JPS6158482A - 圧電振動子の変位量制御方法 - Google Patents
圧電振動子の変位量制御方法Info
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- JPS6158482A JPS6158482A JP59180205A JP18020584A JPS6158482A JP S6158482 A JPS6158482 A JP S6158482A JP 59180205 A JP59180205 A JP 59180205A JP 18020584 A JP18020584 A JP 18020584A JP S6158482 A JPS6158482 A JP S6158482A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 230000032683 aging Effects 0.000 abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
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- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G10K9/12—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
- G10K9/122—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated using piezoelectric driving means
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はポンプ、ファン等の駆動体として使用できる圧
電振動子に係り、特にその変位量制御方法に関する。
電振動子に係り、特にその変位量制御方法に関する。
従来、圧電振動子は主として印加周波数を変化させるこ
とにより振動数を変化させ、その振動数の変化を利用し
た素子、例えば発音体として使用されてきたが、近年、
２枚の圧電素子を貼り合わせたバイモルフ型圧電振動子
を用い、これを数１１２〜１００１（ｚ程度の比較的低
周波域の電圧を印加して振動させ、その振動を利用して
流体を吸込み、吸込んだ流体を吐出するポンプやその振
動を利用して気体を圧送するファン等が開発されている
。
とにより振動数を変化させ、その振動数の変化を利用し
た素子、例えば発音体として使用されてきたが、近年、
２枚の圧電素子を貼り合わせたバイモルフ型圧電振動子
を用い、これを数１１２〜１００１（ｚ程度の比較的低
周波域の電圧を印加して振動させ、その振動を利用して
流体を吸込み、吸込んだ流体を吐出するポンプやその振
動を利用して気体を圧送するファン等が開発されている
。
この圧電振動子を用いて構成したポンプ、ファン等の出
力（圧力、流量）も印加周波数を変化させて振動数を変
化させることにより調節していた。
力（圧力、流量）も印加周波数を変化させて振動数を変
化させることにより調節していた。
第４図は従来方法の一例を示す説明図で、ｌは端部を支
持した圧電振動子、２ａ、 ２ｂは圧電振動子１の電極
、３は圧電振動子１をその電極２ａ、 ２ｂ間に周波数
出力を印加して振動させるための可変周波数変換機、４
は電源を示す。
持した圧電振動子、２ａ、 ２ｂは圧電振動子１の電極
、３は圧電振動子１をその電極２ａ、 ２ｂ間に周波数
出力を印加して振動させるための可変周波数変換機、４
は電源を示す。
従来方法は圧電振動子１の運動量を印加周′６１．数を
変化させることにより変化させていたため、可変周波数
変換機３を必要とし電源装置が複雑、高価になる欠点が
あった。
変化させることにより変化させていたため、可変周波数
変換機３を必要とし電源装置が複雑、高価になる欠点が
あった。
本発明者はかかる従来の欠点を解決するため圧電振動子
１の変位量ｄを印加電圧ｅを変えることにより制御する
方法を別に出願した。この別出願の制御方法は従来方法
に比べて電源装置を簡箪に安価にでき、また圧電振動子
を用いてポンプ、ファン等を構成したときは圧電振動子
の印加電圧を変えることにより出力（圧力、流量）を容
易に調節することができる等の効果を奏するものである
。
１の変位量ｄを印加電圧ｅを変えることにより制御する
方法を別に出願した。この別出願の制御方法は従来方法
に比べて電源装置を簡箪に安価にでき、また圧電振動子
を用いてポンプ、ファン等を構成したときは圧電振動子
の印加電圧を変えることにより出力（圧力、流量）を容
易に調節することができる等の効果を奏するものである
。
しかしながらこの別出願の制御方法は、圧電振動子の印
加電圧−変位量特性が、長期の使用により変化する欠点
があった。例えば片持ちの場合を示せば、第５図の（ａ
）曲線から（ｂ１曲線に経時的に変化して印加電圧に対
する変位量が経時変化前の変位量より低下し同一印加電
圧で同一変位量を得ることができなくなるという問題点
があった。
加電圧−変位量特性が、長期の使用により変化する欠点
があった。例えば片持ちの場合を示せば、第５図の（ａ
）曲線から（ｂ１曲線に経時的に変化して印加電圧に対
する変位量が経時変化前の変位量より低下し同一印加電
圧で同一変位量を得ることができなくなるという問題点
があった。
本発明はかかる問題点を解決したち、のであって、圧電
振動子の特性経時変化を補償し、印加電圧に対する変位
量の関係を常に一定に保つことができる圧電振動子の変
位量制御方法を提供することを目的とするものである。
振動子の特性経時変化を補償し、印加電圧に対する変位
量の関係を常に一定に保つことができる圧電振動子の変
位量制御方法を提供することを目的とするものである。
本発明方法は上記の目的を達成するため第１図〜第３図
示のように圧電振動子１の変位量ｄを印加電圧Ｃを変え
ることにより制御する方法において、圧電振動子１の変
位量ｄを計測し、その計測量を圧電振動子１の印加電圧
回路にフィードバックして圧電振動子１の特性経時変化
を補償するようにしたものである。
示のように圧電振動子１の変位量ｄを印加電圧Ｃを変え
ることにより制御する方法において、圧電振動子１の変
位量ｄを計測し、その計測量を圧電振動子１の印加電圧
回路にフィードバックして圧電振動子１の特性経時変化
を補償するようにしたものである。
圧電振動子１としては圧電素子の両面に電極を形成した
ユニモルフ型のものでもよいが、２枚の圧電素子を同極
面を向い合わせて貼り合わせ、その貼り合わせ面と両面
に電極２ａ、 ２ｂを形成した第１図〜第３図示のバイ
モルフ型のものが大きな振動を得ることができるので好
ましい。特に貼り合わせ面の電極２ａにリン青銅等のシ
ムを装着したものがよい。
ユニモルフ型のものでもよいが、２枚の圧電素子を同極
面を向い合わせて貼り合わせ、その貼り合わせ面と両面
に電極２ａ、 ２ｂを形成した第１図〜第３図示のバイ
モルフ型のものが大きな振動を得ることができるので好
ましい。特に貼り合わせ面の電極２ａにリン青銅等のシ
ムを装着したものがよい。
使用する電源は一定周波数の交流電源、通常は商用電源
５ａ （第１．第２図参照）でも直流電源５ｂ（第３図
参照）でもよい。
５ａ （第１．第２図参照）でも直流電源５ｂ（第３図
参照）でもよい。
所定出力に設定するために印加電圧ｅを変える手段とし
ては可変トランス６ （第１図参照）、可変抵抗７（第
２．第３図参照）等の電圧調整手段を用いることができ
る。
ては可変トランス６ （第１図参照）、可変抵抗７（第
２．第３図参照）等の電圧調整手段を用いることができ
る。
本発明方法は第１図示のようにケーシング８の内周部に
圧電振動子１の外周部を支持すると共に、ケーシング８
の２箇所にそれぞれ吸込用、吐出用チェ７クバルブ９ａ
、９ｂを設け、圧電振動子１の振動により流体を吸込
用チェックバルブ９ａを通して吸込み、吸込んだ流体を
吐出用チェックバルブ９ｂを通して吐出させるポンプと
して、第２図示のように圧電振動子１の端部を支持し、
その振動によりウチワの原理で流体を圧送するファンと
して使用する場合も適用することができる。
圧電振動子１の外周部を支持すると共に、ケーシング８
の２箇所にそれぞれ吸込用、吐出用チェ７クバルブ９ａ
、９ｂを設け、圧電振動子１の振動により流体を吸込
用チェックバルブ９ａを通して吸込み、吸込んだ流体を
吐出用チェックバルブ９ｂを通して吐出させるポンプと
して、第２図示のように圧電振動子１の端部を支持し、
その振動によりウチワの原理で流体を圧送するファンと
して使用する場合も適用することができる。
また、第３図示のように直流電源を印加して圧電振動子
１を変位させることによって圧電振動子１の先端部を電
空変換器、コントロールバルブの作画子として用いるこ
ともできる。
１を変位させることによって圧電振動子１の先端部を電
空変換器、コントロールバルブの作画子として用いるこ
ともできる。
変位計１１としては静電容量式、渦電流式、光反射式、
流体素子型等のものを用いることができる。
流体素子型等のものを用いることができる。
第１図は本発明方法の第１実施例を示す説明図で、この
第１実施例は商用電源５ａの電圧を可変トランス６によ
り変化させて、ポンプを構成する圧電振動子１の電極２
ａ、 ２ｂ間に印加し、その変位量ｄを制御する方法に
おいて、圧電振動子１の変位量ｄを静電容量式の変位計
１１により計測し、その計測量（電気信号）を制御器１
２を介して可変トランス６の２次側回路の印加電圧調節
器１３にフィードバックする場合である。
第１実施例は商用電源５ａの電圧を可変トランス６によ
り変化させて、ポンプを構成する圧電振動子１の電極２
ａ、 ２ｂ間に印加し、その変位量ｄを制御する方法に
おいて、圧電振動子１の変位量ｄを静電容量式の変位計
１１により計測し、その計測量（電気信号）を制御器１
２を介して可変トランス６の２次側回路の印加電圧調節
器１３にフィードバックする場合である。
制御器１２は、可変トランス６の二次側電圧ｅ１と変位
計１１の変位出力Ｓを入力し、電圧ｅ、に相当する変位
出力Ｓが得られていないときは信号を出力して印加電圧
調節器１３にフィードバックし、印加電圧調節器１３に
よって印加電圧ｅが増減されるように構成されている。
計１１の変位出力Ｓを入力し、電圧ｅ、に相当する変位
出力Ｓが得られていないときは信号を出力して印加電圧
調節器１３にフィードバックし、印加電圧調節器１３に
よって印加電圧ｅが増減されるように構成されている。
この場合、可変トランス６の二次側電圧ｅ１が、所定の
吐出量を得るために必要な電圧となるように可変トラン
ス６をマニュアルで調節して圧電振動子１の電極２ａ、
２ｂ間に印加すると、この二次側電圧ｅ、にほぼ比例
して圧電振動子１が振動し、その振動により吸込用チェ
ックバルブ９ａを通して流体を吸込み、吸込んだ流体を
吐出用チェソクバルブ９ｂを通して吐出する。このとき
、圧電振動子１の変位ｉｄは変位計１１により計測し、
その変位出力Ｓは制御器１２により電圧ｅ、と比較され
、電圧ｅ１に相当する変位出力Ｓが入力されていないと
きは、印加電圧調節器１３にフィードバックされる。圧
電振動子１が新しくその特性が経時変化していないとき
は、変位ｆｉｄが大きく変位計１１の変位出力Ｓも大き
いので印加電圧ｅを低めて所定の印加電圧−変位量の関
係が得られるようにする。
吐出量を得るために必要な電圧となるように可変トラン
ス６をマニュアルで調節して圧電振動子１の電極２ａ、
２ｂ間に印加すると、この二次側電圧ｅ、にほぼ比例
して圧電振動子１が振動し、その振動により吸込用チェ
ックバルブ９ａを通して流体を吸込み、吸込んだ流体を
吐出用チェソクバルブ９ｂを通して吐出する。このとき
、圧電振動子１の変位ｉｄは変位計１１により計測し、
その変位出力Ｓは制御器１２により電圧ｅ、と比較され
、電圧ｅ１に相当する変位出力Ｓが入力されていないと
きは、印加電圧調節器１３にフィードバックされる。圧
電振動子１が新しくその特性が経時変化していないとき
は、変位ｆｉｄが大きく変位計１１の変位出力Ｓも大き
いので印加電圧ｅを低めて所定の印加電圧−変位量の関
係が得られるようにする。
圧電振動子１の特性が経時変化して変位Ｒｄが小さくな
ると、印加電圧ｅを高くするように作動し、経時変化に
よって低下した変位量を補償して印加電圧−変位量の関
係を常に一定に保つ。
ると、印加電圧ｅを高くするように作動し、経時変化に
よって低下した変位量を補償して印加電圧−変位量の関
係を常に一定に保つ。
ポンプの出力は可変トランス６により二次側電圧ｅ、を
変えて変位量ｄを制御することにより調節することがで
きる。
変えて変位量ｄを制御することにより調節することがで
きる。
第２図は本発明方法の第２実施例を示す説明図で、この
第２実施方法は、商用電源５ａの電圧を可変抵抗７によ
り変化させて片持ちの圧電振動子１の電極２ａ、 ２ｂ
間に印加し、その変位量ｄを制御する方法において、圧
電振動子１の変位Ｎｄを静電容量式の変位計１１により
計測し、制御器１２によって二次側電圧ｅ、と比較され
可変抵抗７の回路の印加電圧調節器１３にフィードバッ
クする場合である。
第２実施方法は、商用電源５ａの電圧を可変抵抗７によ
り変化させて片持ちの圧電振動子１の電極２ａ、 ２ｂ
間に印加し、その変位量ｄを制御する方法において、圧
電振動子１の変位Ｎｄを静電容量式の変位計１１により
計測し、制御器１２によって二次側電圧ｅ、と比較され
可変抵抗７の回路の印加電圧調節器１３にフィードバッ
クする場合である。
この場合、圧電振動子１はその振動により気体を圧送す
るファンとして動作する。この場合も、上記と同様に圧
電振動子１が新しくその特性が経時変化していないとき
は可変抵抗７による電圧を低めて、所定の印加電圧−変
位量の関係が得られるようにする。
るファンとして動作する。この場合も、上記と同様に圧
電振動子１が新しくその特性が経時変化していないとき
は可変抵抗７による電圧を低めて、所定の印加電圧−変
位量の関係が得られるようにする。
圧電振動子１の特性が経時変化して変位ｆ、ｄが小さく
なると、フィードバック量も小さくなるので、それだけ
印加電圧ｅが高くなり、経時変化によって低下した変位
量を補償して印加電圧−変位量の関係を常に一定に保つ
。
なると、フィードバック量も小さくなるので、それだけ
印加電圧ｅが高くなり、経時変化によって低下した変位
量を補償して印加電圧−変位量の関係を常に一定に保つ
。
ファンの出力は可変抵抗７により電圧ｅ１を変えて変位
ｉｄを制御することにより調節することができる。
ｉｄを制御することにより調節することができる。
第３図は本発明方法の第３実施例を示す説明図で、この
第３実施方法は直流型＃５ｂを用いて、圧電振りＪ子１
の先端部の変位量を制御することにより、コントロール
パルプ等の作動子として用いるものである。
第３実施方法は直流型＃５ｂを用いて、圧電振りＪ子１
の先端部の変位量を制御することにより、コントロール
パルプ等の作動子として用いるものである。
上述のように本発明によれば、圧電振動子１の変位量ｄ
を印加電圧ｅを変えることにより制御する方法において
、圧電振動子１の変位ｉＨｄを計測し、その計測量を圧
電振動子ｌの印加電圧回路にフィードバックして圧電振
動子の特性経時変化を補償する方法であるから、印加電
圧−変位量の関係を常に一定に保つことができる。
を印加電圧ｅを変えることにより制御する方法において
、圧電振動子１の変位ｉＨｄを計測し、その計測量を圧
電振動子ｌの印加電圧回路にフィードバックして圧電振
動子の特性経時変化を補償する方法であるから、印加電
圧−変位量の関係を常に一定に保つことができる。
また、圧電振動子１を用いてポンプ、ファン等を構成し
たときは、圧電振動子１の印加電圧ｅを変えることによ
り出力（圧力、流量）を経時変化の影響を受けることな
く、容易に調節することができる。
たときは、圧電振動子１の印加電圧ｅを変えることによ
り出力（圧力、流量）を経時変化の影響を受けることな
く、容易に調節することができる。
第１図は本発明方法の第１実施例を示す説明図、第２図
は同じく第２実施例を示す説明図、第３図は同じ（第３
実施例を示す説明図、第４図は従来方法の一例を示す説
明図、第５図は片持ちの圧電振動子の印加電圧−変位量
特性曲線図である。 １・・・・・・圧電振動子、２ａ、 ２ｂ・・・・・・
電極、５ａ・・・・・・商用電源、５ｂ・・・・・・直
流電源、６・・・・・・可変トランス、７・・・・・・
可変抵抗、８・・・・・・ケーシング、９ａ 、 ９ｂ
・・・・・・吸込用、吐出用チェックバルブ、１１・・
・・・・変位計、１２・・・・・・制御器、１３・・・
・・・印加電圧調節器。
は同じく第２実施例を示す説明図、第３図は同じ（第３
実施例を示す説明図、第４図は従来方法の一例を示す説
明図、第５図は片持ちの圧電振動子の印加電圧−変位量
特性曲線図である。 １・・・・・・圧電振動子、２ａ、 ２ｂ・・・・・・
電極、５ａ・・・・・・商用電源、５ｂ・・・・・・直
流電源、６・・・・・・可変トランス、７・・・・・・
可変抵抗、８・・・・・・ケーシング、９ａ 、 ９ｂ
・・・・・・吸込用、吐出用チェックバルブ、１１・・
・・・・変位計、１２・・・・・・制御器、１３・・・
・・・印加電圧調節器。
Claims (1)
- 圧電振動子の変位量を印加電圧を変えることにより制
御する方法において、圧電振動子の変位量を計測し、そ
の計測量を圧電振動子の印加電圧回路にフィードバック
して圧電振動子の特性経時変化を補償することを特徴と
する圧電振動子の変位量制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180205A JPS6158482A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 圧電振動子の変位量制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180205A JPS6158482A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 圧電振動子の変位量制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6158482A true JPS6158482A (ja) | 1986-03-25 |
Family
ID=16079233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59180205A Pending JPS6158482A (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 圧電振動子の変位量制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6158482A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081390A (en) * | 1990-08-13 | 1992-01-14 | Digital Instruments, Inc. | Method of operating a scanning probe microscope to improve drift characteristics |
| US5083056A (en) * | 1989-03-14 | 1992-01-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Displacement generating apparatus |
| JP2012096193A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Canon Inc | 圧電振動子の駆動方法、該駆動方法による塵埃除去装置、超音波モータ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55120186A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Piezoelectric element displacement control system |
| JPS5661029A (en) * | 1979-10-25 | 1981-05-26 | Sony Corp | Magnetic recording and reproducing device |
| JPS5815282A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-28 | Toshiba Corp | バイモルフ圧電素子の振動抑止装置 |
-
1984
- 1984-08-28 JP JP59180205A patent/JPS6158482A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55120186A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Piezoelectric element displacement control system |
| JPS5661029A (en) * | 1979-10-25 | 1981-05-26 | Sony Corp | Magnetic recording and reproducing device |
| JPS5815282A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-28 | Toshiba Corp | バイモルフ圧電素子の振動抑止装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5083056A (en) * | 1989-03-14 | 1992-01-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Displacement generating apparatus |
| US5081390A (en) * | 1990-08-13 | 1992-01-14 | Digital Instruments, Inc. | Method of operating a scanning probe microscope to improve drift characteristics |
| JP2012096193A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Canon Inc | 圧電振動子の駆動方法、該駆動方法による塵埃除去装置、超音波モータ |
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