JPS6376447A - プロ−ブカ−ドおよびプロ−ブ装置 - Google Patents
プロ−ブカ−ドおよびプロ−ブ装置Info
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- JPS6376447A JPS6376447A JP21940486A JP21940486A JPS6376447A JP S6376447 A JPS6376447 A JP S6376447A JP 21940486 A JP21940486 A JP 21940486A JP 21940486 A JP21940486 A JP 21940486A JP S6376447 A JPS6376447 A JP S6376447A
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- Japan
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- probe
- data
- probing
- memory means
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000013523 data management Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の分野]
本発明は、半導体ウェハ上に形成された半導体素子の電
気的特性をプローブ針を用いて測定、検査等のプロービ
ング検査するためのプローブカードおよびこのプローブ
カードを用いてプロービングを行なうプローブ装置に関
する。
気的特性をプローブ針を用いて測定、検査等のプロービ
ング検査するためのプローブカードおよびこのプローブ
カードを用いてプロービングを行なうプローブ装置に関
する。
[発明の背景]
半導体製造プロセスにおいて、半導体ウェハ上に多数格
子状に形成された半導体素子の電気的特性を測定、検査
するためにプローブ装置(ブローバ)が用いられている
。このプローブ装置は、ウェハ上の各半導体素子の電極
と同じ位置、配列の触針(プローブ針)を有するプロー
ブカードを装置に装着してウェハをステップ送りしなが
ら各半導体素子に対しプローブ針を接触させ、このプロ
ーブカードと接続するテスタにより各種電気的特性を検
査(プロービング)するものである。
子状に形成された半導体素子の電気的特性を測定、検査
するためにプローブ装置(ブローバ)が用いられている
。このプローブ装置は、ウェハ上の各半導体素子の電極
と同じ位置、配列の触針(プローブ針)を有するプロー
ブカードを装置に装着してウェハをステップ送りしなが
ら各半導体素子に対しプローブ針を接触させ、このプロ
ーブカードと接続するテスタにより各種電気的特性を検
査(プロービング)するものである。
このようなプロービング検査を行なう場合、各クエへに
対応して必要な検査の種類、方法、条件等各種のデータ
を装置に人力し、プロービングの設定を行なう。
対応して必要な検査の種類、方法、条件等各種のデータ
を装置に人力し、プロービングの設定を行なう。
[従来の技術]
従来のプローブ装置においては、プロービングの検査条
件等の設定はディップスイッチ、CRTとキーボード、
フロッピーディスク等を用いて行なわれていた。
件等の設定はディップスイッチ、CRTとキーボード、
フロッピーディスク等を用いて行なわれていた。
しかしながら、このような従来の設定方法においては、
多種類のウェハを検査する場合にこれに応じてプローブ
カードを頻繁に交換しなければならないが、このような
場合に、プローブカードの交換毎にプロービングの設定
操作を行なわなければならなかりた。従って、プロービ
ング設定操作が面倒になりプロービング作業が多くの手
間を要 。
多種類のウェハを検査する場合にこれに応じてプローブ
カードを頻繁に交換しなければならないが、このような
場合に、プローブカードの交換毎にプロービングの設定
操作を行なわなければならなかりた。従って、プロービ
ング設定操作が面倒になりプロービング作業が多くの手
間を要 。
するものとなり、またオペレータの操作ミス等を起す場
合があり、プロービングの信顆性の低下を来していた。
合があり、プロービングの信顆性の低下を来していた。
[発明の目的]
本発明は前記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、プロービングの検査条件等の設定操作を自動的に行
ないプロービング作業の効率化を図りまたプローブテス
トの自動化を可能とするプローブカードおよびプローブ
装置の提供を目的とする。
て、プロービングの検査条件等の設定操作を自動的に行
ないプロービング作業の効率化を図りまたプローブテス
トの自動化を可能とするプローブカードおよびプローブ
装置の提供を目的とする。
[実施例]
第1図は本発明に係るプローブカードの平面図である。
プローブカード1は検査(プローブテスト)すべき半導
体素子(図示しない)の電極位置に対応した複数のプロ
ーブ針3を具備する。2はエツジコネクタであり、測定
検査用テスタ(図示しない)に接続される。プローブカ
ード1上には不揮発性メモリであるEEPROMからな
る記憶回路4が設けられている。5は記憶回路4とブロ
ーバ側の読取り回路および書込み回路とを接続するため
のコネクタである。このコネクタ5を介して記憶回路4
のEEPROM6は、第2図に示すように、データバス
フ、アドレスバス8、リード・ライト用コントロール信
号バス9、電源バス10等を介してプローバと各種信号
交換を行なう。このEEPROM6には前もって各種デ
ータを書込んでおくこともできるし、またはプローブに
備わる書込み回路を用いて新たにデータを書込んでもよ
い。EEPROM6に書込むプロービング検査の設定に
必要なデータとしては、例えば、ウェハのXY方向のイ
ンデックスサイズ、ウェハサイズ、ウニへのオリエンテ
ーションフラットの方向、テストする半導体素子の座標
、有効プローブエリア、テスト時のオーバードライブ量
と速度(z−upスピード)、テンプレート等のオート
アライメントのためのデータ等のプローブ装置のための
データや検査の条件などテスタのためのデータが記憶さ
れる。
体素子(図示しない)の電極位置に対応した複数のプロ
ーブ針3を具備する。2はエツジコネクタであり、測定
検査用テスタ(図示しない)に接続される。プローブカ
ード1上には不揮発性メモリであるEEPROMからな
る記憶回路4が設けられている。5は記憶回路4とブロ
ーバ側の読取り回路および書込み回路とを接続するため
のコネクタである。このコネクタ5を介して記憶回路4
のEEPROM6は、第2図に示すように、データバス
フ、アドレスバス8、リード・ライト用コントロール信
号バス9、電源バス10等を介してプローバと各種信号
交換を行なう。このEEPROM6には前もって各種デ
ータを書込んでおくこともできるし、またはプローブに
備わる書込み回路を用いて新たにデータを書込んでもよ
い。EEPROM6に書込むプロービング検査の設定に
必要なデータとしては、例えば、ウェハのXY方向のイ
ンデックスサイズ、ウェハサイズ、ウニへのオリエンテ
ーションフラットの方向、テストする半導体素子の座標
、有効プローブエリア、テスト時のオーバードライブ量
と速度(z−upスピード)、テンプレート等のオート
アライメントのためのデータ等のプローブ装置のための
データや検査の条件などテスタのためのデータが記憶さ
れる。
このようなプローブカードがプローブ装置に装着される
と、コネクタ5を介してプローブ装置の読取り回路がE
EPROM6に記憶された前記データを読取ってこの読
取ったデータに基いてプロービング検査を行なう。プロ
ービング検査の条件が変った場合には、CRTとキーボ
ード等によってデータを変更しプローブ装置の書込み回
路等を用いて変更データを再びEEPROM6に書込み
、次回からのプローブ検査の設定用データとして記憶さ
せておく。
と、コネクタ5を介してプローブ装置の読取り回路がE
EPROM6に記憶された前記データを読取ってこの読
取ったデータに基いてプロービング検査を行なう。プロ
ービング検査の条件が変った場合には、CRTとキーボ
ード等によってデータを変更しプローブ装置の書込み回
路等を用いて変更データを再びEEPROM6に書込み
、次回からのプローブ検査の設定用データとして記憶さ
せておく。
前記実施例ではEEPROM用コネクタ5を別に設けて
いるが、テスト用のエツジコネクタ2の一部をE E
P ROM回路接続用に使用してもよい。また不揮発性
メモリとしてプログラム変更可能なEEPROMの代り
に、車にデータ書込み可能な通常のFROMを用いても
よい。入力データとしてプロービング検査条件の他に、
プローブカード位置決めのためにプローブカードの基準
点からのプローブ針の位置座標を入力し、カード位置合
せを自動化してもよい。また、EEPROM(D記憶デ
ータをテスタで読み書きし、このテスタとプローブ装置
との間のデータ通信によりEEPROMのデータを間接
的にプローブ装置が読み書きしてもよい。
いるが、テスト用のエツジコネクタ2の一部をE E
P ROM回路接続用に使用してもよい。また不揮発性
メモリとしてプログラム変更可能なEEPROMの代り
に、車にデータ書込み可能な通常のFROMを用いても
よい。入力データとしてプロービング検査条件の他に、
プローブカード位置決めのためにプローブカードの基準
点からのプローブ針の位置座標を入力し、カード位置合
せを自動化してもよい。また、EEPROM(D記憶デ
ータをテスタで読み書きし、このテスタとプローブ装置
との間のデータ通信によりEEPROMのデータを間接
的にプローブ装置が読み書きしてもよい。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明に係るプローブカードにお
いては、プロービングに必要なデータを記憶した不揮発
性メモリを具備しているため、プロービング検査時にプ
ローブ装置がこのデータを読み出すことにより、従来非
常に面倒であったクエへの種類変更時のプローブ装置の
各種試験データ設定を容易に確実に行なうことができる
。また、これによりプローブ装置の検査条件設定が自動
化できるとともにプローブカードの自動交換も可能にな
る。さらに検査データの管理をプローブカードを用いて
行なうことができるためデータ管理が容易になる。
いては、プロービングに必要なデータを記憶した不揮発
性メモリを具備しているため、プロービング検査時にプ
ローブ装置がこのデータを読み出すことにより、従来非
常に面倒であったクエへの種類変更時のプローブ装置の
各種試験データ設定を容易に確実に行なうことができる
。また、これによりプローブ装置の検査条件設定が自動
化できるとともにプローブカードの自動交換も可能にな
る。さらに検査データの管理をプローブカードを用いて
行なうことができるためデータ管理が容易になる。
第1図は本発明に係るプローブカードの平面図、第2図
は第1図のプローブカードに設けるEEPROM回路の
ブロック図である。 1ニブローブカード、 3ニブローブ針、 4:記憶回路、 5:コネクタ、 6 : EEPROM。
は第1図のプローブカードに設けるEEPROM回路の
ブロック図である。 1ニブローブカード、 3ニブローブ針、 4:記憶回路、 5:コネクタ、 6 : EEPROM。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体素子のプロービング検査用プローブ針と、該
プローブ針を半導体テスタに接続する接続手段と、検査
用データを記憶したメモリ手段を具備することを特徴と
するプローブカード。 2、前記メモリ手段はEEPROMであることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載のプローブカード。 3、前記メモリ手段はPROMであることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載のプローブカード。 4、前記メモリ手段は検査用データの他にカード位置決
めのためのプローブ針の位置データを記憶したことを特
徴とする特許請求の範囲第1項から第3項までのいずれ
か1項記載のプローブカード。 5、プロービング検査用プローブ針および検査用データ
を記憶したメモリ手段を具備したプローブカードメモリ
手段のデータを読取る手段を備え、該読取ったデータに
基いてプロービング検査を行なうことを特徴とするプロ
ーブ装置。 6、前記メモリ手段に対してデータを書込む手段を具備
したことを特徴とする特許請求の範囲第5項記載のプロ
ーブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21940486A JPS6376447A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | プロ−ブカ−ドおよびプロ−ブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21940486A JPS6376447A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | プロ−ブカ−ドおよびプロ−ブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6376447A true JPS6376447A (ja) | 1988-04-06 |
Family
ID=16734875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21940486A Pending JPS6376447A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | プロ−ブカ−ドおよびプロ−ブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6376447A (ja) |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP21940486A patent/JPS6376447A/ja active Pending
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