JPS6379716A - 硫化珪素の製造方法 - Google Patents

硫化珪素の製造方法

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JPS6379716A
JPS6379716A JP22435986A JP22435986A JPS6379716A JP S6379716 A JPS6379716 A JP S6379716A JP 22435986 A JP22435986 A JP 22435986A JP 22435986 A JP22435986 A JP 22435986A JP S6379716 A JPS6379716 A JP S6379716A
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JP
Japan
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silicon
sulfur
sulfide
silicon sulfide
carrier gas
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Application number
JP22435986A
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English (en)
Inventor
San Abe
賛 安部
Kazuaki Takada
和明 高田
Masahiro Ogawa
正宏 小川
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Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し産業上の利用分野] 本発明は硫化珪素の製造方法に関し、特に安価かつ大邑
生″産の可能な硫化珪素の製造方法に関する。
[従来の技術] 従来、硫化珪素の製造方法においては以下に述べる3つ
の反応を利用して実験室レベルで硫化珪素の製造が可能
である。その1つには二酸化珪素と硫化アルミニウムを
反応させて酸化アルミニウムとともに硫化珪素を合成す
る方法である。その2番目としては例えばテトラエチル
チオシリコン(Si (SC28s)a)を熱分解して
ジエチルスルフィドとともに硫化珪素を製造する方法が
ある。その3番目としては硫化水素と金属珪素とを反応
させて水素とともに硫化珪素を製造する方法がある。
[発明が解決しようとする問題点] 上記製造方法においては原料が高価でありかつ大m生産
には向かない。
本発明は安価かつ工業的に大m生産が可能な硫化珪素の
製造方法を提供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段] 本発明の硫化珪素の製造方法は、硫黄蒸気をキャリアガ
スとともに反応装置に供給する第1工程と、 該反応Vtt内で珪素粉末を反応温度に加熱し、該珪素
粉末の表面で該硫黄蒸気と珪素と反応させて硫化珪素を
合成する第2工程と、を有することをさらに有する硫化
珪素の製造方法である。
第1工程は、硫黄蒸気をキャリアガスとともに反応装置
に供給する工程である。この第1工程において用いられ
る加熱温度は硫黄蒸気を発生させる温度であればよい。
この硫黄蒸気は、通常融点前後に加熱することにより十
分な蒸気を得る。従って通常硫黄蒸気を発生させる温度
は400〜500℃程度の温度が好ましい。又、このキ
ャリアガスとしては硫黄蒸気および珪素粉末に対して所
定の温度で不活性なガスであればよく、例えばアルゴン
又は水素ガス等とすることができる。またこの硫黄蒸気
を得るための原料の硫黄は種々の形態のものを用いるこ
とができ、通常は粉末状のものが用いられる。
第21程゛は、上記反応装置内で珪素粉末を所定温度に
加熱し該珪素粉末の表面で硫黄蒸気と珪素と反応させて
硫化珪素とする工程である。
この第2工程においては硫黄蒸気と珪素と反応させて硫
化珪素を得る条件であればよい。この第2工程における
反応温度としては800〜1200℃が好ましい。硫黄
と珪素のように融点が太き(異なる物質同志の同相反応
は一般に困難である。
そこで本発明においては1410℃という高融点である
珪素粉末を粒成長の生じにくい800〜1200℃に加
熱し粉末表面の活性度を上げておくのが好ましい。なお
1200℃以上特に融点以上の温度においては珪素粉末
どうしが固結して活性な表面積が減少して好ましくない
。又、この反応温度が800〜1200℃の場合には硫
化珪素の昇華点が1120℃であるためこの温度範囲で
は反応が進むと同時に表面から次々と製造された硫化珪
格がp華するため反応が絶えまなく継V:する。
上記第2工程においては硫化珪素を合成させた侵、この
硫化珪素を昇華させて気化させる工程を設け、該キャリ
アガスで気化された該硫化珪素を反応装置外に取出す工
程を設けるのが好ましい。
又、これらの工程を連続して実施するのがざらに好まし
い。なお硫化珪素を製造する工程と、該硫化珪素を昇華
させて気化させこの硫化珪素を反応系外に取出す工程と
を別個に設けることもできる。即ち、できるだけ微粉末
の珪素を用いて約500〜800℃程度の比較的低温な
温度で珪素粉末の表面で硫黄蒸気と珪素粉末を反応させ
て表面に硫化珪素を有する粉末を製造し、この粉末を合
成装置から別個に取出しこの粉末を1100″C以上の
温度に加熱して表面に生成した硫化珪素を昇華させて分
離することもできる。
上記反応装置は例えばキャリアガスを硫黄気化装置へ供
給するためのキャリアガス供給装置と、該キャリアガス
供給5A置と連結し加熱手段を有する硫黄気化装置と、
該硫黄気化装置と連結し加熱手段を有する硫化珪素合成
装置と、必要に応じて配置される、該硫化珪素合成装置
と連結する硫化珪素取出し装置と、から成るものとする
ことができる。
[発明の効果] 本発明の硫化珪素の製造方法は、比較的低融点の硫黄か
らなる硫黄蒸気をキャリアガスとともに反応装置に供給
する第1工程と、該反応装置内で珪素粉末を反応温度に
加熱し該珪素粉末の表面で該硫黄蒸気と珪素と反応させ
て硫化珪素を合成する第2工程と、からなることをさら
に有する特許て本製造方法においては原料の安価な硫黄
と珪素粉末を用い、かつ硫黄蒸気と活性化された珪素を
反応させるので安価に、かつ大量に硫化珪素を製造する
ことができる。
特に本製造方法において硫黄蒸気と珪素とを反応させて
硫化珪素とし、かつ該硫化珪素を昇華させて気化させる
工程を有する場合には、硫化珪素となる反応が次々と絶
えまなく生じるので硫化珪素を製造する効率が極めて良
い。
[実施例] 以下、実施例により本発明を説明する。
まず本実施例で用いられた装置を第1図に示す。
キャリアガスを硫黄気化装置へ供給するためのキャリア
ガス供給装置1が流量調節弁2を通じて該硫黄気化′v
t置3の一端に連結されている。硫黄気化装置3は硫黄
を気化させる気化容器4と該気化容器4周囲に配置され
たヒータ5とから成る。
硫化珪素合成装置6は、その一端が該気化容器4と連通
し、その他端は合成ガス排出口11となっている反応容
器7と該反応容器7の周囲に配置されたヒータ8とから
成る。該反応容器7内の反応室と該気化容器4は一体的
に耐熱材料(ステンレスI)で構成されているが、該反
応容器7内の反応室と該気化容器4内の気化室とはステ
ンレス鋼で仕切られており、さらに、この反応容器7内
は細孔をもつ複数の仕切り板9で数段階に仕切られてい
る。なお、これらの硫黄気化装置3および硫化珪素合成
装置6の外周は断熱材10で覆われている。
この各仕切り板9上に200メツシユ以下の珪素粉末(
14度98重量%)13を堆積するように配置する。又
、気化容器4内には硫黄粉末(純度99.9%゛)12
が投入され堆積されている。
この装置を用いて以下の方法により硫化珪素を製造した
キャリアガス供給袋W1の流量調節弁2を開き、アルゴ
ン又は水素のキャリアガスを217分程度に気化容器4
および反応容器7全体に流出させ、完全にこれらの容器
4.7内をキャリアガスで置換した。その後ヒータ8に
て珪素粉末13を800〜1200℃まで加熱した。続
いてヒータ5にて硫黄12を融点面接に加熱しこの硫黄
蒸気を発生させるとともに反応容器7に送り出した。そ
して約1時間加熱後冷却すると合成ガス排出口11の部
分に多量の硫化■↑素素体体(りた。
さらに同様の温度で6時間加熱すると原料の珪素粉末は
ほとんど消滅し多量の硫化珪素固体を得ることができた
。この場合収率は約80%であった。
本実施例においては原料を硫黄および珪素粉末であり、
かつ反応温度が800〜1200℃であるので、安価な
原料を用いると同時に硫化珪素が次々と昇華する。従っ
て本製造方法によれば安価かつ大量に硫化珪素を製造す
ることができる。又、本製造方法では硫黄気化容器と反
応容器が仕切られており硫黄気化工程と硫化珪素合成工
程とが別個に行なわれ固気相反窓により硫化珪素を製造
するので反応の細かな制御が可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例において硫化珪素を製造する場合の製造
装置の概略説明図である。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)硫黄蒸気をキャリアガスとともに反応装置に供給
    する第1工程と、  該反応装置内で珪素粉末を反応温度に加熱し、該珪素
    粉末の表面で該硫黄蒸気と珪素と反応させて硫化珪素を
    合成する第2工程と、を有することを特徴とする硫化珪
    素の製造方法。
  2. (2)第2工程は、硫化珪素を合成するとともにこの合
    成された該硫化珪素を昇華させて気化させる気化工程を
    有する特許請求の範囲第1項記載の硫化珪素の製造方法
  3. (3)第2工程は、硫化珪素を昇華させて気化させると
    ともにこの気化された該硫化珪素をキャリアガスで反応
    装置外に取り出す取出工程をさらに有する特許請求の範
    囲第2項記載の硫化珪素の製造方法。
  4. (4)第1工程、第2工程、気化工程および取出し工程
    を連続して実施する特許請求の範囲第3項記載の硫化珪
    素の製造方法。
  5. (5)第2工程の反応温度は800〜1200℃である
    特許請求の範囲第1項記載の硫化珪素の製造方法。
  6. (6)反応装置はキャリアガスの流入口、流出口をもつ
    反応室と、加熱部とを有し、珪素粉末は該反応室内に保
    持されている特許請求の範囲第1項記載の硫化珪素の製
    造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5843391A (en) * 1996-04-16 1998-12-01 Furukawa Co., Ltd. Method of manufacturing silicon sulfide
EP0994071A2 (en) * 1996-04-16 2000-04-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Lithium ion-conductive solid electrolyte and method for producing the same
US7155781B2 (en) 2002-12-19 2007-01-02 Kabushiki Kaisha Strawberry Corporation Electronic instrument

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5843391A (en) * 1996-04-16 1998-12-01 Furukawa Co., Ltd. Method of manufacturing silicon sulfide
EP0994071A2 (en) * 1996-04-16 2000-04-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Lithium ion-conductive solid electrolyte and method for producing the same
EP0994071A3 (en) * 1996-04-16 2000-05-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Lithium ion-conductive solid electrolyte and method for producing the same
US7155781B2 (en) 2002-12-19 2007-01-02 Kabushiki Kaisha Strawberry Corporation Electronic instrument

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