JPWO2004022275A1 - ワイヤ放電加工機 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、特開昭61−260915号公報(放電加工用電源)では、1.0MHzから5.0MHzの高周波電圧を加工間隙に印加することによって1μmRmax以下の加工面が得られることが開示されている。
また、特開平7−9258号公報(放電加工方法及びその装置、並びにこの放電加工装置に適用可能な静電容量可変装置及びインダクタンス可変装置)では、7.0MHzから30MHzの高周波電圧を加工間隙に印加することによって0.5μmRmax以下の加工面が得られることが開示されている。
第1図は、ワイヤ放電加工機に用いられる放電加工用電源装置の一般的な構成を示すブロック図である。第1図に示す放電加工用電源装置は、直流電源101とこの直流電源101から電源供給を受けて高周波電圧を発生する高周波発振増幅回路102とで構成される。高周波発振増幅回路102の出力端に接続されるワイヤ電極103と被加工物104は、ワイヤ放電加工機内の放電加工部において、所定の間隔(加工間隙105)を置いて対向配置されている。
この放電加工用電源装置では、外部指令によって直流電源101から高周波発振増幅回路102に一定の直流電圧ないしは直流電力を与えて高周波発振増幅回路102に高周波電圧を発生させる。この高周波電圧が加工間隙105に印加されると、加工間隙105に高周波の放電が発生し、放電加工が実施される。
第2図は、第1図に示す加工間隙に高周波電圧を印加したときの無負荷電圧波形の一例である。第2図に示すように、加工間隙に印加される高周波電圧201は、基準レベルである接地(GND)電位を中心に対象に振動する波形である。逆極性加工時と正極性加工時とにおいて、繰り返し周波数1MHz以上の短い時間幅の等しい高周波電圧201を一定の電圧値で継続的に加工間隙に印加し、高い繰り返し頻度で放電を発生させることによって、面粗さの非常に細かな加工面が得られることが知られている。
また、第3図は、第1図に示す加工間隙に印加する高周波電圧を休止期間を挟んで発生する場合の電圧波形の一例である。第3図では、時間幅T1を持つ高周波電圧301が時間幅T2の休止期間302を挟んで繰り返し発生する場合の例が示されている。このように、休止期間を挿入したパルス状高周波電圧を発生する放電加工用電源装置も実用化されており、加工面の面粗さ・真直精度を向上させる効果のあることが解っている。
ところで、ワイヤ放電加工機では、安定した加工状態を維持するために、極間電圧に基づく加工制御が行われている。すなわち、ワイヤ電極と被加工物とが接近して放電が開始すると、極間電圧は下がるが、さらに接近し放電の周期が短くなるほど、すなわち放電が頻繁に発生するほど、極間電圧は低くなるので、極間が近づき気味であるか、離れ気味であるかも判別ができる。
したがって、通常、ワイヤ放電加工機では、加工中の極間電圧を整流して一方の極性の電圧に変換し、その極間電圧の高低によって、極間の状態が、放電開始前の開放状態(オープン状態)と、短絡状態と、放電が開始して短絡状態に至るまでの放電中状態とのいずれであるかを判別し、極間電圧に基づきワイヤ電極と被加工物の相対的な位置移動である軸送りの速度調整(いわゆる極間間隙サーボ)を行い、安定な加工が持続できるようにしている。
しかしながら、以上のように高周波電源を用いる場合には、周波数が数MHz以上の高周波電圧は、整流回路の動作限界を超えているので、一般的に整流した電圧によって、極間の状態が、開放状態と放電中状態と短絡状態とのいずれであるかをモニターすることが困難である。
つまり、高周波電源を用いる場合には、極間電圧に応じた軸送りの速度調整が困難となる場合があり、安定した加工状態が維持できない場合がある。具体的には、高周波電源は、定速送りで対応できる加工には使用できる。例としては、加工量に変動が起き難い場合、例えば仕上加工のように荒加工が行われた後の面をなぞって仕上げを行う加工を挙げることができる。しかし、仕上げ加工でも被加工物の歪みなどによって必要な加工量が変化する場合には、定速送りでは加工面にすじが入りその痕跡が残ってしまう。つまり、加工量に変動が起きやすい場合には、高周波電源の使用は困難である。また、ファーストカットでも高周波電源の使用は困難である。
このように、高周波電源を用いるワイヤ放電加工機では、加工面粗さを向上させることはできるが、近年の市場の厳しい要求に対応するためには、以上のように高周波電源に関わる問題を解決する必要がある。これは、極間状態を検出し、それに基づき加工状態に応じた軸送り制御を行う機構を設ければ、解決することができるが、どのように構成するかが問題である。なお、例えば特開平10−43951号公報(ワイヤ放電加工装置)では、ワイヤ電極と被加工物との接触状態を的確に検出し、検出した接触状態に基づきワイヤ電極と被加工物との加工送り速度を制御して放電加工の安定化を図る技術が開示されているが、極間状態を検出する技術は示されていない。
この発明は、上記に鑑みてなされたもので、極間状態を検出し、それに基づき加工状態に応じた軸送り制御が行えるワイヤ放電加工機を得ることを目的とする。
この発明によれば、極間には、高周波電圧に加えて、直流電圧印加手段によって直流電圧が印加される。つまり、極間には、高周波電圧が直流電圧分シフトされた状態の電圧が印加される。ここに、極間に現れる高周波電圧のシフト量は、極間のインピーダンスに依存して変化する。極間のインピーダンスは、極間の状態に応じて変化する。具体的には、極間のインピーダンスは、放電開始前では、最大値を示し、放電が開始すると、放電の進行に伴い0に向かって減少する。したがって、低周波成分検出手段が極間の電圧から検出する低周波成分に含まれる直流電圧成分は、放電発生有無の情報および放電開始後の各段階と1対1に対応した情報を持っていると言える。このように、高周波電源を用いるワイヤ放電加工機においても、極間の状態を示す信号を得ることができる。
つぎの発明は、上記の発明において、前記低周波成分検出手段の出力に基づき極間の状態を表示する表示手段を備えたことを特徴とする。
この発明によれば、表示手段では、低周波成分検出手段の出力が示す極間の状態が表示される。したがって、極間の状態が、放電開始前の開放状態であるか、短絡状態であるか、放電開始後短絡状態に至る各段階の放電中状態であるかをモニターすることができるので、加工状態の監視が行えるようになる。なお、表示手段には、例えば電圧計を用いることができる。
つぎの発明は、上記の発明において、前記低周波成分検出手段の出力に基づき軸送りを制御する軸送り制御手段を備えたことを特徴とする。
この発明によれば、低周波成分検出手段の出力に基づき極間の放電状態に応じてワイヤ電極と被加工物の相対的な位置移動である軸送りの速度調整が行えるので、高周波電源を用いるワイヤ放電加工機においても、同様にいわゆる極間間隙サーボを行うことができる。したがって、ファーストカットや、加工量に変動が起きやすい場合でも、安定した加工を実施することができる。
つぎの発明は、上記の発明において、前記低周波成分検出手段の出力に基づき極間の状態を表示する表示手段と、前記低周波成分検出手段の出力に基づき軸送りを制御する軸送り制御手段とを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、極間状態をモニターしつつ軸送りの速度調整が行えるようになる。
実施の形態1.
第4図は、この発明の実施の形態1であるワイヤ放電加工機の主な構成を示す回路図である。第4図において、ワイヤ放電加工機内の放電加工部には、ワイヤ電極401の走行路に加工槽402が配置されている。ワイヤ電極401は、加工槽402の上方に配置されるプール403を介して加工槽402内に供給される。
加工槽402は、加工液404で満たされている。ワイヤ電極401と被加工物405とは、加工電圧供給ケーブル406を介して図示しないワイヤ放電加工用高周波電源装置に接続されている。
このようなワイヤ放電加工機において、ワイヤ電極401と被加工物405との間の極間に直流電圧を印加する直流電圧印加部407と、放電状態に応じて極間に現れる電圧の低周波成分を検出する低周波成分検出回路408とが設けられている。
直流電圧印加部407は、例えば10V程度の低い直流電圧を出力する直流電源471を備えている。直流電源471の例えば負極端は、電気的に直接被加工物405に接続され、正極端は、抵抗器(R)472とリアクタンス(L)473の直列回路を介してワイヤ電極401に接続されている。
低周波成分検出回路408は、ローパスフィルタを含む回路であって、一端がワイヤ電極401に電気的に接続され、他端が被加工物405に電気的に接続される抵抗器(R)481と、一端が抵抗器481の一端に接続される抵抗器(R)482と、一端が抵抗器482の他端に接続され、他端が抵抗器481の他端に接続されるキャパシタンス(C)483と、一端が抵抗器482の他端とキャパシタンス483の一端との接続端に接続されるリアクタンス(L)484とで構成されている。
リアクタンス484の他端と、抵抗器481の他端とコンデンサの他端との接続端とは、当該低周波電圧成分検出部408の出力端を構成している。この出力端は、検出した低周波成分に含まれる直流電圧を表示する例えば電圧計や、極間電圧に応じて軸送り量を制御する極間間隙サーボ系のサーボ電圧取込回路に接続できるようになっている。
次に、第4図〜第6図を参照して、以上のように構成されるワイヤ放電加工機の動作について説明する。なお、第5図は、第4図に示すワイヤ放電加工機の極間電圧を説明する波形図である。第6図は、第4図に示すワイヤ放電加工機の極間に現れる電圧から直流電圧成分を検出する動作を説明する図である。
第4図において、加工用の高周波電圧は、図示しないワイヤ放電加工用電源装置から加工電圧供給ケーブル406を通してワイヤ電極401と被加工物405との間に印加される。それに加えて、直流電圧印加部407から、加工用の高周波電圧よりも十分低い直流電圧がワイヤ電極401と被加工物405との間に印加される。つまり、極間には、高周波電圧が直流電圧の分だけシフトされた状態の電圧が印加されることになる。
具体的には、第5図において、ワイヤ放電加工用電源装置から供給される高周波電圧501は例えば接地(GND)電位を中心に対象に振動する波形である。この高周波電圧501に対し、直流電圧印加部407から供給される直流電圧502が、接地(GND)電位から正方向に向かう正極性の電圧である場合には、極間には、高周波電圧501が直流電圧502の分だけ接地(GND)電位から正方向にシフトされた形の電圧503が印加される。
ここで、極間に現れる直流電圧成分の大きさ、つまり、放電に寄与する高周波電圧のシフト量は、極間のインピーダンスに依存する。一方、極間のインピーダンスは、放電したか否かによって変化する。すなわち、極間のインピーダンスは、放電が発生していないオープン状態(開放状態)では高く、放電が発生すると低下し、短絡状態では、ほぼ0になる。
そして、低周波成分検出回路408は、高周波成分を取り除き低周波成分を通すローパスフィルタを備えているので、極間に現れる電圧から、上記のように放電状態に応じて変化する極間インピーダンスに依存する直流電圧成分、つまり放電に寄与する高周波電圧のシフト量を取り出すことができる。
したがって、極間電圧と低周波成分検出回路408の出力(説明の便宜から潮流電圧成分を示す)との関係は、例えば第6図に示すようになる。第6図(1)では、極間電圧の波形例として、(a)オープン状態と、(b)放電状態(極間離れ気味)と、(c)放電状態(極間接近気味)と、(d)短絡状態とにおけるものが示されている。
極間に印加される高周波電圧のシフト量は、(a)オープン状態においては、最大値を示し、放電が発生すると、(b)放電状態(極間離れ気味)→(c)放電状態(極間接近気味)と進むに連れて減少し、(d)短絡状態ではほぼ0になることが示されている。
その結果、第6図(2)に示すように、低周波成分検出回路408の出力電圧は、(a)オープン状態では最大値となり、放電開始後、(b)放電状態(極間離れ気味)→(c)放電状態(極間接近気味)と進むに連れて減少し、(d)短絡状態ではほぼ0Vになる。このように、低周波成分検出回路408では、極間がオープン状態であれば高い電圧(最大値)が出力され、短絡していればほぼ0Vが出力され、(a)オープン状態から(d)短絡状態に至る過程では、その時々の放電状態に応じて最大値と0Vとの間の中間電圧が出力される。
斯くして、低周波成分検出回路408の出力を例えば電圧計に接続すれば、当該電圧計は、高周波電源による放電状態のモニターとして使用できる。仕上加工では、僅かな加工の乱れによっても加工面に入るすじの痕跡を残してしまうので、加工状態を監視したいという要求も強い。そのために、開放状態か、放電中状態か、短絡状態かをモニターできることの意義は大きい。
実施の形態2.
第7図は、この発明の実施の形態2であるワイヤ放電加工機の主な構成を示すブロック図である。この実施の形態2では、実施の形態1にて説明した低周波成分検出回路の出力に基づきいわゆる極間間隙サーボを行う場合の構成例が示されている。
第7図において、ワイヤ放電加工機内の放電加工部には、ワイヤ電極701の走行路に定盤702が配置されている。定盤702の上面には、被加工物703が加工液704に浸された状態で載置されている。なお、加工液704は、図示しない加工槽(第4図の符号402参照)に収納されている。
ワイヤ電極701は、一端が定盤702の上方に配置されるワイヤ電極ボビン705に連結され、他端が定盤702内を経由して他方の巻取機構706に連結されている。
定盤702には、X軸テーブル707とY軸テーブル708とが設けられている。X軸テーブル707は、X軸サーボアンプ709からX軸駆動信号を受けて定盤702をX軸方向に移動させる。Y軸テーブル708は、Y軸サーボアンプ710からY軸駆動信号を受けて定盤702をY軸方向に移動させるようになっている。
そして、当該ワイヤ放電加工機を統括制御する数値制御装置711には、軸送り決定装置712が設けられている。この軸送り決定装置712には、第4図に示した低周波成分検出回路408の出力が入力されるサーボ電圧取込回路が設けられている。軸送り決定装置712の出力端には、X軸サーボアンプ709とY軸サーボアンプ710とが接続されている。
つまり、軸送り決定装置712は、第4図に示した低周波成分検出回路408の出力を受けて、X軸方向およびY軸方向の軸送り速度を決定し、X軸サーボアンプ709にX軸駆動信号を送り、Y軸サーボアンプ710にY軸駆動信号を送るようになっている。
この構成によれば、高周波電源を用いるワイヤ放電加工機において、極間の放電状態に応じた軸送りが実施できるので、通常行われるいわゆる極間間隙サーボを同様に実施することができ、ファーストカットや、加工量に変動が起きやすい場合でも、安定した加工を実現することができる。
Claims (4)
- ワイヤ電極と前記ワイヤ電極に所定間隔を置いて対向配置される他方の電極としての被加工物との間である極間に高周波電圧を印加して放電を発生させ被加工物を加工するワイヤ放電加工機において、
前記極間に直流電圧を印加する直流電圧印加手段と、
前記極間の電圧から低周波成分を検出する低周波成分検出手段と、
を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工機。 - 前記低周波成分検出手段の出力に基づき極間の状態を表示する表示手段を備えたことを特徴とする請求の範囲第1項に記載のワイヤ放電加工機。
- 前記低周波成分検出手段の出力に基づき軸送りを制御する軸送り制御手段を備えたことを特徴とする請求の範囲第1項に記載のワイヤ放電加工機。
- 前記低周波成分検出手段の出力に基づき極間の状態を表示する表示手段と、
前記低周波成分検出手段の出力に基づき軸送りを制御する軸送り制御手段とを備えたことを特徴とする請求の範囲第1項に記載のワイヤ放電加工機。
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