JPS6350736A - 表面汚染検査装置 - Google Patents
表面汚染検査装置Info
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- JPS6350736A JPS6350736A JP19588986A JP19588986A JPS6350736A JP S6350736 A JPS6350736 A JP S6350736A JP 19588986 A JP19588986 A JP 19588986A JP 19588986 A JP19588986 A JP 19588986A JP S6350736 A JPS6350736 A JP S6350736A
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Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は、ドラム缶等の被検査体の表面に付着した成用
性物質、右m物質等の馬乗物質(異物)を検査する表面
汚染検査装置に関する。
性物質、右m物質等の馬乗物質(異物)を検査する表面
汚染検査装置に関する。
従来、ドラム缶等の被検査体の表面汚染を検査するもの
としては、111紙を用いて被検査体の表面を拭き取り
、その濾紙に付着した)1j染物質を測定器にJ、り計
測することにJ:って、)り染の有無を検出するもの(
スミャ法)が知られている。
としては、111紙を用いて被検査体の表面を拭き取り
、その濾紙に付着した)1j染物質を測定器にJ、り計
測することにJ:って、)り染の有無を検出するもの(
スミャ法)が知られている。
〔発明が解決しようと覆る171題貞〕しかしながら、
上記従来の通紙を用いて被検査体の表面を拭き取って検
査Jるものにあっては、次のような問題があった。りな
わら、 ■被検査体の表面には凹凸や角部等があるために完全に
濾紙によって拭き取ることができず、拭き残しが出るお
それがある。
上記従来の通紙を用いて被検査体の表面を拭き取って検
査Jるものにあっては、次のような問題があった。りな
わら、 ■被検査体の表面には凹凸や角部等があるために完全に
濾紙によって拭き取ることができず、拭き残しが出るお
それがある。
■濾紙による拭き取りは、被検査体の表面のある程度の
面積を拭いての検査であるので、被検査体のどの部分が
汚染されているかを1)定寸ろことが難しい。
面積を拭いての検査であるので、被検査体のどの部分が
汚染されているかを1)定寸ろことが難しい。
■濾紙による拭き取りによって被検査体の表面汚染個所
が拡散づるおそれがある。
が拡散づるおそれがある。
そこで、上記問題点を解潤しようとして、被検査体の表
面に粘る物を付着ざUてその粘る力によって汚染物質を
粘着物の粘着面に転着させ、この粘る物を剥離させてそ
の粘査面の汚染を測定するものが提案されている(特開
昭61−569878公複参照)。しかしながら、この
場合には、粘着物が被検査体に残留するおそれがある。
面に粘る物を付着ざUてその粘る力によって汚染物質を
粘着物の粘着面に転着させ、この粘る物を剥離させてそ
の粘査面の汚染を測定するものが提案されている(特開
昭61−569878公複参照)。しかしながら、この
場合には、粘着物が被検査体に残留するおそれがある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、凹凸(例えば、コンクリート、セメン
ト等の粗い表面を持つもの)等の表面の形状、あるいは
材7′1にかかわらず、円滑にかつ容易に表面汚染の検
査を行なうことができ、短時間に広い表面を′精度良く
検査できる表面汚染検査装置を提供することにある。
とするところは、凹凸(例えば、コンクリート、セメン
ト等の粗い表面を持つもの)等の表面の形状、あるいは
材7′1にかかわらず、円滑にかつ容易に表面汚染の検
査を行なうことができ、短時間に広い表面を′精度良く
検査できる表面汚染検査装置を提供することにある。
〔問題点を解決1ろための手段〕
上記目的を達成づるために、本発明は、被検査体の表面
にレーザーパルスを照射するレーザー発振器と、このレ
ーザーパルスにJ:って被検査体の表面から剥離した異
物を浦集り°る捕集手段とをt)Hえたことを主な特徴
とする。
にレーザーパルスを照射するレーザー発振器と、このレ
ーザーパルスにJ:って被検査体の表面から剥離した異
物を浦集り°る捕集手段とをt)Hえたことを主な特徴
とする。
本発明の表面汚染検査装置にあっては、レーザー発振器
ににってレーザーパルスを被検査体の一人面に照射して
、このレーザーパルスのエネルギーによって被検査体の
表面に付着している異物を剥離し、捕集手段によって、
この剥離した異物を回収する。
ににってレーザーパルスを被検査体の一人面に照射して
、このレーザーパルスのエネルギーによって被検査体の
表面に付着している異物を剥離し、捕集手段によって、
この剥離した異物を回収する。
以下、第1図ないし第5図に基づいて本発明の詳細な説
明する。
明する。
第1図ないし第4図は本発明の第1実施例を示すもので
、第1図は側面図、第2図は平面図、第3図は濾紙供給
門構の斜視図、第4図はフードへのカセットの装着を示
す斜・視図である。これらの図において、符号1は、レ
ーザーパルスを発射するレーザー発振器であり、このレ
ーザー発振器1tよ、前後方向にレーザー発条器1を移
動調整させる照準機構2上に&!置されている。そして
、この照準機構2は電源3上に設置されている。また、
上記レーザー発振器1には、光学測距器4が設置されて
おり、この光学測距器4が、反射鏡5、半透明鏡6を介
して、回転台7上の被検査体(ドラム缶)8の表面まで
の距離を測定することにより、レーザー発振器1が照準
機構2によって前後に移9)I して、レーザーパルス
の照準を被検査体8の表面に合わせるようになっている
。なお、上記照準を合わせるものとしてtよ、上記R械
系以外に光学系の調整によってもよい。
、第1図は側面図、第2図は平面図、第3図は濾紙供給
門構の斜視図、第4図はフードへのカセットの装着を示
す斜・視図である。これらの図において、符号1は、レ
ーザーパルスを発射するレーザー発振器であり、このレ
ーザー発振器1tよ、前後方向にレーザー発条器1を移
動調整させる照準機構2上に&!置されている。そして
、この照準機構2は電源3上に設置されている。また、
上記レーザー発振器1には、光学測距器4が設置されて
おり、この光学測距器4が、反射鏡5、半透明鏡6を介
して、回転台7上の被検査体(ドラム缶)8の表面まで
の距離を測定することにより、レーザー発振器1が照準
機構2によって前後に移9)I して、レーザーパルス
の照準を被検査体8の表面に合わせるようになっている
。なお、上記照準を合わせるものとしてtよ、上記R械
系以外に光学系の調整によってもよい。
上記回転台7は、その下部に設置された回転装置9によ
り回転せしめられると共に、この回転装rI9を昇降可
能に支持する上下移動装ff110により上下に移動せ
しめられるように構成されている。
り回転せしめられると共に、この回転装rI9を昇降可
能に支持する上下移動装ff110により上下に移動せ
しめられるように構成されている。
また、上記シー1発成光成器1の下部には、支持アーム
11が連結されており、この支持アーム11の先端には
、略椀形状のフード12が固定されている。そして、こ
のフード12の中央部に(よ、上記レーザー発振器1の
発するレーザ−パルスを透過させるための窓が形成され
、この窓には透明板13が嵌め込まれている。さらに、
フード12の側部には、濾紙Pを挟み込んだカセット1
4を嵌め込むための凹所15が形成されており、かつ凹
所15はカセット14が装?;され易いようにフード1
2の外方に向かって広がるテーパー状に形成されている
と共に、凹所15内には、吸引口16が開口している。
11が連結されており、この支持アーム11の先端には
、略椀形状のフード12が固定されている。そして、こ
のフード12の中央部に(よ、上記レーザー発振器1の
発するレーザ−パルスを透過させるための窓が形成され
、この窓には透明板13が嵌め込まれている。さらに、
フード12の側部には、濾紙Pを挟み込んだカセット1
4を嵌め込むための凹所15が形成されており、かつ凹
所15はカセット14が装?;され易いようにフード1
2の外方に向かって広がるテーパー状に形成されている
と共に、凹所15内には、吸引口16が開口している。
そして、この吸引口16の周囲には、0リング等のガス
ケット17が装着されており、上記凹所15に装着され
たカセット14と)−ド12側との気密性を保持づるよ
うになっている。さらにまた、上記フード12の凹所1
5にカセット14を押し付けて吸引するコーン状の吸口
部18が支持ロッド19に支持されて、フード12に対
しで接離自在に配設されており、この吸口部18の先端
側にも、ガスケット17が装置されている。そして、こ
の吸口部18はフレキシブルホース20を介してバック
アップフィルター21に連結されており、このバックア
ップフィルター21には吸引装置22が連結されている
。また、上記フード12には、散布液タンク23内の水
等の散布液を散布づるスプレー24が付設されている。
ケット17が装着されており、上記凹所15に装着され
たカセット14と)−ド12側との気密性を保持づるよ
うになっている。さらにまた、上記フード12の凹所1
5にカセット14を押し付けて吸引するコーン状の吸口
部18が支持ロッド19に支持されて、フード12に対
しで接離自在に配設されており、この吸口部18の先端
側にも、ガスケット17が装置されている。そして、こ
の吸口部18はフレキシブルホース20を介してバック
アップフィルター21に連結されており、このバックア
ップフィルター21には吸引装置22が連結されている
。また、上記フード12には、散布液タンク23内の水
等の散布液を散布づるスプレー24が付設されている。
上記カセット14は、金属等で形成された2枚のカセッ
トハーフ14a、14bが開閉自在に連結されると共に
、両カセットハーフ14a、14b間には、両名を閉じ
た際に係合するように、突起及びこれに嵌合する凹部の
ような係止手段が形成されている。また、両力セットハ
ーフ14a。
トハーフ14a、14bが開閉自在に連結されると共に
、両カセットハーフ14a、14b間には、両名を閉じ
た際に係合するように、突起及びこれに嵌合する凹部の
ような係止手段が形成されている。また、両力セットハ
ーフ14a。
14、 bの下部には、それぞれ吸引窓14Cが形成さ
れ、かつカセットハーフ14bの吸引窓14Cには保護
ネット14dが装着されている。さらに、カセッ1−ハ
ーフi4aの上部には、ナンバーリング25のためのス
ペースが設けられて、13つ、かつカセッ1〜14の上
端には、係合フック26が取付けられている。この係合
フック26は、濾紙Pを1火み込んだカセット14を、
プーリ27.27間に張設した索条28に取付けられた
係止フック29に引っU)りて−L記ノード12まで搬
送するためのらのである。
れ、かつカセットハーフ14bの吸引窓14Cには保護
ネット14dが装着されている。さらに、カセッ1−ハ
ーフi4aの上部には、ナンバーリング25のためのス
ペースが設けられて、13つ、かつカセッ1〜14の上
端には、係合フック26が取付けられている。この係合
フック26は、濾紙Pを1火み込んだカセット14を、
プーリ27.27間に張設した索条28に取付けられた
係止フック29に引っU)りて−L記ノード12まで搬
送するためのらのである。
上記ノjtッ1〜14に濾紙Pを挟み込む装置として(
よ、例えば、第3図に示づ」:うに、[]−ル状の濾紙
Pを巻きuトけておく給紙(コーラ30と、このロール
状のd紙Pを挾持して送る送りローラ31と、ロール状
の濾紙Pを所定長さに切断するカッター32と、この所
定長ざに切断されたd紙Pの下方から、開いた状態のカ
セット17′lを供給して該凹部Pを両力ヒットハーフ
14a、14b間に挟み込むカセッ1〜フィーダー33
とを主体として荀1成されている。そして、濾紙Pを1
火み込/υだカセット14は、上記プーリ27と係止フ
ック29何の索条28とからなる搬送機構34によって
フード12の凹所15まで移送されるようになっている
。なお、上記所定長さに切断された濾紙Pをカセット1
4内に挟み込む際に、濾紙Pがロール状にならないよう
に案内するガイドd構を設置してもよい。
よ、例えば、第3図に示づ」:うに、[]−ル状の濾紙
Pを巻きuトけておく給紙(コーラ30と、このロール
状のd紙Pを挾持して送る送りローラ31と、ロール状
の濾紙Pを所定長さに切断するカッター32と、この所
定長ざに切断されたd紙Pの下方から、開いた状態のカ
セット17′lを供給して該凹部Pを両力ヒットハーフ
14a、14b間に挟み込むカセッ1〜フィーダー33
とを主体として荀1成されている。そして、濾紙Pを1
火み込/υだカセット14は、上記プーリ27と係止フ
ック29何の索条28とからなる搬送機構34によって
フード12の凹所15まで移送されるようになっている
。なお、上記所定長さに切断された濾紙Pをカセット1
4内に挟み込む際に、濾紙Pがロール状にならないよう
に案内するガイドd構を設置してもよい。
上記のように474成された表面汚染検査装置を用いて
被検査体8の表面)l染を検査する場合には、まず、回
転装置9及び−に下移!lJ装買10を用いて被検査体
8を回転あるいは?を降させると共に、光学」、lI距
器4及び照準数構2によってレーザー発振器1の発錆づ
るレーザーパルスが被検査体8の所定の検査領域に照射
されるように調整し、また、上記濾紙Pを挟み込んだ状
態のカセット14をUQ送は構34によってフード12
の凹所15に移送し、かつ吸口部18ににっでカセット
14を凹所15内に押し付ける。これにより、フード1
2の吸引口1G、カセット14の吸引窓1000吸口部
18が連通し、かつ各ガスケット17によって気密性が
保1゛Iされる。
被検査体8の表面)l染を検査する場合には、まず、回
転装置9及び−に下移!lJ装買10を用いて被検査体
8を回転あるいは?を降させると共に、光学」、lI距
器4及び照準数構2によってレーザー発振器1の発錆づ
るレーザーパルスが被検査体8の所定の検査領域に照射
されるように調整し、また、上記濾紙Pを挟み込んだ状
態のカセット14をUQ送は構34によってフード12
の凹所15に移送し、かつ吸口部18ににっでカセット
14を凹所15内に押し付ける。これにより、フード1
2の吸引口1G、カセット14の吸引窓1000吸口部
18が連通し、かつ各ガスケット17によって気密性が
保1゛Iされる。
この状態において、レーザー発振器1から被検査体8の
材質笠にy、(づいて、レーザーパルスの出力密度、パ
ルス輻、パルス数等を適宜選択してレーザーパルスを照
0=1づろと共に、吸引装置22により、フード12内
のエアーを吸引する。この」8合、上記レーザーパルス
の特徴どして、高エネル1゛−密度とnj照(ト)時間
があるために、積分照’rfエネルギーは被検査体8に
とっては問題にならない程度に十分に小さ°く、かつ、
被検査体8、表面y゛・;物等の熱伝導率が有限かつ、
エネルギー密度が充分に高く、従って、表面のみを瞬間
的に高温にづることができる。この結束、被検査体8の
表面に照射されたシー1アーパルスによって、該表面に
付着している安物が、熱せられて蒸発し表面から部れた
後に冷jJIされて粒子状となり、あるい(,1異物と
被検査体8、あるいは両者の間に介在する空気との間の
熱膨張゛ν・の差によって熱’t5j撃を受けて^;j
離し、次いで、上記吸引装置22により、フード12の
吸引口16から吸引されて、カセット14に挟み込まれ
た慮組P上に付着する。また、必要に応じて、あらかじ
めスプレー24によって′P1.検査休検査表8に散布
液を散イ5 L/た状態でレーザーパルスを照射すれば
、レーザーパルスにより散布液が熱せられて急激に蒸発
することにより、表面に付着きれた異物が容易に剥離す
ると共に、レーザーパルスが照射されていない領域にお
いては、上記散布液の界面エネルギーの作用により、表
面に付着している異物が離れにくいため、レーザーパル
スの照射領域(検査部by、 >だけの異物がカセット
14の濾紙Pに円滑に付着し、確実に回収される。
材質笠にy、(づいて、レーザーパルスの出力密度、パ
ルス輻、パルス数等を適宜選択してレーザーパルスを照
0=1づろと共に、吸引装置22により、フード12内
のエアーを吸引する。この」8合、上記レーザーパルス
の特徴どして、高エネル1゛−密度とnj照(ト)時間
があるために、積分照’rfエネルギーは被検査体8に
とっては問題にならない程度に十分に小さ°く、かつ、
被検査体8、表面y゛・;物等の熱伝導率が有限かつ、
エネルギー密度が充分に高く、従って、表面のみを瞬間
的に高温にづることができる。この結束、被検査体8の
表面に照射されたシー1アーパルスによって、該表面に
付着している安物が、熱せられて蒸発し表面から部れた
後に冷jJIされて粒子状となり、あるい(,1異物と
被検査体8、あるいは両者の間に介在する空気との間の
熱膨張゛ν・の差によって熱’t5j撃を受けて^;j
離し、次いで、上記吸引装置22により、フード12の
吸引口16から吸引されて、カセット14に挟み込まれ
た慮組P上に付着する。また、必要に応じて、あらかじ
めスプレー24によって′P1.検査休検査表8に散布
液を散イ5 L/た状態でレーザーパルスを照射すれば
、レーザーパルスにより散布液が熱せられて急激に蒸発
することにより、表面に付着きれた異物が容易に剥離す
ると共に、レーザーパルスが照射されていない領域にお
いては、上記散布液の界面エネルギーの作用により、表
面に付着している異物が離れにくいため、レーザーパル
スの照射領域(検査部by、 >だけの異物がカセット
14の濾紙Pに円滑に付着し、確実に回収される。
このようにして、被検査体8の所定箇所の検査が完了す
ると、フード12から吸口部18を引き離す。この場合
、カセット14は、その係合フック26を索条28の係
止フック29に引っ掛けた状態にあるから、フード12
の凹所15から引き離され、次いで、搬送様描34を作
動させることにより、上記カセット14は検査装置まで
移送されて、表面汚染が検査される。
ると、フード12から吸口部18を引き離す。この場合
、カセット14は、その係合フック26を索条28の係
止フック29に引っ掛けた状態にあるから、フード12
の凹所15から引き離され、次いで、搬送様描34を作
動させることにより、上記カセット14は検査装置まで
移送されて、表面汚染が検査される。
上述したように、本実施例によれば、短時間に被検査体
8の広い表面を測定でき、かつ自動化も容易に行なえる
。また、平滑でない表面、土、砂のような粒状、粉状の
表面汚染検査休8の表面の形状、材質等にかかわらず、
円滑に表面汚染の検査が行なえる。さらに、レーザーパ
ルスによって、被検査体8の表面に付??シた異物だけ
を簡単に剥離させることができるので、従来の濾紙で拭
き取る場合のようにこづっただけでは剥n1できないよ
うな異物も回収でき、採取データがばらつくことなく、
検査精度の向上を図ることができる。さらにまた、被検
査体8の検査部位は、回転装置9及び上下移動装置10
を用いて、任意に変更でき、例えば、乱数を使用して、
適宜検査部位を変えてもよい。また、1回に被検査体8
の表面に照QJ iるレープ−パルスの照射面積は特定
できるので、1個のカセット14の濾紙Pで検査した被
検査体8の検査面積は、レーザーパルスの照準回数を計
数することによって割出すことができる。さらに、濾紙
Pの前後の吸引圧力の差を検知することにより、圧力差
が過大になった場合に濾紙Pが目詰りしたと判定してカ
セット14の交換を行なうことが可能である。
8の広い表面を測定でき、かつ自動化も容易に行なえる
。また、平滑でない表面、土、砂のような粒状、粉状の
表面汚染検査休8の表面の形状、材質等にかかわらず、
円滑に表面汚染の検査が行なえる。さらに、レーザーパ
ルスによって、被検査体8の表面に付??シた異物だけ
を簡単に剥離させることができるので、従来の濾紙で拭
き取る場合のようにこづっただけでは剥n1できないよ
うな異物も回収でき、採取データがばらつくことなく、
検査精度の向上を図ることができる。さらにまた、被検
査体8の検査部位は、回転装置9及び上下移動装置10
を用いて、任意に変更でき、例えば、乱数を使用して、
適宜検査部位を変えてもよい。また、1回に被検査体8
の表面に照QJ iるレープ−パルスの照射面積は特定
できるので、1個のカセット14の濾紙Pで検査した被
検査体8の検査面積は、レーザーパルスの照準回数を計
数することによって割出すことができる。さらに、濾紙
Pの前後の吸引圧力の差を検知することにより、圧力差
が過大になった場合に濾紙Pが目詰りしたと判定してカ
セット14の交換を行なうことが可能である。
なお、本実施例においては、ドラム缶8の表面検査につ
いて説明したが、バイブ内面等の狭隘部を検査する場合
には、第5図に示すように、レーザー発振器1に光ファ
イバ35を連結して、パイプ内面36の被検査面にレー
ザーパルスを導くようにすればよい。また、スプレー2
4で散布する液体は、レーザー光の吸収効率が小さい、
あるいは大きいものを適宜選択して、検査表面を特定づ
るようにする。ざらに、捕集手段としては、異物を帯電
させて電極に吸引付着させる静電付谷ないし、サイクロ
ン等固気分離装置を用いて捕集してもよい。
いて説明したが、バイブ内面等の狭隘部を検査する場合
には、第5図に示すように、レーザー発振器1に光ファ
イバ35を連結して、パイプ内面36の被検査面にレー
ザーパルスを導くようにすればよい。また、スプレー2
4で散布する液体は、レーザー光の吸収効率が小さい、
あるいは大きいものを適宜選択して、検査表面を特定づ
るようにする。ざらに、捕集手段としては、異物を帯電
させて電極に吸引付着させる静電付谷ないし、サイクロ
ン等固気分離装置を用いて捕集してもよい。
以上説明したように、本発明によれば、被検査体の表面
゛にレーザーパルスを照射するレーザー発振器と、この
レーザーパルスによって被検査体の表面から剥印した異
物を捕集づる捕集手段とを備えたものであるから、凹凸
、すき間等被検査体の表面の形状、あるいは材り1にか
かわらず、円滑にかつ容易に表面汚染検査を行なうこと
ができ、短時間に広い表面を精度良く検査できる。また
、被検査体の表面にあらかじめ付着液を散布あるいは塗
布しておくことにより、検査領域以外の部分の異物が表
面から離れにくく、かつ検査領域の安物が、付着液の蒸
発作用により、−・層容易に表面から剥離するから、検
査精度の向上を図ることができる。
゛にレーザーパルスを照射するレーザー発振器と、この
レーザーパルスによって被検査体の表面から剥印した異
物を捕集づる捕集手段とを備えたものであるから、凹凸
、すき間等被検査体の表面の形状、あるいは材り1にか
かわらず、円滑にかつ容易に表面汚染検査を行なうこと
ができ、短時間に広い表面を精度良く検査できる。また
、被検査体の表面にあらかじめ付着液を散布あるいは塗
布しておくことにより、検査領域以外の部分の異物が表
面から離れにくく、かつ検査領域の安物が、付着液の蒸
発作用により、−・層容易に表面から剥離するから、検
査精度の向上を図ることができる。
第1図ないし第4図は本発明の第1実施例を示すもので
、第1図は側面図、第2図は平面図、第3図は濾紙供給
部の斜視図、第4図はフードのカセット装着部の斜視図
、第5図(よ本発明の第2実施例を示′Ij説明図であ
る。 1・・・・・・レーザー発振器、 8・・・・・・被検査体くドラム缶)、9・・・・・・
11’+1転装置、 10・・・・・・」上下移動装置、 12・・・・・・フード、 1/I・・・・・・カセット、 18・・・・・・吸口部、 22・・・・・・吸引装置、 24・・・・・・スプレー(付着装置)、P・・・・・
・濾紙(検査紙)。
、第1図は側面図、第2図は平面図、第3図は濾紙供給
部の斜視図、第4図はフードのカセット装着部の斜視図
、第5図(よ本発明の第2実施例を示′Ij説明図であ
る。 1・・・・・・レーザー発振器、 8・・・・・・被検査体くドラム缶)、9・・・・・・
11’+1転装置、 10・・・・・・」上下移動装置、 12・・・・・・フード、 1/I・・・・・・カセット、 18・・・・・・吸口部、 22・・・・・・吸引装置、 24・・・・・・スプレー(付着装置)、P・・・・・
・濾紙(検査紙)。
Claims (5)
- (1)被検査体の表面に付着した異物を剥離するために
、該被検査体の表面にレーザーパルスを照射するレーザ
ー発振器と、剥離した異物を捕集する捕集手段とを具備
したことを特徴とする表面汚染検査装置。 - (2)捕集手段を、被検査体の表面を覆うフードと、こ
のフードに連結された吸引装置と、この吸引装置の吸引
口に設けられた検査紙とから構成したことを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の表面汚染検査装置。 - (3)検査紙を所定検査間隔毎に交換可能に設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第2項記載の表面汚染検査
装置。 - (4)被検査体とレーザー発振器とを相対移動可能に設
置したことを特徴とする特許請求の範囲第1項、第2項
、または第3項記載の表面汚染検査装置。 - (5)被検査体の近傍に、該被検査体に付着液を散布ま
たは塗布する付着装置を設けたことを特徴とする特許請
求の範囲第1項、第2項、第3項、または第4項記載の
表面汚染検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19588986A JPS6350736A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | 表面汚染検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19588986A JPS6350736A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | 表面汚染検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6350736A true JPS6350736A (ja) | 1988-03-03 |
Family
ID=16348668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19588986A Pending JPS6350736A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | 表面汚染検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6350736A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016075601A (ja) * | 2014-10-07 | 2016-05-12 | 三菱重工業株式会社 | 放射性物質の分析装置及び方法 |
FR3031183A1 (fr) * | 2014-12-31 | 2016-07-01 | Airbus Defence & Space Sas | Procede et dispositif pour le controle laser de l'etat d'une surface |
-
1986
- 1986-08-21 JP JP19588986A patent/JPS6350736A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016075601A (ja) * | 2014-10-07 | 2016-05-12 | 三菱重工業株式会社 | 放射性物質の分析装置及び方法 |
FR3031183A1 (fr) * | 2014-12-31 | 2016-07-01 | Airbus Defence & Space Sas | Procede et dispositif pour le controle laser de l'etat d'une surface |
WO2016107994A1 (fr) * | 2014-12-31 | 2016-07-07 | Airbus Defence And Space Sas | Procédé et dispositif pour le contrôle laser de l'état d'une surface |
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