JPS6355985A - 積層型圧電体 - Google Patents
積層型圧電体Info
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- JPS6355985A JPS6355985A JP61199561A JP19956186A JPS6355985A JP S6355985 A JPS6355985 A JP S6355985A JP 61199561 A JP61199561 A JP 61199561A JP 19956186 A JP19956186 A JP 19956186A JP S6355985 A JPS6355985 A JP S6355985A
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
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- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
-
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-
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電圧を印加することによりその電圧印加方向
に収縮する圧電板を複数枚積層してなる積層型圧電体に
関するもので、この積層型圧電体は種々のアクチュエー
タとして用いることができる。
に収縮する圧電板を複数枚積層してなる積層型圧電体に
関するもので、この積層型圧電体は種々のアクチュエー
タとして用いることができる。
この種の積層型圧電体に関するものを本願発明者らは本
願出願前に特願昭60−117163号(以下先願とい
う)にて提案している。
願出願前に特願昭60−117163号(以下先願とい
う)にて提案している。
この先願では複数枚の圧電板をその伸縮方向に積層し、
各圧電板の上下面には金属電極を形成しさらにこの金属
電極にはリボン状の金属板が電気的に接続されている。
各圧電板の上下面には金属電極を形成しさらにこの金属
電極にはリボン状の金属板が電気的に接続されている。
このリボン状の金属電極板は、各圧電板の金属電極とほ
ぼ同一形状をなす電極部をそれぞれ複数個連続して一体
的に成形されており、このリボン状金属板を電極部の連
結部において屈曲せしめることにより、互いに隣接する
2枚の圧電板の一方の圧電板の上面側金属電極および他
方の圧電板の下面側金属電極に交互に連続して接続せし
められている。そしてこのリボン状金属電極の折り曲げ
部を各圧電板の側面におしあてこれにより、複数枚積層
された圧電板の固定を行っている。
ぼ同一形状をなす電極部をそれぞれ複数個連続して一体
的に成形されており、このリボン状金属板を電極部の連
結部において屈曲せしめることにより、互いに隣接する
2枚の圧電板の一方の圧電板の上面側金属電極および他
方の圧電板の下面側金属電極に交互に連続して接続せし
められている。そしてこのリボン状金属電極の折り曲げ
部を各圧電板の側面におしあてこれにより、複数枚積層
された圧電板の固定を行っている。
しかしながらこのような先願に示される積層型圧電体で
は、圧電板の上下面に形成される金属電極がその周縁部
を残してその中心部のみにしか形成されておらず、従っ
て金属板および金属電極を介して印加されるべき電圧は
この金属電極が形成されていない周縁部には供給されて
いない。従って、1枚の圧電板においてもその伸縮量の
ばらつきが中央部と周縁部において生じ、その結果圧電
板に割れ(クラック)が発生するという問題がある。
は、圧電板の上下面に形成される金属電極がその周縁部
を残してその中心部のみにしか形成されておらず、従っ
て金属板および金属電極を介して印加されるべき電圧は
この金属電極が形成されていない周縁部には供給されて
いない。従って、1枚の圧電板においてもその伸縮量の
ばらつきが中央部と周縁部において生じ、その結果圧電
板に割れ(クラック)が発生するという問題がある。
また積層された圧電板を固定するためにリボン状の屈曲
部を圧電板の側周部におしあてている。
部を圧電板の側周部におしあてている。
すなわち、リボン状の金属電極はその電極部および屈曲
部すべてにおいて圧電板に密着した状態となっている。
部すべてにおいて圧電板に密着した状態となっている。
従って、圧電板が伸縮すればそれに伴ってその伸縮力が
圧電板に作用し、この圧電板の伸縮が複数回行われるに
したがって、金属電極にも無理な力が作用し、結局金属
電極に亀裂が生じてしまうという心配がある。
圧電板に作用し、この圧電板の伸縮が複数回行われるに
したがって、金属電極にも無理な力が作用し、結局金属
電極に亀裂が生じてしまうという心配がある。
、 本発明はこのような問題点に鑑み、圧電板の伸縮量
のひずみを是正するととも、金属電極に亀裂が生じると
いった心配をなくすことを目的とする。
のひずみを是正するととも、金属電極に亀裂が生じると
いった心配をなくすことを目的とする。
そこで本発明では次のような手段を講じた。すなわち、
各圧電板の間に配する電極板を金属電極と略同−平板形
状をなす2つの電極とこれら2つの電極部を互いに連結
する架橋部とから構成する。
各圧電板の間に配する電極板を金属電極と略同−平板形
状をなす2つの電極とこれら2つの電極部を互いに連結
する架橋部とから構成する。
そして圧電板をその伸縮方向に複数枚積層した状態にお
いて、前記電極板の1つの電極部は互いに隣接する2枚
の圧電板のうち一方の圧電板の一方向側金属電極に接続
させる。また、前記電極板の他方の電極部は前述の2枚
の圧電体のうち他方の圧電板の他方向側金属電極に接続
させる。そして電極板の架橋部は圧電板の側部より所定
距離だけ隔離せしめるように配置させた。
いて、前記電極板の1つの電極部は互いに隣接する2枚
の圧電板のうち一方の圧電板の一方向側金属電極に接続
させる。また、前記電極板の他方の電極部は前述の2枚
の圧電体のうち他方の圧電板の他方向側金属電極に接続
させる。そして電極板の架橋部は圧電板の側部より所定
距離だけ隔離せしめるように配置させた。
本発明では、電極板に電圧を印加するとこの電圧が金属
板および金属電極を介して各圧電板に印加される。この
電圧が供給された圧電板はそれぞれその電圧印加方向に
伸長あるいは収縮する。
板および金属電極を介して各圧電板に印加される。この
電圧が供給された圧電板はそれぞれその電圧印加方向に
伸長あるいは収縮する。
このとき各圧電板の両平面にはその全面にわたって金属
電極が形成されているので、各圧電板は均一な電圧供給
を受け、その結果としてその伸縮量も均一なものとなる
。従って、1枚の圧電板内における伸縮量のばらつきに
よる圧電板の割れといった問題を防止することができる
のである。
電極が形成されているので、各圧電板は均一な電圧供給
を受け、その結果としてその伸縮量も均一なものとなる
。従って、1枚の圧電板内における伸縮量のばらつきに
よる圧電板の割れといった問題を防止することができる
のである。
また各圧電板が伸縮する際それに伴い、金属電極もその
移動量、伸縮量を受けることになるが、その移動量は圧
電板の側部より所定距離だけ離間せしめられて位置に配
されている架橋部がたわむことにより、その移動量を吸
収する。よってこの金属電極に無理な引っ張り力などが
作用することはなく、多数回連続して圧電板を伸縮せし
めてもこの電極板に亀裂が生じるといった心配は全くな
いのである。
移動量、伸縮量を受けることになるが、その移動量は圧
電板の側部より所定距離だけ離間せしめられて位置に配
されている架橋部がたわむことにより、その移動量を吸
収する。よってこの金属電極に無理な引っ張り力などが
作用することはなく、多数回連続して圧電板を伸縮せし
めてもこの電極板に亀裂が生じるといった心配は全くな
いのである。
第1図はその両平面に金属電極2が形成せしめられた圧
電板1を複数枚積層し、その複数枚積層すると同時にそ
の間に電極板3を介在せしめて、積層体100を構成せ
しめた状態を示す模式的断面図である。
電板1を複数枚積層し、その複数枚積層すると同時にそ
の間に電極板3を介在せしめて、積層体100を構成せ
しめた状態を示す模式的断面図である。
圧電板1は直径が約15龍、厚さが0.5 mmをなす
円板状の部材で、例えばセラミックなどの圧電材料より
成形せしめられる。この円板状をなす圧電板の両平面(
上下面)には、銀ペーストを真空蒸着することにより、
金属電極2がその全面にわたって形成されている。なお
、この金属電極には金、白金等の金属ペーストあるいは
金属メッキ。
円板状の部材で、例えばセラミックなどの圧電材料より
成形せしめられる。この円板状をなす圧電板の両平面(
上下面)には、銀ペーストを真空蒸着することにより、
金属電極2がその全面にわたって形成されている。なお
、この金属電極には金、白金等の金属ペーストあるいは
金属メッキ。
スパッタ蒸着によるものでもよい。
この圧電板1はその上下面に形成された金属電極2に正
の電圧あるいは負の電圧を印加することにより、その電
圧印加方向(圧電板1の板圧方向)に伸縮する。そして
、この圧電板1は複数枚その伸縮方向に積層されている
。
の電圧あるいは負の電圧を印加することにより、その電
圧印加方向(圧電板1の板圧方向)に伸縮する。そして
、この圧電板1は複数枚その伸縮方向に積層されている
。
この積層された各圧電板1の間にはそれぞれ電気的に金
属電極に接続される電極板3が介在せしめられている。
属電極に接続される電極板3が介在せしめられている。
この電極板3は第2図に示すように、金属電極2と電気
的に接続させるため、金属電極にほぼ同一の平面形状(
円板形状)をなす2つの電極部301,302と、この
円形の2つの電極部301,302を互いに連結せしめ
る帯状の架橋部303とからなる。この電極部301あ
るいは電極部302を圧電板1の金属電極2に接続させ
るわけであるが、この際電極部301と架橋部303の
連結部において電極板3は屈曲せしめられており、電極
部301は互いに隣接する2つの圧電板のうち一方の圧
電板の上面に接続され、またもう1つの電極部302は
互いに隣接する圧電板の他方の圧電板2の下面側の金属
電極に接続されている。このような接続状態でもって各
圧電板1の金属電極には、2つの電極部301,302
およびこの電極部をつなぐ架橋部303を有する電極板
3が接続されているのである。なおこの際第1図からも
わかるように、この電極板3のうち隣接する電極板によ
って互いに挟持せしめられる2つの電極板3は、互いに
同一位置において、その架橋部303が位置せしめられ
ており、この一連の金属電極には同一の電圧が印加せし
められるのである。なお第1図からも明らかなように電
極板3の電極部301,302は金属電極2に密着した
状態となっているが、架橋部303は圧電板1の側周部
より所定距離だけ離れた位置にて位置せしめられている
。
的に接続させるため、金属電極にほぼ同一の平面形状(
円板形状)をなす2つの電極部301,302と、この
円形の2つの電極部301,302を互いに連結せしめ
る帯状の架橋部303とからなる。この電極部301あ
るいは電極部302を圧電板1の金属電極2に接続させ
るわけであるが、この際電極部301と架橋部303の
連結部において電極板3は屈曲せしめられており、電極
部301は互いに隣接する2つの圧電板のうち一方の圧
電板の上面に接続され、またもう1つの電極部302は
互いに隣接する圧電板の他方の圧電板2の下面側の金属
電極に接続されている。このような接続状態でもって各
圧電板1の金属電極には、2つの電極部301,302
およびこの電極部をつなぐ架橋部303を有する電極板
3が接続されているのである。なおこの際第1図からも
わかるように、この電極板3のうち隣接する電極板によ
って互いに挟持せしめられる2つの電極板3は、互いに
同一位置において、その架橋部303が位置せしめられ
ており、この一連の金属電極には同一の電圧が印加せし
められるのである。なお第1図からも明らかなように電
極板3の電極部301,302は金属電極2に密着した
状態となっているが、架橋部303は圧電板1の側周部
より所定距離だけ離れた位置にて位置せしめられている
。
またこの電極板3は金属製の導電体ならば、いずれの材
料でもよ(、本実施例においてはステンレス鋼より形成
されている。
料でもよ(、本実施例においてはステンレス鋼より形成
されている。
この第1図に示すように圧電板1および電極板3を交互
に積層してなる積層体100は、第3図に示すようにケ
ース内に収納されることにより、アクチュエータの作用
をなす積層型圧電体を構成する。第3図はこのアクチュ
エータとしての積層型圧電体を示すもので、第3図の(
a)はその上面図、第3図の(b)は第3図の(a)の
図中A−A断面状態を示すものである。
に積層してなる積層体100は、第3図に示すようにケ
ース内に収納されることにより、アクチュエータの作用
をなす積層型圧電体を構成する。第3図はこのアクチュ
エータとしての積層型圧電体を示すもので、第3図の(
a)はその上面図、第3図の(b)は第3図の(a)の
図中A−A断面状態を示すものである。
第1図のようにして積層された積層体100の電極板3
には、リード線11が半田付は等の手段によりそれぞれ
接続されている。一方のリード線には例えば正の電圧が
印加され、他方のリード線をアースすることにより各圧
電板lに正の電圧が印加されるのである。
には、リード線11が半田付は等の手段によりそれぞれ
接続されている。一方のリード線には例えば正の電圧が
印加され、他方のリード線をアースすることにより各圧
電板lに正の電圧が印加されるのである。
このようにリード線11が接続された積層体100の外
周は、テフロンなどの材質よりなる中空状の樹脂ケース
5により覆われている。そして積層体100の両端面に
は非磁性材料よりなる円板状のダミー板7a、7bが配
されている。
周は、テフロンなどの材質よりなる中空状の樹脂ケース
5により覆われている。そして積層体100の両端面に
は非磁性材料よりなる円板状のダミー板7a、7bが配
されている。
樹脂ケース5の外周には円筒状をなす金属ケース6によ
り覆われている。この金属ケース6の一端は開口し、他
端側にはその内方に向かって所定量だけ突出する円環状
のフランジ部6aが形成されている。そしてこの金属ケ
ース6のフランジ部6aが形成されている側の端部には
下金属カバー8bがダミー板7bと当接しながら、配さ
れており、この下金属カバー8bは前述のフランジ部6
aと係合することにより、下方への落下を防止されてい
る。
り覆われている。この金属ケース6の一端は開口し、他
端側にはその内方に向かって所定量だけ突出する円環状
のフランジ部6aが形成されている。そしてこの金属ケ
ース6のフランジ部6aが形成されている側の端部には
下金属カバー8bがダミー板7bと当接しながら、配さ
れており、この下金属カバー8bは前述のフランジ部6
aと係合することにより、下方への落下を防止されてい
る。
一方、上ダミー板7aの上方には上金属カバー8aが配
されている。そしてこの上金属カバー8aを覆いさらに
金属ケース6の外周を覆うようにして締めつけ用金属カ
バー10が金属ケース6に螺着せしめられている。
されている。そしてこの上金属カバー8aを覆いさらに
金属ケース6の外周を覆うようにして締めつけ用金属カ
バー10が金属ケース6に螺着せしめられている。
この締めつけ用金属カバー10の一端側にも内方に向か
って突出する円環状のフランジ部10aが形成されてお
り、このフランジ部10aと上金属カバー8aの台座部
81との間にウェーブワッシャが配されている。このウ
ェーブワッシャ9の付勢力によって上金属カバー8aは
上ダミー板7aに向けて付勢されている。従って、積層
体1゜Oが伸長すれば上金属カバー8aはフランジ部6
aに当接したまま固定状態となっているので、その伸長
量は上金属カバー8aの移動量となって現れる。すなわ
ち、積層体100が伸長すれば、上金属カバー8aはウ
ェーブワッシャ9の勢力に抗して締めつけ用金属カバー
10のフランジ部1゜に当接するまで移動することにな
る。
って突出する円環状のフランジ部10aが形成されてお
り、このフランジ部10aと上金属カバー8aの台座部
81との間にウェーブワッシャが配されている。このウ
ェーブワッシャ9の付勢力によって上金属カバー8aは
上ダミー板7aに向けて付勢されている。従って、積層
体1゜Oが伸長すれば上金属カバー8aはフランジ部6
aに当接したまま固定状態となっているので、その伸長
量は上金属カバー8aの移動量となって現れる。すなわ
ち、積層体100が伸長すれば、上金属カバー8aはウ
ェーブワッシャ9の勢力に抗して締めつけ用金属カバー
10のフランジ部1゜に当接するまで移動することにな
る。
また樹脂ケース5にはその内周面に縦溝501がそれぞ
れ向かい合う位置に形成されている。この縦溝501は
樹脂ケース5の内面をその軸方向に渡って伸びるもので
、その断面は四角形状をなす溝部となっている。そして
上述したごとく圧電体1の側周部より所定距離だけ隔離
せしめて位置している架橋部303は同一位置において
直線状に配置甘めしられているので、この直線状に配せ
られた架橋部303がこの樹脂ケース5の縦溝501内
に位置せしめられているのである。すなわち一連の架橋
部303が向かい合う縦溝の一方側に位置せしめられ、
他連の架橋部3はその向かい合う縦溝501内に位置せ
しめられているのである。
れ向かい合う位置に形成されている。この縦溝501は
樹脂ケース5の内面をその軸方向に渡って伸びるもので
、その断面は四角形状をなす溝部となっている。そして
上述したごとく圧電体1の側周部より所定距離だけ隔離
せしめて位置している架橋部303は同一位置において
直線状に配置甘めしられているので、この直線状に配せ
られた架橋部303がこの樹脂ケース5の縦溝501内
に位置せしめられているのである。すなわち一連の架橋
部303が向かい合う縦溝の一方側に位置せしめられ、
他連の架橋部3はその向かい合う縦溝501内に位置せ
しめられているのである。
なお、ウェーブワッシャ9の付勢力は締めつけ金属カバ
ー10を金属ケース6に螺着せしめる際その螺着量を調
整することにより付勢力も調整されている。
ー10を金属ケース6に螺着せしめる際その螺着量を調
整することにより付勢力も調整されている。
次の本実施例の作動について説明する。リード線11よ
り電極板3および金属電極2を介して各圧電板1に電圧
を印加する。
り電極板3および金属電極2を介して各圧電板1に電圧
を印加する。
この電圧印加により各電極板は同一方向に伸長する。こ
の各圧電板の1がすなわち積層体100が伸長すれば、
上述した如(上金属カバー8bは固定された状態となっ
ているので、その伸長量は上金属カバー8aの伸長量と
なって現れる。この金属カバー8aの移動量を例えば弁
体により伝えることにより弁体の開閉を行わしめたり、
あるいは種々の非駆動部材に伝達させることにより、ア
クチュエータとしての作動をなさしめるのである。
の各圧電板の1がすなわち積層体100が伸長すれば、
上述した如(上金属カバー8bは固定された状態となっ
ているので、その伸長量は上金属カバー8aの伸長量と
なって現れる。この金属カバー8aの移動量を例えば弁
体により伝えることにより弁体の開閉を行わしめたり、
あるいは種々の非駆動部材に伝達させることにより、ア
クチュエータとしての作動をなさしめるのである。
こ゛のとき各圧電板1に接続されている電極3も各圧電
板1の伸長にともなって変形せしめられるが、その変形
量は架橋部303がたわむことにより吸収せしめられて
いる。
板1の伸長にともなって変形せしめられるが、その変形
量は架橋部303がたわむことにより吸収せしめられて
いる。
以上のような作動を本実施例はなさしめるのである。
なお上述の実施例では電極板3の架橋部303を単なる
帯状部材としたが、例えば第4図に示すように架橋部3
04の幅を架橋部304と電極部301の連結部よりも
広くした帯状となすこともできる。
帯状部材としたが、例えば第4図に示すように架橋部3
04の幅を架橋部304と電極部301の連結部よりも
広くした帯状となすこともできる。
また第5図に示すように架橋部305をその中心部にて
その幅が減少せしめた形状となすことも可能である。
その幅が減少せしめた形状となすことも可能である。
また上述の例では樹脂ケース5をチューブ状の樹脂剤よ
り構成していたが、例えば第6図に示すようにこの樹脂
ケース5を二分割した構成としてもよい。すなわち、そ
の中心部にて溶状に分離する第1部材5aと第2部材5
bとから構成し、この第1部材5a、第2部材5bを互
いに接合することにより円筒状の樹脂ケース5となさし
めることも可能である。なおこの樹脂ケーヒ5の内周面
には前述の実施例と同様軸方向に伸びる断面四角状の縦
溝501が互いに向かい合うようにして形成されている
。
り構成していたが、例えば第6図に示すようにこの樹脂
ケース5を二分割した構成としてもよい。すなわち、そ
の中心部にて溶状に分離する第1部材5aと第2部材5
bとから構成し、この第1部材5a、第2部材5bを互
いに接合することにより円筒状の樹脂ケース5となさし
めることも可能である。なおこの樹脂ケーヒ5の内周面
には前述の実施例と同様軸方向に伸びる断面四角状の縦
溝501が互いに向かい合うようにして形成されている
。
次に本発明の他の変形例について述べる。第3図に示し
た実施例では上金属カバー8bが金属ケース6のフラン
ジ部6aに当接して移動不可能な固定状態としたが、第
7図に示すように上金属カバー8bについても上金属カ
バー8aと同様ウェーブワッシャ9を介在せしめて移動
可能なような構成としてもよい。このような構成とする
ことにより積層体100の移動量が上金属カバー8aお
よび上金属カバー8bの両方の移動量となって表すこと
ができる。
た実施例では上金属カバー8bが金属ケース6のフラン
ジ部6aに当接して移動不可能な固定状態としたが、第
7図に示すように上金属カバー8bについても上金属カ
バー8aと同様ウェーブワッシャ9を介在せしめて移動
可能なような構成としてもよい。このような構成とする
ことにより積層体100の移動量が上金属カバー8aお
よび上金属カバー8bの両方の移動量となって表すこと
ができる。
また第8図に示すものでは、上金属カバーを金属ケース
6と一体とした構成としている。すなわち、第3図に示
した例では金属ケース6を筒状形状となし、その両端部
に上金属カバー8a、下金属カバー8bを配設している
が、本例では一端側に底面を有するコツプ形状となして
もよい。但し、開放端側については第3図に示す実施例
と同様上ダミー板7aを介して土金属カバー8aを配設
し、その外方より締めつけ金属カバー10にて覆うよう
にしている。
6と一体とした構成としている。すなわち、第3図に示
した例では金属ケース6を筒状形状となし、その両端部
に上金属カバー8a、下金属カバー8bを配設している
が、本例では一端側に底面を有するコツプ形状となして
もよい。但し、開放端側については第3図に示す実施例
と同様上ダミー板7aを介して土金属カバー8aを配設
し、その外方より締めつけ金属カバー10にて覆うよう
にしている。
第9図は本発明の第2実施例を示すもので、電極板3の
架橋部303に第9図に示すようにステンレス製あるい
はステンレス孔などの金属よりなり、電極板3よりも板
圧の厚い補助電極板14をスポット溶接している。これ
により電極板3になんらかの原因によって亀裂あるいは
切断が生じてもこの補助電極14によって電極の断線を
防止することができる。また電極板3に過電流が流れた
場合においても、この補助電極抜工4によって電極板3
の溶断を防止することができるのである。
架橋部303に第9図に示すようにステンレス製あるい
はステンレス孔などの金属よりなり、電極板3よりも板
圧の厚い補助電極板14をスポット溶接している。これ
により電極板3になんらかの原因によって亀裂あるいは
切断が生じてもこの補助電極14によって電極の断線を
防止することができる。また電極板3に過電流が流れた
場合においても、この補助電極抜工4によって電極板3
の溶断を防止することができるのである。
なおこの第9図に示す実施例においても補助電極板4の
外周は樹脂ケースにより覆われており、その他の構成に
ついては上述の実施例と全(同様である。
外周は樹脂ケースにより覆われており、その他の構成に
ついては上述の実施例と全(同様である。
第1図は圧電板1と電極板との積層状態を示す模式的断
面図、第2図は電極板の平面図、第3図は積層型圧電板
を示すもので、第3図の(alはその平面図を示し、第
3図の(b)は第3図のta+のA−A断面を示す図、
第4図は電極板の他の例を示す平面図、第5図は電極板
の他の例を示す平面図、第6図は樹脂ケースの他の例を
示す図で、第6図の(a)はその平面図、第6図の(b
)はその側面図、第7図は本発明の変形例を示す断面図
、第8図は本発明の他の変形例を示す断面図、第9図は
本発明の第2実施例を示す模式的断面図である。 1・・・圧電板、2・・・金属電極、3・・・電極板、
301.302・・・電極部、303・・・架橋部。
面図、第2図は電極板の平面図、第3図は積層型圧電板
を示すもので、第3図の(alはその平面図を示し、第
3図の(b)は第3図のta+のA−A断面を示す図、
第4図は電極板の他の例を示す平面図、第5図は電極板
の他の例を示す平面図、第6図は樹脂ケースの他の例を
示す図で、第6図の(a)はその平面図、第6図の(b
)はその側面図、第7図は本発明の変形例を示す断面図
、第8図は本発明の他の変形例を示す断面図、第9図は
本発明の第2実施例を示す模式的断面図である。 1・・・圧電板、2・・・金属電極、3・・・電極板、
301.302・・・電極部、303・・・架橋部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 電圧を印加することにより電圧印加方向に伸縮する複
数枚の板状の圧電板と、 前記圧電板の両平面に全面にわたって形成される金属電
極と、 この金属電極に電気的に接続される電極板とを備え、 前記電極板は前記金属電極と略同一平面形状をなす2つ
の電極部と、これら2つの電極部を互いに連結する架橋
部とから成り、 前記圧電板をその伸縮方向に複数枚積層した状態におい
て、前記電極板の1つの電極部は互いに隣接する2枚の
圧電板の一方の圧電板の一方向側金属電極に接続され、
前記電極板の他の電極部は他方の圧電板の他方向側金属
電極に接続され、前記架橋部は前記圧電板の側部より所
定距離だけ隔離せしめてなる積層型圧電体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61199561A JPS6355985A (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 積層型圧電体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61199561A JPS6355985A (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 積層型圧電体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6355985A true JPS6355985A (ja) | 1988-03-10 |
Family
ID=16409873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61199561A Pending JPS6355985A (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 積層型圧電体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6355985A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0383963U (ja) * | 1989-12-15 | 1991-08-26 | ||
DE4141878A1 (de) * | 1990-12-18 | 1992-06-25 | Doryokuro Kakunenryo | Innerzirkulationszentrifugalextraktor |
US5168189A (en) * | 1991-09-18 | 1992-12-01 | Caterpillar Inc. | Solderless connector for a solid state motor stack |
US5208506A (en) * | 1990-11-14 | 1993-05-04 | Nec Corporation | Laminated piezoelectric actuator |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60103685A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-07 | Nippon Soken Inc | 積層型圧電体 |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP61199561A patent/JPS6355985A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60103685A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-07 | Nippon Soken Inc | 積層型圧電体 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0383963U (ja) * | 1989-12-15 | 1991-08-26 | ||
US5208506A (en) * | 1990-11-14 | 1993-05-04 | Nec Corporation | Laminated piezoelectric actuator |
DE4141878A1 (de) * | 1990-12-18 | 1992-06-25 | Doryokuro Kakunenryo | Innerzirkulationszentrifugalextraktor |
US5168189A (en) * | 1991-09-18 | 1992-12-01 | Caterpillar Inc. | Solderless connector for a solid state motor stack |
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