JPS6393639U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図は本考案の一実施例を示し第１図は一部破断
側面図、第２図は第１図の２方向矢視図、第３図
はモニタウエハカセツトの正面図、第４図は第３
図の４―４線断面図、第５図はモニタウエハチヤ
ツクの断面図、第６図はプラグと分配具の断面図
である。 １２…ウエハ、１４…モニタウエハ、２１…モ
ニタウエハチヤツク、２４…ベローズ、３０…シ
リンダ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハ搬送装置において、ウエハチヤツク
   に隣接して設けられたモニタウエハチヤツクと、
   同モニタウエハチヤツクを待機位置と前記ウエハ
   チヤツクより前方の作動位置との両位置を選択的
   に保持するための移動手段とを備えたことを特徴
   とするウエハ搬送装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエ
   ハ搬送装置において、移送手段としてシリンダを
   使用したことを特徴とするウエハ搬送装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエ
   ハ搬送装置において、ウエハチヤツクが真空吸着
   式であり、同チヤツクへの真空圧力伝達手段とし
   てベローズを使用したことを特徴とするウエハ搬
   送装置。