JPS6449695U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6449695U JPS6449695U JP14392887U JP14392887U JPS6449695U JP S6449695 U JPS6449695 U JP S6449695U JP 14392887 U JP14392887 U JP 14392887U JP 14392887 U JP14392887 U JP 14392887U JP S6449695 U JPS6449695 U JP S6449695U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- bearing
- concave groove
- center shaft
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第1図は本考案の第一実施例の縦断面図、第2
図は本考案の第二の実施例の縦断面図、第3図は
本考案の第三の実施例の縦断面図、第4図は従来
のターボ分子ポンプの断面図である。 1……ケーシング、6……ロータ、6a,26
a,36a……凹状溝、7……ロータの中心軸、
8……磁気軸受、9……すべり軸受、15,21
5,315……振れ減衰装置、15a,215a
,315a……振れ減衰装置の先端部分。
図は本考案の第二の実施例の縦断面図、第3図は
本考案の第三の実施例の縦断面図、第4図は従来
のターボ分子ポンプの断面図である。 1……ケーシング、6……ロータ、6a,26
a,36a……凹状溝、7……ロータの中心軸、
8……磁気軸受、9……すべり軸受、15,21
5,315……振れ減衰装置、15a,215a
,315a……振れ減衰装置の先端部分。
Claims (1)
- 上部軸受は永久磁石による磁気軸受、下部軸受
はすべり軸受を備え、同上部及び下部軸受でロー
タ中心軸を支承した竪形ターボ分子ポンプにおい
て、ロータの一部にロータ中心軸と同心の凹状溝
を設け、同凹状溝にケーシング側に設けたロータ
の振れ減衰装置の先端部分を挿入したことを特徴
とする竪形ターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14392887U JPH068316Y2 (ja) | 1987-09-22 | 1987-09-22 | 竪形ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14392887U JPH068316Y2 (ja) | 1987-09-22 | 1987-09-22 | 竪形ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6449695U true JPS6449695U (ja) | 1989-03-28 |
JPH068316Y2 JPH068316Y2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=31411188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14392887U Expired - Lifetime JPH068316Y2 (ja) | 1987-09-22 | 1987-09-22 | 竪形ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH068316Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-22 JP JP14392887U patent/JPH068316Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH068316Y2 (ja) | 1994-03-02 |