JPS6358348A - レクチルの表面保護用具 - Google Patents
レクチルの表面保護用具Info
- Publication number
- JPS6358348A JPS6358348A JP61203034A JP20303486A JPS6358348A JP S6358348 A JPS6358348 A JP S6358348A JP 61203034 A JP61203034 A JP 61203034A JP 20303486 A JP20303486 A JP 20303486A JP S6358348 A JPS6358348 A JP S6358348A
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- Japan
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- chambers
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
レチクルの表面を保護する保護用具であって、レチクル
の表面に設置され、所定の位置に空洞状の室を設けた枠
状のフレームと、このフレーム上に貼着された樹脂膜と
よりなり、このフレームをレチクル上に設置した後、空
洞状の室に設けたバルブを用いて空洞状の室を減圧状態
に保つことで前記フレームをレチクル上に固定し、また
前記バルブを用いて前記空洞状の室をフレームの外側の
空間部と同様な圧力にすることでレチクル上よりフレー
ムを取り外すようにすることで、着脱の容易なレチクル
の表面の保護用具を提供する。
の表面に設置され、所定の位置に空洞状の室を設けた枠
状のフレームと、このフレーム上に貼着された樹脂膜と
よりなり、このフレームをレチクル上に設置した後、空
洞状の室に設けたバルブを用いて空洞状の室を減圧状態
に保つことで前記フレームをレチクル上に固定し、また
前記バルブを用いて前記空洞状の室をフレームの外側の
空間部と同様な圧力にすることでレチクル上よりフレー
ムを取り外すようにすることで、着脱の容易なレチクル
の表面の保護用具を提供する。
本発明はレチクルの表面の保護用具に係り、特に簡単な
操作で取りつけ、および取り外しが容易なレチクル表面
の保護用具に関する。
操作で取りつけ、および取り外しが容易なレチクル表面
の保護用具に関する。
半導体装置の製造に用いるホトマスクを形成するには、
まずガラス基板上にクロム（Ｃｒ）等の金属膜を所定の
パターンに形成した被膜を設けてレチクルを形成し、こ
のレチクルを縮小露光してホトマスクを形成している。
まずガラス基板上にクロム（Ｃｒ）等の金属膜を所定の
パターンに形成した被膜を設けてレチクルを形成し、こ
のレチクルを縮小露光してホトマスクを形成している。
ところで、このレチクルを形成する金属膜は微細なパタ
ーンに形成されており、その表面に傷がつきやすく、ま
た大気中の塵埃が付着しやすい問題があり、このような
塵埃の付着したレチクルを用いてホトマスクを形成する
と、形成されるホトマスクに塵埃の部分が転写されたり
して正確なパターンが形成されない問題がある。
ーンに形成されており、その表面に傷がつきやすく、ま
た大気中の塵埃が付着しやすい問題があり、このような
塵埃の付着したレチクルを用いてホトマスクを形成する
と、形成されるホトマスクに塵埃の部分が転写されたり
して正確なパターンが形成されない問題がある。
そこで、このレチクルの表面に塵埃が付着しないような
、レチクルの表面保護用具が使用されているが、この用
具が容易にレチクルに対してＭ説自在に設置できる構造
のものが要望されている。
、レチクルの表面保護用具が使用されているが、この用
具が容易にレチクルに対してＭ説自在に設置できる構造
のものが要望されている。
第３図に従来のレチクルの表面保護用具を、レチクル上
に設置した状態の平面図を示し、第４図に第３図をＩＶ
−ｒＶ“線に沿った断面図を示す。
に設置した状態の平面図を示し、第４図に第３図をＩＶ
−ｒＶ“線に沿った断面図を示す。
第３図および第４図に示すように、従来のレチクルの表
面保護用具は、アルミニウム（Ａｇ）等の金属製の枠状
のフレーム１と、このフレーム１の上に貼着されたニト
ロセルローズ等の樹脂膜２とより成り、このフレーム１
が接着材３を用いてレチクル４に貼着されている。
面保護用具は、アルミニウム（Ａｇ）等の金属製の枠状
のフレーム１と、このフレーム１の上に貼着されたニト
ロセルローズ等の樹脂膜２とより成り、このフレーム１
が接着材３を用いてレチクル４に貼着されている。
そして通常このフレーム１の下部には、両面接着テープ
と、この両面接着テープの接着部分を被覆する樹脂膜が
設けられており、この被覆用の樹脂膜を剥がした状態で
、両面接着テープの接着材を用いてフレーム１をレチク
ル４上に接着している。
と、この両面接着テープの接着部分を被覆する樹脂膜が
設けられており、この被覆用の樹脂膜を剥がした状態で
、両面接着テープの接着材を用いてフレーム１をレチク
ル４上に接着している。
〔発明が解決しようとする問題点］
ところで、この接着材３は強固で、−旦レチクル４上に
フレーム１を接着した後、このフレーム１を取り外して
、フレーム１と樹脂膜２より成るレチクルの表面保護用
具を再使用しようとする際、このフレーム１の下部にド
ライバー等を挿入して、このドライバーを移動させなか
ら、レチクル４よりフレーム１を取り外している。
フレーム１を接着した後、このフレーム１を取り外して
、フレーム１と樹脂膜２より成るレチクルの表面保護用
具を再使用しようとする際、このフレーム１の下部にド
ライバー等を挿入して、このドライバーを移動させなか
ら、レチクル４よりフレーム１を取り外している。
そのため、フレーム１をレチクル４より取り外す時に、
フレームｌが変形する問題があり、取り外しの作業が困
難となる問題がある。
フレームｌが変形する問題があり、取り外しの作業が困
難となる問題がある。
このようなレチクルの表面保護用具は高価で、そのため
、マスク製作のコストが大となる問題があった。
、マスク製作のコストが大となる問題があった。
またフレーム１を接着材でレチクル４上に貼着する際、
レチクル４の表面が損傷したり、接着材で汚損したりす
る問題もある。
レチクル４の表面が損傷したり、接着材で汚損したりす
る問題もある。
本発明は上記した問題点を解決し、レチクルの表面に対
して着脱が容易なレチクル表面保護用具の提供を目的と
する。
して着脱が容易なレチクル表面保護用具の提供を目的と
する。
本発明のレチクル表面の保護用具は、レチクルの表面に
設置される枠状のフレームと、該フレームの所定の位置
に設けられた空洞状の室と、 該空洞状の室に設置され、前記空洞状の室とフレームの
外側の空間部間とを接続し、前記空洞状の室を減圧に保
つためのバルブと、 該フレーム上に貼着された樹脂膜とより成る。
設置される枠状のフレームと、該フレームの所定の位置
に設けられた空洞状の室と、 該空洞状の室に設置され、前記空洞状の室とフレームの
外側の空間部間とを接続し、前記空洞状の室を減圧に保
つためのバルブと、 該フレーム上に貼着された樹脂膜とより成る。
本発明のレチクルの表面保護用具は、フレームの所定の
位置に空洞状の室を設け、この室にフレームの外側の空
間部の間に通じるバルブを設け、このバルブを用いてフ
レームに設けた空洞状の室を、減圧状態に保つことで容
易にレチクルの表面保護用具をレチクル上に固定するよ
うにする。
位置に空洞状の室を設け、この室にフレームの外側の空
間部の間に通じるバルブを設け、このバルブを用いてフ
レームに設けた空洞状の室を、減圧状態に保つことで容
易にレチクルの表面保護用具をレチクル上に固定するよ
うにする。
またこの空洞状の室をフレームの外（ｉｌｌの大気圧と
同様な圧力にすることで、このレチクルの表面保護用具
をレチクルより容易に取り外せるようにする。
同様な圧力にすることで、このレチクルの表面保護用具
をレチクルより容易に取り外せるようにする。
Ｃ実施例〕
以下、図面を用いて本発明の一実施例につき詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明のレチクルの表面保護用具の平面図で、
第２図は第１図のｎ−ｎ ’線に沿った断面図である。
第２図は第１図のｎ−ｎ ’線に沿った断面図である。
第１図、および第２図に図示するように、本発明のレチ
クルの表面保護用具１１は、前記したように〜等のフレ
ーム１２の所定の位置に空洞状の室１３を設け、この空
洞状の室１３とフレーム１２の外側の空間との間を接続
するバルブ１４を設置する。
クルの表面保護用具１１は、前記したように〜等のフレ
ーム１２の所定の位置に空洞状の室１３を設け、この空
洞状の室１３とフレーム１２の外側の空間との間を接続
するバルブ１４を設置する。
そしてフレーム１２上には、ニトロセルローズのような
樹脂膜１５が貼着されている。
樹脂膜１５が貼着されている。
このようなフレーム１２をレチクル１６上に設置した後
、バルブ１３を開いてこのバルブ１３に連なる真空ポン
プ等を用いて空洞状の室１３内を排気して、この室１３
内を減圧状態にして、フレーム１２をレチクル１６上に
固定する。
、バルブ１３を開いてこのバルブ１３に連なる真空ポン
プ等を用いて空洞状の室１３内を排気して、この室１３
内を減圧状態にして、フレーム１２をレチクル１６上に
固定する。
またレチクル１６の表面に固定したレチクルの表面保護
用具１１を、レチルクル１６より取り外す時には、この
バルブ１４を開放にして、フレーム１２の外部の空間と
同様な大気圧とすることで容易に取り外せる。
用具１１を、レチルクル１６より取り外す時には、この
バルブ１４を開放にして、フレーム１２の外部の空間と
同様な大気圧とすることで容易に取り外せる。
このようにすれば、レチクル１６の表面を傷つけること
なく、また複数回繰り返して使用できるレチクルの表面
保護用具が得られる。
なく、また複数回繰り返して使用できるレチクルの表面
保護用具が得られる。
以上述べたように、本発明によれば、レチクル表面をＨ
１傷することなく、容易にレチクル表面より取り外しが
可能で、複数回繰り返して使用することのできるレチク
ルの表面保護用具が得られる効果があり、本発明の用具
を用いればマスクの製造コストが低下できる利点がある
。
１傷することなく、容易にレチクル表面より取り外しが
可能で、複数回繰り返して使用することのできるレチク
ルの表面保護用具が得られる効果があり、本発明の用具
を用いればマスクの製造コストが低下できる利点がある
。
第１図は本発明のレチクルの表面保護用具の一実施例の
平面図、 第２図は第１図のｎ−ｎ ’線に沿った断面図、第３図
は従来のレチクルの表面保護用具の斜視図、 第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ ’線に沿った断面図であ
る。 図に於いて、 １１はレチクルの表面保護用具、１２はフＬ／−ム、１
３は室、１４はバルブ、１５は樹脂膜、１６はレチクル
室１３ ７杢仝ロア帖し千フル表酉１了はｍ臭！早悄田酊第１図 ｉ＋ｊ 、７カ４□−ユ凍１，５う７゜、ヶヵヮ第２
区 状踏４レチフル表狛４子枦１刊もｓＦ面図第３図 ｉ３ ｍｔｐ＝ ＩＶ −ＩＶ ’！Ｒｔ＝ ５’ｔ；
坪９ｆｎｒＡ第４図
平面図、 第２図は第１図のｎ−ｎ ’線に沿った断面図、第３図
は従来のレチクルの表面保護用具の斜視図、 第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ ’線に沿った断面図であ
る。 図に於いて、 １１はレチクルの表面保護用具、１２はフＬ／−ム、１
３は室、１４はバルブ、１５は樹脂膜、１６はレチクル
室１３ ７杢仝ロア帖し千フル表酉１了はｍ臭！早悄田酊第１図 ｉ＋ｊ 、７カ４□−ユ凍１，５う７゜、ヶヵヮ第２
区 状踏４レチフル表狛４子枦１刊もｓＦ面図第３図 ｉ３ ｍｔｐ＝ ＩＶ −ＩＶ ’！Ｒｔ＝ ５’ｔ；
坪９ｆｎｒＡ第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レチクル（１６）の表面に設置される枠状のフレーム（
１２）と、 該フレーム（１２）の所定の位置に設けられた空洞状の
室（１３）と、 該空洞状の室（１３）に設置され、前記空洞状の室（１
３）とフレーム（１２）の外側の空間部間とを接続し、
前記空洞状の室（１３）を減圧に保つためのバルブ（１
４）と、 該フレーム（１２）上に貼着された樹脂膜（１５）とよ
り成ることを特徴とするレチクルの表面保護用具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203034A JPS6358348A (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 | レクチルの表面保護用具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203034A JPS6358348A (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 | レクチルの表面保護用具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6358348A true JPS6358348A (ja) | 1988-03-14 |
Family
ID=16467253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61203034A Pending JPS6358348A (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 | レクチルの表面保護用具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6358348A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101930167A (zh) * | 2009-06-24 | 2010-12-29 | 信越化学工业株式会社 | 防护膜框架及光刻用防护膜 |
| CN106233201A (zh) * | 2014-05-02 | 2016-12-14 | 三井化学株式会社 | 防护膜组件框、防护膜组件及其制造方法、曝光原版及其制造方法、曝光装置以及半导体装置的制造方法 |
-
1986
- 1986-08-28 JP JP61203034A patent/JPS6358348A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101930167A (zh) * | 2009-06-24 | 2010-12-29 | 信越化学工业株式会社 | 防护膜框架及光刻用防护膜 |
| CN106233201A (zh) * | 2014-05-02 | 2016-12-14 | 三井化学株式会社 | 防护膜组件框、防护膜组件及其制造方法、曝光原版及其制造方法、曝光装置以及半导体装置的制造方法 |
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