JPS6393639U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6393639U JPS6393639U JP18933886U JP18933886U JPS6393639U JP S6393639 U JPS6393639 U JP S6393639U JP 18933886 U JP18933886 U JP 18933886U JP 18933886 U JP18933886 U JP 18933886U JP S6393639 U JPS6393639 U JP S6393639U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chuck
- utility
- model registration
- wafer chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
図は本考案の一実施例を示し第1図は一部破断
側面図、第2図は第1図の2方向矢視図、第3図
はモニタウエハカセツトの正面図、第4図は第3
図の4―4線断面図、第5図はモニタウエハチヤ
ツクの断面図、第6図はプラグと分配具の断面図
である。 12…ウエハ、14…モニタウエハ、21…モ
ニタウエハチヤツク、24…ベローズ、30…シ
リンダ。
側面図、第2図は第1図の2方向矢視図、第3図
はモニタウエハカセツトの正面図、第4図は第3
図の4―4線断面図、第5図はモニタウエハチヤ
ツクの断面図、第6図はプラグと分配具の断面図
である。 12…ウエハ、14…モニタウエハ、21…モ
ニタウエハチヤツク、24…ベローズ、30…シ
リンダ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハ搬送装置において、ウエハチヤツク
に隣接して設けられたモニタウエハチヤツクと、
同モニタウエハチヤツクを待機位置と前記ウエハ
チヤツクより前方の作動位置との両位置を選択的
に保持するための移動手段とを備えたことを特徴
とするウエハ搬送装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第1項記載のウエ
ハ搬送装置において、移送手段としてシリンダを
使用したことを特徴とするウエハ搬送装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第1項記載のウエ
ハ搬送装置において、ウエハチヤツクが真空吸着
式であり、同チヤツクへの真空圧力伝達手段とし
てベローズを使用したことを特徴とするウエハ搬
送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18933886U JPS6393639U (ja) | 1986-12-09 | 1986-12-09 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18933886U JPS6393639U (ja) | 1986-12-09 | 1986-12-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6393639U true JPS6393639U (ja) | 1988-06-17 |
Family
ID=31141545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18933886U Pending JPS6393639U (ja) | 1986-12-09 | 1986-12-09 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6393639U (ja) |
-
1986
- 1986-12-09 JP JP18933886U patent/JPS6393639U/ja active Pending