JPS6376447A - プロ−ブカ−ドおよびプロ−ブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、半導体ウェハ上に形成された半導体素子の電
気的特性をプローブ針を用いて測定、検査等のプロービ
ング検査するためのプローブカードおよびこのプローブ
カードを用いてプロービングを行なうプローブ装置に関
する。

［発明の背景］ 半導体製造プロセスにおいて、半導体ウェハ上に多数格
子状に形成された半導体素子の電気的特性を測定、検査
するためにプローブ装置（ブローバ）が用いられている
。このプローブ装置は、ウェハ上の各半導体素子の電極
と同じ位置、配列の触針（プローブ針）を有するプロー
ブカードを装置に装着してウェハをステップ送りしなが
ら各半導体素子に対しプローブ針を接触させ、このプロ
ーブカードと接続するテスタにより各種電気的特性を検
査（プロービング）するものである。

このようなプロービング検査を行なう場合、各クエへに
対応して必要な検査の種類、方法、条件等各種のデータ
を装置に人力し、プロービングの設定を行なう。

［従来の技術］ 従来のプローブ装置においては、プロービングの検査条
件等の設定はディップスイッチ、ＣＲＴとキーボード、
フロッピーディスク等を用いて行なわれていた。

しかしながら、このような従来の設定方法においては、
多種類のウェハを検査する場合にこれに応じてプローブ
カードを頻繁に交換しなければならないが、このような
場合に、プローブカードの交換毎にプロービングの設定
操作を行なわなければならなかりた。従って、プロービ
ング設定操作が面倒になりプロービング作業が多くの手
間を要　　　。

するものとなり、またオペレータの操作ミス等を起す場
合があり、プロービングの信顆性の低下を来していた。

［発明の目的］ 本発明は前記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、プロービングの検査条件等の設定操作を自動的に行
ないプロービング作業の効率化を図りまたプローブテス
トの自動化を可能とするプローブカードおよびプローブ
装置の提供を目的とする。

［実施例］ 第１図は本発明に係るプローブカードの平面図である。

プローブカード１は検査（プローブテスト）すべき半導
体素子（図示しない）の電極位置に対応した複数のプロ
ーブ針３を具備する。２はエツジコネクタであり、測定
検査用テスタ（図示しない）に接続される。プローブカ
ード１上には不揮発性メモリであるＥＥＰＲＯＭからな
る記憶回路４が設けられている。５は記憶回路４とブロ
ーバ側の読取り回路および書込み回路とを接続するため
のコネクタである。このコネクタ５を介して記憶回路４
のＥＥＰＲＯＭ６は、第２図に示すように、データバス
フ、アドレスバス８、リード・ライト用コントロール信
号バス９、電源バス１０等を介してプローバと各種信号
交換を行なう。このＥＥＰＲＯＭ６には前もって各種デ
ータを書込んでおくこともできるし、またはプローブに
備わる書込み回路を用いて新たにデータを書込んでもよ
い。ＥＥＰＲＯＭ６に書込むプロービング検査の設定に
必要なデータとしては、例えば、ウェハのＸＹ方向のイ
ンデックスサイズ、ウェハサイズ、ウニへのオリエンテ
ーションフラットの方向、テストする半導体素子の座標
、有効プローブエリア、テスト時のオーバードライブ量
と速度（ｚ−ｕｐスピード）、テンプレート等のオート
アライメントのためのデータ等のプローブ装置のための
データや検査の条件などテスタのためのデータが記憶さ
れる。

このようなプローブカードがプローブ装置に装着される
と、コネクタ５を介してプローブ装置の読取り回路がＥ
ＥＰＲＯＭ６に記憶された前記データを読取ってこの読
取ったデータに基いてプロービング検査を行なう。プロ
ービング検査の条件が変った場合には、ＣＲＴとキーボ
ード等によってデータを変更しプローブ装置の書込み回
路等を用いて変更データを再びＥＥＰＲＯＭ６に書込み
、次回からのプローブ検査の設定用データとして記憶さ
せておく。

前記実施例ではＥＥＰＲＯＭ用コネクタ５を別に設けて
いるが、テスト用のエツジコネクタ２の一部をＥ　Ｅ　
Ｐ　ＲＯＭ回路接続用に使用してもよい。また不揮発性
メモリとしてプログラム変更可能なＥＥＰＲＯＭの代り
に、車にデータ書込み可能な通常のＦＲＯＭを用いても
よい。入力データとしてプロービング検査条件の他に、
プローブカード位置決めのためにプローブカードの基準
点からのプローブ針の位置座標を入力し、カード位置合
せを自動化してもよい。また、ＥＥＰＲＯＭ（Ｄ記憶デ
ータをテスタで読み書きし、このテスタとプローブ装置
との間のデータ通信によりＥＥＰＲＯＭのデータを間接
的にプローブ装置が読み書きしてもよい。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明に係るプローブカードにお
いては、プロービングに必要なデータを記憶した不揮発
性メモリを具備しているため、プロービング検査時にプ
ローブ装置がこのデータを読み出すことにより、従来非
常に面倒であったクエへの種類変更時のプローブ装置の
各種試験データ設定を容易に確実に行なうことができる
。また、これによりプローブ装置の検査条件設定が自動
化できるとともにプローブカードの自動交換も可能にな
る。さらに検査データの管理をプローブカードを用いて
行なうことができるためデータ管理が容易になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るプローブカードの平面図、第２図
は第１図のプローブカードに設けるＥＥＰＲＯＭ回路の
ブロック図である。 １ニブローブカード、 ３ニブローブ針、 ４：記憶回路、 ５：コネクタ、 ６　：　ＥＥＰＲＯＭ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、半導体素子のプロービング検査用プローブ針と、該
   プローブ針を半導体テスタに接続する接続手段と、検査
   用データを記憶したメモリ手段を具備することを特徴と
   するプローブカード。 ２、前記メモリ手段はＥＥＰＲＯＭであることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のプローブカード。 ３、前記メモリ手段はＰＲＯＭであることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載のプローブカード。 ４、前記メモリ手段は検査用データの他にカード位置決
   めのためのプローブ針の位置データを記憶したことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項から第３項までのいずれ
   か１項記載のプローブカード。 ５、プロービング検査用プローブ針および検査用データ
   を記憶したメモリ手段を具備したプローブカードメモリ
   手段のデータを読取る手段を備え、該読取ったデータに
   基いてプロービング検査を行なうことを特徴とするプロ
   ーブ装置。 ６、前記メモリ手段に対してデータを書込む手段を具備
   したことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載のプロ
   ーブ装置。