JPS6375534A - Differential pressure measuring instrument - Google Patents
Differential pressure measuring instrumentInfo
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- JPS6375534A JPS6375534A JP22033486A JP22033486A JPS6375534A JP S6375534 A JPS6375534 A JP S6375534A JP 22033486 A JP22033486 A JP 22033486A JP 22033486 A JP22033486 A JP 22033486A JP S6375534 A JPS6375534 A JP S6375534A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は差圧測定装置に関するものである。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a differential pressure measuring device.
更に詳述すれば、本発明は差圧測定装置の過大圧保護機
構の改良に関するものである。More specifically, the present invention relates to an improvement in the overpressure protection mechanism of a differential pressure measuring device.
（従来の技術）
第７図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。この種の差圧測定装置としては、たとえば
、米国特許３．７５６．０８５号がある。(Prior Art) FIG. 7 is a diagram illustrating the configuration of a conventional example that has been commonly used. An example of this type of differential pressure measuring device is US Pat. No. 3,756,085.
図において、１ａはブロック状の本体、Ｉｌａは本体ｌ
ａ内に設けられた室、２ａは室１１ａに設けられ、室１
１ａを二つの受圧室１２ａ、 １３ａに分けるベローで
ある。３ａは過大圧保護機構で、ベロー２ａ内に設けら
れている。３１ａはリング状の磁石である。３２ａは磁
石３１ａの上面をふさぎ磁石３１ａど室３３ａを構成す
る磁性体からなるプレートである。３４ａはプレー１３
２ａとベロー２８の自由端とを結ぶシャフトである。３
５ａはスプリングで、プレー１□３２ａとベロー２８と
の間に配置されている。４１ａ、 ４２ａは本体Ｉａの
外側面に設けられ、シール室４３ａ、 ４４ａを構成す
るシールダイアフラムである。、５ａは本体１ａ内に設
けられた差圧検出機構で、この場合は、半導体圧力検出
素子が用いられている。１４ａ、 １５ａはシール室４
３ａ、 ４４ａと受圧室１２ａ、 １３ａとを連通ずる
連通孔である。１６ａ、 １７ａは連通孔１４ａ、 １
５ａと差圧検出機構５ａとを連結する連結孔である。ｌ
０Ｉａは受圧室１２ａ 、 ｉ！１通孔１５ａ、連結孔
１７ａとシール室４４ａとを満す封入液である。１０２
ａは受圧室１３ａ、連通孔１４ａ、連結孔１６ａとシー
ル室４３ａとを満す封入液である。In the figure, 1a is a block-shaped main body, Ila is a main body l
The chamber 2a provided in the chamber a is provided in the chamber 11a, and the chamber 2a is provided in the chamber 11a.
This is a bellows that divides 1a into two pressure receiving chambers 12a and 13a. 3a is an overpressure protection mechanism, which is provided within the bellows 2a. 31a is a ring-shaped magnet. 32a is a plate made of a magnetic material that blocks the upper surface of the magnet 31a and forms a chamber 33a for the magnet 31a. 34a is play 13
2a and the free end of the bellows 28. 3
A spring 5a is arranged between the play 1□32a and the bellows 28. Seal diaphragms 41a and 42a are provided on the outer surface of the main body Ia and constitute seal chambers 43a and 44a. , 5a is a differential pressure detection mechanism provided in the main body 1a, and in this case, a semiconductor pressure detection element is used. 14a and 15a are seal chambers 4
3a, 44a and the pressure receiving chambers 12a, 13a are communicating holes. 16a, 17a are communication holes 14a, 1
5a and the differential pressure detection mechanism 5a. l
0Ia is the pressure receiving chamber 12a, i! This is a sealed liquid that fills the first through hole 15a, the connecting hole 17a, and the seal chamber 44a. 102
A is a sealed liquid that fills the pressure receiving chamber 13a, the communication hole 14a, the connection hole 16a, and the seal chamber 43a.
以上の構成において、測定圧Ｐ、、 Ｐ２が測定レンジ
範囲内であれば、差圧検出機構５ａが差圧を測定する。In the above configuration, if the measured pressures P, P2 are within the measurement range, the differential pressure detection mechanism 5a measures the differential pressure.
測定圧Ｐ１が所定圧力以上になると、プレート３２ａは
、押圧されて、図の上方向に移動する。ベロー２ａが伸
びて、」−Ｊ入液１０２が移動し、シールダイアフラム
４１ａが、本体１ａにバックアップされ、これ以上圧力
は上昇しない。即ち、過大圧保護機構３ａはスナップ的
に動作する。When the measured pressure P1 exceeds a predetermined pressure, the plate 32a is pressed and moves upward in the figure. The bellows 2a extends, the "-J inlet liquid 102 moves, the seal diaphragm 41a is backed up by the main body 1a, and the pressure does not rise any further. That is, the overpressure protection mechanism 3a operates in a snap manner.
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら・、このようなものにおいては、測定圧Ｐ
２ ＩＩからの過大圧に対してはＰ１側のようなスナ
ップ動作はできない。(Problem to be solved by the invention) However, in such a device, the measurement pressure P
2. In response to excessive pressure from II, the snap action like that on the P1 side cannot be performed.
同様の装置を２個使用すれば、両方向のスナップ動作が
可能となるが、非常に複雑な構造となり高価なものとな
る。The use of two similar devices would allow snapping action in both directions, but would result in a very complex and expensive structure.
本発明は、この問題点を解決するものである。The present invention solves this problem.
本発明の目的は、過大圧保護機構を簡素化し、従来例に
比して部品点数を減少せしめ安価にし得ると共に、小形
化できることによって、封入液体の量を減少して、封入
液体の温度体積膨張に起因する温度によるゼロ点変動を
小さくして高ｔ＃ｉ度化し得る差圧測定装置を提供する
にある。An object of the present invention is to simplify the overpressure protection mechanism, reduce the number of parts compared to the conventional example, make it cheaper, and reduce the size of the overpressure protection mechanism, thereby reducing the amount of sealed liquid and increasing the temperature and volume of the sealed liquid. It is an object of the present invention to provide a differential pressure measuring device that can achieve a high t#i degree by reducing zero point fluctuations due to temperature.
（問題点を解決するための手段）
この目的を達成するために、本発明は、ブロック状の本
体と、該本体内に設けられた室と、該室に設けられ該室
を二つの受圧室に分ける板状の隔壁機構と、１ｌｉＩ記
受圧室からの測定圧を受圧する差秩
圧機用機構と、１７記ブロツクの外側面に設けられ測定
圧を受圧し該ブロックとシール室を構成するシールダイ
アフラムと、前記シール室と１ｌｉＪ記受圧室とを連通
ずる連通孔と、該連通孔と１ｌｉＩ記シール室と前記受
圧室とにそれぞれ満された二つの封入液とを具備する差
圧測定装置において、前記隔壁機構の面に直交して設け
られ一端が該センターダイアフラムに取付けられ非磁性
材よりなるシャフトと、該シャフトに摺動自由に挿入さ
れ互いに反発し合う磁石よりなる第１と第２のリングと
、前記シャフトの他端に直交して固定されたプレートと
、前記本体に設Ｃうられ前記第１．第２のリングの外周
部分が係合され所要寸法よりなる四部とを具備したこと
を！ｌｆ徴とする差圧測定装置を構成したものである。(Means for Solving the Problems) In order to achieve this object, the present invention includes a block-shaped main body, a chamber provided in the main body, and two pressure receiving chambers provided in the chamber. A plate-shaped partition mechanism that divides the block into two parts, a differential pressure machine mechanism that receives the measured pressure from the 1liI pressure receiving chamber, and a seal provided on the outer surface of the 17th block that receives the measured pressure and forms a seal chamber with the block. A differential pressure measuring device comprising a diaphragm, a communication hole communicating the seal chamber and the pressure receiving chamber, and two sealed liquids filling the communication hole, the seal chamber and the pressure receiving chamber, respectively. , a shaft made of a non-magnetic material and provided perpendicular to the surface of the partition wall mechanism and having one end attached to the center diaphragm; and first and second magnets that are slidably inserted into the shaft and repel each other. a ring, a plate fixed perpendicularly to the other end of the shaft; The outer circumferential portion of the second ring is engaged and has four parts having the required dimensions! This is a configuration of a differential pressure measuring device that detects lf characteristics.
（作用）
以上の構成において、測定圧が測定レンジ幅以内では、
センターダイアフラムは磁石の反発ノＪのために変位し
ない。したがって測定圧力は差圧検出機構により差圧が
検出される。(Function) In the above configuration, when the measurement pressure is within the measurement range width,
The center diaphragm does not displace due to the repulsion of the magnet. Therefore, the differential pressure of the measured pressure is detected by the differential pressure detection mechanism.
一力の測定圧が測定レンジ幅を越え、所定の伯になると
、センターダイアフラムによって、第１リングと第２す
・ングの反発力を越えた力によって押圧され第１リング
が第２リングに近寄る。センターダイアフラムの変位に
基づき、封入液体の大きな流通が起る。この流通は、シ
ールダイアフラムが本体に密着するまで続く、以後は受
圧室の圧フッは」二昇しない。When the measurement pressure exceeds the measurement range width and reaches a predetermined value, the center diaphragm presses the first ring with a force that exceeds the repulsive force between the first ring and the second ring, causing the first ring to approach the second ring. . Due to the displacement of the center diaphragm, a large flow of the enclosed liquid takes place. This flow continues until the seal diaphragm comes into close contact with the main body, after which the pressure in the pressure receiving chamber does not rise.
他方の測定圧が、測定レンジ幅を越え、所定の値になる
と、センターダイアプラムが押圧される。When the other measurement pressure exceeds the measurement range width and reaches a predetermined value, the center diaphragm is pressed.
これにつれて、プレートによって第２リングが第１リン
グと第２リングとの反発力を越えた力によって押圧され
、第２リングが第１リングに近寄る。Along with this, the second ring is pressed by the plate with a force that exceeds the repulsive force between the first ring and the second ring, and the second ring approaches the first ring.
センターダイアフラムが変位し、シールダイアプラムが
本体に密着するまで、封入液体の流通が生ずる。シール
ダイアフラムが本体に密着後は受圧室の圧力は上昇しな
い。Flow of the enclosed liquid occurs until the center diaphragm is displaced and the seal diaphragm is brought into close contact with the body. After the seal diaphragm comes into close contact with the main body, the pressure in the pressure receiving chamber does not increase.
以下、実施例について詳細に述べる。Examples will be described in detail below.
第１図は、本１１１の一実施例の構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of the configuration of an embodiment of the book 111.
図において、１はブロック状の本体である。In the figure, 1 is a block-shaped main body.
１１は本体１内に設けられた室、２は室１１に設けられ
、室１１を二つの受圧室１２．１３に分けるセンターダ
イアフラムである。２１はセンターダイアフラムに設け
られたプレートである。３は過大圧保護機構で、室１１
内に設けられている。11 is a chamber provided in the main body 1, and 2 is a center diaphragm provided in the chamber 11 to divide the chamber 11 into two pressure receiving chambers 12 and 13. 21 is a plate provided on the center diaphragm. 3 is an overpressure protection mechanism, and chamber 11
It is located inside.
第２図に示す如く、３１はセンターダイアフラム２の面
に直交して設けられ、一端がセンターダイアフラム２に
取イ」けられ、非磁性材よりなるシャフトである。３２
．３３は、シャフト３１に摺動自由に挿入され互いに反
発し合う永久磁石よりなる第１と第２のリングである。As shown in FIG. 2, 31 is a shaft made of a non-magnetic material, which is provided perpendicularly to the surface of the center diaphragm 2, has one end attached to the center diaphragm 2, and is made of a non-magnetic material. 32
．． Reference numeral 33 denotes first and second rings made of permanent magnets that are slidably inserted into the shaft 31 and repel each other.
３４はシャフト３１の他端に直交して固定され、磁性材
よりなるプレートである。４１．４２は本体１の外側面
に設けられ、シール室４３．４４を構成するシールダイ
アフラムである。４５．４６はシールダイアフラム４１
．４２に対向して本体１に設けられたパックアップネス
トである。５は差圧検出機構で、この場合は、半導体圧
力検出素子が用いられている。１４．１５はシール室４
３．４４と受圧室１２．１３とを連通ずる連通孔である
。１６゜１７は連通孔１４．１５と差圧検出機構５とを
連結する連結孔である。６１．６２は本体１とシールダ
イアフラム４−１ 、４２を覆い導圧室６３゜６４を構
成するカバーである。＋０１はシール室４３、連通孔１
４、受圧室１２と連結孔１６とを満す封入液である。＋
０２は受圧室１３、連通孔１５、シール室４４と連結孔
１７とを満す封入液である。封入液１０ｊ、 ＋０２は
この場合はシリコンオイルが用いられている。 以上の
構成において、測定圧Ｐ、、 Ｐ２が測定レンジ幅以内
では、センターダイアフラム２は、第１リング３２と第
２リング３３との反発力のために変位しない。したがっ
て、測定圧力Ｐ、とＰ２の差圧は、差圧検出機構５によ
り検出される。A plate 34 is fixed perpendicularly to the other end of the shaft 31 and is made of a magnetic material. 41 and 42 are seal diaphragms that are provided on the outer surface of the main body 1 and constitute seal chambers 43 and 44. 45.46 is the seal diaphragm 41
．． 42 is a pack-up nest provided in the main body 1 opposite to 42. Reference numeral 5 denotes a differential pressure detection mechanism, in which a semiconductor pressure detection element is used. 14.15 is seal chamber 4
3.44 and the pressure receiving chamber 12.13 are communicating holes. Reference numerals 16 and 17 are connection holes that connect the communication holes 14 and 15 and the differential pressure detection mechanism 5. Reference numerals 61 and 62 denote covers that cover the main body 1 and the seal diaphragms 4-1 and 42 to form pressure chambers 63 and 64. +01 is seal chamber 43, communication hole 1
4. Filled liquid that fills the pressure receiving chamber 12 and the connecting hole 16. +
02 is a sealed liquid that fills the pressure receiving chamber 13, the communication hole 15, the seal chamber 44, and the connection hole 17. In this case, silicone oil is used as the filling liquid 10j, +02. In the above configuration, when the measurement pressures P, P2 are within the measurement range width, the center diaphragm 2 is not displaced due to the repulsive force between the first ring 32 and the second ring 33. Therefore, the differential pressure between the measured pressures P and P2 is detected by the differential pressure detection mechanism 5.
測定圧Ｐ１が測定レンジ幅を越え、所定の値になると、
センターダイアフラム２によって、第１リング３２と第
２リング３３の反発力を越えた力によって押圧され第１
リング３２が第２リング３３に近寄る。センターダイア
フラム２の変位に基づき、封入液体１０１の大きな流通
が起る。この流通は、シールダイアフラム４１が本体に
密着するまで続く、以後は受圧室１２の圧力は上昇しな
い。When the measurement pressure P1 exceeds the measurement range width and reaches a predetermined value,
The center diaphragm 2 presses the first ring with a force that exceeds the repulsive force of the first ring 32 and the second ring 33.
The ring 32 approaches the second ring 33. Due to the displacement of the center diaphragm 2, a large flow of the enclosed liquid 101 occurs. This flow continues until the seal diaphragm 41 comes into close contact with the main body, after which the pressure in the pressure receiving chamber 12 does not increase.
測定圧Ｐ２が測定レンジ幅を越え、所定の伯になると、
センターダイアフラム２が押圧される。これにつれて、
プレート３４によって第２リング３３が第１リング３２
と第２リング３３との反発力を越えた力によって押圧さ
れ、第２リング３３が第１リング３２に近寄る。センタ
ーダイアフラム２が変位し、シールダイアフラム４２が
本体に密着するまで、封入液体１０２の流通が生ずる。When the measurement pressure P2 exceeds the measurement range width and reaches a predetermined value,
Center diaphragm 2 is pressed. Along with this,
The second ring 33 is connected to the first ring 32 by the plate 34.
The second ring 33 approaches the first ring 32 as it is pressed by a force that exceeds the repulsive force between the second ring 33 and the second ring 33 . The flow of the enclosed liquid 102 occurs until the center diaphragm 2 is displaced and the seal diaphragm 42 comes into close contact with the main body.
シールダイアフラム４２が本体に密着後は、受圧室１３
の圧力は上昇しない。After the seal diaphragm 42 is in close contact with the main body, the pressure receiving chamber 13
pressure does not increase.
過大圧保護機構３が働く際の圧ノＪは、第１リング３２
．第２リング３３の材質や、第１．第２リング３２．３
３の対向面積や、第１リング３２と第２リング３３間の
ギャップを変えることにより自由に設定できる。The pressure J when the overpressure protection mechanism 3 operates is the first ring 32.
．． The material of the second ring 33 and the material of the first ring 33, 2nd ring 32.3
3 and the gap between the first ring 32 and the second ring 33 can be freely set.
以」：の動作を更に詳細に述べる。The operation of the following will be described in more detail.
センターダイアフラム２の差圧をＰ、有効面積をＡ、中
心変位をＸ、変位Ｘに対するばね定数をＫ、第１リング
３２と第２リング３３の反発力に関する定数をＢ、差圧
０のときの２つの永久磁石の間の初期ギャップをＸ。と
すると、次の式が成り立つ
左辺は、センターダイアフラム２を動かそうとする力、
右辺第１項は、それに対向するセンターダイアフラム２
の反力、第２項は、第１リング３２保護機４’ｇ３が作
動する圧力である。The differential pressure of the center diaphragm 2 is P, the effective area is A, the center displacement is X, the spring constant with respect to the displacement Let X be the initial gap between two permanent magnets. Then, the left side of the following equation is the force that tries to move the center diaphragm 2,
The first term on the right side is the center diaphragm 2 that opposes it.
The second term of the reaction force is the pressure at which the first ring 32 protector 4'g3 operates.
（＋）式をグラフに表わすと、第５図の如くなる。If the equation (+) is expressed in a graph, it will look like the one shown in FIG.
圧ノＪＰが０→１と上昇しても、センターダイアフラム
２の変位は生じない。点１で、第１リング３２と第２リ
ング３３との反発力Ｂ／ＸＯより大きくなると、センタ
ーダイアフラム２は、圧力に応じて変位を始める。点２
に対応する変位ｘ２をシール室の封入液体がすべてセン
ターダイアフラム２に吸収された場合の変位とすると、
×２以上の変位（Ｊ起らず、χ２に対応する圧力量」二
の圧力は１只しない。Even if the pressure JP increases from 0 to 1, no displacement of the center diaphragm 2 occurs. At point 1, when the repulsive force between the first ring 32 and the second ring 33 becomes larger than B/XO, the center diaphragm 2 starts to displace in response to the pressure. Point 2
If the displacement x2 corresponding to is the displacement when all the liquid sealed in the seal chamber is absorbed by the center diaphragm 2, then
A displacement of x2 or more (J does not occur, the amount of pressure corresponding to χ2) There is no single pressure of 2.
次に、圧力が下がってきた場合には、２→１→０と上昇
時の場合の逆になる。Next, when the pressure decreases, the flow changes from 2 to 1 to 0, which is the opposite of the case when the pressure increases.
以上は、一方の測定圧に対する過大圧保護動作を説明し
たが、他方の測定圧に対する過大圧保護動作も同様な動
作をなす。The overpressure protection operation for one measurement pressure has been described above, but the overpressure protection operation for the other measurement pressure is similar.
この結果、２個の永久磁石の反発力を利用することによ
って過大圧保護機構を簡素化できる。したがって、従来
例に比して、部品点数を減少せしめ安価にし得る。また
、過大圧保護のためのａｉｍをセンターダイアフラムの
中心軸近くに、小形化して設置できるために、過大圧保
！Ｉａ！構によって増加する内部容積を少なくできる。As a result, the overpressure protection mechanism can be simplified by utilizing the repulsive force of the two permanent magnets. Therefore, compared to the conventional example, the number of parts can be reduced and the cost can be reduced. In addition, the aim for overpressure protection can be miniaturized and installed near the center axis of the center diaphragm, which prevents overpressure protection. Ia! The increase in internal volume due to this structure can be reduced.
したがって、封入液体の温度体積膨張に起因する温度ゼ
ロ変動を小さくすることができ、高精度化し得る差圧測
定装置を実現することができる。Therefore, it is possible to reduce the temperature zero fluctuation caused by the temperature volumetric expansion of the sealed liquid, and it is possible to realize a differential pressure measuring device that can be highly accurate.
なお、第５図のグラフは、封入液体の容積や各種変数の
選び方で形は変わるが、基本的な動作においては変わり
がない。Although the shape of the graph in FIG. 5 changes depending on the volume of the sealed liquid and the selection of various variables, the basic operation remains the same.
第６図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of the main part configuration of another embodiment of the present invention.
本実施例においては、第１図実施例におけるセンターダ
イアフラム２の代わりに、ピストン７１とＯリング７２
とよりなる隔壁機構７で構成したものである。In this embodiment, a piston 71 and an O-ring 72 are used instead of the center diaphragm 2 in the embodiment of FIG.
It is constructed of a partition wall mechanism 7 consisting of.
この場合、０リング７２等によるピストン７１と室１１
の間の抵抗が小さい場合には、差圧Ｐとピストン７１の
変位Ｘとの関係は（１）式のばね定数の項がなくなり、
Ｐ Ａ ＝ （２）’
；Ｃｏ−ズ
となる。In this case, the piston 71 and the chamber 11 by the O-ring 72 etc.
When the resistance between the two is small, the relationship between the differential pressure P and the displacement X of the piston 71 is as follows: The spring constant term in equation (1) disappears, and P A = (2)'
; Becomes Co-'s.
（発明の効果）
この目的を達成するために、本発明は、ブロック状の本
体と、該本体内に設けられた室と、該室に設けられ該室
を二つの受圧室に分ける板状の隔測定圧を受圧し該ブロ
ックとシール室を構成するシールダイアフラムと、前記
シール室と前記受圧室とを連通する連通孔と、該連通孔
と前記シール室と前記受圧室とにそれぞれ満された二つ
の封入液とを具備する差圧測定装置において、前記隔壁
機構の面に直交して設けられ一端が該センターダイアフ
ラムに取付けられ非磁性材よりなるシャフトと、該シャ
フトに摺動自由に挿入され互いに反発し合う磁石よりな
る第１と第２のリングと、前記シャフトの他端に直交し
て固定されたプレートと、前記本体に設けられ１ｌｉＪ
記第１．第２のリングの外周部分が係合され所要寸法よ
りなる四部とを具備したことを＃徴とする差圧測定装置
を構成したので、２個の永久磁石の反発力を利用するこ
とによって、過大圧保護機構を簡素化できる。したがっ
て、従来例に比して、部品点数を減少せしめ安価にし得
る。また、過大圧保護のための機構をセンターダイアフ
ラムの中心軸近くに、小形化して設置できるために、過
大圧保護機構によって増加する内部容積を少なくできる
。したがって、封入液体の温度体積膨張に起因する温度
ゼロ変動を小さくすることができ、高精度化し得る差圧
測定装置を実現することができる。(Effect of the invention) In order to achieve this object, the present invention includes a block-shaped main body, a chamber provided within the main body, and a plate-shaped main body provided in the chamber that divides the chamber into two pressure-receiving chambers. a seal diaphragm that receives a pressure measurement pressure and forms a seal chamber with the block; a communication hole that communicates the seal chamber and the pressure receiving chamber; In a differential pressure measuring device comprising two sealed liquids, a shaft made of a non-magnetic material is provided perpendicularly to the surface of the partition wall mechanism, one end is attached to the center diaphragm, and the shaft is slidably inserted into the shaft. first and second rings made of magnets that repel each other; a plate fixed perpendicularly to the other end of the shaft;
Record 1. By constructing a differential pressure measuring device having four parts having the required dimensions and engaged with the outer peripheral part of the second ring, it is possible to detect excessive pressure by using the repulsive force of the two permanent magnets. The pressure protection mechanism can be simplified. Therefore, compared to the conventional example, the number of parts can be reduced and the cost can be reduced. Further, since the overpressure protection mechanism can be miniaturized and installed near the central axis of the center diaphragm, the internal volume increased by the overpressure protection mechanism can be reduced. Therefore, it is possible to reduce the temperature zero fluctuation caused by the temperature volumetric expansion of the sealed liquid, and it is possible to realize a differential pressure measuring device that can be highly accurate.
第１図は本発明の一実施例の構成説明図、第２図から第
５図は第１図の動作説明図、第６図は本発明の他の実施
例の構成説明図、第７図は従来より一般に使用されてい
る従来例の構成説明図である。
１・・・本体、１０１．１０２・・・封入液体、１１・
・・室、１２．１３・・・受圧室、１４．１５・・・連
通孔、１６゜１７・・・連結孔、２・・・センターダイ
アフラム、２１・・・プレート、３・・・過大圧保護機
構、３１・・・シャフト、３２・・・第１リング、３３
・・・第２リング、３４・・・プレート、４１．４２・
・・シールダイアフラム、４３．４４・・・シール室、
４５．４６・・・バックアツプネスト、５・・・差圧検
出機構、６１．６２・・・カバー、６３．６４・・・導
圧室、７・・・隔壁機構、７１・・・ピストン、７２・
・・０リング。FIG. 1 is an explanatory diagram of the configuration of one embodiment of the present invention, FIGS. 2 to 5 are explanatory diagrams of the operation of FIG. 1, FIG. 6 is an explanatory diagram of the configuration of another embodiment of the invention, and FIG. 1 is a configuration explanatory diagram of a conventional example that has been commonly used. 1... Main body, 101.102... Enclosed liquid, 11.
... Chamber, 12.13 ... Pressure receiving chamber, 14.15 ... Communication hole, 16゜17 ... Connection hole, 2 ... Center diaphragm, 21 ... Plate, 3 ... Excess pressure Protection mechanism, 31... Shaft, 32... First ring, 33
...Second ring, 34...Plate, 41.42.
...Seal diaphragm, 43.44...Seal chamber,
45.46... Backup nest, 5... Differential pressure detection mechanism, 61.62... Cover, 63.64... Pressure chamber, 7... Bulkhead mechanism, 71... Piston, 72・
...0 ring.
Claims (1)
に設けられ該室を二つの受圧室に分ける板状の隔壁機構
と、前記受圧室からの測定圧を受圧する差圧検出機構と
、前記ブロックの外側面に設けられ測定圧を受圧し該ブ
ロックとシール室を構成するシールダイアフラムと、前
記シール室と前記受圧室とを連通する連通孔と、該連通
孔と前記シール室と前記受圧室とにそれぞれ満された二
つの封入液とを具備する差圧測定装置において、前記隔
壁機構の面に直交して設けられ一端が該センターダイア
フラムに取付けられ非磁性材よりなるシャフトと、該シ
ャフトに摺動自由に挿入され互いに反発し合う磁石より
なる第１と第２のリングと、前記シャフトの他端に直交
して固定されたプレートと、前記本体に設けられ前記第
１、第２のリングの外周部分が係合され所要寸法よりな
る凹部とを具備したことを特徴とする差圧測定装置。A block-shaped main body, a chamber provided in the main body, a plate-shaped partition mechanism provided in the chamber to divide the chamber into two pressure-receiving chambers, and differential pressure detection that receives measured pressure from the pressure-receiving chamber. a mechanism, a seal diaphragm provided on the outer surface of the block to receive measurement pressure and form a seal chamber with the block, a communication hole communicating the seal chamber and the pressure receiving chamber, and the communication hole and the seal chamber. and two sealed liquids filled in the pressure receiving chamber, respectively, the differential pressure measuring device includes a shaft made of a non-magnetic material, provided perpendicularly to the surface of the partition wall mechanism, and having one end attached to the center diaphragm. , first and second rings made of magnets that are slidably inserted into the shaft and repel each other; a plate fixed perpendicularly to the other end of the shaft; A differential pressure measuring device characterized by comprising a recessed portion having a predetermined size and engaged with an outer peripheral portion of the second ring.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22033486A JPS6375534A (en) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | Differential pressure measuring instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22033486A JPS6375534A (en) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | Differential pressure measuring instrument |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6375534A true JPS6375534A (en) | 1988-04-05 |
Family
ID=16749517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22033486A Pending JPS6375534A (en) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | Differential pressure measuring instrument |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6375534A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010001863A (en) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Ihi Corp | Turbocharger |
-
1986
- 1986-09-18 JP JP22033486A patent/JPS6375534A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010001863A (en) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Ihi Corp | Turbocharger |
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