JPS6383906A - Magnetic head and its manufacture - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic hed which is excellent in mass-productivity, wear resistance, frequency characteristic and efficiency, by constituting a composite material magnetic core which has combined the lower magnetic core consisting of an oxide magnetic material, and an X-shaped ferromagnetic metallic film chip member. CONSTITUTION:On the lower magnetic cores 30, 31 of an oxide magnetic material having ferromagnetism and a high specific resistance consisting of Mn-Zn single crystal ferrite, Ni-Zn polycrystal ferrite, etc., tip chip members 32, 33 are joined by adhesive agents 34, 35 of a glass material of a resin, etc. With on the magnetic tape sliding surface of ferromagnetic metallic films 38, 39 is T, and an X-shaped intersection is formed in the vicinity of a front gap 42, worked to an effective track width TW by track width control grooves 47, 48, and the track width control grooves are filled with glass. On a half body core 36, a winding window 49 is opened and provided, and the half body core 36 of C type and a half body core 37 of I type are joined by placing a gap spacer 50 between them.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はメタルテープのような高抗磁力媒体に記録、再
生するのに適した、ビデオテープレコーダ（以下ＶＴＲ
と略称する）などに用いられる磁気ヘッドおよびその製
造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a video tape recorder (hereinafter referred to as VTR) suitable for recording and reproducing on a high coercive force medium such as a metal tape.
The present invention relates to a magnetic head used in a magnetic head (hereinafter referred to as a "magnetic head") and a method for manufacturing the same.

従来の技術 一般のＶＴＲでは磁気ヘッドのコア材として単結晶フェ
ライト等の酸化物磁性材料が多く使用されている。2. Description of the Related Art In general VTRs, oxide magnetic materials such as single crystal ferrite are often used as the core material of the magnetic head.

しかし近年高密度記録再生技術の進展に伴い、ＶＴＲ用
磁気ヘッドとしてはメタルテープなどの高抗磁力の磁気
テープへの記録、再生が可能なことや、狭ギャップ、狭
トラツク化が要求されている。この要求を実現するため
には、磁気へラドコア材として飽和磁束密度の低い酸化
物磁性材料では不適となる。狭ギャップ、狭トラツクの
メタルテープ対応ヘッドとして単結晶フェライト等の酸
化物磁性材料と高飽和磁束密度を有するセンダストやア
モルファス合金等の強磁性金属材料との複合磁性材料で
磁気コア半休を形成し、この磁気コ。However, in recent years, with the advancement of high-density recording and reproducing technology, magnetic heads for VTRs are required to be capable of recording on and reproducing magnetic tapes with high coercive force such as metal tapes, and to have narrower gaps and narrower tracks. . In order to meet this requirement, oxide magnetic materials with low saturation magnetic flux density are not suitable as magnetic herad core materials. As a head compatible with narrow gap and narrow track metal tapes, the magnetic core half-hole is formed with a composite magnetic material of an oxide magnetic material such as single crystal ferrite and a ferromagnetic metal material such as sendust or amorphous alloy that has a high saturation magnetic flux density. This magnetic one.

ア半体対をガラス等のギャップスペーサを介して接合す
る磁気ヘッド構造が多く提案されている。Many magnetic head structures have been proposed in which a pair of halves are joined via a gap spacer made of glass or the like.

この従来の複合構造の代表的な例として第４図ａ、ｂに
その斜視図およびそのｘ−ｘ’断面図を示す。As a typical example of this conventional composite structure, FIGS. 4a and 4b show a perspective view and a sectional view taken along the line xx'.

第４図は記録時に最も磁気飽和を起こしやすい磁気コア
半休対のフロントギャップ部にセンダスト等の高飽和磁
束密度を呈する強磁性金属材料を付設する構成のもので
、１，２はそれぞれＣ型。Figure 4 shows a configuration in which a ferromagnetic metal material exhibiting a high saturation magnetic flux density, such as sendust, is attached to the front gap of the half-dormant pair of magnetic cores, which is most likely to cause magnetic saturation during recording, and 1 and 2 are C-type, respectively.

！型のフェライトコア半体である。コア半体１゜２のそ
れぞれ突き合わせをする対向面には厚さ１０〜２０μｍ
のセンダスト又はアモルファス合金等の強磁性金属膜３
，４がスパッタリング等で付着されている。またコア半
体１，２には、それぞれ磁気テープ（図示せず）摺動面
６のトラック幅規制用の溝加工が行なわれる。コア半体
１には溝６゜７、コア半体２には溝８，９が有り、それ
ぞれ高融点ガラスが充填され所定形状に整形される。! It is a half of a type ferrite core. A thickness of 10 to 20 μm is applied to the opposing surfaces of each of the core halves 1゜2 that butt against each other.
Ferromagnetic metal film 3 such as sendust or amorphous alloy
, 4 are attached by sputtering or the like. In addition, grooves are formed in each of the core halves 1 and 2 to regulate the track width of the sliding surface 6 of the magnetic tape (not shown). The core half 1 has grooves 6.degree. 7, and the core half 2 has grooves 8 and 9, each of which is filled with high melting point glass and shaped into a predetermined shape.

さらにコア半体１には巻線コイル（図示せず）用の巻線
窓１ｏが開設されている。この巻線窓１０は磁気ヘッド
としてのギャップデプスの下端を規制するものである。Furthermore, the core half 1 is provided with a winding window 1o for a winding coil (not shown). This winding window 10 regulates the lower end of the gap depth of the magnetic head.

次に半休コアのどちらか一方又は両方の突き合わせ対向
面に、溝６，７，８゜９の充填に使用したガラス材より
低融点ガラスをスパッタしてギャップスペーサ１１とし
、それぞれ３ア半体１，２を突き合わせ後、加圧熱溶着
を行なう。この時ギャップスペーサ１１がコア半体１．
２を接着すると同時に所望のフロントギャップ長となる
様に、その厚さは調整される。最終仕上げとして磁気テ
ープ摺動面６の表面研磨を行なうとともに、所望のギャ
ップデプスが形成される。Next, glass with a lower melting point than the glass material used to fill the grooves 6, 7, and 8° 9 is sputtered onto the abutting and opposing surfaces of one or both of the semi-dead cores to form a gap spacer 11, and each of the three halves 1 , 2 are butted together, and then pressurized heat welding is performed. At this time, the gap spacer 11 is connected to the core half 1.
The thickness is adjusted so that the desired front gap length is achieved at the same time as the bonding of 2. As a final finish, the surface of the magnetic tape sliding surface 6 is polished and a desired gap depth is formed.

なお磁気テープ摺動面５のトラック幅規制溝６゜７．８
．９にガラス材を充填する工程はギャップスペーサ１１
形成後における半休コア１．２の加圧熱溶着時に行なう
ことも可能である。Note that the track width regulating groove 6°7.8 on the magnetic tape sliding surface 5
．． The process of filling the glass material into the gap spacer 11
It is also possible to perform the welding at the time of pressurized heat welding of the semi-dead core 1.2 after formation.

第６図は他の従来例の斜視図を示す。磁気ヘッド半休コ
アブロック１２．１３がギャップスペーサ１４を挟んで
接合されている。それぞれの半休コアブロック１２．１
３はガラス、セラミック等の非磁性基板１５．１６にセ
ンダスト、アモルファス合金等の強磁性金属膜１７．１
８が所望のトラック幅分の厚さでスパッタリングされて
いる。FIG. 6 shows a perspective view of another conventional example. The magnetic head half-dead core blocks 12 and 13 are joined with a gap spacer 14 in between. Each half-break core block 12.1
3 is a ferromagnetic metal film 17.1 made of sendust, amorphous alloy, etc. on a non-magnetic substrate 15.16 made of glass, ceramic, etc.
8 is sputtered to a thickness corresponding to the desired track width.

高域周波数特性を考慮して電気絶縁性層間膜（図示せず
）を介して磁性膜を多層化するのが一般的である。この
強磁性金属膜１７．１８の上にガラス、セラミック等の
補強用非磁性基板１９．２０が樹脂又はガラス材等で接
合されている。なお半休コアブロック１２には巻線窓２
１が開いている。In consideration of high frequency characteristics, magnetic films are generally multilayered with an electrically insulating interlayer film (not shown) interposed therebetween. A reinforcing non-magnetic substrate 19.20 made of glass, ceramic, etc. is bonded onto this ferromagnetic metal film 17.18 using resin, glass material, or the like. In addition, the winding window 2 is provided in the half-closed core block 12.
1 is open.

またトラック幅相当の厚さを有する強磁性金属体として
スパッタ膜の代わりにセンダスト薄板又はアモルファス
合金薄板を使うこともできる。Furthermore, instead of the sputtered film, a sendust thin plate or an amorphous alloy thin plate can be used as the ferromagnetic metal body having a thickness corresponding to the track width.

以上のように構成された磁気ヘッドにおいて、高飽和磁
束密度を有する強磁性金属体を使用する目的はメタルテ
ープなどの高抗磁力磁気テープを記録するとき、磁気コ
アのフロントギャップ部における磁気飽和を防ぐためで
ある。第４図の構成ではフェライトから成る半休コア対
１，２のフロントギャップ及びバックギャップ対向面に
のみそれぞれ強磁性金属体が配される結果、フロントギ
ャップ部の磁気飽和は軽減される。In the magnetic head configured as described above, the purpose of using a ferromagnetic metal body having a high saturation magnetic flux density is to reduce magnetic saturation in the front gap of the magnetic core when recording a high coercive force magnetic tape such as a metal tape. This is to prevent it. In the configuration shown in FIG. 4, ferromagnetic metal bodies are disposed only on the front gap and back gap facing surfaces of the pair of semi-dormant cores 1 and 2 made of ferrite, respectively, so that magnetic saturation in the front gap portion is reduced.

第６図の構成は磁束伝搬路としての磁気コアは強磁性金
属体から成る薄膜又は薄板のみであり、磁束の流れる磁
路断面積は薄膜又は薄板の厚さで規制され、この厚さは
磁気テープ摺動面のトラック幅に等しい。しかしフロン
トギャップを含めてすべての磁路構成部材が高飽和磁束
密度を有する強磁性金属体であることから、コアの磁気
飽和は低減されている。In the configuration shown in Figure 6, the magnetic core as a magnetic flux propagation path is only a thin film or thin plate made of a ferromagnetic metal, and the cross-sectional area of the magnetic path through which the magnetic flux flows is regulated by the thickness of the thin film or thin plate, and this thickness is determined by the magnetic flux. Equal to the track width of the tape sliding surface. However, since all the magnetic path components including the front gap are made of ferromagnetic metal bodies with high saturation magnetic flux density, the magnetic saturation of the core is reduced.

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記に示した従来の構成では以下に述べ
るいくつかの大きな問題点を有していた。Problems to be Solved by the Invention However, the conventional configuration shown above had several major problems as described below.

まず第４図に示した構成について述べる。First, the configuration shown in FIG. 4 will be described.

（１）　　フェライトコア半体対のそれぞれの対向面に
スパッタリング等の真空蒸着によりセンダスト等の強磁
性金属膜を付着する過程やテープ摺動面の機械加工の際
に、強磁性金属膜と接合するフェライトコアに変質層が
発生する。この変質層はテープ摺動面上に副次的ギャッ
プとして現われ、ヘッドの周波数特性上に大きなうねり
を生じせしめる。この対策として、強磁性金属膜の膜厚
を２０〜３０μｍ程度と大幅に厚くして、メインのフロ
ントギャップから副次的ギャップを遠ざける必要があり
、膜厚を考えると量産性に欠けていた。(1) Bonding with the ferromagnetic metal film during the process of attaching a ferromagnetic metal film such as sendust to the opposing surfaces of each pair of ferrite core halves by vacuum deposition such as sputtering or during machining of the tape sliding surface. An altered layer occurs in the ferrite core. This deteriorated layer appears as a secondary gap on the tape sliding surface and causes large undulations in the frequency characteristics of the head. As a countermeasure to this problem, it was necessary to significantly increase the thickness of the ferromagnetic metal film to about 20 to 30 μm, and to distance the secondary gap from the main front gap, which resulted in a lack of mass productivity considering the film thickness.

（２）上記の如く強磁性金属膜厚を厚くする結果、スパ
ッタリング中に強磁性金属膜に亀裂が発生したり、フェ
ライトコア表面からはく離を起こす。またヘッドチップ
切断や摺動面研磨等の機械加工時に強磁性金属膜の亀裂
、はく離を誘起せしめるものであった。(2) As a result of increasing the thickness of the ferromagnetic metal film as described above, the ferromagnetic metal film cracks during sputtering or peels off from the ferrite core surface. Moreover, it induces cracking and peeling of the ferromagnetic metal film during machining such as head chip cutting and sliding surface polishing.

（３）　　フェライトと強磁性金属膜との境界面積が、
フロントギャップ構成面積に比べて同等かわずかに大き
い程度で、上記境界面でフェライトコアの磁気飽和を生
じる恐れがあった。狭トラツク化の要求が強くなる中で
、境界面積を大きくするには薄膜の厚さを大きくせざる
を得す、成膜時間を考慮すると量産性に問題が生じてい
た。(3) The boundary area between the ferrite and the ferromagnetic metal film is
If the area is equal to or slightly larger than the front gap constituent area, there is a possibility that magnetic saturation of the ferrite core may occur at the boundary surface. As the demand for narrower tracks becomes stronger, increasing the boundary area requires increasing the thickness of the thin film, which poses problems in mass production when film formation time is taken into account.

（４）強磁性金属膜厚の増大に伴ない、エディ−カレン
トロスが増大し、ヘッドの高域出力の劣化を招いていた
。(4) As the thickness of the ferromagnetic metal film increases, the eddy current loss increases, leading to deterioration of the high-frequency output of the head.

次に第６図に示した構成の問題点について述べる。Next, problems with the configuration shown in FIG. 6 will be described.

（６）非磁性基板上に電気絶縁性層間膜を介して強磁性
金属の薄膜又は薄板を多層複層する場合、機械加工の際
に一層ごとの磁性膜に加工変質層が生じる。この変質層
がテープ摺動面上に現われる。(6) When ferromagnetic metal thin films or thin plates are multi-layered on a non-magnetic substrate via an electrically insulating interlayer film, a process-altered layer is generated in each magnetic film during machining. This altered layer appears on the tape sliding surface.

（６）２枚の非磁性基板間に強磁性金属体をサンドイッ
チ構造としてコア半休を形成する際、後工程の非磁性基
板が樹脂又はガラス材で接着されるが、テープ摺動面上
にこの接着層が露出し、テープ走行に伴なう偏摩耗を生
じる結果となっていた。(6) When forming a half core with a sandwich structure of ferromagnetic metal between two non-magnetic substrates, the non-magnetic substrate is bonded with resin or glass material in the subsequent process, but this The adhesive layer was exposed, resulting in uneven wear as the tape ran.

（７）強磁性金属体が磁気コアの全体を構成していると
、磁性体の厚さがトラック幅であることから、加工工程
及び量産時の一基板上でのヘッドチップ数取りなどを考
慮したスループットが悪く、製造コストの上昇を招いて
いた。(7) When a ferromagnetic metal body constitutes the entire magnetic core, the thickness of the magnetic body is the track width, so consideration must be given to the processing process and the number of head chips on one board during mass production. This resulted in poor throughput and increased manufacturing costs.

本発明は上記問題点に鑑み、酸化物磁性材料と強磁性金
属膜との複合磁性材料で構成される高抗磁力テープ対応
型複合磁気コアにおいて、酸化物磁性体の加工変質に伴
なう副次的に発生するギャップの影響と、両磁性体の境
界面積を広げ酸化物磁性体コアの磁気飽和を除去し、テ
ープ摺動面の偏摩耗特性を向上せしめ、かつ周波数特性
及び量産性に優れた構造を有する磁気ヘッドとその製造
方法を提供するものである。In view of the above-mentioned problems, the present invention provides a composite magnetic core compatible with high coercive force tape made of a composite magnetic material of an oxide magnetic material and a ferromagnetic metal film. This eliminates the influence of the gap that occurs next and the magnetic saturation of the oxide magnetic core by expanding the boundary area between both magnetic materials, improving the uneven wear characteristics of the tape sliding surface, and providing excellent frequency characteristics and mass productivity. The present invention provides a magnetic head having a structure and a method for manufacturing the same.

問題点を解決するための手段 本発明の磁気ヘッドは高固有抵抗の酸化物磁性体から成
る下部磁気コアとフロントギャップを形成する強磁性金
属膜とで磁気回路が形成され、強磁性金属膜は、その膜
厚と幅及び磁気テープ摺動面の曲率半径で決定される長
さと面積で下部磁気コアと接し、かつ磁気ギャップ形成
面と所要角度で傾斜してＸ字型で磁気テープ摺動面上に
露出せしめる構成となっており、また上記強磁性金属膜
は、その膜厚より深いＸ字型の溝を有する酸化物磁性体
から成る基板上にスパッタリング等により被着され、溝
内に形成される強磁性金属膜の表面と同一平面となる様
に基板表面の平坦化加工を行ない、平坦化加工面が下部
磁気コアの母材ブロックと対面する如く接合してヘッド
ブロックを形成し、しかる後にヘッドブロックを２等分
切断し、それぞれＣ型、工型半導体コアを加工する製造
方法となっている。Means for Solving the Problems In the magnetic head of the present invention, a magnetic circuit is formed by a lower magnetic core made of an oxide magnetic material with high resistivity and a ferromagnetic metal film forming a front gap. , an X-shaped magnetic tape sliding surface that is in contact with the lower magnetic core with a length and area determined by its film thickness and width and the radius of curvature of the magnetic tape sliding surface, and is inclined at a required angle with the magnetic gap forming surface. The ferromagnetic metal film is deposited by sputtering or the like on a substrate made of an oxide magnetic material having an X-shaped groove deeper than the thickness of the ferromagnetic metal film, and is formed in the groove. The surface of the substrate is planarized so that it is flush with the surface of the ferromagnetic metal film to be processed, and the head block is formed by bonding so that the planarized surface faces the base material block of the lower magnetic core. The manufacturing method is to later cut the head block into two equal parts and process them into C-shaped and engineered-shaped semiconductor cores.

作　　用 本発明は上記した構成により、酸化物磁性体から成る下
部磁気コアはヘッド後部磁気回路を構成し、磁気テープ
摺動面上で磁気テープ走行方向に対しＸ字型で露出する
強磁性金属膜はフロントギャップ部での磁気飽和を防止
すると同時に、下部磁気コアとの境界面積を確保し、上
記境界での磁気飽和を大幅に低減し、かつ磁気テープ摺
動面上に発生する副次的ギャップ効果を低減できる。According to the above-described structure, the lower magnetic core made of oxide magnetic material constitutes the rear magnetic circuit of the head, and the ferromagnetic metal is exposed on the magnetic tape sliding surface in an X-shape with respect to the running direction of the magnetic tape. The film prevents magnetic saturation at the front gap, secures a boundary area with the lower magnetic core, significantly reduces magnetic saturation at the boundary, and prevents secondary magnetic saturation occurring on the magnetic tape sliding surface. Gap effects can be reduced.

実施例 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。第１図は本発明の一実施例の磁気ヘッドの斜視
図を示している。EXAMPLE An example of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a perspective view of a magnetic head according to an embodiment of the present invention.

第１図において、Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライト。In FIG. 1, Mn-Zn single crystal ferrite.

Ｎｉ−Ｚｎ多結晶フェライト等から成る強磁性かつ高固
有抵抗を有する酸化物磁性体の下部磁気コア３０．３１
上に先端チップ部材３２．３３がガラス材又は樹脂等の
接着剤３４．３５で接合されている。つまりそれぞれの
半休コア３６．３７は下部磁気コア３０．３１と先端チ
ップ部材３２．３３との複合構造となっている。先端チ
ップ部材３２゜３３はＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライト等の
酸化物磁性体にスパッタリング等によってセンダスト膜
又はアモルファス合金膜などから成る強磁性金属膜３８
．３９が磁気テープ摺動面上でＸ字型で埋設されている
。Lower magnetic core 30.31 made of ferromagnetic and high specific resistance oxide magnetic material made of Ni-Zn polycrystalline ferrite, etc.
Top tip members 32 and 33 are bonded to the top with an adhesive 34 and 35 such as glass or resin. In other words, each semi-dead core 36.37 has a composite structure of a lower magnetic core 30.31 and a distal tip member 32.33. The tip members 32 and 33 are made of a ferromagnetic metal film 38 made of a sendust film or an amorphous alloy film by sputtering or the like on an oxide magnetic material such as Mn-Zn single crystal ferrite.
．． 39 is buried in an X-shape on the magnetic tape sliding surface.

半休コア３６．３７との突き合わせ面に形成されるフロ
ントギャップ４２及びそのギャップデプスは強磁性金属
膜３８．３９の対向面により形成される。強磁性金属膜
３８．３９は磁気テープ摺動面側でＸ字型の帯状で露出
し、フロントギャップ４２の垂直線に対し適切な傾斜角
を有しており、その結果、上記垂直線がＸ字の開角を２
等分する形になっている。一方の反対面では同じくＸ字
型かつＸ字の脚幅Ｔで下部磁気コア３０．３１にそれぞ
れ接合し、境界面４３．４４を形成している。The front gap 42 formed at the abutting surface with the half-dormant core 36, 37 and its gap depth are formed by the opposing surfaces of the ferromagnetic metal films 38, 39. The ferromagnetic metal films 38 and 39 are exposed in an X-shaped strip on the magnetic tape sliding surface side and have an appropriate inclination angle with respect to the vertical line of the front gap 42, so that the vertical line is The opening angle of the character is 2
It is shaped to be divided into equal parts. On the other side, they are connected to the lower magnetic cores 30, 31 with the same X-shape and the leg width T of the X-shape, forming boundary surfaces 43, 44.

また、強磁性金属膜３８．３９の膜厚は、フロントギャ
ップ４２の対向面ではギャップデプスにほぼ等しい膜厚
を有しているが、フロントギャップから遠ざかるにつれ
て、磁気テープ摺動面の曲率半径で決定される膜厚に従
い、７ＣＭ／１％ギャップ４２からの距離りでゼロとな
り、先端チップ部材のペースコア４０，４１と下部磁気
コア３０．３１との境界線４５．４６をそれぞれ形成す
る。強磁性金属膜３８．３９の磁気テープ摺動面上での
幅はＴであるが、フロントギャップ４２近傍でＸ字の交
差を形成し、トラック幅規制溝４７．４８によって実効
トラック幅Ｔｗに加工される。トラック幅規制溝にはガ
ラスが充填される。半休コア３６には巻線窓４９が開設
されている。Ｃ型の半休コア３６と１型の半休コア３７
はギャップスペーサ６０を挾んで接合される。The thickness of the ferromagnetic metal films 38 and 39 is approximately equal to the gap depth on the surface facing the front gap 42, but as it moves away from the front gap, the radius of curvature of the magnetic tape sliding surface increases. According to the determined film thickness, it becomes zero at a distance from the 7CM/1% gap 42, forming boundary lines 45, 46 between the pace cores 40, 41 and the lower magnetic core 30, 31 of the distal tip member, respectively. The width of the ferromagnetic metal films 38 and 39 on the magnetic tape sliding surface is T, but an X-shaped intersection is formed near the front gap 42, and track width regulating grooves 47 and 48 are formed into an effective track width Tw. be done. The track width regulating groove is filled with glass. A winding window 49 is opened in the half-vacant core 36. C-type semi-vacuum core 36 and type 1 semi-vacuum core 37
are joined with a gap spacer 60 in between.

上記した実施例において先端チップ部材３２゜３３のペ
ースコア４０．４１を形成する基板に埋設され、磁気テ
ープ摺動面にＸ字型に開脚角２αで傾斜して延びる強磁
性金属膜３８．３９の最大長りはフロントギャップ４２
での強磁性金属膜厚とヘッド先端の曲率半径で決定され
る。第２図はＸ字型の帯状強磁性金属膜３８．３９のテ
ープ摺動面上のフロントギャップ４２の垂線ｑに対する
傾斜角αとＬの関係を示している。尚、第２図において
、第１図と同一個所には同一番号を付している。強磁性
金属膜３８．３９のそれぞれの端面を表わす長側線５１
．５２はフロントギャップ４２からの距離りで、ヘッド
側線上のＰ、Ｑに達する。In the above-described embodiment, the ferromagnetic metal film 38, 39 is embedded in the substrate forming the pace core 40, 41 of the distal tip member 32, 33, and extends on the magnetic tape sliding surface in an X-shape at an angle of 2α. The maximum length is front gap 42
It is determined by the thickness of the ferromagnetic metal film and the radius of curvature of the tip of the head. FIG. 2 shows the relationship between the inclination angle α and L of the front gap 42 on the tape sliding surface of the X-shaped strip-shaped ferromagnetic metal film 38, 39 with respect to the perpendicular q. In FIG. 2, the same parts as in FIG. 1 are given the same numbers. Long side lines 51 representing the respective end faces of the ferromagnetic metal films 38 and 39
．． 52 is a distance from the front gap 42 and reaches P and Q on the head side line.

傾斜角がα〉βなるβとすると同一幅Ｔの強磁性金属膜
３８．３９（第２図の点線で示す）において、その長側
線５１．５２はフロントギャップ４２からの距離りで下
部磁気コア３０，３１とペースコア４０，４１との境界
線４５．４６上のＰ／、ｄとそれぞれ交差する。つまり
α〉βなる傾斜角βでは磁気テープ摺動面上にフロント
ギャップ４２と平行に強磁性金属膜３８．３９’と下部
磁気コア３０．３１との境界ＰＰ、ＱＱ’がそれぞれ出
現し、副次的ギャップとなる。これは設計上傾斜角はα
より大きくする必要があることを意味している。If the angle of inclination is α>β, then in the ferromagnetic metal films 38, 39 (indicated by dotted lines in FIG. 2) having the same width T, the long side lines 51, 52 are located at the distance from the front gap 42 to the lower magnetic core. 30, 31 and pace cores 40, 41 intersect with P/, d on the boundary line 45.46, respectively. In other words, at the inclination angle β where α>β, boundaries PP and QQ' between the ferromagnetic metal film 38.39' and the lower magnetic core 30.31 appear parallel to the front gap 42 on the magnetic tape sliding surface, respectively, and This is the next gap. This is due to the design inclination angle of α
That means it needs to be bigger.

次に本発明の磁気ヘッド製造工程の一例について述べる
。第３図（−）〜（ｉ）は第１図に示したものと基本的
には同一構成で、その具体的製造工程を示している。Next, an example of the magnetic head manufacturing process of the present invention will be described. 3(-) to 3(i) basically have the same structure as that shown in FIG. 1, and show the specific manufacturing process thereof.

第３図において、（ａ）の工程は、先端チップ部材ノヘ
ースコアとして動作する単結晶フェライト等の酸化物磁
性体基板６ｏに側面６１に対し傾斜角αを有するＸ字型
の溝ｓ２ａ、６２ｂが加工される。この時の溝幅Ｔはト
ラック幅１ｗ以上とする。In FIG. 3, in the step (a), X-shaped grooves s2a and 62b having an inclination angle α with respect to the side surface 61 are formed in the oxide magnetic substrate 6o, such as single-crystal ferrite, which acts as the core of the tip tip member. be done. The groove width T at this time is set to be equal to or larger than the track width 1w.

（ロ）の工程では、加工された酸化物磁性基板ｅｏ上に
センダスト又はアモルファス合金などの強磁性金属膜ｅ
３をスパッタリング法で付着する。In the step (b), a ferromagnetic metal film e such as sendust or amorphous alloy is deposited on the processed oxide magnetic substrate e.
3 is deposited by sputtering method.

次に（ｃ）の工程ではＸ字型の溝６２内に付着された強
磁性金属膜６３の上表面が酸化物磁性基板のと同一平面
になるまで平面研磨加工を行ない、平坦化基板６４を作
製する。酸化物磁性体基板６０の凸部表面には強磁性金
属膜が残留しないように注意する。なお強磁性金属膜ｅ
３の膜厚がフロントギャップ部での所望のギャップデプ
スとなるようにＸ字型の溝深さ、及び強磁性金属膜厚を
調整する。Next, in the step (c), a planarized substrate 64 is polished until the upper surface of the ferromagnetic metal film 63 deposited in the X-shaped groove 62 becomes the same plane as that of the oxide magnetic substrate. Create. Care must be taken so that no ferromagnetic metal film remains on the surface of the convex portion of the oxide magnetic substrate 60. Note that the ferromagnetic metal film e
The depth of the X-shaped groove and the thickness of the ferromagnetic metal film are adjusted so that the film thickness of No. 3 becomes the desired gap depth at the front gap portion.

（ｄ）の工程では、磁路構成上、下部磁気コアとなる酸
化物磁性体から成る母材ブロックｅ６上に、平坦化基板
ｅ４を強磁性金属膜６３の上表面が母材ブロック６６に
対面する如く接合してヘッドブロック６６を作製する。In the step (d), due to the magnetic path configuration, a flattened substrate e4 is placed on a base material block e6 made of an oxide magnetic material that will become the lower magnetic core, so that the upper surface of the ferromagnetic metal film 63 faces the base material block 66. The head block 66 is produced by joining as shown in FIG.

この後へッドブロソク６６を一点鎖線Ａ−Ａに沿って２
等分し、そのうちの一つとして第３図（ｅ）の工程に示
すヘッド半休ブロック６７を得る。（ｆ）の工程では、
ヘッド半休ブロック６７にはトラック幅規制溝６８が加
工される。After this, move the head block 66 2 along the dashed line A-A.
The head half-closed block 67 shown in the step of FIG. 3(e) is obtained as one of the equal parts. In step (f),
A track width regulating groove 68 is machined in the head half-rest block 67.

そして（ｑ）の工程では、このトラック幅規制溝には高
融点ガラス材６９が充填され、工型半体コアブロック７
０を作製する。さらに（ｈ）の工程では一方のＣ型半体
コアブロック７１は（ｄ）の工程で得られた他方のヘッ
ド半休コアブロック（図示せず）に（ｆ）　、　（９）
の工程と同一工程を経て、巻線窓溝γ２を形成して完成
させる。最後に（ｉ）の工程では、Ｉ型半体ブロックコ
ア７ｏとＣ型半体コアブロック７１の両方又はどちらか
一方の突き合わせ面に８１０２などのギャップスペーサ
７３をスパッタリング等で付着せしめ、両コア接着用の
ガラス棒７４を巻線窓溝７２に挿入して加圧熱融着て接
合を完成する。上記ヘッド半休コアブロック対７０．７
１を接合した後円弧Ｂ−Ｂ線までギャップデプス粗研磨
を行ない、ヘッドとしてのアジマス角度を考慮して、Ｃ
−Ｃ，Ｄ−Ｄ切断線に沿１て切断する。In step (q), this track width regulating groove is filled with a high melting point glass material 69, and the mold half core block 7 is filled with a high melting point glass material 69.
Create 0. Furthermore, in the step (h), one C-shaped half core block 71 is attached to the other half-head core block (not shown) obtained in the step (d) (f), (9)
The winding window groove γ2 is formed and completed through the same process as in the process described above. Finally, in step (i), a gap spacer 73 such as 8102 is attached by sputtering or the like to the abutting surfaces of both or one of the I-type half block core 7o and the C-type half core block 71, and both cores are bonded. A glass rod 74 is inserted into the winding window groove 72, and the bonding is completed by pressurizing and heat-sealing the glass rod 74. Above head half-dead core block pair 70.7
After welding 1, perform gap depth rough polishing to the arc B-B line, consider the azimuth angle as a head, and
Cut along the cutting lines -C and DD.

ヘッドコアチップ（上記の例ではＣ−Ｃ，Ｄ−Ｄ線に挾
まれた部分）の磁気テープ摺動面を所望の曲率半径で円
弧状に鏡面研磨して、完成させる。The magnetic tape sliding surface of the head core chip (in the above example, the portion between lines C-C and D-D) is mirror-polished into an arc shape with a desired radius of curvature.

以上の様に構成された磁気ヘッドについて以下その動作
について、主として第１図に従って説明する。The operation of the magnetic head constructed as described above will be explained below, mainly with reference to FIG.

下部磁気コア３０．３１上にある先端チップ部材３２．
３３が、従来記録時に最も磁気飽和を起こし易いフロン
トギャップ４２周辺を構築し、複合磁性材料から成る上
部磁気コアを形成している。Distal tip member 32. on lower magnetic core 30.31.
33 constructs the area around the front gap 42 where magnetic saturation is most likely to occur during conventional recording, and forms an upper magnetic core made of a composite magnetic material.

巻線窓４９に巻回されるコイル（図示せず）に流れる記
録電流によって誘起される誘導磁束は下部磁気コア３ｏ
→強磁性金属膜３８→フロントギャップ４２→強磁性金
属膜３９→下部磁気コア３１→下部磁気コア３０の磁束
伝搬経路に沿って流れ、フロントギャップ４２での漏洩
磁束によって磁気テープ（図示せず）に信号が記録され
る。磁気テープへの飽和記録に必要なフロントギャップ
磁界は、ギャップ長、ギャップデプス、磁気テープとの
スペーシング量などに大きく依存するが、磁気テープの
有する抗磁力の４〜６倍以上とされる。The induced magnetic flux induced by the recording current flowing in the coil (not shown) wound around the winding window 49 is induced by the lower magnetic core 3o.
→ Ferromagnetic metal film 38 → front gap 42 → ferromagnetic metal film 39 → lower magnetic core 31 → lower magnetic core 30. The magnetic flux flows along the propagation path of the magnetic tape (not shown) due to leakage magnetic flux in the front gap 42. The signal is recorded. The front gap magnetic field required for saturation recording on a magnetic tape largely depends on the gap length, gap depth, spacing with the magnetic tape, etc., but is said to be 4 to 6 times or more the coercive force of the magnetic tape.

強磁性金属膜３８．３９が高飽和磁束密度であることか
ら、約１６００エルステツドの抗磁力を有する高密度記
録対応のメタルテープへの飽和記録が実現できる。また
磁束伝搬経路の中で、飽和磁束密度の低い下部磁気コア
３０．３１と強磁性金属膜３８．３９とのそれぞれの接
合（境界面４３゜４４）面積を大きくしていることから
、接合境界近傍で下部磁気コア３０．３１の磁気飽和を
防ぐことができる。設計上必要な上記接合面積はＸ字型
の強磁性金属膜３８．３９の幅Ｔで調整可能である。ま
た磁気テープ摺動面上で幅Ｔを有するＸ字型の強磁性金
属膜３８・、３９がフロントギャップ４２の垂直線に対
し角度αだけ傾斜してい名ため下部磁気コア３０．３１
との境界が出現せず、ベースコア４０．４１との境界に
出現する副次的ギャップに起因する再生出力周波数特性
上のみだれを傾斜角ａによるアジマス損失で消滅させる
効果がある。第４図の構成においては厚さ約０．１μｍ
の絶縁性層間膜５５．５６を挾んで強磁性金属膜５３．
６４を多層化することにより、強磁性金属膜５３．６４
の渦電流損失を低減し、ヘッドの高域出力の劣化を低減
するものである。Since the ferromagnetic metal films 38 and 39 have a high saturation magnetic flux density, saturation recording on a metal tape capable of high-density recording having a coercive force of about 1600 oersteds can be realized. In addition, in the magnetic flux propagation path, since the area of each junction (boundary surface 43° 44) between the lower magnetic core 30.31 with low saturation magnetic flux density and the ferromagnetic metal film 38.39 is increased, the junction boundary Magnetic saturation of the lower magnetic cores 30 and 31 in the vicinity can be prevented. The above-mentioned junction area required in design can be adjusted by adjusting the width T of the X-shaped ferromagnetic metal film 38,39. Further, on the magnetic tape sliding surface, X-shaped ferromagnetic metal films 38 and 39 having a width T are inclined at an angle α with respect to the perpendicular line of the front gap 42.
The effect is that the azimuth loss due to the inclination angle a eliminates the distortion in the reproduced output frequency characteristic caused by the secondary gap appearing at the boundary with the base core 40, 41. In the configuration shown in Figure 4, the thickness is approximately 0.1 μm.
The ferromagnetic metal film 53. is sandwiched between the insulating interlayer films 55.56.
By multilayering 64, the ferromagnetic metal film 53.64
This reduces the eddy current loss of the head and reduces the deterioration of the head's high-frequency output.

以上の様に本実施例によれば、磁路構成部材として、酸
化物磁性体の下部磁気コア上に強磁性金属膜が埋設され
た先端チップ部材を構築したことにより、ギャップスペ
ーサを挾んで対向するＣ型と１型の半体コアのフロント
ギャップの磁気飽和を防止し、かつ下部磁気コアとＸ字
型の強磁性金属膜との境界面積が大きくなることから境
界近傍での下部磁気コアの磁気飽和も防止することがで
きる。また磁気テープ摺動面上で強磁性金属膜と下部磁
気コアとの境界線の出現を除去し、酸化物磁性体のベー
スコアとの境界に出現する副次的ギャップ効果はフロン
トギャップに対する傾斜角で消滅させることができる。As described above, according to this embodiment, a tip tip member in which a ferromagnetic metal film is embedded on a lower magnetic core of an oxide magnetic material is constructed as a magnetic path forming member, so that the distal tip member is opposed to each other with a gap spacer in between. This prevents magnetic saturation in the front gap of the C-type and 1-type half cores, and increases the boundary area between the lower magnetic core and the X-shaped ferromagnetic metal film, so the lower magnetic core near the boundary Magnetic saturation can also be prevented. In addition, the appearance of the boundary line between the ferromagnetic metal film and the lower magnetic core on the magnetic tape sliding surface is eliminated, and the secondary gap effect that appears at the boundary with the base core of the oxide magnetic material is reduced by the inclination angle with respect to the front gap. It can be made to disappear.

また本実施例に示した製造工程によれば、先端チップ部
材となる基板にＸ字型の溝加工を施こし、この溝に強磁
性金属膜を埋込み、その表面が互いに接する様に磁気コ
アの母体ブロックに接合している。これはへラドチップ
完成のための磁気テープ摺動面研磨やギャップデプス加
工時に強磁性金属膜の露出が極めて少なく、機械加工に
起因する強磁性金属膜の加工変質や亀裂の発生、基板か
らのはく離などのトラブルを取り除く効果も大きい。先
端チップ部材のベースコアとなる基板材料の選択自由度
があり、磁気テープ摺動面の偏摩耗特性を考慮した場合
、強磁性金属膜と同等の硬度を有する基板選択が可能で
ある。Furthermore, according to the manufacturing process shown in this example, an X-shaped groove is formed on the substrate that will become the tip tip member, a ferromagnetic metal film is embedded in this groove, and the magnetic cores are formed so that the surfaces of the ferromagnetic metal films are in contact with each other. Connected to the base block. This is because there is very little exposure of the ferromagnetic metal film during magnetic tape sliding surface polishing and gap depth processing to complete the Herad chip, and the ferromagnetic metal film is subject to deterioration, cracking, and peeling from the substrate due to machining. It is also very effective in eliminating such problems. There is a degree of freedom in selecting the substrate material that will become the base core of the tip end member, and when considering the uneven wear characteristics of the sliding surface of the magnetic tape, it is possible to select a substrate that has the same hardness as the ferromagnetic metal film.

発明の効果 本発明は酸化物磁性材から成る下部磁気コアとフロント
ギャップ側及び磁気テープ摺動面上で上記フロントギャ
ップの垂直線に対して角度αで傾斜して延びるＸ字型で
帯状の強磁性金属膜を埋設した先端チップ部材とを組合
わせた複合材料磁気コアとすることにより、フロントギ
ャップ部及び強磁性金属膜との境界近傍の下部磁気コア
の磁気飽和を防止し、かつ副次的ギャップ効果を完全に
消失せしめることが可能である。先端チップ部材を下部
磁気コアと別個部材で構成することで、ベースコア材質
の選択自由度が大きいこと、ヘッドチップ仕上げ時の切
断や磁気テープ摺動面のラッピングにおいても、強磁性
金属膜の露出加工が少なく、機械加工に起因する強磁性
金属膜の特性劣化、亀裂、はく離などの発生を抑えるこ
とができるなど、量産性、耐摩耗性、記録再生周波数特
性。Effects of the Invention The present invention comprises a lower magnetic core made of an oxide magnetic material, and an X-shaped belt-shaped reinforcing element that extends on the front gap side and on the magnetic tape sliding surface at an angle α with respect to the perpendicular line of the front gap. By using a composite material magnetic core in combination with a tip tip member in which a magnetic metal film is embedded, magnetic saturation of the lower magnetic core near the front gap and the boundary with the ferromagnetic metal film is prevented, and secondary It is possible to completely eliminate the gap effect. By configuring the tip tip member as a separate member from the lower magnetic core, there is a greater degree of freedom in selecting the base core material, and the ferromagnetic metal film can be exposed even when cutting when finishing the head chip or lapping the magnetic tape sliding surface. It requires less machining and can suppress the deterioration of the ferromagnetic metal film's properties, cracking, and peeling caused by machining, making it suitable for mass production, wear resistance, and recording/reproducing frequency characteristics.

記録再生効率に優れた狭トラック幅、狭ギャップの磁気
ヘッドを実現できるものである。It is possible to realize a magnetic head with a narrow track width and a narrow gap that has excellent recording and reproducing efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの斜視図
、第２図は強磁性金属膜の傾斜角αを説明するだめの磁
気ヘッドの磁気テープ摺動面図、第３図（ａ）〜（ｉ）
は本発明の磁気ヘッドの製造工程を示す工程図、第４図
（ａ）、（ｂ）は従来の磁気ヘッドの斜視図及びｘ−ｘ
断面図、第６図はその他の従来の磁気ヘッドの斜視図で
ある。 ３０．３１・・・・・・下部磁気コア、３２．３３・・
・・・・先端チップ部材、３６．３７・・・・・・半休
コア、３８゜３９．６３・・・・・・強磁性金属膜、４
０．４１・・川・ベースコア、４２・・・・・・フロン
トキャラ７’、４３．４４・・・・・・境界面、４５．
４６・・・・・・境界線、４７．４８゜６８・・・・・
・トラック幅規制溝、４９．７２・・・・・・巻線窓、
５０．７３・・・・・・ギャップスペーサ、５１，５２
゜溝、６４・・・・・・平坦化基板、６６・・・・・・
母材ブロック、６６・・・・・・ヘッドブロック、６７
・・・・・・ヘッド半休ブロック、６９・・・・・・ガ
ラス材、７０・・・・・・工型半体コアブロック、７１
・・・・・・Ｃ型半体コアブロック、７４・・・・・・
ガラス棒。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名３Ｂ
、　３ｑ−−一皿目口生金Ａ僕 ジ、４ｊ−ベースコア 朽、４６−境界線 ５′−ギイツプスご−ブ 第４図 ／　　　　、ＹFIG. 1 is a perspective view of a magnetic head in an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view of the magnetic tape sliding surface of the magnetic head for explaining the inclination angle α of the ferromagnetic metal film, and FIG. 3(a) ~(i)
4(a) and 4(b) are perspective views and x-x of the conventional magnetic head.
The sectional view and FIG. 6 are perspective views of other conventional magnetic heads. 30.31...Lower magnetic core, 32.33...
... Tip tip member, 36.37 ... Half-dead core, 38°39.63 ... Ferromagnetic metal film, 4
0.41... River/base core, 42... Front character 7', 43.44... Boundary surface, 45.
46... Boundary line, 47.48°68...
・Track width regulation groove, 49.72... winding window,
50.73...Gap spacer, 51,52
° Groove, 64... Flattened substrate, 66...
Base material block, 66...Head block, 67
...Head half-rest block, 69...Glass material, 70...Mold half core block, 71
・・・・・・C type half core block, 74・・・・・・
glass rod. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person 3B
, 3q--First plate mouth raw metal A Bokuji, 4j-Base core rot, 46-Boundary line 5'-Gytsupusu-bu Figure 4/,Y

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）酸化物磁性体から成る下部磁気コアとフロントギ
ャップを形成する強磁性金属膜とで磁気回路が形成され
、上記強磁性金属膜は、上記強磁性金属膜厚と磁気テー
プ摺動面の曲率半径とで決まる長さで、かつ上記磁気テ
ープ摺動面上でフロントギャップ面を対称中心とした所
定の傾斜角でＸ字型に開脚露出され、さらに上記下部磁
気コアと面接していることを特徴とする磁気ヘッド。(1) A magnetic circuit is formed by a lower magnetic core made of an oxide magnetic material and a ferromagnetic metal film forming a front gap, and the ferromagnetic metal film has a thickness that matches the ferromagnetic metal film thickness and the magnetic tape sliding surface. The legs are exposed in an X-shape with a length determined by the radius of curvature and at a predetermined inclination angle with the front gap surface as the center of symmetry on the magnetic tape sliding surface, and further face the lower magnetic core. A magnetic head characterized by: （２）磁気テープ摺動面上でフロントギャップ面に対称
中心として所定の傾斜角でＸ字型に開脚露出する帯状の
強磁性金属膜の長側線は、トラック幅方向の磁気ヘッド
側線と交差していることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の磁気ヘッド。(2) The long side line of the strip-shaped ferromagnetic metal film, which is exposed in an X-shape at a predetermined angle of inclination and symmetrically centered on the front gap plane on the magnetic tape sliding surface, intersects the side line of the magnetic head in the track width direction. A magnetic head according to claim 1, characterized in that: （３）強磁性金属膜と酸化物磁性体から成る下部磁気コ
アとはそれぞれ別個部材より構成されていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッド。(3) A magnetic head according to claim 1, wherein the ferromagnetic metal film and the lower magnetic core made of an oxide magnetic material are each constructed from separate members. （４）酸化物磁性体から成る下部磁気コアとフロントギ
ャップを形成する強磁性金属膜とで磁気回路を形成する
に際し、上記強磁性金属膜は、上記強磁性金属膜の膜厚
より深いＸ字型の溝を有する酸化物磁性体から成る基板
上にスパッタリング等により被着され、上記溝内に形成
される上記強磁性金属膜の表面と同一平面となる様に上
記基板表面の平坦化加工を行ない、上記平坦化加工面が
下部磁気コアの母材ブロックと対面する如く接合してヘ
ッドブロックを形成し、しかる後に上記ヘッドブロック
を２等分切断し、それぞれＣ型、Ｉ型半体コアに加工す
ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。(4) When forming a magnetic circuit with a lower magnetic core made of an oxide magnetic material and a ferromagnetic metal film forming a front gap, the ferromagnetic metal film has an X-shape that is deeper than the film thickness of the ferromagnetic metal film. It is deposited by sputtering or the like on a substrate made of an oxide magnetic material having grooves in the shape of a mold, and the surface of the substrate is flattened so that it is flush with the surface of the ferromagnetic metal film formed in the grooves. The flattened surface faces the base material block of the lower magnetic core to form a head block, and the head block is then cut into two equal parts to form C-shaped and I-shaped half cores. A method of manufacturing a magnetic head characterized by processing.