JPS6365094B2 - - Google Patents
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- JPS6365094B2 JPS6365094B2 JP8090281A JP8090281A JPS6365094B2 JP S6365094 B2 JPS6365094 B2 JP S6365094B2 JP 8090281 A JP8090281 A JP 8090281A JP 8090281 A JP8090281 A JP 8090281A JP S6365094 B2 JPS6365094 B2 JP S6365094B2
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- Japan
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- vacuum
- chamber
- lower seal
- medium passage
- seal roll
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- Expired
Links
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C37/00—Component parts, details, accessories or auxiliary operations, not covered by group B29C33/00 or B29C35/00
- B29C37/0089—Sealing devices placed between articles and treatment installations during moulding or shaping, e.g. sealing off the entrance or exit of ovens or irradiation rooms, connections between rooms at different pressures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
Landscapes
- Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は塩化ビニール系のプラスチツクフイル
ム、シートあるいは被覆電線などを連続的に真空
状態でプラズマ処理する真空連続処理装置に関す
る。
ム、シートあるいは被覆電線などを連続的に真空
状態でプラズマ処理する真空連続処理装置に関す
る。
最近、真空処理室の前後に予備真空室を配置
し、段階的に真空圧力を下げて被処理物を連続的
に表面処理する装置が開発されている。
し、段階的に真空圧力を下げて被処理物を連続的
に表面処理する装置が開発されている。
この予備真空室は、上下方向に対接し、被処理
物の搬送方向に並置する一対のシールロールと、
このシールロールの一部に軸方向に沿つて連続的
に対接するリツプ部材およびサイドシールなどを
具えている。
物の搬送方向に並置する一対のシールロールと、
このシールロールの一部に軸方向に沿つて連続的
に対接するリツプ部材およびサイドシールなどを
具えている。
なお、この種の装置として関連するものには例
えば特開昭54−95672号が挙げられる。
えば特開昭54−95672号が挙げられる。
一対のシールロールはリツプ部材あるいはサイ
ドシールとの摺動により発熱して温度が上昇し、
被処理物が熱的影響を受けて熱変形したり、また
被処理物の温度変化に起因して処理効果にバラツ
キが生じる。
ドシールとの摺動により発熱して温度が上昇し、
被処理物が熱的影響を受けて熱変形したり、また
被処理物の温度変化に起因して処理効果にバラツ
キが生じる。
本発明は、被処理物の熱変形および処理効果の
バラツキを防止するのに好適な真空連続処理装置
を提供することを目的とする。
バラツキを防止するのに好適な真空連続処理装置
を提供することを目的とする。
本発明の特徴とするところは、一対のシールロ
ールのうち、一方又は両方のシールロールに軸方
向にのびる温度調節用媒体通路を穿設したもので
ある。
ールのうち、一方又は両方のシールロールに軸方
向にのびる温度調節用媒体通路を穿設したもので
ある。
温度調節用媒体通路に冷却水を供給することに
よりシールロールの摺動による発熱を防止でき、
このため被処理物が熱的影響を受けて熱変形する
ことがなくなる。
よりシールロールの摺動による発熱を防止でき、
このため被処理物が熱的影響を受けて熱変形する
ことがなくなる。
以下本発明の一実施例を図面により説明する。
第１図および第２図において、１はプラスチツ
クフイルム例えば塩化ビニール系樹脂フイルムの
ように可撓性の被処理物Ｆを真空状態で連続的に
プラズマ処理する真空処理室、２は真空処理室１
の前方側に複数個配置される予備真空室、３は真
空処理室１の後方側に複数個配置される予備真空
室で、前記真空処理室１内はこれは接続する真空
ポンプ４により10-2トール程度の真空圧力に保持
するように排気管５を介して真空排気される。前
記予備真空室２，３内はこれに接続する真空ポン
プ６により前記真空処理室１内の真空圧力より若
干高く、かつ大気圧より段階的に減じる真空圧力
に保持するように排気管７を介して真空排気され
る。
クフイルム例えば塩化ビニール系樹脂フイルムの
ように可撓性の被処理物Ｆを真空状態で連続的に
プラズマ処理する真空処理室、２は真空処理室１
の前方側に複数個配置される予備真空室、３は真
空処理室１の後方側に複数個配置される予備真空
室で、前記真空処理室１内はこれは接続する真空
ポンプ４により10-2トール程度の真空圧力に保持
するように排気管５を介して真空排気される。前
記予備真空室２，３内はこれに接続する真空ポン
プ６により前記真空処理室１内の真空圧力より若
干高く、かつ大気圧より段階的に減じる真空圧力
に保持するように排気管７を介して真空排気され
る。
処理される被処理物Ｆは巻出装置８より前方側
の予備真空室２を経て真空処理室１へ送られ、そ
こでプラズマ処理された後、さらに後方側の予備
真空室３を経て巻取装置９で巻取られる。
の予備真空室２を経て真空処理室１へ送られ、そ
こでプラズマ処理された後、さらに後方側の予備
真空室３を経て巻取装置９で巻取られる。
前記前方および後方予備真空室２，３は第３図
および第４図に示すように、上下一対のシールロ
ール１０，１１、ケース１２およびリツプ部材１
３、サイドピース１４などから構成されており、
以下にその詳細を説明する。
および第４図に示すように、上下一対のシールロ
ール１０，１１、ケース１２およびリツプ部材１
３、サイドピース１４などから構成されており、
以下にその詳細を説明する。
第３図および第４図において、一方の上シール
ロール１０は金属たとえば鉄と、この鉄の表面に
固着される弾性体たとえばニトリルゴム、シリコ
ンゴム、ウレタンゴムなどのゴム１５により成つ
ており、他方の下シールロール１１は鉄のみから
成つている。この下シールロール１１には、軸方
向にのびる温度調節用媒体通路１６が設けられて
おり、この温度調節用媒体通路１６に外部から供
給される媒体例えば冷却水により下シールロール
１１は冷却される。前記ケース１２に固定された
リツプ部材１３は上下シールロール１０，１１の
外周面の軸方向に沿つて連続的に対接されてお
り、たとえばウレタンゴムなど耐摩耗性の大なる
ものを使用する。また、サイドピース１４はケー
ス１２および上下シールロール１０，１１の両端
側とハウジング１７との間に介在されている。前
記温度調節用媒体通路１６に接続する回転側の配
管と外部の固定側の配管はロータリジヨイント１
８により連結されている。
ロール１０は金属たとえば鉄と、この鉄の表面に
固着される弾性体たとえばニトリルゴム、シリコ
ンゴム、ウレタンゴムなどのゴム１５により成つ
ており、他方の下シールロール１１は鉄のみから
成つている。この下シールロール１１には、軸方
向にのびる温度調節用媒体通路１６が設けられて
おり、この温度調節用媒体通路１６に外部から供
給される媒体例えば冷却水により下シールロール
１１は冷却される。前記ケース１２に固定された
リツプ部材１３は上下シールロール１０，１１の
外周面の軸方向に沿つて連続的に対接されてお
り、たとえばウレタンゴムなど耐摩耗性の大なる
ものを使用する。また、サイドピース１４はケー
ス１２および上下シールロール１０，１１の両端
側とハウジング１７との間に介在されている。前
記温度調節用媒体通路１６に接続する回転側の配
管と外部の固定側の配管はロータリジヨイント１
８により連結されている。
上記の構成において、上下シールロール１０，
１１間のシールは、一方のシールロール１０のゴ
ム１５を被処理物Ｆを介して他方の下シールロー
ル１１に押付け、上シールロール１０のゴム１５
をたわませることにより施される。また、上下シ
ールロール１０，１１とリツプ部材１３間のシー
ルは、リツプ部材１３をそれぞれ上下シールロー
ルに押付けることにより施される。さらに、上下
シールロール１０，１１とサイドピース１４間の
シールは、サイドピース１４をバネなどを介して
ケース１２に押付けることにより施される。
１１間のシールは、一方のシールロール１０のゴ
ム１５を被処理物Ｆを介して他方の下シールロー
ル１１に押付け、上シールロール１０のゴム１５
をたわませることにより施される。また、上下シ
ールロール１０，１１とリツプ部材１３間のシー
ルは、リツプ部材１３をそれぞれ上下シールロー
ルに押付けることにより施される。さらに、上下
シールロール１０，１１とサイドピース１４間の
シールは、サイドピース１４をバネなどを介して
ケース１２に押付けることにより施される。
このようにリツプ部材１３あるいはサイドピー
ス１４との間にシールを施す上下シールロール１
０，１１が摺動しても、下シールロール１１には
常にロータリジヨイント１８および温度調節用媒
体通路１６を介して冷却水が供給されているた
め、シールロールの摺動による発熱を防止するこ
とができる。このため、被処理物Ｆが熱的影響を
受けて熱変形をすることがない。また、被処理物
Ｆの温度変化に起因する処理効果のバラツキも防
止できる。
ス１４との間にシールを施す上下シールロール１
０，１１が摺動しても、下シールロール１１には
常にロータリジヨイント１８および温度調節用媒
体通路１６を介して冷却水が供給されているた
め、シールロールの摺動による発熱を防止するこ
とができる。このため、被処理物Ｆが熱的影響を
受けて熱変形をすることがない。また、被処理物
Ｆの温度変化に起因する処理効果のバラツキも防
止できる。
尚、本発明の一実施例の説明においては、温度
調節用媒体通路を供給する媒体として冷却水を使
用しているが、媒体として蒸発などを使用した場
合には下記の効果を有する。
調節用媒体通路を供給する媒体として冷却水を使
用しているが、媒体として蒸発などを使用した場
合には下記の効果を有する。
すなわち、温度調節用媒体通路に蒸発を供給す
ることによつてシールロールを加熱させ、真空処
理室内でのプラズマ処理に先だつて、被処理物の
成形歪みを解放することにより良好な処理成形品
を得ることができる。
ることによつてシールロールを加熱させ、真空処
理室内でのプラズマ処理に先だつて、被処理物の
成形歪みを解放することにより良好な処理成形品
を得ることができる。
また、プラズマ処理によつて生じた表活性点を
有する表面改質層は、大気中に暴露した場合に空
気酸化などによつて劣化する現象を生じるが、こ
れらの現象はプラズマ処理後、大気に暴露する以
前に、シールロールを加熱して熱処理効果を与え
ることにより防止できる。
有する表面改質層は、大気中に暴露した場合に空
気酸化などによつて劣化する現象を生じるが、こ
れらの現象はプラズマ処理後、大気に暴露する以
前に、シールロールを加熱して熱処理効果を与え
ることにより防止できる。
さらに、本発明の一実施例においては、温度調
節用媒体通路を下シールロールに設けた場合につ
いて説明したが、勿論上シーネロールに設けても
よい。
節用媒体通路を下シールロールに設けた場合につ
いて説明したが、勿論上シーネロールに設けても
よい。
本発明によれば、シールロールの温度を一定に
保持することができるため、被処理物の熱変形お
よび温度変化に起因する処理効果のバラツキを防
止することができる。
保持することができるため、被処理物の熱変形お
よび温度変化に起因する処理効果のバラツキを防
止することができる。
第１図は本発明装置の一実施例を示す概略縦面
図、第２図は第１図の概略平面図、第３図は本発
明装置における予備真空室のシール手段を説明す
るための断面図、第４図は第３図の４−４線断面
図である。 １……真空処理室、２，３……予備真空室、１
０……シールロール、１１……下シールロール、
１３……リツプ部材、１４……サイドピース、１
６……温度調節用媒体通路。
図、第２図は第１図の概略平面図、第３図は本発
明装置における予備真空室のシール手段を説明す
るための断面図、第４図は第３図の４−４線断面
図である。 １……真空処理室、２，３……予備真空室、１
０……シールロール、１１……下シールロール、
１３……リツプ部材、１４……サイドピース、１
６……温度調節用媒体通路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空処理室と予備真空室とを具え、該予備真
空室を、上下一対のシールロールを被処理物の搬
送方向に複数組配置することにより形成し、前記
真空処理室で被処理物を連続的に処理する真空連
続処理装置において、前記一対のシールロールの
うち、一方又は両方のシールロールに軸方向にの
びる温度調節用媒体通路を穿設したことを特徴と
する真空連続処理装置。 ２ 温度調節用媒体通路をシールロールの軸心に
設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の真空連続処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8090281A JPS57195748A (en) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | Continuous vacuum treatment apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8090281A JPS57195748A (en) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | Continuous vacuum treatment apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57195748A JPS57195748A (en) | 1982-12-01 |
| JPS6365094B2 true JPS6365094B2 (ja) | 1988-12-14 |
Family
ID=13731294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8090281A Granted JPS57195748A (en) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | Continuous vacuum treatment apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57195748A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60942A (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-07 | Hitachi Ltd | 真空連続処理装置 |
| CN103317638A (zh) * | 2013-05-31 | 2013-09-25 | 吉铨精密机械(苏州)有限公司 | 一种丝股铸带头的隔热板 |
-
1981
- 1981-05-29 JP JP8090281A patent/JPS57195748A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57195748A (en) | 1982-12-01 |
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