JPS6368831A - 感光性組成物 - Google Patents
感光性組成物Info
- Publication number
- JPS6368831A JPS6368831A JP61213671A JP21367186A JPS6368831A JP S6368831 A JPS6368831 A JP S6368831A JP 61213671 A JP61213671 A JP 61213671A JP 21367186 A JP21367186 A JP 21367186A JP S6368831 A JPS6368831 A JP S6368831A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- acid
- denotes
- photosensitive
- alkyl group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 30
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 24
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 10
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 10
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 claims abstract description 7
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims abstract description 5
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims abstract description 4
- 125000004957 naphthylene group Chemical group 0.000 claims abstract description 3
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 claims abstract description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 10
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000003107 substituted aryl group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000006615 aromatic heterocyclic group Chemical group 0.000 claims description 3
- 229920006158 high molecular weight polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 2
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 abstract description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 abstract 1
- -1 triazine compound Chemical class 0.000 description 14
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 12
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 11
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 8
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 6
- 125000000664 diazo group Chemical group [N-]=[N+]=[*] 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 4
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 4
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 3
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 3
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N butyric aldehyde Natural products CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 3
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 3
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- RSZXXBTXZJGELH-UHFFFAOYSA-N 2,3,4-tri(propan-2-yl)naphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=CC2=C(C(C)C)C(C(C)C)=C(C(C)C)C(S(O)(=O)=O)=C21 RSZXXBTXZJGELH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ORAWFNKFUWGRJG-UHFFFAOYSA-N Docosanamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(N)=O ORAWFNKFUWGRJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMIMRNSIRUDHCM-UHFFFAOYSA-N Isopropylaldehyde Chemical compound CC(C)C=O AMIMRNSIRUDHCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBBJYMSMWIIQGU-UHFFFAOYSA-N Propionic aldehyde Chemical compound CCC=O NBBJYMSMWIIQGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 2
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 2
- HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N benzaldehyde Chemical compound O=CC1=CC=CC=C1 HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- WJJMNDUMQPNECX-UHFFFAOYSA-N dipicolinic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(C(O)=O)=N1 WJJMNDUMQPNECX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N docosanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 2
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 2
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002734 metacrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- PNGLEYLFMHGIQO-UHFFFAOYSA-M sodium;3-(n-ethyl-3-methoxyanilino)-2-hydroxypropane-1-sulfonate;dihydrate Chemical compound O.O.[Na+].[O-]S(=O)(=O)CC(O)CN(CC)C1=CC=CC(OC)=C1 PNGLEYLFMHGIQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- QFLWZFQWSBQYPS-AWRAUJHKSA-N (3S)-3-[[(2S)-2-[[(2S)-2-[5-[(3aS,6aR)-2-oxo-1,3,3a,4,6,6a-hexahydrothieno[3,4-d]imidazol-4-yl]pentanoylamino]-3-methylbutanoyl]amino]-3-(4-hydroxyphenyl)propanoyl]amino]-4-[1-bis(4-chlorophenoxy)phosphorylbutylamino]-4-oxobutanoic acid Chemical compound CCCC(NC(=O)[C@H](CC(O)=O)NC(=O)[C@H](Cc1ccc(O)cc1)NC(=O)[C@@H](NC(=O)CCCCC1SC[C@@H]2NC(=O)N[C@H]12)C(C)C)P(=O)(Oc1ccc(Cl)cc1)Oc1ccc(Cl)cc1 QFLWZFQWSBQYPS-AWRAUJHKSA-N 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydrobenzimidazole-2-thione Chemical compound C1=CC=C2NC(S)=NC2=C1 YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHIGBUQIFLDZPZ-UHFFFAOYSA-N 1-[(4e)-4-diazo-2-methoxycyclohexa-1,5-dien-1-yl]pyrrolidine Chemical compound C1=CC(=[N+]=[N-])CC(OC)=C1N1CCCC1 QHIGBUQIFLDZPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FHDQFPCQZMLBFE-UHFFFAOYSA-N 1-[(4e)-4-diazo-2-methylcyclohexa-1,5-dien-1-yl]pyrrolidine Chemical compound C1=CC(=[N+]=[N-])CC(C)=C1N1CCCC1 FHDQFPCQZMLBFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IRLYGRLEBKCYPY-UHFFFAOYSA-N 2,5-dimethylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(C)C(S(O)(=O)=O)=C1 IRLYGRLEBKCYPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXHLLJAMBQLULT-UHFFFAOYSA-N 2-[[6-[4-(2-hydroxyethyl)piperazin-1-yl]-2-methylpyrimidin-4-yl]amino]-n-(2-methyl-6-sulfanylphenyl)-1,3-thiazole-5-carboxamide;hydrate Chemical compound O.C=1C(N2CCN(CCO)CC2)=NC(C)=NC=1NC(S1)=NC=C1C(=O)NC1=C(C)C=CC=C1S WXHLLJAMBQLULT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCSZUHHAYFILGO-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-nitrobenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC([N+]([O-])=O)=CC=C1S(O)(=O)=O XCSZUHHAYFILGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethanol Chemical compound OCCOC1=CC=CC=C1 QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXIQYSLFEXIOAV-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-4-(5-tert-butyl-4-hydroxy-2-methylphenyl)sulfanyl-5-methylphenol Chemical compound CC1=CC(O)=C(C(C)(C)C)C=C1SC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C=C1C HXIQYSLFEXIOAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKEHOXWJQXIQAG-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 IKEHOXWJQXIQAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QDWTXRWOKORYQH-UHFFFAOYSA-N 3-bromobenzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC(Br)=C1 QDWTXRWOKORYQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IQOJIHIRSVQTJJ-UHFFFAOYSA-N 3-chlorobenzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC(Cl)=C1 IQOJIHIRSVQTJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JDFDHBSESGTDAL-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropan-1-ol Chemical compound COCCCO JDFDHBSESGTDAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropyl acetate Chemical compound COCCCOC(C)=O CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCETWWDGKCBPMK-UHFFFAOYSA-N 4-[(4e)-4-diazocyclohexa-1,5-dien-1-yl]morpholine Chemical compound C1=CC(=[N+]=[N-])CC=C1N1CCOCC1 SCETWWDGKCBPMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MURZLGAHXMSTCA-UHFFFAOYSA-N 4-[(4z)-4-diazo-3,6-dimethoxycyclohexa-1,5-dien-1-yl]morpholine Chemical compound COC1=CC(=[N+]=[N-])C(OC)C=C1N1CCOCC1 MURZLGAHXMSTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAXPFHMCFLHGKK-UHFFFAOYSA-N 4-diazo-n,n-dimethylcyclohexa-1,5-dien-1-amine Chemical compound CN(C)C1=CCC(=[N+]=[N-])C=C1 LAXPFHMCFLHGKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZRDSGWXWQNSQAN-UHFFFAOYSA-N 6-diazo-n-phenylcyclohexa-2,4-dien-1-amine Chemical compound [N-]=[N+]=C1C=CC=CC1NC1=CC=CC=C1 ZRDSGWXWQNSQAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCNCGHJSNVOIKE-UHFFFAOYSA-N 9,10-diphenylanthracene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=CC=CC=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 FCNCGHJSNVOIKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000021357 Behenic acid Nutrition 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PDIAPTGZBAWRPN-UHFFFAOYSA-N CC1=NN(NC(=C1)C(Cl)(Cl)Cl)C(Cl)(Cl)Cl Chemical compound CC1=NN(NC(=C1)C(Cl)(Cl)Cl)C(Cl)(Cl)Cl PDIAPTGZBAWRPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001747 Cellulose diacetate Polymers 0.000 description 1
- DQEFEBPAPFSJLV-UHFFFAOYSA-N Cellulose propionate Chemical compound CCC(=O)OCC1OC(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C1OC1C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(COC(=O)CC)O1 DQEFEBPAPFSJLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000238557 Decapoda Species 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMBHHRLKUKUOEG-UHFFFAOYSA-N N-phenyl aniline Natural products C=1C=CC=CC=1NC1=CC=CC=C1 DMBHHRLKUKUOEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPKSPKHJBVJUKB-UHFFFAOYSA-N N-phenylglycine Chemical compound OC(=O)CNC1=CC=CC=C1 NPKSPKHJBVJUKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical group [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical group C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N [(2s,3r,4s,5r,6r)-2-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-trinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-3-yl]oxy-3,5-dinitrooxy-6-(nitrooxymethyl)oxan-4-yl] nitrate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O1)O[N+]([O-])=O)CO[N+](=O)[O-])[C@@H]1[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O[C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N 0.000 description 1
- IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N acetaldehyde Chemical compound [14CH]([14CH3])=O IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052910 alkali metal silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007900 aqueous suspension Substances 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229940116226 behenic acid Drugs 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 229920006218 cellulose propionate Polymers 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 235000017168 chlorine Nutrition 0.000 description 1
- XENVCRGQTABGKY-ZHACJKMWSA-N chlorohydrin Chemical compound CC#CC#CC#CC#C\C=C\C(Cl)CO XENVCRGQTABGKY-ZHACJKMWSA-N 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229940125904 compound 1 Drugs 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- BJZIJOLEWHWTJO-UHFFFAOYSA-H dipotassium;hexafluorozirconium(2-) Chemical compound [F-].[F-].[F-].[F-].[F-].[F-].[K+].[K+].[Zr+4] BJZIJOLEWHWTJO-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 229940060296 dodecylbenzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical class OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1-diol Chemical compound CCCCCC(O)O ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 208000028867 ischemia Diseases 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000006224 matting agent Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N n'-hydroxy-2-propan-2-ylsulfonylethanimidamide Chemical compound CC(C)S(=O)(=O)CC(N)=NO LNOPIUAQISRISI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DAHPIMYBWVSMKQ-UHFFFAOYSA-N n-hydroxy-n-phenylnitrous amide Chemical compound O=NN(O)C1=CC=CC=C1 DAHPIMYBWVSMKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N para-ethylbenzaldehyde Natural products CCC1=CC=C(C=O)C=C1 QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960005323 phenoxyethanol Drugs 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000008262 pumice Substances 0.000 description 1
- 125000000168 pyrrolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 125000005760 substituted naphthylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005650 substituted phenylene group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- CXVGEDCSTKKODG-UHFFFAOYSA-N sulisobenzone Chemical compound C1=C(S(O)(=O)=O)C(OC)=CC(O)=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 CXVGEDCSTKKODG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2,7-diazaspiro[4.5]decane-7-carboxylate Chemical compound C1N(C(=O)OC(C)(C)C)CCCC11CNCC1 ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N valeric aldehyde Natural products CCCCC=O HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/029—Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur
- G03F7/0295—Photolytic halogen compounds
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/114—Initiator containing
- Y10S430/12—Nitrogen compound containing
- Y10S430/121—Nitrogen in heterocyclic ring
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は不飽和単量体と光重合開始剤とを含み、さらに
必要により線状有機高分子重合体を含む感光性組成物に
関し、特に印刷用原版の作製、フォトレジスト等に有用
な光硬化像を提供しうる感光性組成物に関するものであ
る。更に詳しくは光重合開始剤が感光層表面に移動して
析出し、さらに場合によっては凝集し結晶化するいわゆ
るなき出し現象を防止した新規な感光性組成物に関する
ものである。
必要により線状有機高分子重合体を含む感光性組成物に
関し、特に印刷用原版の作製、フォトレジスト等に有用
な光硬化像を提供しうる感光性組成物に関するものであ
る。更に詳しくは光重合開始剤が感光層表面に移動して
析出し、さらに場合によっては凝集し結晶化するいわゆ
るなき出し現象を防止した新規な感光性組成物に関する
ものである。
重合可能なエチレン性不飽和化合物と、光重合開始剤と
、更に必要に応じて適当な皮膜形成能を有する線状有機
高分子重合体、熱重合防止剤等を混和させたものを感光
性組成物として写真的手法によって画像複製を行なう方
法は現在広く知られるところである。すなわち特公昭3
5−5093号公報、特公昭35−8495号公報等に
記載される様に該感光性組成物は活性光線の照射により
光重合を起し、不溶化する。従って、感光性組成物を適
当な皮膜となし、所望の画像の陰画を通して活性光線の
照射を行い、適当な溶媒により未感光部のみを除去する
(以下単に現像とよぶ。)ことにより所望の光重合画像
を形成させろことができろ。このタイプの感光性組成物
は印刷版あるいはフォトレジスト等の感光剤として極め
て有用であることは論を待たない。
、更に必要に応じて適当な皮膜形成能を有する線状有機
高分子重合体、熱重合防止剤等を混和させたものを感光
性組成物として写真的手法によって画像複製を行なう方
法は現在広く知られるところである。すなわち特公昭3
5−5093号公報、特公昭35−8495号公報等に
記載される様に該感光性組成物は活性光線の照射により
光重合を起し、不溶化する。従って、感光性組成物を適
当な皮膜となし、所望の画像の陰画を通して活性光線の
照射を行い、適当な溶媒により未感光部のみを除去する
(以下単に現像とよぶ。)ことにより所望の光重合画像
を形成させろことができろ。このタイプの感光性組成物
は印刷版あるいはフォトレジスト等の感光剤として極め
て有用であることは論を待たない。
重合可能なエチレン性不飽和化合物の光重合開始剤とし
て例えば米国特許3987037号及び特公昭59−1
.281号公報に示されるビニルハロメチル−8−トリ
アジン化合物がある。この中で特に価値があると記され
ている化合物として次のような化合物がある。
て例えば米国特許3987037号及び特公昭59−1
.281号公報に示されるビニルハロメチル−8−トリ
アジン化合物がある。この中で特に価値があると記され
ている化合物として次のような化合物がある。
これらの化合物は、貯蔵中感光層表面に移動して析出し
、さらに場合によっては凝集して結晶化するいわゆるな
き出し現象を起こすという欠点を有する。そのため、上
記の光重合開始剤を用いた感光性組成物は、経時安定性
が悪い。
、さらに場合によっては凝集して結晶化するいわゆるな
き出し現象を起こすという欠点を有する。そのため、上
記の光重合開始剤を用いた感光性組成物は、経時安定性
が悪い。
そこで本発明は、感光性平版印刷版、フォトレジスト等
において経時とともに光重合開始剤が感光層表面になき
出すことなく、経時安定性が良好な感光性組成物を提供
することを目的とするものである。
において経時とともに光重合開始剤が感光層表面になき
出すことなく、経時安定性が良好な感光性組成物を提供
することを目的とするものである。
本発明者らは上記のような技術の現状に鑑み、鋭意研究
の結果、感光性組成物において光重合開始剤として特定
のトリアジン系化合物を用いると、−1−記問題点を解
決する有用な感光性組成物が得られることを見出し、本
発明をなすに至った。
の結果、感光性組成物において光重合開始剤として特定
のトリアジン系化合物を用いると、−1−記問題点を解
決する有用な感光性組成物が得られることを見出し、本
発明をなすに至った。
すなわち本発明は、活性光線により光重合可能な少なく
とも1個のエチレン性不飽和基をもつ単量体、及び一般
式(1)の光重合開始剤を含有する感光性組成物である
。
とも1個のエチレン性不飽和基をもつ単量体、及び一般
式(1)の光重合開始剤を含有する感光性組成物である
。
〔式中、Yは−C00R1、
一〇イーCH2Cl(O→−yR,、
−0−(CI(’q−→−−COOR,、−R3−GO
OR,、−R3−CONHR,又は−N HCOR4を
表す(ただし、R1は水素原子、アルキル基、置換アル
キル基、アリール基又は置換アリール基、R2は水素原
子又はメチル基、R3はアルキレン基、R4はアルキル
基、置換アルキル基、アルコキシ基、アリール基又は置
換アリール基を表わし、β及びmは1から10の整数を
表わす。);Arは置換又は非置換のフェニレン基、ナ
フチレン基又は複素環式芳香族基を表す;Xは塩素原子
又は臭素原子を表す;nは1又は2の整数を表す。〕 本発明に使用される「活性光線により光重合が可能な少
なくとも1個のエチレン性不飽和基をもつ単量体」は、
常圧で沸点100℃以上の、少なくとも1分子中に1個
、より好ましくは2個以上の付加重合可能なエチレン性
不飽和基を有する分子量10,000以下のモノマー又
はオリゴマーである。このようなモノマー又はオリゴマ
ーとしては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アク
リレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アク
リレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の
単官能のアクリレートやメタクリレート;ポリエチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエクン
トリ (メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール
ジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(
メタ)アクリレート、ジペンクエリスリトールヘキサ(
メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アク
リレート、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌ
レート、グリセリンやトリノチロールエタン等の多価ア
ルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイド
を付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公
昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開
昭51−37193号公報に記載されているようなウレ
タンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公
昭49−43191号、特公昭52−30490号各公
報記載載されているポリエステルアクリレート類、エポ
キシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシア
クリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレー
トをあげろことができる。さらに日本接着協会誌vol
。
OR,、−R3−CONHR,又は−N HCOR4を
表す(ただし、R1は水素原子、アルキル基、置換アル
キル基、アリール基又は置換アリール基、R2は水素原
子又はメチル基、R3はアルキレン基、R4はアルキル
基、置換アルキル基、アルコキシ基、アリール基又は置
換アリール基を表わし、β及びmは1から10の整数を
表わす。);Arは置換又は非置換のフェニレン基、ナ
フチレン基又は複素環式芳香族基を表す;Xは塩素原子
又は臭素原子を表す;nは1又は2の整数を表す。〕 本発明に使用される「活性光線により光重合が可能な少
なくとも1個のエチレン性不飽和基をもつ単量体」は、
常圧で沸点100℃以上の、少なくとも1分子中に1個
、より好ましくは2個以上の付加重合可能なエチレン性
不飽和基を有する分子量10,000以下のモノマー又
はオリゴマーである。このようなモノマー又はオリゴマ
ーとしては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アク
リレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アク
リレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の
単官能のアクリレートやメタクリレート;ポリエチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエクン
トリ (メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール
ジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(
メタ)アクリレート、ジペンクエリスリトールヘキサ(
メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アク
リレート、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌ
レート、グリセリンやトリノチロールエタン等の多価ア
ルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイド
を付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公
昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開
昭51−37193号公報に記載されているようなウレ
タンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公
昭49−43191号、特公昭52−30490号各公
報記載載されているポリエステルアクリレート類、エポ
キシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシア
クリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレー
トをあげろことができる。さらに日本接着協会誌vol
。
20、No、 7.300−308頁に光硬化性モノマ
−及びオリゴマーとして紹介されているものも使用する
ことができる。使用量は、全組成に対し5〜50重量%
(以下%と略称する。)、好ましくは10〜40%であ
る。
−及びオリゴマーとして紹介されているものも使用する
ことができる。使用量は、全組成に対し5〜50重量%
(以下%と略称する。)、好ましくは10〜40%であ
る。
本発明に使用される光重合開始剤である、一般式(I)
で示される化合物において、R1のアルキル基は炭素数
1〜18のものが好ましく、R1の置換アルキル基は炭
素数1〜18のアルキル基に水酸基、ハロゲン原子(例
えば、弗素原子、塩素原子、臭素原子など)、アミド基
(例えば、CH3C−NH−など)、カルボキシル基な
どの置換基を有するものが好ましく、R1のアリール基
としてはフェニル基及びナフチル基が好ましく、置換ア
リール基としては」−記のようなアリール基に水酸基、
ハロゲン原子(例えば弗素原子、塩素原子、臭素原子な
ど)、アミド基(例えば、CH3C−NH−など)、カ
ルボキシル基などの置換基を有するものが好ましい。R
3のアルキレン基としては炭素数1〜10のものが好ま
しい。
で示される化合物において、R1のアルキル基は炭素数
1〜18のものが好ましく、R1の置換アルキル基は炭
素数1〜18のアルキル基に水酸基、ハロゲン原子(例
えば、弗素原子、塩素原子、臭素原子など)、アミド基
(例えば、CH3C−NH−など)、カルボキシル基な
どの置換基を有するものが好ましく、R1のアリール基
としてはフェニル基及びナフチル基が好ましく、置換ア
リール基としては」−記のようなアリール基に水酸基、
ハロゲン原子(例えば弗素原子、塩素原子、臭素原子な
ど)、アミド基(例えば、CH3C−NH−など)、カ
ルボキシル基などの置換基を有するものが好ましい。R
3のアルキレン基としては炭素数1〜10のものが好ま
しい。
R4のアルキル基、置換アルキル基は上記R1のアルキ
ル基および置換アルキル基と同様のものが好ましく、R
4のアルコキシ基としては、炭素数1〜8のものが好ま
しく、R4のアリール基、置換アリール基としては前記
のR,のアリール基及び置換アリール基と同じものが好
ましい。またA「の複素環式芳香族化合物基としてはチ
オフェン環、ピロール環から誘導される基が好ましく、
またArの置換フェニレン基、置換ナフチレン基および
置換複素環式芳香族基の各置換基としては、炭素数1〜
3のアルキル基、ハロゲン原子(弗素原子、塩素原子、
臭素原子など)、アミド基 ■ (CH3C−NH−など)、カルボキンル基などが好ま
しい。
ル基および置換アルキル基と同様のものが好ましく、R
4のアルコキシ基としては、炭素数1〜8のものが好ま
しく、R4のアリール基、置換アリール基としては前記
のR,のアリール基及び置換アリール基と同じものが好
ましい。またA「の複素環式芳香族化合物基としてはチ
オフェン環、ピロール環から誘導される基が好ましく、
またArの置換フェニレン基、置換ナフチレン基および
置換複素環式芳香族基の各置換基としては、炭素数1〜
3のアルキル基、ハロゲン原子(弗素原子、塩素原子、
臭素原子など)、アミド基 ■ (CH3C−NH−など)、カルボキンル基などが好ま
しい。
本発明で用いられる一般式(+)で示される、特に好ま
しい光重合開始剤の例としては、化合物1 化合物lO 化合物11 笠を挙げることができる。しかしながらここに示したも
のに限定されない。
しい光重合開始剤の例としては、化合物1 化合物lO 化合物11 笠を挙げることができる。しかしながらここに示したも
のに限定されない。
一般式(1)で示される化合物は英国特許第1、388
.492号記載の方法にて合成することができる。
.492号記載の方法にて合成することができる。
すなわち、
Y −Ar−Ct−10(n= 1)
Y−Ar−CH=CI(−CHO(n=2)(Y、Ar
は式(1)と同義) で表されるアルデヒドと4−メチル−2,6−ジ(トリ
クロロメチル)トリアジンとをトルエン中脱水条件下で
ピペリジウムアセテートを触媒として加熱還流すること
により得られる。
は式(1)と同義) で表されるアルデヒドと4−メチル−2,6−ジ(トリ
クロロメチル)トリアジンとをトルエン中脱水条件下で
ピペリジウムアセテートを触媒として加熱還流すること
により得られる。
光重合開始剤の本発明の組成物中への含有濃度は通常わ
ずかなものであり、また不適当に多い場合には有効光線
の遮蔽等好ましくない結果を生じる。本発明における一
般式(■)で表わされる光重合開始剤が光重合可能なエ
チレン性不飽和化合物と必要とするなら線状有機高分子
重合体との合計に対して0.01重量%から20重量%
の範囲で充分であり、更に好ましくは1重量%から10
重量%で良好なる結果を得る。
ずかなものであり、また不適当に多い場合には有効光線
の遮蔽等好ましくない結果を生じる。本発明における一
般式(■)で表わされる光重合開始剤が光重合可能なエ
チレン性不飽和化合物と必要とするなら線状有機高分子
重合体との合計に対して0.01重量%から20重量%
の範囲で充分であり、更に好ましくは1重量%から10
重量%で良好なる結果を得る。
更に本発明で用いる光重合開始剤に必要に応じてN−フ
ェニルグリシン、2−メルカプトベンツf’77’−/
lz、N、N−ジアルキル安息香酸アルキルエステル等
の水素供与性化合物、または、特願昭61−56377
号明細書に記載されているような9,10−ジフェニル
アントラセン、及び特願昭6i56378号明細書に記
載されているような9−フェニルカルバソール等を加え
ることによって更に光重合開始能力を高めることができ
ろ。
ェニルグリシン、2−メルカプトベンツf’77’−/
lz、N、N−ジアルキル安息香酸アルキルエステル等
の水素供与性化合物、または、特願昭61−56377
号明細書に記載されているような9,10−ジフェニル
アントラセン、及び特願昭6i56378号明細書に記
載されているような9−フェニルカルバソール等を加え
ることによって更に光重合開始能力を高めることができ
ろ。
本発明において使用することのできる「線状有機高分子
重合体」としては当然光重合可能なエチレン性不飽和化
合物と相溶性を有しているものを選択しなければならな
い。光重合可能なエチレン性不飽和化合物と相溶性のあ
る線状有機高分子重合体である限り、どれに使用しても
構わないが、望ましくは水現像あるいは弱アルカリ水現
像を可能とする様な線状有機高分子重合体を選択すべき
である。線状有機高分子重合体は、該組成物の皮膜形成
剤としてだけではなく、水、弱アルカリ水あるいは有機
溶剤現像剤としての用途に応じて使用される。たとえば
水可溶性有機高分子重合体を用いると水現像が可能とな
る。好適な線状有機高分子重合体としては、側鎖にカル
ボン酸を有する付加重合体、たとえばメタクリル酸共重
合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロ
トン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化
マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボ
ン酸を有する酸性セルロース誘導体がある。この池水酸
基を有する付加重合体に環状酸無水物を付加させたもの
等が有用である。この他に水溶性線状有機高分子重合体
としてポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド
等が有用である。また硬化皮膜の強度をあげるためにア
ルコール可溶性ナイロンや2.2−ビス−(4−ヒドロ
キシフェニル)−プロパンとエビクロロヒドリンのポリ
エーテル等も有用である。これらの線状有機高分子重合
体は全組成中に任意な量を混和させることができるが、
90重量%を超えることは形成される画像強度等の点で
好ましい結果を与えない。
重合体」としては当然光重合可能なエチレン性不飽和化
合物と相溶性を有しているものを選択しなければならな
い。光重合可能なエチレン性不飽和化合物と相溶性のあ
る線状有機高分子重合体である限り、どれに使用しても
構わないが、望ましくは水現像あるいは弱アルカリ水現
像を可能とする様な線状有機高分子重合体を選択すべき
である。線状有機高分子重合体は、該組成物の皮膜形成
剤としてだけではなく、水、弱アルカリ水あるいは有機
溶剤現像剤としての用途に応じて使用される。たとえば
水可溶性有機高分子重合体を用いると水現像が可能とな
る。好適な線状有機高分子重合体としては、側鎖にカル
ボン酸を有する付加重合体、たとえばメタクリル酸共重
合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロ
トン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化
マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボ
ン酸を有する酸性セルロース誘導体がある。この池水酸
基を有する付加重合体に環状酸無水物を付加させたもの
等が有用である。この他に水溶性線状有機高分子重合体
としてポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド
等が有用である。また硬化皮膜の強度をあげるためにア
ルコール可溶性ナイロンや2.2−ビス−(4−ヒドロ
キシフェニル)−プロパンとエビクロロヒドリンのポリ
エーテル等も有用である。これらの線状有機高分子重合
体は全組成中に任意な量を混和させることができるが、
90重量%を超えることは形成される画像強度等の点で
好ましい結果を与えない。
さらに本発明においては、以上の基本成分の他にジアゾ
樹脂を添加してもよい。
樹脂を添加してもよい。
ジアゾ樹脂としては、ネガ作用を有し、実質的に水不溶
性で有機溶媒可溶性のものが適している。
性で有機溶媒可溶性のものが適している。
このようなジアゾ樹脂としては4−ジアゾ−ジフェニル
アミン、1−ジアゾ−4−N、N−ジメチルアミノベン
セン、1−ジアゾ−4−N、N−ジエチルアミノベンセ
ン、1−ジアゾ−4−N−工チル−N−ヒドロキシエチ
ルアミノベンゼン、1−ジアゾ−4−N−メチル−N−
ヒドロキシエチルアミノベンゼン、1−ジアゾ−2,5
−ジェトキシ−4−ベンゾイルアミノベンゼン、1−シ
アソー4−N−ベンジルアミノベンゼン、1−シアソー
4−N、N−ジメチルアミノベンゼン、1−ジアゾ−4
−モルフォリノベンゼン、■−ジアゾー2.5−ジメト
キシ−4−P−)リルメルカブトベンゼン、1−ジアゾ
ル2−エトキシ−4−N、N−ジメチルアミノベンゼン
、P−ジアゾ−ジメチルアニリン、■−ジアゾー2,5
−ジブトキシー4−モルフォリノベンゼン、■−ジアゾ
ー2.5−ジェトキシ−4−モルフォリノベンゼン、1
−ジアゾ−2,5−ジメトキシ−4−モルフォリノベン
ゼン、1 ’−”アゾ−215−ジェトキシ−4−モ
ルフォリノベンゼン、■−ジアゾー2,5−ジェトキシ
ー4−P−)リルメルカブトベンゼン、■−ジアゾー3
−エトキシー4−N−メチル−N−ベンジルアミノベン
ゼン、1−ジアゾ−3−クロロ−4−N、 N−ジエチ
ルアミノベンゼン、1−ジアゾ−3−メチル−4−ピロ
リジノベンゼン、1−シアソー2−クロロ−4−N、N
−ジメチルアミノ−5−メトキシベンゼン、1−ジアゾ
−3−メトキシ−4−ピロリジノベンセン、3−メトキ
ン−シアンジフェニルアミン、3−エトキシ−4−シア
ンジフェニルアミン、3−(n−プロポキシ)−4−ジ
アゾジフェニルアミン、3−(イソプロポキン)−4−
ジアゾジフェニルアミンのようなジアゾモノマーと、ホ
ルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデ
ヒド、ブチルアルデヒド、イソブチルアルデヒド、また
はベンズアルデヒドのような縮合剤をモル比で各々11
〜1:0.5、好ましくは10.8〜1:0.6を通常
の方法で縮合して得られた縮合物と陰イオンとの反応生
成物である。陰イオンとして四フッ化ホウ酸、六フッ化
燐酸、トリイソプロピルナフタレンスルホン酸、5−ニ
トロオルト−トルエンスルホン酸、5−フルホサリチル
酸、2,5−ジメチルベンゼンスルホンL 2,4.6
−) IJメチルベンゼンスルホン酸、2−ニトロベン
ゼンスルホンL 3−クロ0ベンゼンスルホン酸、3−
ブロモベンゼンスルホン酸、2−フルオロカプリルナフ
タレンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、■−
ナフトールー5−スルホン酸、2−メトキシ−4−ヒド
ロキシ5−ベンゾイル−ベンゼンスルホン酸、及びパラ
トルエンスルホン酸等をあげることができる。又、米国
特許第3.867、147号に記載されているジアゾ樹
脂も適している。
アミン、1−ジアゾ−4−N、N−ジメチルアミノベン
セン、1−ジアゾ−4−N、N−ジエチルアミノベンセ
ン、1−ジアゾ−4−N−工チル−N−ヒドロキシエチ
ルアミノベンゼン、1−ジアゾ−4−N−メチル−N−
ヒドロキシエチルアミノベンゼン、1−ジアゾ−2,5
−ジェトキシ−4−ベンゾイルアミノベンゼン、1−シ
アソー4−N−ベンジルアミノベンゼン、1−シアソー
4−N、N−ジメチルアミノベンゼン、1−ジアゾ−4
−モルフォリノベンゼン、■−ジアゾー2.5−ジメト
キシ−4−P−)リルメルカブトベンゼン、1−ジアゾ
ル2−エトキシ−4−N、N−ジメチルアミノベンゼン
、P−ジアゾ−ジメチルアニリン、■−ジアゾー2,5
−ジブトキシー4−モルフォリノベンゼン、■−ジアゾ
ー2.5−ジェトキシ−4−モルフォリノベンゼン、1
−ジアゾ−2,5−ジメトキシ−4−モルフォリノベン
ゼン、1 ’−”アゾ−215−ジェトキシ−4−モ
ルフォリノベンゼン、■−ジアゾー2,5−ジェトキシ
ー4−P−)リルメルカブトベンゼン、■−ジアゾー3
−エトキシー4−N−メチル−N−ベンジルアミノベン
ゼン、1−ジアゾ−3−クロロ−4−N、 N−ジエチ
ルアミノベンゼン、1−ジアゾ−3−メチル−4−ピロ
リジノベンゼン、1−シアソー2−クロロ−4−N、N
−ジメチルアミノ−5−メトキシベンゼン、1−ジアゾ
−3−メトキシ−4−ピロリジノベンセン、3−メトキ
ン−シアンジフェニルアミン、3−エトキシ−4−シア
ンジフェニルアミン、3−(n−プロポキシ)−4−ジ
アゾジフェニルアミン、3−(イソプロポキン)−4−
ジアゾジフェニルアミンのようなジアゾモノマーと、ホ
ルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデ
ヒド、ブチルアルデヒド、イソブチルアルデヒド、また
はベンズアルデヒドのような縮合剤をモル比で各々11
〜1:0.5、好ましくは10.8〜1:0.6を通常
の方法で縮合して得られた縮合物と陰イオンとの反応生
成物である。陰イオンとして四フッ化ホウ酸、六フッ化
燐酸、トリイソプロピルナフタレンスルホン酸、5−ニ
トロオルト−トルエンスルホン酸、5−フルホサリチル
酸、2,5−ジメチルベンゼンスルホンL 2,4.6
−) IJメチルベンゼンスルホン酸、2−ニトロベン
ゼンスルホンL 3−クロ0ベンゼンスルホン酸、3−
ブロモベンゼンスルホン酸、2−フルオロカプリルナフ
タレンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、■−
ナフトールー5−スルホン酸、2−メトキシ−4−ヒド
ロキシ5−ベンゾイル−ベンゼンスルホン酸、及びパラ
トルエンスルホン酸等をあげることができる。又、米国
特許第3.867、147号に記載されているジアゾ樹
脂も適している。
これらの中でも特に六フッ化燐酸やトリイソプロピルナ
フタレンスルホン酸や2,5−ジメチルベンゼンスルホ
ン酸のごときアルキル芳香族スルホン酸が好適である。
フタレンスルホン酸や2,5−ジメチルベンゼンスルホ
ン酸のごときアルキル芳香族スルホン酸が好適である。
これらのジアゾ樹脂の全組成物に対する添加量は1〜3
0%であり、より好ましくは3〜15%である。
0%であり、より好ましくは3〜15%である。
更にジアゾ樹脂の安定化剤として、リン酸、亜リン酸、
酒石酸、クエン酸、リンゴ酸、ジピコリン酸、多核芳香
族スルホン酸およびその塩、スルホサリチル酸を必要に
応じて添加することもできる。
酒石酸、クエン酸、リンゴ酸、ジピコリン酸、多核芳香
族スルホン酸およびその塩、スルホサリチル酸を必要に
応じて添加することもできる。
更に露光時の酸素の影響を排除するために、特願昭60
−125460号及び特願昭60−151864号に記
載されている高級脂肪酸及び高級脂肪酸アミド、例えば
ベヘン酸及びベヘン酸アミF等を添加することもできる
。
−125460号及び特願昭60−151864号に記
載されている高級脂肪酸及び高級脂肪酸アミド、例えば
ベヘン酸及びベヘン酸アミF等を添加することもできる
。
更に露光時の真空密着性を向上させ感光層表面の酸素を
減少させる技術としてマット剤を添加することができる
。
減少させる技術としてマット剤を添加することができる
。
さらに本発明においては以上の基本成分の他に感光性組
成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレ
ン性不飽和化合物の不要な熱重合を阻止するために少量
の熱重合防止剤を添加することが望ましい。適当な熱重
合防止剤としてはハイドロキノン、p−メトキシフエノ
ーノペジ−を一フチルーp−タレゾーノペピロガロール
、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4.4’−チ
オビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2
.2′−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフ
ェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール、N−
ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が
あげられる。また、場合によっては、感光層の着色を目
的として染料もしくは顔料や、硬化皮膜の物性を改良す
る目的として無機光てん剤を加えてもよい。
成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレ
ン性不飽和化合物の不要な熱重合を阻止するために少量
の熱重合防止剤を添加することが望ましい。適当な熱重
合防止剤としてはハイドロキノン、p−メトキシフエノ
ーノペジ−を一フチルーp−タレゾーノペピロガロール
、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4.4’−チ
オビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2
.2′−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフ
ェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール、N−
ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が
あげられる。また、場合によっては、感光層の着色を目
的として染料もしくは顔料や、硬化皮膜の物性を改良す
る目的として無機光てん剤を加えてもよい。
本発明の光重合性組成物は、例えば、2−メトキンエタ
ノール、2−メトキシエチルアセテート、プロピレング
リコールモノメチルエーテノペ3−メトキシプロパノー
ル、3−メトキシプロピルアセテート、メチルエチルケ
トン、エチレンジクロライドなどの適当な溶剤の単独ま
たはこれらを適当に組合せた混合溶媒に溶解して支持体
上に設けることができる。その被覆量は乾燥後の重量で
約0、1 g / m’〜約10g/m’の範囲が適当
であり、より好ましくはO15〜5 g / m’であ
る。
ノール、2−メトキシエチルアセテート、プロピレング
リコールモノメチルエーテノペ3−メトキシプロパノー
ル、3−メトキシプロピルアセテート、メチルエチルケ
トン、エチレンジクロライドなどの適当な溶剤の単独ま
たはこれらを適当に組合せた混合溶媒に溶解して支持体
上に設けることができる。その被覆量は乾燥後の重量で
約0、1 g / m’〜約10g/m’の範囲が適当
であり、より好ましくはO15〜5 g / m’であ
る。
さらにまた、本発明の光重合性組成物が、所期の目的を
達成するだめの公知の他の添加剤(例えば、焼出し剤等
)を含み得ることは論をまたない。
達成するだめの公知の他の添加剤(例えば、焼出し剤等
)を含み得ることは論をまたない。
」1記支持体としては、寸度的に安定な板状物が用いら
れる。このような寸度的に安定な板状物としては、従来
印刷版の支持体として使用されたものが含まれ、それら
を好適に使用することができq る。かかる支持体としては、紙、プラスチック(例えば
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンなど)が
ラミネートされた紙、例えばアルミニウム(アルミニウ
ム合金も含む。)、亜鉛、銅などのような金属の板、例
えば二酢酸セルロース、三酢酸セルロース、プロピオン
酸セルロース、醋酸セルロース、酢酸醋酸セルロース、
硝酸セルロース、ポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネ
ート、ポリビニルアセタールなどのようなプラスチック
のフィルム、上記の如き金属がラミネートもしくは蒸着
された紙もしくはプラスチックフィルムなどが含まれる
。これらの支持体のうち、アルミニウム板は寸度的に著
しく安定であり、しかも安価であるので特に好ましい。
れる。このような寸度的に安定な板状物としては、従来
印刷版の支持体として使用されたものが含まれ、それら
を好適に使用することができq る。かかる支持体としては、紙、プラスチック(例えば
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンなど)が
ラミネートされた紙、例えばアルミニウム(アルミニウ
ム合金も含む。)、亜鉛、銅などのような金属の板、例
えば二酢酸セルロース、三酢酸セルロース、プロピオン
酸セルロース、醋酸セルロース、酢酸醋酸セルロース、
硝酸セルロース、ポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネ
ート、ポリビニルアセタールなどのようなプラスチック
のフィルム、上記の如き金属がラミネートもしくは蒸着
された紙もしくはプラスチックフィルムなどが含まれる
。これらの支持体のうち、アルミニウム板は寸度的に著
しく安定であり、しかも安価であるので特に好ましい。
更に、特公昭48−18327号公報に記されているよ
うなポリエチレンテレツクレートフィルム上にアルミニ
ウムシートが結合された複合体シートも好ましい。
うなポリエチレンテレツクレートフィルム上にアルミニ
ウムシートが結合された複合体シートも好ましい。
また金属、特にアルミニウムの表面を有する支持体の場
合には、砂目立て処理、珪酸ソーダ、弗化ジルコニウム
酸カリウム、燐酸塩等の水溶液への浸漬処理、あるいは
陽極酸化処理などの表面処理がなされていることが好ま
しい。また、米国特許第2.714.066号明細書に
記載されている如く、砂目立てしたのちに珪酸す) I
Jウム水溶液に浸1貴処理されたアルミニウム板、特公
昭47−5125号公報に記載されているようにアルミ
ニウム板を陽極酸化処理したのちに、アルカリ金属珪酸
塩の水溶液に浸漬処理したものも好適に使用される。上
記陽極酸化処理は、例えば、燐酸、クロム酸、硫酸、硼
酸等の無機酸、若しくは蓚酸、スルファミン酸等の有機
酸またはこれらの塩の水溶液又は非水溶液の単独又は二
種以上を組み合わせた電解液中でアルミニウム板を陽極
として電流を流すことにより実施される。
合には、砂目立て処理、珪酸ソーダ、弗化ジルコニウム
酸カリウム、燐酸塩等の水溶液への浸漬処理、あるいは
陽極酸化処理などの表面処理がなされていることが好ま
しい。また、米国特許第2.714.066号明細書に
記載されている如く、砂目立てしたのちに珪酸す) I
Jウム水溶液に浸1貴処理されたアルミニウム板、特公
昭47−5125号公報に記載されているようにアルミ
ニウム板を陽極酸化処理したのちに、アルカリ金属珪酸
塩の水溶液に浸漬処理したものも好適に使用される。上
記陽極酸化処理は、例えば、燐酸、クロム酸、硫酸、硼
酸等の無機酸、若しくは蓚酸、スルファミン酸等の有機
酸またはこれらの塩の水溶液又は非水溶液の単独又は二
種以上を組み合わせた電解液中でアルミニウム板を陽極
として電流を流すことにより実施される。
また、米国特許第3.658.662号明細書に記載さ
れているようなシリケート電着も有効である。
れているようなシリケート電着も有効である。
更には特公昭61−27481号公報、特開昭52−5
8602号公報、特開昭52−30503号公報に開示
されているような電解グレインを施した支持体と、上記
陽極6弓 酸化処理及び珪酸ソーダ処理を組合せた表面処理も有用
である。
8602号公報、特開昭52−30503号公報に開示
されているような電解グレインを施した支持体と、上記
陽極6弓 酸化処理及び珪酸ソーダ処理を組合せた表面処理も有用
である。
更には、特願昭56−28893号公報に開示されてい
るような、ブラシフレイン、電解グレイン、陽極酸化処
理はさらに珪酸ソーダ処理を順に行ったものも好適であ
る。
るような、ブラシフレイン、電解グレイン、陽極酸化処
理はさらに珪酸ソーダ処理を順に行ったものも好適であ
る。
更にこれらの処理を行った後に、水溶性の樹脂、たとえ
ばポリビニルフォスホン酸、スルホン酸基を側鎖に有す
る重合体および共重合体、ポリアクリル酸等を下塗りし
たものも好適である。
ばポリビニルフォスホン酸、スルホン酸基を側鎖に有す
る重合体および共重合体、ポリアクリル酸等を下塗りし
たものも好適である。
これらの親水化処理は、支持体の表面を親水性とするた
めに施される以外に、その上に設けられる光重合性組成
物の有害な反応を防ぐため、更には感光層の密着性の向
上等のために施されるものである。
めに施される以外に、その上に設けられる光重合性組成
物の有害な反応を防ぐため、更には感光層の密着性の向
上等のために施されるものである。
支持体上に設けられた光重合性組成物の層の上には、空
気中の酸素による重合禁止作用を完全に防止するため、
例えばポリビニルアルコール、酸性セルロース類などの
ような酸素遮断性に優れたポリマーよりなる保護層を設
けCもよい。この様な保護層の塗布方法については、例
えば米国特許第3.458.311号、特公昭55−4
9729号明細書に詳しく記載されている。
気中の酸素による重合禁止作用を完全に防止するため、
例えばポリビニルアルコール、酸性セルロース類などの
ような酸素遮断性に優れたポリマーよりなる保護層を設
けCもよい。この様な保護層の塗布方法については、例
えば米国特許第3.458.311号、特公昭55−4
9729号明細書に詳しく記載されている。
本発明の光重合性組成物を支持体−にに設けた感光性プ
レートをメタルハライドランプ、高圧水銀灯などのよう
な紫外線に富んだ光源を用いて画像露光し、現像液で処
理して感光層の未露光部を除去し、最後にガム液を塗布
することにより印刷版とする。−11記現像液として好
ましいものは、ベンジルアルコール、2−フェノキシエ
タノール、2−ブトキシェタノールのような有機溶媒を
少景含むアルカリ水溶液であり、例えば米国特許第3、
475.171号および同3.615.480号に記載
されているものを挙げることができる。
レートをメタルハライドランプ、高圧水銀灯などのよう
な紫外線に富んだ光源を用いて画像露光し、現像液で処
理して感光層の未露光部を除去し、最後にガム液を塗布
することにより印刷版とする。−11記現像液として好
ましいものは、ベンジルアルコール、2−フェノキシエ
タノール、2−ブトキシェタノールのような有機溶媒を
少景含むアルカリ水溶液であり、例えば米国特許第3、
475.171号および同3.615.480号に記載
されているものを挙げることができる。
更に、特開昭50−266旧号、特公昭56−3946
4号、同56−42860号の各公報に記載されている
現像液も上記感光性印刷版の現像液として優れている。
4号、同56−42860号の各公報に記載されている
現像液も上記感光性印刷版の現像液として優れている。
以下実施例をもって本発明を説明するが本発明はこれに
限定されるものではない。
限定されるものではない。
実施例1〜14
厚さ0.30mmのアルミニウム板をナイロンプランと
400メツシユのパミストンの水懸濁液とを用いその表
面を砂目立てした後、よく水で洗浄した。10%水酸化
す) IJウムに70℃で60秒間浸漬してエツチング
した後、流水で水洗後20%HN○3で中和洗浄し、次
いて水洗した。これをVA−12,7Vの条件下で正弦
波の交番波形電流を用いて1%硝酸水溶液中で160ク
ロ一ン/dm’の陽極特電気量で電解阻血化処理を行っ
た。その表面粗さを測定したところ、0.6μ(Ra表
示)であった。ひきづづいて30%のH2SO,水溶液
中に浸漬し50℃で2分間デスマットした後、20%H
2SO4水溶液中、電流密・度2Δ/ d m’におい
て厚さが2.7 g / m’になるように2分間陽極
酸化処理した。その後70℃のケイ酸ソーダ2.5%水
溶液に1分間浸漬水洗乾燥させた。
400メツシユのパミストンの水懸濁液とを用いその表
面を砂目立てした後、よく水で洗浄した。10%水酸化
す) IJウムに70℃で60秒間浸漬してエツチング
した後、流水で水洗後20%HN○3で中和洗浄し、次
いて水洗した。これをVA−12,7Vの条件下で正弦
波の交番波形電流を用いて1%硝酸水溶液中で160ク
ロ一ン/dm’の陽極特電気量で電解阻血化処理を行っ
た。その表面粗さを測定したところ、0.6μ(Ra表
示)であった。ひきづづいて30%のH2SO,水溶液
中に浸漬し50℃で2分間デスマットした後、20%H
2SO4水溶液中、電流密・度2Δ/ d m’におい
て厚さが2.7 g / m’になるように2分間陽極
酸化処理した。その後70℃のケイ酸ソーダ2.5%水
溶液に1分間浸漬水洗乾燥させた。
このように処理されたアルミニウム板上に、下記組成の
感光液を乾燥塗布重量が2g/m’となるように塗布し
、100℃で2分間乾燥させ感光性プレートを得た。尚
、使用した光重合開始剤及びその感光液中の使用量はそ
れぞれ第1表に示す。
感光液を乾燥塗布重量が2g/m’となるように塗布し
、100℃で2分間乾燥させ感光性プレートを得た。尚
、使用した光重合開始剤及びその感光液中の使用量はそ
れぞれ第1表に示す。
・光重合開始剤(第1表に表示)0.1 gS 、−、
、7酸 6.05g・ベヘン
酸アミド 0.05 g・エチレ
ンクリコールモノメチルエーテル 25g・メタノール
7.5g・メチルエチルケ
トン 15g得られた感光性平版印
刷版を60℃の条件に5日間放置した。こうして得られ
た感光性平版印刷版を顕微鏡により表面観察し、版の表
面を濾紙でこすりメタノールで抽出してU■測測定行な
い光重合開始剤のなき出しの有無を確認した。結果を第
1表に示す。
、7酸 6.05g・ベヘン
酸アミド 0.05 g・エチレ
ンクリコールモノメチルエーテル 25g・メタノール
7.5g・メチルエチルケ
トン 15g得られた感光性平版印
刷版を60℃の条件に5日間放置した。こうして得られ
た感光性平版印刷版を顕微鏡により表面観察し、版の表
面を濾紙でこすりメタノールで抽出してU■測測定行な
い光重合開始剤のなき出しの有無を確認した。結果を第
1表に示す。
比較例1〜9の試料のなき出した部分を分析したところ
、各光重合開始剤であることが同定できた。
、各光重合開始剤であることが同定できた。
一般式(1)の光重合開始剤においてYが極性基のもの
が特に良い結果を与えている。
が特に良い結果を与えている。
更に実施例1〜14で得られた感光性平版印刷版を25
℃(実験室内)及び60℃の温度条件にそれぞれ5日間
放置した。
℃(実験室内)及び60℃の温度条件にそれぞれ5日間
放置した。
こうして得られた感光性平版印刷版の感光層上に富士写
真フィルム側製の富士PSステップガイド(△D=0.
15で不連続に透過濃度が変化するグレースケール)を
密着させ、10アンペアの高圧水銀灯で70cmの距離
から露光を行なった。
真フィルム側製の富士PSステップガイド(△D=0.
15で不連続に透過濃度が変化するグレースケール)を
密着させ、10アンペアの高圧水銀灯で70cmの距離
から露光を行なった。
現像は特公昭56−42860号明細書記載の現像液で
処理し、未露光部を除去した。25℃(実験室内)と6
0℃の温度条件に5日間放置した各試料をグレースケー
ルで3段目が完全にベタとなる露光時間を比較した。
処理し、未露光部を除去した。25℃(実験室内)と6
0℃の温度条件に5日間放置した各試料をグレースケー
ルで3段目が完全にベタとなる露光時間を比較した。
第1表で光重合開始剤の結晶析出がなかった実施例1〜
14の試料は、ステップガイドで3段目が完全にベタと
なる露光時間に差はなかった。しかしながら比較例1〜
9の試料は、60℃の条件に放置した方がすべて露光時
間が長く必要であった。
14の試料は、ステップガイドで3段目が完全にベタと
なる露光時間に差はなかった。しかしながら比較例1〜
9の試料は、60℃の条件に放置した方がすべて露光時
間が長く必要であった。
(発明の効果)
本発明によれば一般式(1)の光重合開始剤を用いるこ
とによって、経時により光重合開始剤が感光層表面に移
動して析出し、さらに場合によっては凝集して結晶化す
るいわゆるなき出し現象を防止した新規な感光性組成物
を提供することができる。
とによって、経時により光重合開始剤が感光層表面に移
動して析出し、さらに場合によっては凝集して結晶化す
るいわゆるなき出し現象を防止した新規な感光性組成物
を提供することができる。
Claims (2)
- (1)活性光線により光重合可能な少なくとも1個のエ
チレン性不飽和基をもつ単量体、及び一般式( I )の
光重合開始剤を含有する感光性組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) 〔式中、Yは−COOR_1、 ▲数式、化学式、表等があります▼ −O−(CH_2)−_lCOOR_1、 −R_3−COOR_1、−R_3−CONHR_1又
は−NHCO−R_4を表す(ただし、R_1は水素原
子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基又は置換
アリール基、R_2は水素原子又はメチル基、R_3は
アルキレン基、R_4はアルキル基、置換アルキル基、
アルコキシ基、アリール基又は置換アリール基を表わし
、l及びmは1から10の整数を表わす。);Arは置
換又は非置換のフェニレン基、ナフチレン基又は複素環
式芳香族基を表す;Xは塩素原子又は臭素原子を表す;
nは1又は2の整数を表す。〕 - (2)更に線状有機高分子重合体を含有する特許請求の
範囲第(1)項記載の感光性組成物。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61213671A JPH0642074B2 (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 感光性組成物 |
US07/092,885 US4826753A (en) | 1986-09-10 | 1987-09-04 | Light-sensitive composition containing an unsaturated monomer and a photopolymerization initiator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61213671A JPH0642074B2 (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 感光性組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6368831A true JPS6368831A (ja) | 1988-03-28 |
JPH0642074B2 JPH0642074B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=16643037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61213671A Expired - Fee Related JPH0642074B2 (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 感光性組成物 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4826753A (ja) |
JP (1) | JPH0642074B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009522406A (ja) * | 2005-12-30 | 2009-06-11 | コーニング インコーポレイテッド | 蛍光染料 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5262276A (en) * | 1988-05-11 | 1993-11-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Light-sensitive compositions |
US5273862A (en) * | 1988-07-29 | 1993-12-28 | Hoechst Aktiengesellschaft | Photopolymerizable recording material comprising a cover layer substantially impermeable to oxygen, binds oxygen and is soluble in water at 20°C. |
US5387682A (en) * | 1988-09-07 | 1995-02-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Halomethyl-1,3,5-triazines containing a monomeric moiety |
US5260161A (en) * | 1989-05-06 | 1993-11-09 | Konica Corporation | Photosensitive composition and photosensitive lithographic printing plate comprising in admixture a tetrapolymer and a diazo resin |
CA2034274A1 (en) * | 1990-02-07 | 1991-08-08 | James A. Bonham | Polymers containing halomethyl-1,3,5-triazine moieties |
US5298361A (en) * | 1991-08-30 | 1994-03-29 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Light-sensitive article containing migration-resistant halomethyl-1,3,5-triazine photoinitiator |
US6010824A (en) * | 1992-11-10 | 2000-01-04 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Photosensitive resin composition containing a triazine compound and a pre-sensitized plate using the same, and photosensitive resin composition containing acridine and triazine compounds and a color filter and a pre-sensitized plate using the same |
JP3115462B2 (ja) * | 1993-12-14 | 2000-12-04 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性組成物及び感光性平版印刷版 |
JP2718007B2 (ja) * | 1995-06-06 | 1998-02-25 | 太陽インキ製造株式会社 | アルカリ現像可能な一液型フォトソルダーレジスト組成物及びそれを用いたプリント配線板の製造方法 |
US5837586A (en) * | 1997-02-14 | 1998-11-17 | Kodak Polychrome Graphics Company, Ltd. | 4-(alkoxyhydroxy)styryl triazine photinitiators and photo sensitive composition |
US5847133A (en) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ionic halomethyl-1,3,5-triazine photoinitiators |
US6010821A (en) | 1997-05-23 | 2000-01-04 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Aqueous developable color proofing elements |
US5910394A (en) * | 1997-06-18 | 1999-06-08 | Shipley Company, L.L.C. | I-line photoresist compositions |
CN117567827B (zh) * | 2024-01-15 | 2024-04-05 | 正晟包装科技(广东)有限公司 | 一种环保型可降解塑料及其制备方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3954475A (en) * | 1971-09-03 | 1976-05-04 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Photosensitive elements containing chromophore-substituted vinyl-halomethyl-s-triazines |
US3987037A (en) * | 1971-09-03 | 1976-10-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Chromophore-substituted vinyl-halomethyl-s-triazines |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP61213671A patent/JPH0642074B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-09-04 US US07/092,885 patent/US4826753A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009522406A (ja) * | 2005-12-30 | 2009-06-11 | コーニング インコーポレイテッド | 蛍光染料 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4826753A (en) | 1989-05-02 |
JPH0642074B2 (ja) | 1994-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6370243A (ja) | 感光性組成物 | |
JPH0363740B2 (ja) | ||
JPS62212401A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPH052227B2 (ja) | ||
JPH0365542B2 (ja) | ||
US5080999A (en) | Light-sensitive diazo resin composition containing a higher fatty acid or higher fatty acid amide | |
JPS6368831A (ja) | 感光性組成物 | |
JPH11271969A (ja) | 光重合性組成物及び感光性平版印刷版 | |
JPH0854735A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS62212643A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPH04113362A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPH0766186B2 (ja) | 感光性組成物 | |
JPH1130858A (ja) | 感光性平版印刷版 | |
JPS6332541A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPH0774906B2 (ja) | 光重合性組成物 | |
JPH11311862A (ja) | 光重合性感光材料 | |
JPH0375750A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS62175730A (ja) | 感光性組成物 | |
JPH0254268A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS63257748A (ja) | 水溶性感光性組成物 | |
JPS63257749A (ja) | 感光性組成物 | |
JP3810964B2 (ja) | 感光性組成物及び感光性平版印刷版 | |
JP2835728B2 (ja) | 感光性平版印刷版 | |
JPS6261044A (ja) | 感光性組成物 | |
JPS63254443A (ja) | 感光性組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |