JPS6380541A - マウント装置 - Google Patents
マウント装置Info
- Publication number
- JPS6380541A JPS6380541A JP22679486A JP22679486A JPS6380541A JP S6380541 A JPS6380541 A JP S6380541A JP 22679486 A JP22679486 A JP 22679486A JP 22679486 A JP22679486 A JP 22679486A JP S6380541 A JPS6380541 A JP S6380541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load
- arm
- mounting
- voice coil
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 10
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体チップをステム等上にマウントするマウ
ント装置に関する。
ント装置に関する。
この種のマウント装置においては半導体チップを破損す
る恐れ等があるためにチップをピックアップする時には
できるだけ少ない荷重（０であることが望ましい）で行
いまたステム等の上にマウントする時にはマウント強度
を出すため所定の荷重をかけなければならなかった。し
かしながら従来のマウント装置は荷重をかけるためにス
プリングを用いていたため上述の様に使い分けることが
困難であう、それを解決しようとするとマウントアーム
部は例えば図２に示す様に２本のレバーを用いる等の複
雑な機構を用いなければならなかった。
る恐れ等があるためにチップをピックアップする時には
できるだけ少ない荷重（０であることが望ましい）で行
いまたステム等の上にマウントする時にはマウント強度
を出すため所定の荷重をかけなければならなかった。し
かしながら従来のマウント装置は荷重をかけるためにス
プリングを用いていたため上述の様に使い分けることが
困難であう、それを解決しようとするとマウントアーム
部は例えば図２に示す様に２本のレバーを用いる等の複
雑な機構を用いなければならなかった。
第２図において半導体チップをピックアップする時には
、ピックアップレバー１を一点鎖線の位置まで下げる。
、ピックアップレバー１を一点鎖線の位置まで下げる。
このときマウントアーム５は上下スライドブロック６に
固定されており、該ブロックに設置されたカムフォロワ
８Ｆｉスプリング３によシ常にマウントアーム上下用カ
ム９に密着しているためマウントアームの下死点は常に
一定高さであシ半導体チップには荷重がかからない。
固定されており、該ブロックに設置されたカムフォロワ
８Ｆｉスプリング３によシ常にマウントアーム上下用カ
ム９に密着しているためマウントアームの下死点は常に
一定高さであシ半導体チップには荷重がかからない。
また、半導体チップをステム上にマウントする時にはマ
ウントレバー２を一点鎖線の位置まで下げる。このとき
カム７オロワはカム９より離れてマウントアーム５には
スライドブロック６の自重とピックアップ用スプリング
３とマウント用スプリング４のつり合い力によシマラン
ト荷重がかかる。
ウントレバー２を一点鎖線の位置まで下げる。このとき
カム７オロワはカム９より離れてマウントアーム５には
スライドブロック６の自重とピックアップ用スプリング
３とマウント用スプリング４のつり合い力によシマラン
ト荷重がかかる。
しかし上述したように従来のこの種のマウント製電は機
構が複雑なためにマウント作業自体も複雑となりそれに
伴い作業性が悪くまた２本のレバーを使用していたため
誤操作を起こしやすくスムーズに作業を行うにはかなシ
の熟練を要していた。
構が複雑なためにマウント作業自体も複雑となりそれに
伴い作業性が悪くまた２本のレバーを使用していたため
誤操作を起こしやすくスムーズに作業を行うにはかなシ
の熟練を要していた。
また、スプリングのつシ合い力によりマウント荷重をか
けていたため荷重の安定性に欠けるうえに、作業上マウ
ント荷重の管理が困難であるなどの欠点があった。
けていたため荷重の安定性に欠けるうえに、作業上マウ
ント荷重の管理が困難であるなどの欠点があった。
本発明は前記問題点を解消した半導体チップのマウント
装置を提供するものである。
装置を提供するものである。
本発明は上下動作するマウントアームの下部にボイスコ
イルを設置しマウントアームの荷重をボイスコイルにて
軽減する方向に働かせマウントアームの荷重とコイルの
力との差をマウント荷重としてかけることを特徴とする
マウント装置である。
イルを設置しマウントアームの荷重をボイスコイルにて
軽減する方向に働かせマウントアームの荷重とコイルの
力との差をマウント荷重としてかけることを特徴とする
マウント装置である。
次に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１図に本発明の一実施例を示す。
まず半導体チップをピックアップする時には共用レバー
１４を一点鎖線（Ｉ）の位ｔまで下げる。
１４を一点鎖線（Ｉ）の位ｔまで下げる。
このときマウントアーム５は上下スライドブロック６に
固定されており、該ブロックに設置されたカムフォロワ
８はブロックの自重によりマウントアーム上下用カムに
密着しているためマウントアームの下死点は常に一定高
さであシ半導体チップには荷重がかからない。
固定されており、該ブロックに設置されたカムフォロワ
８はブロックの自重によりマウントアーム上下用カムに
密着しているためマウントアームの下死点は常に一定高
さであシ半導体チップには荷重がかからない。
また半導体チップをステム上にマウントする時には共用
レバー１４を二点鎖線（（Ｉ）の位置まで下げる。この
とき共用レバー１４が一点鎖線ＣＩ）の位置を通過直後
にカムフォロワ８はカム９よシ離れる。と同時に上下ス
ライドブロック下部に設けられたアングル１２によシ固
定ブロック１０に設けられたマイクロスイッチ１３が押
されスライドブロック下部に設置されたボイスコイルに
上方向の力が働く。そのためマウントアーム５にはスラ
イドブロック全体の自重とボイスコイル１１の力との差
がマウント荷重としてかかることＫなる。
レバー１４を二点鎖線（（Ｉ）の位置まで下げる。この
とき共用レバー１４が一点鎖線ＣＩ）の位置を通過直後
にカムフォロワ８はカム９よシ離れる。と同時に上下ス
ライドブロック下部に設けられたアングル１２によシ固
定ブロック１０に設けられたマイクロスイッチ１３が押
されスライドブロック下部に設置されたボイスコイルに
上方向の力が働く。そのためマウントアーム５にはスラ
イドブロック全体の自重とボイスコイル１１の力との差
がマウント荷重としてかかることＫなる。
ボイスコイルにかかる力は付設されたボイスコイル電源
（図示せず）の調整つまみにて電流メータを見ながら設
定できるようになっている。
（図示せず）の調整つまみにて電流メータを見ながら設
定できるようになっている。
以上説明したように本発明においてはマウントアームを
上下させるレバーを１本化することにより、またマウン
ト荷重をかけるのにボイスコイルを用いているため機構
が簡略化されている。このためマウント作業自体゛も簡
略化され操作ミスも起こしにくくなシスムーズな作業を
行うことができる。またマウント荷重はボイスコイル電
源の電流値にて設定できるので荷重が安定し作業上マウ
ント荷重の管理も容易になるなど多大な効果が得られる
。
上下させるレバーを１本化することにより、またマウン
ト荷重をかけるのにボイスコイルを用いているため機構
が簡略化されている。このためマウント作業自体゛も簡
略化され操作ミスも起こしにくくなシスムーズな作業を
行うことができる。またマウント荷重はボイスコイル電
源の電流値にて設定できるので荷重が安定し作業上マウ
ント荷重の管理も容易になるなど多大な効果が得られる
。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を示す側面図、第１図
（ｂ）は正面図、第２図（ａ）は従来例を示す側面図、
第２図（ｂ）は正面図である。 １・・・・・・ピックアップレバー、２・・・・・・マ
ウントレバー、３・・・・・・ピックアップ用スプリン
グ、４・・・・・・マウント用スプリング、５・−・・
・・マウントアーム、６・・・・・・上下スライドブロ
ック、７・・・・・・マウント用カム７オロワ、８・・
・・・・ピックアップ用カムフォロワ、９・・・・・・
カム、１０・・・・・・固定ブロック、１１・・・・・
・ボイスコイル、１２・・・・・・アングル、１３・・
・・・・マイクロスイッチ、１４・・・・・・共用レバ
ー。 代理人 弁理士 内 原 晋ｔ” ′’−：゛１
゜′、−１− （ｂ） ｌ 画 茅 Ｃｂ） ２ 回
（ｂ）は正面図、第２図（ａ）は従来例を示す側面図、
第２図（ｂ）は正面図である。 １・・・・・・ピックアップレバー、２・・・・・・マ
ウントレバー、３・・・・・・ピックアップ用スプリン
グ、４・・・・・・マウント用スプリング、５・−・・
・・マウントアーム、６・・・・・・上下スライドブロ
ック、７・・・・・・マウント用カム７オロワ、８・・
・・・・ピックアップ用カムフォロワ、９・・・・・・
カム、１０・・・・・・固定ブロック、１１・・・・・
・ボイスコイル、１２・・・・・・アングル、１３・・
・・・・マイクロスイッチ、１４・・・・・・共用レバ
ー。 代理人 弁理士 内 原 晋ｔ” ′’−：゛１
゜′、−１− （ｂ） ｌ 画 茅 Ｃｂ） ２ 回
Claims (1)
- ステム等上にペレットをマウントするマウント装置にお
いて、上下動作するマウントアームの下部にボイスコイ
ルを設置し上記マウントアームの荷重をボイスコイルに
て軽減する方向に働かせ、マウントアームの荷重とコイ
ルの力との差をマウント荷重としてかけることを特徴と
するマウント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22679486A JPS6380541A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | マウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22679486A JPS6380541A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | マウント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6380541A true JPS6380541A (ja) | 1988-04-11 |
Family
ID=16850719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22679486A Pending JPS6380541A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | マウント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6380541A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006133456A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Ricoh Co Ltd | 画像読み取りユニット、スキャナ装置及び画像形成装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53139975A (en) * | 1977-05-12 | 1978-12-06 | Fujitsu Ltd | Production of multi-element semiconductor device |
-
1986
- 1986-09-24 JP JP22679486A patent/JPS6380541A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53139975A (en) * | 1977-05-12 | 1978-12-06 | Fujitsu Ltd | Production of multi-element semiconductor device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006133456A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Ricoh Co Ltd | 画像読み取りユニット、スキャナ装置及び画像形成装置 |
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