5−4)。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表5に示す。 また、実施例2と同様にITO透明電極を洗浄し後、PEDOT−PSS[Poly(ethylenedioxy)thiophene−polystyrene sulphonic acid]を膜厚30nmにスピンコートした後、減圧乾燥し、電極とは化学結合がないバッファー層Iを作製した。次に、比較品1を20nm(p型半導体層)、比較品1と比較品2とを混合比(体積基準)で1:1にて20nm(混合層)、比較品2を20nm(n型半導体層)順次蒸着した。更に、電極用マスク(受光面積は2mm×2mm)を設置し、フッ化リチウムを膜厚0.5nmに蒸着して無機バッファー層IIを作製後、電極としてアルミニウムを膜厚約100nmに蒸着し、光電変換素子を作製した(比較例5−1)。また、バッファー層I及びIIを設けないこと以外は、比較例5−1と同様にして、光電変換素子を作製した(比較例5−2)これらの光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表5に示す。
〔実施例6〕
実施例2と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極上に、化合物1を60nm((1)p型半導体層)、比較品1と比較品2とを混合比(体積基準)で1:1にて20nm((2)混合層)、比較品2を20nm及び比較品5を10nm((3)n型半導体層)順次蒸着し、光電変換ユニット1を成膜した。次に、中間電極として、銀を0.5nm蒸着後、N,N'−ジフェニル−N,N'−ジ(m−トリル)ベンジジンとテトラフルオロテトラシアノキノジメタンを95:5モル比で5nm蒸着した。次いで、光電変換ユニット1の成膜工程をもう一度繰り返して光電変換ユニット2を作製した。最後に銀を100nmの厚さに蒸着し、タンデム型光電変換素子Aを作製した(実施例6−1)。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表6に示す。
また、タンデム型光電変換素子Aと同様に光電変換ユニット1を成膜した後、中間電極としてITOをスパッタリングの手法を用いて10nmの厚さに成膜した。次いで、タンデム型光電変換素子Aと同様に光電変換ユニット2を作製してからアルミニウムを100nmの厚さに蒸着し、タンデム型光電変換素子Bを作製した(実施例6−2)。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表6に示す。
実施例2と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極上に、化合物1を60nm((1)p型半導体層)、比較品1と比較品2とを混合比(体積基準)で1:1にて20nm((2)混合層)、比較品2を20nm及び比較品5を10nm((3)n型半導体層)順次蒸着し、光電変換ユニット1を成膜した。次に、中間電極として、銀を0.5nm蒸着後、N,N'−ジフェニル−N,N'−ジ(m−トリル)ベンジジンとテトラフルオロテトラシアノキノジメタンを95:5モル比で5nm蒸着した。次いで、光電変換ユニット1の成膜工程をもう一度繰り返して光電変換ユニット2を作製した。最後に銀を100nmの厚さに蒸着し、タンデム型光電変換素子Aを作製した(実施例6−1)。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表6に示す。
また、タンデム型光電変換素子Aと同様に光電変換ユニット1を成膜した後、中間電極としてITOをスパッタリングの手法を用いて10nmの厚さに成膜した。次いで、タンデム型光電変換素子Aと同様に光電変換ユニット2を作製してからアルミニウムを100nmの厚さに蒸着し、タンデム型光電変換素子Bを作製した(実施例6−2)。この光電変換素子について、実施例2と同様の測定を行った。結果を表6に示す。
[実施例7]
実施例2と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極上に、化合物1を10nm((1)p型半導体層)蒸着した。これに化合物7(P3HT)と化合物8(PCBM)の1:1の混合物をジクロロベンゼンに溶かし、スピンコート法により製膜した。このときのスピンコートの回転数により、膜厚を50nm、100nm、150nm、175nmにコントロールした。乾燥後、比較品5を10nm((3)n型半導体層)蒸着し、アルミニウムを100nm蒸着して光電変換素子を作製した。
また、化合物1の代わりに化合物2または化合物4を用いて光電変換素子を作製した。この場合、化合物2または化合物4はトルエンに溶解させ、溶液塗布法により製膜した。
また、比較品5を用いないで、(1)p型半導体層および(2)p型半導体とn型半導体との混合層からなる光電変換素子を作製した。この光電変換素子の結果を表7に示す。
実施例2と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極上に、化合物1を10nm((1)p型半導体層)蒸着した。これに化合物7(P3HT)と化合物8(PCBM)の1:1の混合物をジクロロベンゼンに溶かし、スピンコート法により製膜した。このときのスピンコートの回転数により、膜厚を50nm、100nm、150nm、175nmにコントロールした。乾燥後、比較品5を10nm((3)n型半導体層)蒸着し、アルミニウムを100nm蒸着して光電変換素子を作製した。
また、化合物1の代わりに化合物2または化合物4を用いて光電変換素子を作製した。この場合、化合物2または化合物4はトルエンに溶解させ、溶液塗布法により製膜した。
また、比較品5を用いないで、(1)p型半導体層および(2)p型半導体とn型半導体との混合層からなる光電変換素子を作製した。この光電変換素子の結果を表7に示す。
[実施例8]
実施例7と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極上に、化合物1を10nm((1)p型半導体層)蒸着した。これに化合物7と化合物8の1:1の混合物をジクロロベンゼンに溶かし、スピンコート法により製膜した。乾燥後、チタンイソプロポキシドの水−イソプロパノール溶液を塗布しゾルゲル法によりチタン酸化物層を製膜し、アルミニウムを100nm蒸着して光電変換素子を作製した。この光電変換素子の結果を表8に示す。
実施例7と同様にして、ITO透明電極をパターニングし洗浄後、蒸着装置の基板ホルダーに固定した。固定したITO透明電極上に、化合物1を10nm((1)p型半導体層)蒸着した。これに化合物7と化合物8の1:1の混合物をジクロロベンゼンに溶かし、スピンコート法により製膜した。乾燥後、チタンイソプロポキシドの水−イソプロパノール溶液を塗布しゾルゲル法によりチタン酸化物層を製膜し、アルミニウムを100nm蒸着して光電変換素子を作製した。この光電変換素子の結果を表8に示す。
本発明によれば、加工性・生産性がよく、毒性が低く、光電変換効率が良好な光電変換素子を提供することができる。
Claims (11)
- 対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子であり、該光電変換層が、(1)p型半導体層、(2)p型半導体とn型半導体との混合層及び(3)n型半導体層を順次積層した構造〔尚、(1)p型半導体層中のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体、(2)混合層中のn型半導体と(3)n型半導体層中のn型半導体とは、それぞれ、同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよい〕を有する光電変換素子において、以下に示す(a)〜(c)のうちの少なくとも1つ以上の光電変換効率向上手段を採用したことを特徴とする光電変換素子。
(a)上記(1)〜(3)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること
(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(3)n型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること
(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること - 対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子であり、該光電変換層が、(1)p型半導体層及び(2)p型半導体とn型半導体との混合層を順次積層した構造〔尚、(1)p型半導体層中のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体とは、それぞれ、同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよい〕を有する光電変換素子において、以下に示す(a)〜(c)のうちの少なくとも1つ以上の光電変換効率向上手段を採用したことを特徴とする光電変換素子。
(a)上記(1)〜(2)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること
(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(2)混合層中のn型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること
(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること - 対向する陽極電極と陰極電極との間に光電変換層を有する光電変換素子であり、該光電変換層が、(1)p型半導体層、(2)p型半導体とn型半導体との混合層及び(3)金属酸化物の層を順次積層した構造〔尚、(1)p型半導体層中のp型半導体と(2)混合層中のp型半導体とは、それぞれ、同一の材料で構成されていても、異なった材料で構成されていてもよい〕を有する光電変換素子において、以下に示す(a)〜(c)のうちの少なくとも1つ以上の光電変換効率向上手段を採用したことを特徴とする光電変換素子。
(a)上記(1)〜(2)の半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いること
(b)上記陽極電極の仕事関数と上記(1)p型半導体層のHOMO(最高被占分子軌道)とのエネルギーギャップ、及び/又は、上記陰極電極の仕事関数と上記(2)混合層中のn型半導体層のLUMO(最低空軌道)とのエネルギーギャップが、0.5eV以下であること
(c)上記陽極電極及び/又は上記陰極電極と上記光電変換層との間に有機化合物で形成されるバッファー層を設置し、該バッファー層の有機化合物と上記陽極電極及び/又は上記陰極電極とを化学結合させること - 少なくとも上記半導体層の少なくとも1つに、電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いる光電変換効率向上手段を採用した請求の範囲第1〜3項のいずれか1項に記載の光電変換素子。
- p型半導体層に電荷移動度が0.005cm2/V・sec以上の有機半導体薄膜を用いた請求の範囲第1〜4項のいずれか1項に記載の光電変換素子。
- 上記半導体層で構成される上記光電変換層からなる光電変換ユニットを複数個有し、各光電変換ユニットは、中間電極としての等電位面を形成する層及び/又は電荷発生層によって仕切られていることを特徴とする請求の範囲第4又は5項に記載の光電変換素子。
- 少なくとも上記(b)の光電変換効率向上手段を採用した請求の範囲第1〜3項のいずれか1項に記載の光電変換素子。
- 少なくとも上記(c)の光電変換効率向上手段を採用した請求の範囲第1〜3項のいずれか1項に記載の光電変換素子。
- 上記光電変換層のうち(1)p型半導体層の厚さが10nm以上であることを特徴とする請求の範囲第1〜8項のいずれか1項に記載の光電変換素子。
- 上記の半導体層に用いられる有機半導体化合物の少なくとも1つが、下記一般式(I)で示されるポリアセン誘導体から選ばれることを特徴とする請求の範囲第1〜9項のいずれか1項に記載の光電変換素子。
- 上記光電変換層を構成する(1)p型半導体層、(2)p型半導体とn型半導体との混合層又は(3)n型半導体層あるいは金属酸化物層のうち少なくとも1層が、溶液塗布法により形成されたことを特徴とする請求の範囲第1〜10のいずれか1項に記載の光電変換素子。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005224134 | 2005-08-02 | ||
JP2005224134 | 2005-08-02 | ||
JP2006118519 | 2006-04-21 | ||
JP2006118519 | 2006-04-21 | ||
PCT/JP2006/315272 WO2007015503A1 (ja) | 2005-08-02 | 2006-08-02 | 光電変換素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007015503A1 true JPWO2007015503A1 (ja) | 2009-02-19 |
Family
ID=37708783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007529502A Pending JPWO2007015503A1 (ja) | 2005-08-02 | 2006-08-02 | 光電変換素子 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090107539A1 (ja) |
EP (1) | EP1912267A4 (ja) |
JP (1) | JPWO2007015503A1 (ja) |
CN (1) | CN101248542B (ja) |
WO (1) | WO2007015503A1 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007046444A1 (de) | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Siemens Ag | Organischer Photodetektor mit reduziertem Dunkelstrom |
JP2010041022A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-02-18 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 光電変換素子 |
TWI407610B (zh) * | 2008-11-28 | 2013-09-01 | Univ Nat Chiao Tung | Infrared light distance sensing device for organic semiconductors |
JP5763522B2 (ja) * | 2009-03-05 | 2015-08-12 | コニカミノルタ株式会社 | 有機光電変換素子、太陽電池及び光センサアレイ |
KR101564330B1 (ko) | 2009-10-15 | 2015-10-29 | 삼성전자주식회사 | 유기 나노와이어를 포함하는 태양전지 |
CN102576805A (zh) * | 2009-10-30 | 2012-07-11 | 住友化学株式会社 | 有机光电转换元件及其制造方法 |
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KR101942423B1 (ko) | 2011-09-09 | 2019-04-12 | 삼성전자주식회사 | 광 다이오드 |
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-
2006
- 2006-08-02 CN CN2006800286248A patent/CN101248542B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-02 JP JP2007529502A patent/JPWO2007015503A1/ja active Pending
- 2006-08-02 EP EP06782141A patent/EP1912267A4/en not_active Withdrawn
- 2006-08-02 WO PCT/JP2006/315272 patent/WO2007015503A1/ja active Search and Examination
- 2006-08-02 US US11/997,836 patent/US20090107539A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1912267A4 (en) | 2011-07-27 |
EP1912267A1 (en) | 2008-04-16 |
US20090107539A1 (en) | 2009-04-30 |
CN101248542B (zh) | 2011-08-10 |
WO2007015503A1 (ja) | 2007-02-08 |
CN101248542A (zh) | 2008-08-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120502 |
|
A02 | Decision of refusal |
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