JPS6446494U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6446494U JPS6446494U JP14046987U JP14046987U JPS6446494U JP S6446494 U JPS6446494 U JP S6446494U JP 14046987 U JP14046987 U JP 14046987U JP 14046987 U JP14046987 U JP 14046987U JP S6446494 U JPS6446494 U JP S6446494U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- vacuum chamber
- high vacuum
- casing
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
図面は本考案による真空ポンプの一実施例を示
すその断面図である。 １……ケーシング、２……ステータ翼（固定翼
）、３……ロータ、３ａ……ロータシヤフト、４
……ロータ翼（回転翼）、５，１３……ベース、
６……高周波モータ、７……支持プレート、７ａ
……孔、８……永久磁石固定用ブロツク、９……
凹部、１０，１１……永久磁石（磁気軸受）、１
２……スパイラルグルーブベアリング（動圧滑り
軸受）、１４……受け（動圧滑り軸受）、１５…
…凹部。
すその断面図である。 １……ケーシング、２……ステータ翼（固定翼
）、３……ロータ、３ａ……ロータシヤフト、４
……ロータ翼（回転翼）、５，１３……ベース、
６……高周波モータ、７……支持プレート、７ａ
……孔、８……永久磁石固定用ブロツク、９……
凹部、１０，１１……永久磁石（磁気軸受）、１
２……スパイラルグルーブベアリング（動圧滑り
軸受）、１４……受け（動圧滑り軸受）、１５…
…凹部。
Claims (1)
- 開口部が高真空室に接続され複数の固定翼を有
するケーシングと、このケーシング内でこれと同
軸上で回転し複数の回転翼を有するロータと、こ
のロータの前記高真空室側部と静止部材とのそれ
ぞれに互いに対向して設けられる複数の永久磁石
から構成される磁気軸受とを備え、前記ロータが
回転することにより前記高真空室の真空度を向上
させる真空ポンプにおいて、前記永久磁石の周面
に多孔を閉止するコーテイングを施したことを特
徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14046987U JPS6446494U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14046987U JPS6446494U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6446494U true JPS6446494U (ja) | 1989-03-22 |
Family
ID=31404669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14046987U Pending JPS6446494U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6446494U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103967830A (zh) * | 2013-01-29 | 2014-08-06 | 普发真空有限公司 | 转子磁轴承、对其磁环涂覆和/或涂漆的方法及真空泵 |
-
1987
- 1987-09-14 JP JP14046987U patent/JPS6446494U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103967830A (zh) * | 2013-01-29 | 2014-08-06 | 普发真空有限公司 | 转子磁轴承、对其磁环涂覆和/或涂漆的方法及真空泵 |
| JP2014146795A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 回転子の磁石軸受の磁石リングをコーティング及び／又は塗布するための方法並びに回転子の磁石軸受及び真空ポンプ |