JPS6387760U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6387760U JPS6387760U JP18181086U JP18181086U JPS6387760U JP S6387760 U JPS6387760 U JP S6387760U JP 18181086 U JP18181086 U JP 18181086U JP 18181086 U JP18181086 U JP 18181086U JP S6387760 U JPS6387760 U JP S6387760U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evacuation
- vacuum
- ion pump
- sputter ion
- evacuation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 claims description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
Description
第1図は本案の一実施例の電子顕微鏡の排気系
の構成図、第2図は従来装置の電子顕微鏡の排気
系の構成図を示す。 1…電子鏡照射系、2…真空バルブ、3…イオ
ンポンプ、4…真空バルブ、5…ターボ分子ポン
プ、6…真空バルブ、7…ロータリーポンプ、8
…試料室、9…励磁コイル、10…対物レンズ、
11…真空バルブ、12…真空バルブ。
の構成図、第2図は従来装置の電子顕微鏡の排気
系の構成図を示す。 1…電子鏡照射系、2…真空バルブ、3…イオ
ンポンプ、4…真空バルブ、5…ターボ分子ポン
プ、6…真空バルブ、7…ロータリーポンプ、8
…試料室、9…励磁コイル、10…対物レンズ、
11…真空バルブ、12…真空バルブ。
Claims (1)
- スパツターイオンポンプと予備排気用真空ポン
プを備えた荷電粒子線装置用真空排気装置におい
て、スパツターイオンポンプの高真空側引口部と
低真空側予備排気口引口部を前記スパツターイオ
ンポンプ容器を介して2ケ所設け排気装置に装着
したことを特徴とする荷電粒子線装置等の真空排
気装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18181086U JPS6387760U (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18181086U JPS6387760U (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6387760U true JPS6387760U (ja) | 1988-06-08 |
Family
ID=31127022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18181086U Pending JPS6387760U (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6387760U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017016818A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP18181086U patent/JPS6387760U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017016818A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |