JPS6353030A - セラミツク積層体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、たとえば積層コンデンサや積層コイルにお
いて用いられるセラミック積層体の製造方法に関し５、
特に薄いセラミックグリーンシートを積層することを可
能とする方法に関する。

［従来の技術］ たとえば積層セラミックコンデンサの製造にあたり用い
られている従来のセラミック積層体の製造方法は以下の
とおりである。

合成樹脂等よりなる支持フィルムの一方面あるいは両面
にセラミックグリーンシートを塗布し、このセラミック
グリーンシートのみを支持フィルムから剥離し、先ず積
層しようとする所定の寸法に打抜かれたセラミックグリ
ーンシートを用意し、これを積層し、圧着する。

積層コンデンサの製造にあたっては、上記積層工程に先
立ちセラミックグリーンシートには所定の内部電極が印
刷され、また上記積層体を得た後に焼成を行ない、さら
に外部電極を付与する。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上述した積層方法では、高容量化を果た
すためにセラミックグリーンシートの厚みを薄くすると
、シート強度が低下し、取扱い時にセラミックグリーン
シートが損傷を受け、破れたり、あるいは伸びたりし、
その取扱いが極めて難しくなる。

また、たとえば、セラミックグリーンシートを吸引チャ
ックを用いて保持するような場合には、セラミックグリ
ーンシートに穴が生じたり、セラミックグリーンシート
に皺が生じることもある。

よって、この発明の目的は、より薄いセラミックグリー
ンシートを簡単にかつ安定に積層することを可能とする
セラミック積層体の製造方法を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ この発明のセラミック積層体の製造方法は、次の各工程
を備える。

支持フィルムと、該支持フィルムに支持されたセラミッ
クグリーンシートとを有するグリーンシート供給帯を用
意し、 上記グリーンシート供給帯のセラミックグリーンシート
に、積層しようとする大きさのセラミックグリーンシー
ト部分の外周に沿って切込みを形成し、 前記切込みの形成されたグリーンシート供給帯を、セラ
ミックグリーンシート側から粘着面に圧接させ、次に該
グリーンシート供給帯を粘着面から分離させることによ
り、枯骨面上に切込みで囲まれたセラミックグリーンシ
ート部分を重ねる各工程を備える。

上記「粘着面」なる用語は、表面が粘着性を何する合成
樹脂フィルムの他、積層された状態のセラミックグリー
ンシートの外表面をも含ませるために用いられており、
後者の場合には上記工程を繰返すことによりセラミック
グリーンシートを複数枚積層してなる積層体を得ること
ができる。

［作用および発明の効果コ この発明では、セラミックグリーンシートは、支持フィ
ルムから剥離されることなく支持されたまま積層作業に
供されるため、セラミックグリーンシートの厚みをかな
り薄くしたとしても、積層されるセラミックグリーンシ
ート部分に破れや伸び等を生じさせずに積層することが
可能となる。

同様に、積層しようとするセラミックグリーンシートを
吸引チャック等により直接保持するものでもないため、
セラミックグリーンシートに穴が形成されることもない
。

また、従来の積層方法においては、セラミックグリーン
シートの反りを温度および湿度をもとにコントロールし
ていたが、この発明の方法では支持フィルムにシートが
支持されているため、シートの反りを無視することがで
き、しがって温度や湿度の煩雑な調整作業を解消するこ
とができる。

さらに、積層にあたっては、グリーンシート供給帯を粘
着面に圧接させ、さらにグリーンシート供給帯を粘着面
から分離させることにより切込みで囲まれたセラミック
グリーンシート部分を積層するものであるため、積層お
よび圧着を同時に行なうことができ、したがって全体の
工程を簡略化することができるとともに、積層作業に必
要な装置も単純化することができる。また、支持フィル
ムに支持されたグリーンシート供給帯の形態で取扱われ
るため、位［ρの検出が容易であり、したがって積層作
業に際してのグリーンシートの位置決めを容易に行なう
ことも可能となる。

なお、この発明は、積層コンデンサや積層コイル等のセ
ラミック積層体の製造方法一般に用いることができるも
のであり、よって必要に応じてセラミックグリーンシー
トには予め内部電極ペースト等が適宜付与されていても
よい。

［実施例の説明］ 以下、この発明の一実施例の製造方法を説明する。

まず、第２図に示すように、支持フィルム１にセラミッ
クグリーンシート２が支持されたグリーンシート供給帯
３を用意する。支持フィルム１は、たとえばポリプロピ
レン等のような合成樹脂フィルムを用いて構成すること
ができ、例えばドクター刃を用いてその一方面にセラミ
ックスラリを塗布することにより、セラミック、グリー
ンシート２を支持させることができる。この実施例の製
造方法では、セラミックグリーンシート２は、積層され
るまで支持フィルム１に支持された状態、すなわちグリ
ーンシート供給帯３の状態で取扱われるため、セラミッ
クグリーンシート２の厚みをかなり薄くすることができ
る。

次に、第１図に示すように、所定の距離を隔てて配置さ
れた押えプレート４および切断刃５を用意し、その間に
グリーンシート供給帯３を位置させる。押えプレート４
は、図示の矢印で示すように上下方向に移動可能に構成
されている。ここでは、押えプレート４を下方に移動さ
せ、切断刃５によりセラミックグリーンシート２を切断
し、セラミックグリーンシート２に切込みを形成する。

この切込みは、以下の工程で積層しようとする大きさの
セラミックグリーンシート部分の外周に沿って形成され
る。したがって、切断刃５の平面形状は、積層されるセ
ラミックグリーンシート部分の外周に沿うような形状の
ものが用いられる。なお、この切込みの形成に際し、切
断刃５は、セラミックグリーンシート２を切断するが、
支持フィルム１を打抜かない程度にグリーンシート供給
帯３に食い込まされる。したがって、後述の第３図に示
されているように、切込み６は、支持フィルム１の上面
までは至っていないため、切込み６が形成されたとして
も、切込み６で囲まれたセラミックグリーンシート部分
２ａは依然として支持フィルム１に支持されたままの状
態に保たれている。

なお、第１図においては押えプレート４を上下方向に移
動可能に構成していたが、押えプレート４を固定とし、
切断刃５を上下方向に移動可能に構成して切込６を形成
してもよく、あるいは押えプレート４および切断刃５の
双方を上下方向に移動可能にして切込み６を形成しても
よい。

次に、第３図に示すように、所定距離を隔てて対向配置
された支持台７と押し型８とを用意する。

支持台７の上面には、上面が粘着性を有する粘着シート
９が敷かれている。また、支持台７には吸引口１０が形
成されており、該吸引口１０は図示しない吸引手段に接
続されている。よって、粘着シート９は、吸引手段によ
り吸引することにより支持台７上に固定されている。

他方、押え型８にも、吸引口１２が形成されており、該
吸引口１２は図示しない吸引手段に接続されている。こ
の実施例では、この押え型８と支持台７との間に切込み
６の形成されたグリーンシート供給帯３を配置し、第４
図に示すように押え型８を下方に移動させ、グリーンシ
ート供給帯３をセラミックグリーンシート２側から粘着
シート９の粘着面９ａに圧接させる。この圧接作業によ
り、切込み６で囲まれたセラミックグリーンシート部分
２ａは粘着シート９の上面に粘着面９ａの粘着性により
貼り付けられることになる。粘着面９ａを利用して密告
されているものであるため、この密着力はセラミックグ
リーンシート部分２ａと支持フィルム１との間の密着力
よりも強い。

したがって、吸引口１０に接続された吸引手段を作動さ
せながら押し型８を上方に移動させれば、第５図に示す
ように、セラミックグリーンシート部分２ａを粘着シー
ト９の上面に残したまま、残りのグリーンシート供給帯
３を分難することができる。

次に、第２図〜第５図に示した工程を繰返すことにより
、第６図に示すようにセラミックグリーンシート部分２
ａの上に複数のセラミックグリーンシート部分２ｂ・・
・２ｄを積層することができる。

この場合、粘着シート９の粘着面に代わり、前回に積層
されたセラミックグリーンシート部分２ａ・・・２ｃの
上面が粘着面として機能する。セラミックグリーンシー
ト２にはバインダ等か含まれており、第４図に示したよ
うに押し型８で下方の粘着面に圧接された場合、それ自
身相互に密着され得るからである。

以上のように、第１図〜第６図に示した工程を繰返すこ
とにより、セラミックグリーンシート２を所定の大きさ
で順次積層することができる。この場合、積層されるセ
ラミックグリーンシート部分２ａ・・・２ｄは、常に支
持フィルム１に支持された状態で積層作業に供される。

よって、セラミックグリーンシート２の厚みをかなり薄
くした場合でも、積層されるセラミックグリーンシート
部分２ａ・・・２ｄに破れや伸びを生じることのないこ
とがわかる。

なお、積層コンデンサや積層コイルを得るためには、第
２図に示したグリーンシート供給帯３において、予めセ
ラミックグリーンシート２の下面に内部電極となる電極
ペーストを適宜印刷しておけばよい。

また、上記実施例では、粘着シート９は吸引口１０およ
び吸引手段を利用して支持台７上に固定していたが、両
面粘着テープを用いれば、吸引口および吸引手段を用い
ずに支持台７上に固定することができる。

第７図は、上記実施例の変形例を説明するための断面図
である。ここでは、第１図の切断刃５に代えて、ベース
プレート２１に圧縮ばね２２を介して切断刃２５が取付
けられている。したがって、プレート２４が下方に移動
してセラミックグリーンシート２に切断刃２５により切
込みが形成される場合、該切込みの深さを押圧ばね２３
の弾発力を調整することにより制御することができる。

また、切断刃２５内に吸引手段を配置しておけば、切断
されたセラミックグリーンシート部分２ａを切断刃２５
内に積層状態で収納することができる。

この場合にも切断刃２５内には、予め」二面に粘着面を
有する粘着シート９が収納されており、該粘着シート９
の粘着面を利用して切断されたセラミックグリーンシー
ト部分２ａが積層される。

第８図は、この発明のさらに他の実施例を説明するため
の断面図である。第３図〜第５図に示した工程では、押
し型８の吸引口１２および吸引手段を利用して分離され
るグリーンシート供給帯３を固定していたが、第８図に
示す構成では、支持フィルム１の弾力を利用して残りの
グリーンシート供給帯３が粘着面に積層されたセラミッ
クグリーンシート部分２ａから分離される。すなわち、
支持台７の両側上方にローラ３１，３２を配置し、該ロ
ーラ３１，３２上に、切込み６の形成されたグリーンシ
ート供給帯３を架は渡しておき、上方から押し型３８を
支持台７に向けて移動する。この場合、押し型３８は、
支持フィルム１の張力に逆らって切込み６で囲まれたセ
ラミックグリーンシート部分２ａを粘着シート９に圧接
させる。したがって、圧接後に押し型３８を上方に移動
させれば、支持フィルム１を含む残りのグリーンシート
供給帯３は支持フィルム１の張力により元の状対すなわ
ちローラ３１，３２間に緩みなく架は渡された状態に戻
ろうとし、それによってセラミックグリーンシート部分
２ａから分離される。

なお、上述した各実施例において、押し型８．３８は、
剛体で構成してもよく、あるいは幾分弾性を有する材料
で構成してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は、この発明の一実施例を説明するため
の図であり、第１図は切込みを形成する工程を示す断面
図、第２図はグリーンシート供給帯を示す断面図、第３
図〜第５図は切込みの形成されたグリーンシート供給帯
を粘着面に圧接させる工程を示す各断面図、第６図は複
数のセラミックグリーンシート部分を積層した状態を示
す断面図である。第７図は、この発明の他の実施例を説
明するための断面図であり、第８図はこの発明のさらに
他の実施例を説明するための断面図である。 図において、１は支持フィルム、２はセラミックグリー
ンシート、２ａ・・・２ｄはセラミックグリーンシート
部分、３はグリーンシート供給帯、６は切込みを示す。 （ほか２名） 第４図 第ｇ図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 支持フィルムと、支持フィルムに支持されたセラミック
   グリーンシートとからなるグリーンシート供給帯を用意
   し、 前記グリーンシート供給帯のセラミックグリーンシート
   に、積層しようとする大きさのセラミックグリーンシー
   ト部分の外周に沿って切込みを形成し、 前記切込みの形成されたグリーンシート供給帯を粘着面
   にセラミックグリーンシート側から圧接させ、次にグリ
   ーンシート供給帯を粘着面から分離し、粘着面上に切込
   みで囲まれたセラミックグリーンシート部分を重ねる各
   工程を備える、セラミック積層体の製造方法。